JPH08141490A - コーティング方法 - Google Patents
コーティング方法Info
- Publication number
- JPH08141490A JPH08141490A JP29102194A JP29102194A JPH08141490A JP H08141490 A JPH08141490 A JP H08141490A JP 29102194 A JP29102194 A JP 29102194A JP 29102194 A JP29102194 A JP 29102194A JP H08141490 A JPH08141490 A JP H08141490A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coating
- substrate
- roll
- coater
- plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】多くの塗布装置で、基板全面に完全に塗布でき
ず、基板外周部のパターン形成において生じていた不具
合を解決する。 【構成】平滑な基板上の全面に感光性樹脂等をコートす
る方法において、まず基板中央部の主要パターン領域を
コートし、引き続いて基板外周部の端面近傍のみをコー
トすることにより、完全に基板上の全領域をコートす
る。
ず、基板外周部のパターン形成において生じていた不具
合を解決する。 【構成】平滑な基板上の全面に感光性樹脂等をコートす
る方法において、まず基板中央部の主要パターン領域を
コートし、引き続いて基板外周部の端面近傍のみをコー
トすることにより、完全に基板上の全領域をコートす
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ガラス板やシリコンウ
エハー等の板状物表面に対して感光性樹脂等の塗布膜を
形成するコーティング方法に関する。
エハー等の板状物表面に対して感光性樹脂等の塗布膜を
形成するコーティング方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】ガラス板やシリコンウエハー等の板状物
の表面に対して、塗布量の低減や塗布膜の均一性を向上
する目的で、スピンコート以外のコーティング方法が開
発されてきており、様々な公知のコーティング方法があ
る。これらの方法のうち、カーテンコート方式は、搬送
ステージを用いて板状物を移送しながら、約30μｍ幅の
スリットからカーテン状に塗布液を流下して塗布する方
法であり、また、裏面コートのために反転機構を用いる
コート方式もある。これらの方法では、基板側面や非コ
ート面の塗布液による汚染、もしくは搬送ステージ等の
コート対象物の支持具、反転機構の端面支持具等の汚染
を防ぐために、基板の端部一杯まで塗布できず、外周部
に約２〜10mmの非塗布部分ができるものであった。この
ため、板状物基板の外周部のアクセサリーパターン（位
置合わせマーク等）が形成できなかったり、基板外周部
のパターン形状が乱れるなどの問題が起こっていた。
の表面に対して、塗布量の低減や塗布膜の均一性を向上
する目的で、スピンコート以外のコーティング方法が開
発されてきており、様々な公知のコーティング方法があ
る。これらの方法のうち、カーテンコート方式は、搬送
ステージを用いて板状物を移送しながら、約30μｍ幅の
スリットからカーテン状に塗布液を流下して塗布する方
法であり、また、裏面コートのために反転機構を用いる
コート方式もある。これらの方法では、基板側面や非コ
ート面の塗布液による汚染、もしくは搬送ステージ等の
コート対象物の支持具、反転機構の端面支持具等の汚染
を防ぐために、基板の端部一杯まで塗布できず、外周部
に約２〜10mmの非塗布部分ができるものであった。この
ため、板状物基板の外周部のアクセサリーパターン（位
置合わせマーク等）が形成できなかったり、基板外周部
のパターン形状が乱れるなどの問題が起こっていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記のよう
な不具合を無くし、板状物の外周部を含む全領域をコー
トできるコーティング方法を提供しようとするものであ
る。
な不具合を無くし、板状物の外周部を含む全領域をコー
トできるコーティング方法を提供しようとするものであ
る。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、板状物上の全
面に塗布膜を形成するコーティング方法において、板状
物を水平方向の移送状態に保ち、板状物中央部の主要パ
ターン領域をコートし、引き続いて板状物の外周部の端
面近傍をロールコート方式を用いてコートすることによ
り、完全に基板上の全領域をコートすることを特徴とす
るコーティング方法である。
面に塗布膜を形成するコーティング方法において、板状
物を水平方向の移送状態に保ち、板状物中央部の主要パ
ターン領域をコートし、引き続いて板状物の外周部の端
面近傍をロールコート方式を用いてコートすることによ
り、完全に基板上の全領域をコートすることを特徴とす
るコーティング方法である。
【０００５】具体的には、図１（イ）〜（ハ）に示すご
とく、まず基板１の上から、主要パターン領域をコート
するコーターＡにてコーティングする。このコーターＡ
の方式としては、マイクロロッドバー方式、ラミネート
方式、ダイコート方式、カーテン（ファウンテン）コー
ト方式などがある。次いで、このコーターＡの後に設置
した、基板の左右外周部のみをコートするためのコータ
ーＢにて基板端面をコートすることにより、基板上の全
領域をコートする。
とく、まず基板１の上から、主要パターン領域をコート
するコーターＡにてコーティングする。このコーターＡ
の方式としては、マイクロロッドバー方式、ラミネート
方式、ダイコート方式、カーテン（ファウンテン）コー
ト方式などがある。次いで、このコーターＡの後に設置
した、基板の左右外周部のみをコートするためのコータ
ーＢにて基板端面をコートすることにより、基板上の全
領域をコートする。
【０００６】このコーターＢとしては、図２に示す如
く、ロールコーターを用いるのが適当である。これは、
コーター表面の基板端部より外にはみでた部分が基板側
面や搬送ステージ等不要な部分に付着することがなく汚
染が少ないこと、メタル製の円盤部５とゴム製の外周リ
ング部４よりなるロールを２辺を平坦にした軸７にイモ
ネジ６で固定した構造のため左右の移動による位置調節
が簡単であること、並びにロールコーターの特性として
処理速度が速いこと等の理由による。
く、ロールコーターを用いるのが適当である。これは、
コーター表面の基板端部より外にはみでた部分が基板側
面や搬送ステージ等不要な部分に付着することがなく汚
染が少ないこと、メタル製の円盤部５とゴム製の外周リ
ング部４よりなるロールを２辺を平坦にした軸７にイモ
ネジ６で固定した構造のため左右の移動による位置調節
が簡単であること、並びにロールコーターの特性として
処理速度が速いこと等の理由による。
【０００７】
【作用】基板全面をコーティングできない塗布装置でコ
ートしたのち、基板端面を専用装置でコートすることに
より、基板上の全領域をコートすることで、基板外周部
のパターン形状を良好に形成できる。また、端部塗布用
のロールコーターは位置調節が簡単で、処理速度も速
い。
ートしたのち、基板端面を専用装置でコートすることに
より、基板上の全領域をコートすることで、基板外周部
のパターン形状を良好に形成できる。また、端部塗布用
のロールコーターは位置調節が簡単で、処理速度も速
い。
【０００８】
【実施例】本発明による一実施例を図面に沿って説明す
る。カラーフィルターを透明基板上に形成する際、感光
性着色透明樹脂を塗布形成する工程においてはまず、図
３に示すようにステージ８上に戴置された基板１にコー
ターＡ、例えば平田機工（株）製、スロットコート方式
の「αコーター」（商品名）によりレジスト２をコート
する。ここでは有効画素面を含む主領域が塗布される。
次いで、図４に示すように送風乾燥機９により塗布済み
の基板１を送風乾燥する。
る。カラーフィルターを透明基板上に形成する際、感光
性着色透明樹脂を塗布形成する工程においてはまず、図
３に示すようにステージ８上に戴置された基板１にコー
ターＡ、例えば平田機工（株）製、スロットコート方式
の「αコーター」（商品名）によりレジスト２をコート
する。ここでは有効画素面を含む主領域が塗布される。
次いで、図４に示すように送風乾燥機９により塗布済み
の基板１を送風乾燥する。
【０００９】引き続き、図５に示すようにロールコータ
ーＢにより、コーターＡで用いたのと同じレジスト２′
を用いてコートする。ここではコーターＡによっては塗
布できなかった基板１の端面近傍の領域のみをコートす
る。ロールコーターＢの塗布プロセスは次の如くであ
る。まず、レジスト２′は、メタルロール１２とスキー
ジ１４の間に滴下される。メタルロール１２に載ったレ
ジスト２は、ゴムロール１３に逆転転写され、ゴムロー
ル１３から基板１へ正転転写される。ここで転写されな
かったレジスト２′はメタルロール１２に逆転転写さ
れ、ドクター１５で掻き取られ、回収パン１６に回収さ
れる。以上の如くにして基板１上の全領域にレジスト２
が完全に塗布形成された。
ーＢにより、コーターＡで用いたのと同じレジスト２′
を用いてコートする。ここではコーターＡによっては塗
布できなかった基板１の端面近傍の領域のみをコートす
る。ロールコーターＢの塗布プロセスは次の如くであ
る。まず、レジスト２′は、メタルロール１２とスキー
ジ１４の間に滴下される。メタルロール１２に載ったレ
ジスト２は、ゴムロール１３に逆転転写され、ゴムロー
ル１３から基板１へ正転転写される。ここで転写されな
かったレジスト２′はメタルロール１２に逆転転写さ
れ、ドクター１５で掻き取られ、回収パン１６に回収さ
れる。以上の如くにして基板１上の全領域にレジスト２
が完全に塗布形成された。
【００１０】
【発明の効果】基板全面を完全にコートできない従来の
装置の欠点を、比較的簡易で安価な補助装置を付加する
ことで、完全な塗布を実現できる。また、端部塗装用の
ロールコーターは板状物側面や搬送ステージ等不要部分
に塗布液を付着し汚染することがなく、位置調節も容易
である。さらには、工程ラインを切らず１ライン上で処
理できるので処理速度を落とさず効率的に処理できる。
装置の欠点を、比較的簡易で安価な補助装置を付加する
ことで、完全な塗布を実現できる。また、端部塗装用の
ロールコーターは板状物側面や搬送ステージ等不要部分
に塗布液を付着し汚染することがなく、位置調節も容易
である。さらには、工程ラインを切らず１ライン上で処
理できるので処理速度を落とさず効率的に処理できる。
【００１１】
【図面の簡単な説明】
【図１】（イ）〜（ハ）は、本発明による塗布工程を工
程順に示した説明図である。
程順に示した説明図である。
【図２】図１の方向ａから見たロールコーターＢの拡大
図である。
図である。
【図３】本発明による塗布工程の一部を示す説明図であ
る。
る。
【図４】本発明による塗布工程の一部を示す説明図であ
る。
る。
【図５】本発明による塗布工程の一部を示す説明図であ
る。
る。
１ 基板 ２、２′ レジスト ３ 塗布ロール ４ 外周リング部 ５ 円盤部 ６ イモネジ ７ 軸 ８ ステージ ９ 乾燥機 １０ 支持ローラー １１ 抑えロール １２ メタルロール １３ ゴムロール １４ スキージ １５ ドクター １６ 回収パン Ａ コーター Ｂ ロールコーター
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/027
Claims (1)
- 【請求項１】板状物上の全面に塗布膜を形成するコーテ
ィング方法において、板状物を水平方向の移送状態に保
ち、板状物中央部の主要パターン領域をコートし、引き
続いて板状物の外周部の端面近傍をロールコート方式を
用いてコートすることにより、完全に基板上の全領域を
コートすることを特徴とするコーティング方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29102194A JPH08141490A (ja) | 1994-11-25 | 1994-11-25 | コーティング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29102194A JPH08141490A (ja) | 1994-11-25 | 1994-11-25 | コーティング方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08141490A true JPH08141490A (ja) | 1996-06-04 |
Family
ID=17763433
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29102194A Pending JPH08141490A (ja) | 1994-11-25 | 1994-11-25 | コーティング方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08141490A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104226535A (zh) * | 2013-06-21 | 2014-12-24 | 株式会社埃纳科技 | 涂敷装置及涂敷方法 |
-
1994
- 1994-11-25 JP JP29102194A patent/JPH08141490A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104226535A (zh) * | 2013-06-21 | 2014-12-24 | 株式会社埃纳科技 | 涂敷装置及涂敷方法 |
| CN104226535B (zh) * | 2013-06-21 | 2017-08-11 | 株式会社埃纳科技 | 涂敷装置及涂敷方法 |
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