JPH0814617B2 - 磁気センサの製造方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 （イ）産業上の利用分野 本発明はマグネットの位置合せ作業を簡略化できる磁
気センサに関する。

（ロ）従来の技術 InSb,InSb−NiSb,InAs等のキャリヤ移動度が高い半導
体又はNi−Co,Ni−Fe,Ni−Fe−Co等の強磁性体はこれに
磁界を作用させたとき抵抗値が変化するという性質を有
しており、この性質を利用した磁気センサが実用化され
ている。（例えば、実開昭59−45576号公報） 第４図は磁気センサの一般的な構成を示す正面断面図
であり、図中（１）は筐体を示す。筐体（１）の上面に
形成した開口部（1a）は保護板（２）にて閉鎖されてお
り、保護板（２）は筐体（１）に一体にモールドされて
いる。

筐体（１）内にはセンサユニット（３）、マウント基
板（４）およびマグネット（５）から成る検出器本体
（６）が配設されている。センサユニット（３）はフェ
ライト製の磁性体基板（７）上にInSb等から成る磁気抵
抗素子（８）（９）を接着用樹脂（10）を用いて並設し
たものである。マウント基板（４）はプラスチック製薄
板の表面にプリント配線を描画したもので、その上には
センサユニット（３）とセンサユニット（３）の囲みを
保護板（２）と磁気抵抗素子（８）（９）との間隔を一
定に保つ環状スペーサ（11）が固着される。磁気抵抗素
子（８）（９）の電極は金属細線（12）で前記プリント
配線に接続され、そのプリント配線はスルーホール（1
3）を介してマウント基板（４）裏面に半田付けされた
外部接続リード（14）に接続する。マウント基板（４）
の裏面の磁性体基板（７）と対向する位置にはマグネッ
ト（５）が接着されて磁気抵抗素子（８）（９）に磁気
バイアスを与えるようになっている。そして、これらの
ユニットは筐体（１）内に樹脂（15）にて封止されてい
る。

上記磁気センサの製造には第５図に示すようなリード
フレーム（20）が用いられる。リードフレーム（20）は
枠体（21）に磁気センサ数個分の外部接続リード（14）
を設けたもので、先ずリード（14）の先端にマウント基
板（４）を半田付けし、マウント基板（４）の表面側に
センサユニット（３）をダイボンド及びワイヤボンドし
さらに環状スペーサ（11）を接着し、そしてマウント基
板（４）の裏面側に位置合せ用マーク（22）に従ってマ
グネット（５）を接着し、その後個々のユニットを夫々
筐体（１）内に封止して磁気センサが製造される。マグ
ネット（５）の接着にはエポキシ系接着剤が用いられ
る。

（ハ）発明が解決しようとする課題 しかしながら上記製造工程において、多数のマウント
基板（４）が並設されたリードフレーム（20）の夫々に
マグネット（５）を接着すると、マウント基板（４）と
マウント基板（４）との間隔が比較的狭い為マグネット
（５）相互間に磁力が作用し、マウント基板（４）とマ
グネット（５）とを接着するエポキシ接着剤が完全に硬
化するまでの間にマグネット（５）が正規の位置からず
れる欠点があった。その為従来は、前記接着剤が半分硬
化するのを待ちマグネット（５）の位置ずれを手作業で
修正する等、マグネット（５）の位置合せに多大な労力
と時間を費していた。

（ニ）課題を解決するための手段 本発明は上記従来の欠点に鑑み成されたもので、マウ
ント基板（35）裏面のマグネット（36）を載置すべき位
置に、マグネット（36）と嵌合する凹部（43）を設け、
この凹部（43）内にマグネット（36）を接着固定するこ
とを特徴とする。

（ホ）作 用 本発明によれば、マウント基板（35）に設けられた凹
部（43）にマグネット（36）をはめ合せることによっ
て、凹部（43）がマグネット（36）の移動を規制するの
で、磁力の相互作用によるマグネット（36）のずれを防
ぐことができる。また、凹部（43）の位置をあらかじめ
磁気抵抗素子（38）（39）と位置合せした位置に設けて
おくことによって、マグネット（36）の位置合せ作業が
容易になる。

（ヘ）実施例 以下に本発明の一実施例を図面を参照して詳細に説明
する。

第１図は本発明の磁気センサの構成を示す正面断面図
で、図中（31）は筐体を示している。筐体（31）はプラ
スチックやリン青銅、しんちゅう製等の成型品であっ
て、上面に形成した開口部（31a）はベリリウム−銅製
の薄膜よりなる保護板（32）にて閉鎖されている。保護
板（32）は筐体（31）に一体にモールドされており、そ
の外面には耐摩耗性向上のために必要に応じてクロムメ
ッキが処される。

筐体（31）内にはこの保護板（32）と適当な間隔を隔
てて検出器本体（33）が配設されている。この検出器本
体（33）はセンサユニット（34）、マウント基板（35）
及びサマリウム・コバルト（Sm−Co）製のマグネット
（36）等にて構成されている。

第２図と第３図は夫々検出器本体（33）部分を示す拡
大断面図と下面図である。センサユニット（34）はフェ
ライト又はガラス製の磁性体基板（37）上に相互に電気
的に接続した磁気抵抗素子（38）（39）をエポキシ系の
接着用樹脂（40）を用いて並設したものであり、この磁
性体基板（37）はマウント基板（35）上にエポキシ系接
着用樹脂にて接着されている。マウント基板（35）はプ
ラスチック製の板状材料の表面に銅箔から成るプリント
配線と該プリント配線を裏面側に導出する為のスルーホ
ール（41）を設けたものである。マウント基板（35）上
にはセンサユニット（34）を囲み、且つ上面を磁気抵抗
素子（38）（39）よりも高くした環状スペーサ（42）が
設けられており、保護板（32）の周縁に該スペーサ（4
2）の上面を当接させて保護板（32）と磁気抵抗素子（3
8）（39）との間隔が所定値になるようにしてある。マ
ウント基板（35）の裏面にはセンサユニット（34）と対
向する位置にマグネット（36）の外形形状と合致する形
状の凹部（43）が設けられており、この凹部（43）にマ
グネット（36）の頭部を挿入するようにしてエポキシ系
接着用樹脂にて接着されている。マグネット（36）の外
形は一般的に円柱形状であり、その一磁極端面を凹部
（43）の底面に当接するように挿入してある。凹部（4
3）の深さは0.5mm程度あれば十分なので、マウント基板
（35）の板厚は1.0mm程度が適当である。マグネット（3
6）全体を凹部（43）内に埋め込むか又は半分だけ埋め
込んで残りを突出させるかはマグネット（36）の大きさ
による。

そして各磁気抵抗素子（38）（39）の電極とマウント
基板（35）上のプリント配線（44）の一端部とは金線製
の複数の導線（45）を用いて接続され、またプリント配
線（44）の他端部はマウント基板（35）の周縁部におい
てマウント基板（35）を貫通するスルーホール（41）の
一端と接続される。スルーホール（41）の他端はマウン
ト基板（35）の裏面側に導出され、マウント基板（35）
の周縁部において外部接続リード（46）が半田付けされ
る。外部接続リード（46）はそのまま下方に伸びて筐体
（31）の底面から外部に導出される。（47）は筐体（3
1）の内面側に半田付けされた筐体（31）をアースする
為のリード端子である。そして、検出器本体（33）はエ
ポキシ系の熱硬化性樹脂（48）によって筐体（31）内部
にモールドされる。

磁気センサの製造は、従来と同様にリードフレームを
用いて行う。先ず第５図と同様のリードフレーム（20）
に裏面に凹部（43）を有するマウント基板（35）を半田
付けし、マウント基板（35）上にセンサユニット（34）
をダイボンド、ワイヤボンドし、さらに環状スペーサ
（42）を接着し、そしてマウント基板（35）の凹部（4
3）にマグネット（36）を接着することによって検出器
本体（33）を組立て、この検出器本体（33）を夫々筐体
（31）内に挿入すると共にモールドして分離することに
よって個々の磁気センサを製造する。

斯る本願発明の構成によれば、マウント基板（35）に
設けた凹部（43）に嵌合するようにしてマグネット（3
6）を接着したので、マグネット（36）は凹部（43）に
動きを規制されずれることができない。その為、上記製
造工程においてもマウント基板（35）とマグネット（3
6）とを接着する樹脂が硬化するまでの間にマグネット
（36）がマグネット（36）相互間の磁力作用によりずれ
ることもない。従って、凹部（43）の形成位置とセンサ
ユニット（34）の取付予定位置とを実質的な同一軌軸
上、つまりセンサユニット（34）とマグネット（36）と
がマウント基板（35）を挾んで対向するような関係に設
けることにより、マグネット（36）を凹部（43）に挿入
するだけで磁気抵抗素子（38）（39）とマグネット（3
6）との位置合せを終了でき、しかもずれないので位置
合せに要する労力を低減できる。凹部（43）が位置合せ
を行うから、従来の位置合せパターン（22）も廃止でき
る。

（ト）発明の効果 以上に説明した通り本発明によれば、マウント基板
（35）に設けた凹部（43）に嵌合されるようにしてマグ
ネット（36）を接着したので、マグネット（36）が接着
中にずれることが無く、組立に要する労力を低減できる
利点を有する。また、凹部（43）にマグネット（36）を
装着するだけで磁気抵抗素子（38）（39）との位置合せ
が完了するので、正確な位置合せができると共に位置合
せが容易に行え製造を簡略化できる利点をも有する。そ
して正確な位置合せが行えるので、磁気センサの出力電
圧不良、抵抗バランス不良等を未然に防止し得る利点を
も有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明を説明する為の断面図、第２図と第３図
は夫々検出器本体（33）を示す拡大断面図と下面図、第
４図は従来例を説明する為の断面図、第５図は磁気セン
サのリードフレーム（20）を示す平面図である。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】磁気センサの外部接続リードを複数組連結
   したリードフレームを準備する工程と、 前記リードの先端にマウント基板を接続する工程と、 前記マウント基板の表面側にセンサユニットを、前記マ
   ウント基板の裏面側にバイアス用のマグネットを取り付
   ける工程と、 前記マウント基板を筺体内に封止する工程とを具備する
   磁気センサの製造方法であって、 前記マウント基板の裏面の磁気抵抗素子に対応する位置
   に設けた凹部に、硬化性の接着剤により前記マグネット
   を固着する工程を含み、且つ前記マウント基板は、前記
   マグネットが隣接するマグネット相互間の磁力で移動す
   る程度の間隔で前記リードフレームに固定されているこ
   とを特徴とする磁気センサの製造方法。