JPH08145788A - クロストーク防止構造を有する多素子型焦電検出器 - Google Patents

クロストーク防止構造を有する多素子型焦電検出器

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JPH08145788A
JPH08145788A JP30978794A JP30978794A JPH08145788A JP H08145788 A JPH08145788 A JP H08145788A JP 30978794 A JP30978794 A JP 30978794A JP 30978794 A JP30978794 A JP 30978794A JP H08145788 A JPH08145788 A JP H08145788A
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JP
Japan
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pyroelectric
package
bodies
detector
shielding plate
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Application number
JP30978794A
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English (en)
Inventor
Kazutaka Okamoto
一隆 岡本
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Horiba Ltd
Original Assignee
Horiba Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 クロストークの発生を防止して分析精度の向
上を図った多素子型焦電検出器を提供する。 【構成】 パッケージ8内に焦電体11,12とFET
41,42と高抵抗51,52とをそれぞれ複数組設け
てなる多素子型焦電検出器1にあって、焦電体11,1
2が設けられる回路基板3と、パッケージ8の開口8a
に嵌装される窓材91,92との間の空間に遮光板10
を立設し、焦電体11,12毎に占有空間を光学的に分
離させている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はクロストーク防止構造を
有する多素子型焦電検出器に関する。
【0002】
【従来の技術】図6および図7は、従来の2系統の赤外
検出回路を設けた2素子の焦電検出器1の構成を示し、
11,12は焦電体で、それぞれ支持台21,22を介
して回路基板3に固定されている。41,42はFET
(焦電効果トランジスタ)、51,52は高抵抗で、そ
れぞれ一方の焦電体11と、他方の焦電体12に接続さ
れて2系統の赤外検出回路が構成されている。
【0003】61,62はステム7に貫装されたリード
端子で、回路基板3をステム7の上方に間隔をおいて支
持している。8はパッケージ、91,92はそのパッケ
ージ8の開口に嵌装された窓材で、そのパッケージ8の
基部はステム7の周縁に密着固定され、パッケージ8の
内部が気密状態に封止されている。なお、図示は省略す
るが、焦電検出器1の前方には、検出ガスの特定波長の
赤外線を選択して透過させる2種のバンドパスフィルタ
が、窓材91,92と対応して設けられている。また、
図7の11a,12aは焦電体11,12に被着形成さ
れた電極である。
【0004】このような構成により、2種の異なる波長
の赤外線の検出が可能であり、バンドパスフィルタによ
って2種の波長に分離された赤外線hν1,hν2がそ
れぞれ窓材91,92を透過して検出器内の空間を経て
焦電体11,12にそれぞれ入射し、リード端子61,
62からそれぞれの信号が出力され、各波長の赤外線量
が検出される。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかるに、窓材91,
92と焦電体11,12との間には、数ミリメートル程
度の間隔の空間が存在するため、一方の赤外線hν1が
他方の焦電体12に、他方の赤外線hν2が一方の焦電
体11に、それぞれ斜めに入射していわゆるクロストー
クと称される干渉が発生し、正確な出力が得られず分析
精度が低下することがあった。
【0006】上述した焦電検出器1では、窓材91,9
2が、例えばサファイアやフッ化カルシウム等の波長選
択性のない赤外線透過材料よりなるが、たとえその窓材
91,92にバンドパスフィルタを使用した場合にもこ
のようなクロストークの発生を免れることはできない。
【0007】また、測定ガス成分数の増加に対処すべ
く、検出器当りの素子数を増加すればクロストークの影
響がより複雑なものとなるため、分析精度の低下も甚だ
しくなっていた。
【0008】本発明はこのような実情に鑑みてなされ、
クロストークの発生を防止して分析精度の向上を図った
多素子型焦電検出器を提供することを目的としている。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明は、上述の課題を
解決するための手段を以下のように構成している。すな
わち、請求項1に記載の発明では、パッケージ内に焦電
体とFETと高抵抗とをそれぞれ複数組設けてなる多素
子型焦電検出器にあって、前記焦電体が設けられる回路
基板と、前記パッケージの開口に嵌装される窓材との間
の空間に遮光板を立設し、前記各焦電体毎に占有空間を
光学的に分離させてなることを特徴としている。
【0010】請求項2に記載の発明では、請求項1に記
載の発明における前記窓材との接合部における前記遮光
板の両側面に、それぞれ前記窓材の端部を当接接合さ
せ、前記遮光板の接合部を前記窓材に貫装させてなるこ
とを特徴としている。
【0011】
【作用】請求項1に記載の発明では、遮光板により、各
焦電体毎の占有空間が光学的に分離されていることによ
り、各窓材を透過した赤外線が対応する各焦電体にのみ
入射し、他の焦電体への斜め入射が防止される。
【0012】請求項2に記載の発明では、遮光板の接合
部が窓材に貫装されていることにより、遮光効果を確実
なものにすることができる。
【0013】
【実施例】以下に本発明のクロストーク防止構造を有す
る多素子型焦電検出器の実施例を図面に基づいて詳細に
説明する。図1は焦電検出器1の縦断面図、図2はその
平面図、図3は図1の部分拡大図、図4は図2のX−X
線矢視における部分断面図で、これらの図において、符
号11,12は焦電体、11a,12aは各焦電体1
1,12の表面に被着された電極で、各焦電体11,1
2はそれぞれ支持台21,22を介して回路基板3に固
定されている。41,42はFET、51,52は高抵
抗で、それぞれ一方の焦電体11と、他方の焦電体12
に接続されて2系統の赤外検出回路が構成されている。
【0014】61,62はステム7に貫装されたリード
端子で、回路基板3をステム7の上方に間隔をおいて支
持している。8はパッケージ、91,92はそのパッケ
ージ8に開設された開口8aに嵌装された赤外透過材料
よりなる窓材で、そのパッケージ8の基部はステム7の
周縁に密着固定され、パッケージ8の内部が気密状態に
封止されている。
【0015】10は両焦電体11,12間に立設される
遮光板で、金属の薄板等の赤外遮断材料よりなり、その
上端縁の接合部10aの両側に、両窓材91,92の端
部を当接させて接着材等によってその接合部10aが両
窓材91,92間に貫装一体化され、かつその接合部1
0aの両側から側部にかけてパッケージ8の内面に接合
され、その下端を回路基板3の上面に刻設した溝3a内
に嵌入させている。なお、遮光板10の材質は、赤外線
を吸収させるものであっても、反射させるものであって
もよく、また、金属であっても非金属であってもよい。
【0016】このように、各焦電体11,12毎に占有
空間を光学的に分離独立させたので、一方の窓材91か
ら入射した赤外線hν1を一方の焦電体11にのみ、他
方の窓材92から入射した赤外線hν2を他方の焦電体
12にのみそれぞれ入射させることができ、一方の赤外
線hν1が他方の焦電体12に、また、他方の赤外線h
ν2が一方の焦電体11に、斜め入射するのが完全に防
止され(図3参照)、いわゆるクロストークの発生をき
わめて効果的に阻止することができ、分析精度が格段に
向上する。なお、検出器単体での出力レベルで遮光板1
0の効果を確認したところ、干渉影響を1/10に低減
することができた。
【0017】遮光板10と窓材91,92の接合媒体と
してハンダを使用するのが好ましいが、窓材91,92
の接合端部には予めハンダ付け可能な金属膜を被着形成
してぬれ性を確保しておくと接合性が向上する。また、
パッケージ8と遮光板10もハンダ付け可能な金属材を
用いるか、表面処理を施しておくかすることにより、接
合性が良好となり、かつ充分な気密性も得られる。ま
た、接合方法としては、樹脂による接着であってもよ
い。なお、その接合部10aの上端は両窓材91,92
よりも外方に突出していてもよいことはいうまでもな
い。
【0018】図5は焦電検出器1内に4系統の赤外検出
回路を設けた4素子検出器で、4種の波長の赤外線の検
出が可能なものである。この場合、遮光板10を平面視
で十文字状に形成して窓材91〜94を4分割し、それ
ぞれ4つの焦電体11〜14に占有空間を形成してい
る。
【0019】また、図示は省略するが、焦電体11〜が
1列に配置される場合には遮光板10,…を各焦電体1
1〜を仕切るように平行に配置してもよい。さらに、焦
電体11〜の電極11a〜の極性を互いに逆極に接続し
てなる温度補償型のデュアルタイプの集合で多素子型の
焦電検出器を構成してもよいことはいうまでもない。
【0020】
【発明の効果】以上説明したように、請求項1に記載の
発明では、複数の焦電体が設けられる回路基板と、パッ
ケージの開口に嵌装された窓材との間の空間に遮光板を
立設し、各焦電体毎に占有空間を光学的に分離させたの
で、各窓材を透過した赤外線が対応する各焦電体にのみ
入射し、他の焦電体への斜め入射が防止され、クロスト
ークによる干渉影響の発生を著しく低減することがで
き、分析精度が向上する。
【0021】請求項2に記載の発明では、窓材との接合
部における遮光板を窓材から突出させているので、遮光
効果が確実なものとなり、クロストークによる干渉影響
を顕著に低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のクロストーク防止構造を有する多素子
型焦電検出器の実施例を示す縦断面図である。
【図2】同平面図である。
【図3】同遮光板と窓材との接合部の拡大図である。
【図4】図2のX−X線矢視断面図である。
【図5】4系統の赤外検出回路を設けた焦電検出器の平
面図である。
【図6】従来の2素子の焦電検出器の縦断面図である。
【図7】同平面図である。
【符号の説明】
1…焦電検出器、11,12,13,14…焦電体、3
…回路基板、41,42…FET、51,52…高抵
抗、8…パッケージ、91,92,93,94…窓材、
10…遮光板。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 パッケージ内に焦電体とFETと高抵抗
    とをそれぞれ複数組設けてなる多素子型焦電検出器にお
    いて、前記焦電体が設けられる回路基板と、前記パッケ
    ージの開口に嵌装される窓材との間の空間に遮光板を立
    設し、前記各焦電体毎に占有空間を光学的に分離させて
    なることを特徴とするクロストーク防止構造を有する多
    素子型焦電検出器。
  2. 【請求項2】 前記窓材との接合部における前記遮光板
    の両側面に、それぞれ前記窓材の端部を当接接合させ、
    前記遮光板の接合部を前記窓材に貫装させてなることを
    特徴とする請求項1に記載のクロストーク防止構造を有
    する多素子型焦電検出器。
JP30978794A 1994-11-19 1994-11-19 クロストーク防止構造を有する多素子型焦電検出器 Pending JPH08145788A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006337345A (ja) * 2005-06-06 2006-12-14 Nippon Ceramic Co Ltd 非接触型温度検出器
WO2013099799A1 (ja) * 2011-12-28 2013-07-04 パナソニック株式会社 赤外線検出器
US8901480B2 (en) 2010-09-10 2014-12-02 Denso Corporation Optical sensor having a blocking film disposed over light receiving elements on a semiconductor substrate via a light transparent film for detecting an incident angle of light

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