JPH08139124A - ボンディング装置 - Google Patents
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 クラブボール不良や金属細線突出不足による
不良を事前に検出し、これらの不良発生を未然に防ぐこ
とができるようにすることを目的とする。 【構成】 キャピラリ２の先端からの金属細線１の突出
状態を、トーチポジションにおいて水平方向から高速視
覚センサーを用いて画像認識を行うようにすることによ
り、次のステップの１ｓｔボンドの不良を察知し、ボン
ディング装置の動作をストップさせたり、またはステボ
ンドを自動で行うようにすることにより、１ｓｔボンド
不良の発生を未然に防ぐことができるようにする。
不良を事前に検出し、これらの不良発生を未然に防ぐこ
とができるようにすることを目的とする。 【構成】 キャピラリ２の先端からの金属細線１の突出
状態を、トーチポジションにおいて水平方向から高速視
覚センサーを用いて画像認識を行うようにすることによ
り、次のステップの１ｓｔボンドの不良を察知し、ボン
ディング装置の動作をストップさせたり、またはステボ
ンドを自動で行うようにすることにより、１ｓｔボンド
不良の発生を未然に防ぐことができるようにする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はボンディング装置に関す
る。
る。
【０００２】
【従来の技術】従来のワイヤボンディング装置において
も、画像認識による自動検査は色々と試みられている。
例えば、ボンディングされたバンプの形状を画像認識に
より判定するものとして、特開平１−８４７３１号公報
にて提案されている「ワイヤボンディング方法および装
置」や、特開平２−１２９３２号公報にて提案されてい
る「ワイヤボンディング装置」等がある。
も、画像認識による自動検査は色々と試みられている。
例えば、ボンディングされたバンプの形状を画像認識に
より判定するものとして、特開平１−８４７３１号公報
にて提案されている「ワイヤボンディング方法および装
置」や、特開平２−１２９３２号公報にて提案されてい
る「ワイヤボンディング装置」等がある。
【０００３】また、ボールボンディング時のボールの形
成に関しては、特開平６−５６５０号公報に記載されて
いる発明のように、放電によって形成されたワイヤ先端
のボールをカメラで撮像し、前記ボールの直径を求め
る。そして、上記求めたボールの先端部の直径が予め記
憶された直径に一致するように放電電流、時間、ワイヤ
突出長の少なくとも１つを制御することにより、均一な
ボールを形成するようにしているものがある。
成に関しては、特開平６−５６５０号公報に記載されて
いる発明のように、放電によって形成されたワイヤ先端
のボールをカメラで撮像し、前記ボールの直径を求め
る。そして、上記求めたボールの先端部の直径が予め記
憶された直径に一致するように放電電流、時間、ワイヤ
突出長の少なくとも１つを制御することにより、均一な
ボールを形成するようにしているものがある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来のボール
の形成方法は、いずれもワイヤボンドを形成した後の検
査だったので、ワイヤボンド作業工程中にモニタを行
い、不良の発生自体を未然に防ぐことは不可能であっ
た。
の形成方法は、いずれもワイヤボンドを形成した後の検
査だったので、ワイヤボンド作業工程中にモニタを行
い、不良の発生自体を未然に防ぐことは不可能であっ
た。
【０００５】また、従来方法の検査対象はワイヤループ
形状やボンディング位置であったので、特性試験ではチ
ェックすることができず、信頼性面では問題となるクラ
ブボール不良（ボールボンダ：ネック切れ不良の原因）
や、金属細線の突出量不足等を検出することは困難であ
った。
形状やボンディング位置であったので、特性試験ではチ
ェックすることができず、信頼性面では問題となるクラ
ブボール不良（ボールボンダ：ネック切れ不良の原因）
や、金属細線の突出量不足等を検出することは困難であ
った。
【０００６】さらに、従来は画像データ収集の手段とし
てＴＶカメラを用いているので、１画像の撮像に３３ｍ
ｓの時間が必要であった。しかも、画像データ収集はス
キャン方式なので、被写体が完全に静止していなければ
ならず、これが実用化の障害となっていた。
てＴＶカメラを用いているので、１画像の撮像に３３ｍ
ｓの時間が必要であった。しかも、画像データ収集はス
キャン方式なので、被写体が完全に静止していなければ
ならず、これが実用化の障害となっていた。
【０００７】そこで本発明は、クラブボール不良や金属
細線突出不足不良を事前に検出し、これらの不良発生を
未然に防ぐようにすることを目的とする。
細線突出不足不良を事前に検出し、これらの不良発生を
未然に防ぐようにすることを目的とする。
【０００８】また、本発明の他の目的とするところは、
ワイヤボンディング装置のマシンタクトを落とすことな
く、不良発生を未然に防ぐことができるようにすること
を目的とする。
ワイヤボンディング装置のマシンタクトを落とすことな
く、不良発生を未然に防ぐことができるようにすること
を目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明のボンディング装
置は、ボンディングワイヤを搬送するためのキャピラリ
と、前記キャピラリを放電トーチ電極を備えたトーチポ
ジションに移動させるための移動機構と、前記放電トー
チ電極と前記ボンディングワイヤの先端との間に放電を
起こさせるための電源手段と、前記トーチポジションに
設置され、前記キャピラリから突出したボンディングワ
イヤの先端を撮像するための撮像手段と、前記撮像手段
によって撮像されたボンディングワイヤの先端の２値化
画像と基準画像の２値化画像とを比較するための比較手
段とを備え、放電前、放電後のうち、少なくとも何方か
を前記撮像手段によってボンディングワイヤの先端を撮
像し、前記比較手段によって比較を行うことを特徴とす
る。
置は、ボンディングワイヤを搬送するためのキャピラリ
と、前記キャピラリを放電トーチ電極を備えたトーチポ
ジションに移動させるための移動機構と、前記放電トー
チ電極と前記ボンディングワイヤの先端との間に放電を
起こさせるための電源手段と、前記トーチポジションに
設置され、前記キャピラリから突出したボンディングワ
イヤの先端を撮像するための撮像手段と、前記撮像手段
によって撮像されたボンディングワイヤの先端の２値化
画像と基準画像の２値化画像とを比較するための比較手
段とを備え、放電前、放電後のうち、少なくとも何方か
を前記撮像手段によってボンディングワイヤの先端を撮
像し、前記比較手段によって比較を行うことを特徴とす
る。
【００１０】また、本発明の他の特徴によれば、前記撮
像手段は複数の撮像素子がマトリクス状に配置され、前
記撮像素子の出力を少なくとも２つ以上並行して出力可
能であることを特徴とする。
像手段は複数の撮像素子がマトリクス状に配置され、前
記撮像素子の出力を少なくとも２つ以上並行して出力可
能であることを特徴とする。
【００１１】また、本発明のその他の特徴とするところ
は、前記比較手段は、前記各撮像素子毎の基準画像の２
値化データと、前記各撮像素子の撮像データとの比較を
同時に並行して行う複数の比較演算手段を備えているこ
とを特徴とする。
は、前記比較手段は、前記各撮像素子毎の基準画像の２
値化データと、前記各撮像素子の撮像データとの比較を
同時に並行して行う複数の比較演算手段を備えているこ
とを特徴とする。
【００１２】
【作用】本発明は前記技術手段よりなるので、ボンディ
ング装置をボールボンダとして使用する場合は、移動機
構によってトーチポジションに移動されたキャピラリか
ら突出しているボンディングワイヤの金属細線が、水平
方向からボール形成直前と直後に撮像手段にて撮像され
て２値化画像が得られる。そして、このようにして得ら
れた２値化画像が比較手段によって基準画像の２値化画
像と比較され、クラブボール不良やボール径異常等の不
良が発生しているか否かが判定される。
ング装置をボールボンダとして使用する場合は、移動機
構によってトーチポジションに移動されたキャピラリか
ら突出しているボンディングワイヤの金属細線が、水平
方向からボール形成直前と直後に撮像手段にて撮像され
て２値化画像が得られる。そして、このようにして得ら
れた２値化画像が比較手段によって基準画像の２値化画
像と比較され、クラブボール不良やボール径異常等の不
良が発生しているか否かが判定される。
【００１３】また、本発明のボンディング装置をウエッ
ジボンダとして使用する場合は、２ｎｄボンド終了後か
ら次ステップの１ｓｔボンド開始までの任意のタイミン
グで、ボンディングツールのキャピラリから突出してい
るボンディングワイヤの金属細線が、水平方向から撮像
手段にて撮像され２値化画像が得られる。前記２値化画
像は、比較手段によって基準画像の２値化画像と比較さ
れ、クラブボール不良やボール径異常等の不良が発生し
ているか否かが判定される。
ジボンダとして使用する場合は、２ｎｄボンド終了後か
ら次ステップの１ｓｔボンド開始までの任意のタイミン
グで、ボンディングツールのキャピラリから突出してい
るボンディングワイヤの金属細線が、水平方向から撮像
手段にて撮像され２値化画像が得られる。前記２値化画
像は、比較手段によって基準画像の２値化画像と比較さ
れ、クラブボール不良やボール径異常等の不良が発生し
ているか否かが判定される。
【００１４】また、撮像手段として、複数の画素からの
出力と基準画像の２値化データの比較とを同時に並行し
て行うことが可能な高速視覚センサーを用いることによ
り、ワイヤボンディング装置のタクトタイムのロスを防
ぐことが可能となり、より品質の高いワイヤボンディン
グ装置を供給することができるようになる。
出力と基準画像の２値化データの比較とを同時に並行し
て行うことが可能な高速視覚センサーを用いることによ
り、ワイヤボンディング装置のタクトタイムのロスを防
ぐことが可能となり、より品質の高いワイヤボンディン
グ装置を供給することができるようになる。
【００１５】
【実施例】以下、本発明のボンディング装置の一実施例
を図面を参照して説明する。図１に、本実施例のワイヤ
ボンディング装置の概略構成図を示す。図１に示したよ
うに、本実施例のボンディング装置は、ワイヤーリール
９に巻かれた金属細線１がキャピラリ２によって半導体
ペレット１２またはリードフレーム１４に圧着される構
成になっている。
を図面を参照して説明する。図１に、本実施例のワイヤ
ボンディング装置の概略構成図を示す。図１に示したよ
うに、本実施例のボンディング装置は、ワイヤーリール
９に巻かれた金属細線１がキャピラリ２によって半導体
ペレット１２またはリードフレーム１４に圧着される構
成になっている。
【００１６】また、キャピラリ２に対向して金属細線１
の先端にボールを形成するための放電を起こさせるため
のトーチ電極３が配置されている。このトーチ電極３に
は、電源手段である放電用電源１０が接続されている。
の先端にボールを形成するための放電を起こさせるため
のトーチ電極３が配置されている。このトーチ電極３に
は、電源手段である放電用電源１０が接続されている。
【００１７】また、放電用電源１０の他の電源端子は金
属細線１に導通するように、不図示の線によって配線さ
れている。本実施例のワイヤボンディング装置本体１３
にはクラブボール不良やボール径異常等の不良が発生し
た場合に警報を発生する表示部１６が設けられている。
属細線１に導通するように、不図示の線によって配線さ
れている。本実施例のワイヤボンディング装置本体１３
にはクラブボール不良やボール径異常等の不良が発生し
た場合に警報を発生する表示部１６が設けられている。
【００１８】また、キャピラリ２に対向して撮像装置１
１が配置され、撮像装置１１からの信号はワイヤボンデ
ィング装置本体１３内に設けられている信号処理部１５
に供給され、更に、表示部１６に信号処理部１５の処理
結果が伝送される。
１が配置され、撮像装置１１からの信号はワイヤボンデ
ィング装置本体１３内に設けられている信号処理部１５
に供給され、更に、表示部１６に信号処理部１５の処理
結果が伝送される。
【００１９】撮像装置１１および信号処理部１５は、例
えば、特開昭６２−２４７４７２号等によって知られる
高速視覚センサーである。図５に、高速視覚センサーの
概略回路構成を示す。
えば、特開昭６２−２４７４７２号等によって知られる
高速視覚センサーである。図５に、高速視覚センサーの
概略回路構成を示す。
【００２０】図５に示すように、撮像装置１１の先端に
取り付けられたレンズを介して入力された光は複数のセ
ンサ素子５ａがマトリクス状に配置されたセンサレイヤ
５に入力される。
取り付けられたレンズを介して入力された光は複数のセ
ンサ素子５ａがマトリクス状に配置されたセンサレイヤ
５に入力される。
【００２１】本実施例のセンサレイヤ５のセンサは、通
常のフォトダイオード等で構成されている。また、セン
サ素子５ａの出力は装置Ａ／Ｄ変換レイヤ６のＡ／Ｄ変
換器６ａに入力され２値化される。
常のフォトダイオード等で構成されている。また、セン
サ素子５ａの出力は装置Ａ／Ｄ変換レイヤ６のＡ／Ｄ変
換器６ａに入力され２値化される。
【００２２】そして、２値化されたデータはレジスタレ
イヤ７のレジスタ７ａにそれぞれ一旦記憶され、演算レ
イヤ８の演算素子８ａに供給される。また、演算レイヤ
８に設けられているレジスタ８ｂには、基準画像のパタ
ーンに応じた“０”または“１”のデータが予め記憶さ
れており、演算素子８ａはレジスタ７ａからのデータと
レジスタ８ｂからのデータが一致する場合には“１”を
出力し、不一致の場合には“０”を出力する。
イヤ７のレジスタ７ａにそれぞれ一旦記憶され、演算レ
イヤ８の演算素子８ａに供給される。また、演算レイヤ
８に設けられているレジスタ８ｂには、基準画像のパタ
ーンに応じた“０”または“１”のデータが予め記憶さ
れており、演算素子８ａはレジスタ７ａからのデータと
レジスタ８ｂからのデータが一致する場合には“１”を
出力し、不一致の場合には“０”を出力する。
【００２３】各演算素子８ａからの判定結果は、総合判
定回路１９に供給され、例えば“０”の数Ｎをカウント
することにより、不一致の数が一定値以内であれば正し
い形状の金属細線形状、またはボール形状であると判断
する。
定回路１９に供給され、例えば“０”の数Ｎをカウント
することにより、不一致の数が一定値以内であれば正し
い形状の金属細線形状、またはボール形状であると判断
する。
【００２４】また、精度をもっと高めるのであれば、信
号線８ｃ，８ｄ，８ｅ，・・・毎（即ち、水平の画素毎
１ライン分毎）の許容誤差を定め、それとの比較を行う
ようにすることもできる。
号線８ｃ，８ｄ，８ｅ，・・・毎（即ち、水平の画素毎
１ライン分毎）の許容誤差を定め、それとの比較を行う
ようにすることもできる。
【００２５】なお、図５の回路は、簡略化のため簡単に
示してあるが、特開昭６２−２４７４７２号に記載の装
置や平成４年６月に行われた「並列処理シンポジウムＪ
ＳＰＰ’９２」において、東京大学の石川正俊氏らによ
って発表された「光入出力を有する超並列演算処理機
構」と題する論文に記載の装置を用いれば、もっと複雑
なパターンマッチングを超高速に行うこともできる。
示してあるが、特開昭６２−２４７４７２号に記載の装
置や平成４年６月に行われた「並列処理シンポジウムＪ
ＳＰＰ’９２」において、東京大学の石川正俊氏らによ
って発表された「光入出力を有する超並列演算処理機
構」と題する論文に記載の装置を用いれば、もっと複雑
なパターンマッチングを超高速に行うこともできる。
【００２６】例えば、入力画像の重心を求め、基準画像
との偏心を求めたり、ボール形成前の金属細線の方向
（ベクトル）を求めることにより、図２に点線で示すよ
うにキャピラリの２先端で、金属細線１がキャピラリ２
の軸心方向からずれている場合を検出できる。
との偏心を求めたり、ボール形成前の金属細線の方向
（ベクトル）を求めることにより、図２に点線で示すよ
うにキャピラリの２先端で、金属細線１がキャピラリ２
の軸心方向からずれている場合を検出できる。
【００２７】図２は、本実施例の概念図（ボール形成直
前）であり、トーチポジションにいるキャピラリ２を撮
像した様子を示しており、１は金属細線、２はキャピラ
リ、３はトーチ電極である。図２において、前記金属細
線１はボール形成に適正な状態（突出長Ｌ，形状）を示
すが、トーチエネルギー等のようなボール径を決定する
たのファクターが一定でも、突出長Ｌが長すぎるとボー
ル径は大きくなり、また、その反対に短すぎるとボール
径は小さくなる。
前）であり、トーチポジションにいるキャピラリ２を撮
像した様子を示しており、１は金属細線、２はキャピラ
リ、３はトーチ電極である。図２において、前記金属細
線１はボール形成に適正な状態（突出長Ｌ，形状）を示
すが、トーチエネルギー等のようなボール径を決定する
たのファクターが一定でも、突出長Ｌが長すぎるとボー
ル径は大きくなり、また、その反対に短すぎるとボール
径は小さくなる。
【００２８】そこで、突出長Ｌに許容範囲を定めてお
き、これを超えるものを不良と判断する。また、前記金
属細線１の変形（点線で表示）は、グラブボール不良の
発生原因となるため、これも画像認識（パターンマッチ
ングの一致率）により、チェックをする。
き、これを超えるものを不良と判断する。また、前記金
属細線１の変形（点線で表示）は、グラブボール不良の
発生原因となるため、これも画像認識（パターンマッチ
ングの一致率）により、チェックをする。
【００２９】図３は、ボール形成直後の様子を示す図で
ある。図３において、（ａ）は正常なボール、（ｂ）は
クラブボール不良に繋がる偏心ボール、（ｃ）はボール
径異常（ここではボール径大）の様子をそれぞれ示して
いる。
ある。図３において、（ａ）は正常なボール、（ｂ）は
クラブボール不良に繋がる偏心ボール、（ｃ）はボール
径異常（ここではボール径大）の様子をそれぞれ示して
いる。
【００３０】図５に示したように、ボール形成直後で
は、画像認識（パターンマッチングの一致率）により、
前記偏心ボールとボール径不良のチェックが可能であ
る。このように、ボール形成前後で金属細線１の先端形
状を計測するようにすると、検査精度を高めることがで
きる。
は、画像認識（パターンマッチングの一致率）により、
前記偏心ボールとボール径不良のチェックが可能であ
る。このように、ボール形成前後で金属細線１の先端形
状を計測するようにすると、検査精度を高めることがで
きる。
【００３１】図４は、本実施例のボールボンダーの認識
時のタイミングチャートであるが、ボールボンダーの動
作は、つまり、（１）キャピラリ移動機構がトーチポジ
ションで停止すると、（２）この信号によりボール形成
直前の画像認識が行われ、（３）これが合格であればト
ーチに電流を流しボール形成を行い、（４）トーチ電流
オフのタイミングでボール形成直後の画像認識が行わ
れ、（５）これが合格であればキャピラリ移動機構を再
作動させ次ステップ（次のワイヤの１ｓｔボンド）へと
進むことになる。
時のタイミングチャートであるが、ボールボンダーの動
作は、つまり、（１）キャピラリ移動機構がトーチポジ
ションで停止すると、（２）この信号によりボール形成
直前の画像認識が行われ、（３）これが合格であればト
ーチに電流を流しボール形成を行い、（４）トーチ電流
オフのタイミングでボール形成直後の画像認識が行わ
れ、（５）これが合格であればキャピラリ移動機構を再
作動させ次ステップ（次のワイヤの１ｓｔボンド）へと
進むことになる。
【００３２】ここで、前記ステップ（１）および（４）
で異常が検出された場合は、直ちにマシンストップし、
オペレーターの処置を待つか予め指定されたダイアイラ
ンドやリードの余白に、ステボンドを自動で行うことに
より自動修復を試みる。そして、予め指定された回数だ
けこれを繰り返しても改善されない時に、マシンストッ
プしてオペレーターの処置を待つようにしている。
で異常が検出された場合は、直ちにマシンストップし、
オペレーターの処置を待つか予め指定されたダイアイラ
ンドやリードの余白に、ステボンドを自動で行うことに
より自動修復を試みる。そして、予め指定された回数だ
けこれを繰り返しても改善されない時に、マシンストッ
プしてオペレーターの処置を待つようにしている。
【００３３】前述のように、本実施例のボンディング装
置では、高速視覚センサを用いているので、１回の撮像
画像の処理が全部で１００μｓ／回程度（図４「Ｔ」）
で収まり、ワイヤボンディング装置のタクトタイム（例
えば１００ｍｓ）に大きなロスを与えることがないよう
にしている。
置では、高速視覚センサを用いているので、１回の撮像
画像の処理が全部で１００μｓ／回程度（図４「Ｔ」）
で収まり、ワイヤボンディング装置のタクトタイム（例
えば１００ｍｓ）に大きなロスを与えることがないよう
にしている。
【００３４】なお、一般の２次元画像センサを用いる
と、撮像だけでも１／３０秒は必要であり、これにキャ
ピラリのビビリ停止時間や、画像処理時間を考慮する
と、場合によっては１００ｍｓ／回は必要となるので、
実用には適さない。
と、撮像だけでも１／３０秒は必要であり、これにキャ
ピラリのビビリ停止時間や、画像処理時間を考慮する
と、場合によっては１００ｍｓ／回は必要となるので、
実用には適さない。
【００３５】さらに、撮像については、１方向のみでは
なくＸＹ２方向から行い、これらの総合データから判断
すると、より確実な検出が可能となる。また、撮像方法
としては、直接画像やシルエット画像等その状況によ
り、工夫を施す必要があるが、基本的な構成／効果は、
本発明の主旨と同じである。
なくＸＹ２方向から行い、これらの総合データから判断
すると、より確実な検出が可能となる。また、撮像方法
としては、直接画像やシルエット画像等その状況によ
り、工夫を施す必要があるが、基本的な構成／効果は、
本発明の主旨と同じである。
【００３６】図６（ａ），（ｂ）は、ウエッジボンダに
本発明を適用した場合の効果を説明するためにウエッジ
ボンディング用ボンディングツールの先端形状を示す図
である。図６（ａ）は側面図、（ｂ）は正面図を示す。
本発明を適用した場合の効果を説明するためにウエッジ
ボンディング用ボンディングツールの先端形状を示す図
である。図６（ａ）は側面図、（ｂ）は正面図を示す。
【００３７】ウエッジボンダにおいても金属細線１のボ
ンディングツール２ｂからの突出長Ｌが短すぎると、前
記ウエッジボンド用ボンディングツール２ｂがチップの
ボンディングパッドに直接当たってしまい、ボンディン
グミスになるばかりでなく、超音波によりボンディング
パッド下部のエグレ等の信頼性上の問題も引き起こす問
題がある。
ンディングツール２ｂからの突出長Ｌが短すぎると、前
記ウエッジボンド用ボンディングツール２ｂがチップの
ボンディングパッドに直接当たってしまい、ボンディン
グミスになるばかりでなく、超音波によりボンディング
パッド下部のエグレ等の信頼性上の問題も引き起こす問
題がある。
【００３８】また、前記金属細線１の変形は、ボンド位
置ズレや前記同様のボンディングミスに繋がる。そこ
で、本発明を適用してウエッジボンド用ボンディングツ
ール２ｂ近傍に高速視覚センサを配置して、図６に示す
ような異常を検出するようにすれば、前記問題を解決す
ることができる。
置ズレや前記同様のボンディングミスに繋がる。そこ
で、本発明を適用してウエッジボンド用ボンディングツ
ール２ｂ近傍に高速視覚センサを配置して、図６に示す
ような異常を検出するようにすれば、前記問題を解決す
ることができる。
【００３９】
【発明の効果】本発明は前述したように、本発明によれ
ば、ワイヤボンディング装置におけるクラブボール不良
や金属細線突出不足による不良の発生を未然に防ぐこと
が可能となり、より品質の高いワイヤボンディング装置
を供給できる。
ば、ワイヤボンディング装置におけるクラブボール不良
や金属細線突出不足による不良の発生を未然に防ぐこと
が可能となり、より品質の高いワイヤボンディング装置
を供給できる。
【００４０】また、このための画像認識手段として、高
速視覚センサを用いることにより、ワイヤボンディング
装置のタクトタイムを損なうことなく、前記の不良検出
を行うことが可能となる。
速視覚センサを用いることにより、ワイヤボンディング
装置のタクトタイムを損なうことなく、前記の不良検出
を行うことが可能となる。
【図１】本発明の一実施例のワイヤボンディング装置の
概略構成を示す図である。
概略構成を示す図である。
【図２】ボール形成前のキャピラリの先端形状を示す図
である。
である。
【図３】図１のキャピラリによってボンディングされた
ボンディングワイヤの形状を示す図である。
ボンディングワイヤの形状を示す図である。
【図４】本発明ボールボンダーの画像認識時の動作タイ
ミングを説明するためのタイミングチャートである。
ミングを説明するためのタイミングチャートである。
【図５】高速視覚センサの一例としての「並列演算処理
機能付きビジョンセンサ」の概念的構成を示す図であ
る。
機能付きビジョンセンサ」の概念的構成を示す図であ
る。
【図６】ウエッジボンダに本発明を適用した場合の効果
を説明するためにウエッジボンディング用ボンディング
ツールの先端形状を示す図である。
を説明するためにウエッジボンディング用ボンディング
ツールの先端形状を示す図である。
１ 金属細線（ボンディングワイヤ） ２ キャピラリ ３ トーチ電極 ５ センサレイヤ ６ ＡＤ変換レイヤ ７ レジスターレイヤ ８ 演算レイヤ
Claims (3)
- 【請求項１】 ボンディングワイヤを搬送するためのキ
ャピラリと、 前記キャピラリを、放電トーチ電極を備えたトーチポジ
ションに移動させるための移動機構と、 前記放電トーチ電極と前記ボンディングワイヤの先端と
の間に放電を起こさせるための電源手段と、 前記トーチポジションに設置され、前記キャピラリから
突出したボンディングワイヤの先端を撮像するための撮
像手段と、 前記撮像手段によって撮像されたボンディングワイヤの
先端の２値化画像と基準画像の２値化画像とを比較する
ための比較手段とを備え、 放電前、放電後のうちの少なくとも何方かにおいて前記
撮像手段によってボンディングワイヤの先端を撮像し、
前記比較手段によって比較を行うことを特徴とするボン
ディング装置。 - 【請求項２】 前記撮像手段は複数の撮像素子がマトリ
クス状に配置され、前記撮像素子の出力を少なくとも２
つ以上並行して出力可能であることを特徴とする請求項
１に記載のボンディング装置。 - 【請求項３】 前記比較手段は、前記各撮像素子毎の基
準画像の２値化データと、前記各撮像素子の撮像データ
との比較を同時に並行して行う複数の比較演算手段を備
えていることを特徴とする請求項１または２のいずれか
１項に記載のボンディング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29564594A JPH08139124A (ja) | 1994-11-04 | 1994-11-04 | ボンディング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29564594A JPH08139124A (ja) | 1994-11-04 | 1994-11-04 | ボンディング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08139124A true JPH08139124A (ja) | 1996-05-31 |
Family
ID=17823335
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29564594A Withdrawn JPH08139124A (ja) | 1994-11-04 | 1994-11-04 | ボンディング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08139124A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101231192B1 (ko) * | 2008-03-19 | 2013-02-07 | 삼성테크윈 주식회사 | 와이어 본딩 모니터링 장치, 와이어 본딩 장비 및 와이어볼의 본딩 높이 값 모니터링 방법 |
| WO2022162716A1 (ja) * | 2021-01-26 | 2022-08-04 | 株式会社新川 | ワイヤボンディング装置、ワイヤボンディング装置の制御方法およびワイヤボンディング装置の制御プログラム |
-
1994
- 1994-11-04 JP JP29564594A patent/JPH08139124A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101231192B1 (ko) * | 2008-03-19 | 2013-02-07 | 삼성테크윈 주식회사 | 와이어 본딩 모니터링 장치, 와이어 본딩 장비 및 와이어볼의 본딩 높이 값 모니터링 방법 |
| WO2022162716A1 (ja) * | 2021-01-26 | 2022-08-04 | 株式会社新川 | ワイヤボンディング装置、ワイヤボンディング装置の制御方法およびワイヤボンディング装置の制御プログラム |
| TWI817330B (zh) * | 2021-01-26 | 2023-10-01 | 日商新川股份有限公司 | 打線接合裝置、打線接合裝置的控制方法以及打線接合裝置的控制程式 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20020115 |