JPH08135826A - 高真空圧用バルブボディのマスキング方法 - Google Patents
高真空圧用バルブボディのマスキング方法Info
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- JPH08135826A JPH08135826A JP29785894A JP29785894A JPH08135826A JP H08135826 A JPH08135826 A JP H08135826A JP 29785894 A JP29785894 A JP 29785894A JP 29785894 A JP29785894 A JP 29785894A JP H08135826 A JPH08135826 A JP H08135826A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 作業が容易な高真空圧用バルブのマスキング
方法を提供する。 【構成】 高真空圧用バルブのバルブボディ２１に設け
た開口２２，２３，２４に、閉鎖部材２６，２７，２７
をそれぞれ仮に装着し、閉鎖部材２６に設けたポート３
２からバルブボディ内の空気を吸引すると、大気圧とバ
ルブボディ内の真空圧との差圧によって、各閉鎖部材が
対応する開口に吸着されて気密にシールする。
方法を提供する。 【構成】 高真空圧用バルブのバルブボディ２１に設け
た開口２２，２３，２４に、閉鎖部材２６，２７，２７
をそれぞれ仮に装着し、閉鎖部材２６に設けたポート３
２からバルブボディ内の空気を吸引すると、大気圧とバ
ルブボディ内の真空圧との差圧によって、各閉鎖部材が
対応する開口に吸着されて気密にシールする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、高真空圧用バルブボデ
ィのマスキング方法、及び該マスキング方法に使用する
閉鎖部材に関するものである。
ィのマスキング方法、及び該マスキング方法に使用する
閉鎖部材に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】バルブボディは、錆の発生や腐食等を防
止するために外面にメッキ等の化学的処理や塗装等の表
面処理を施す場合があり、この場合には、バルブボディ
の内面に表面処理が施されないように、バルブボディに
開設した複数の開口をマスキングする必要がある。特
に、バルブボディ内が高真空圧にされる高真空圧バルブ
においては、バルブボディの内面に表面処理が施される
と、表面処理で付着した素材が高真空圧によって蒸発す
ることがあり、バルブボディ内において生じた蒸発生成
物は、高真空圧の発生や維持に重大な支障を生ずる。し
たがって、高真空圧バルブにおける開口のマスキング
は、圧縮空気が供給される通常のバルブと異なり、表面
処理の素材がバルブボディ内に絶対侵入しないようにす
る必要がある。
止するために外面にメッキ等の化学的処理や塗装等の表
面処理を施す場合があり、この場合には、バルブボディ
の内面に表面処理が施されないように、バルブボディに
開設した複数の開口をマスキングする必要がある。特
に、バルブボディ内が高真空圧にされる高真空圧バルブ
においては、バルブボディの内面に表面処理が施される
と、表面処理で付着した素材が高真空圧によって蒸発す
ることがあり、バルブボディ内において生じた蒸発生成
物は、高真空圧の発生や維持に重大な支障を生ずる。し
たがって、高真空圧バルブにおける開口のマスキング
は、圧縮空気が供給される通常のバルブと異なり、表面
処理の素材がバルブボディ内に絶対侵入しないようにす
る必要がある。
【０００３】図４は、高真空圧用バルブのバルブボディ
１に設けた複数のポートを閉鎖する公知のマスキング方
法を示している。上記バルブボディ１は、ほぼ同一直線
上に背向して形成した開口２，３と、これとほぼ直交す
る方向に形成した開口４とを備え、これらの開口は互い
に連通している。開口２と３とを閉鎖する第１マスキン
グ治具６は、開口２を気密に閉鎖する開口閉鎖部７を有
し開口３を通ってバルブボディ１外に突出するロッド８
と、該ロッド８の先端に挿通させた閉鎖部材９及び押圧
部材１０とを備え、これらの部材９及び１０を、ロッド
８の先端に螺着させたナット１１で締め付けることによ
って、開口２と３が閉鎖される。
１に設けた複数のポートを閉鎖する公知のマスキング方
法を示している。上記バルブボディ１は、ほぼ同一直線
上に背向して形成した開口２，３と、これとほぼ直交す
る方向に形成した開口４とを備え、これらの開口は互い
に連通している。開口２と３とを閉鎖する第１マスキン
グ治具６は、開口２を気密に閉鎖する開口閉鎖部７を有
し開口３を通ってバルブボディ１外に突出するロッド８
と、該ロッド８の先端に挿通させた閉鎖部材９及び押圧
部材１０とを備え、これらの部材９及び１０を、ロッド
８の先端に螺着させたナット１１で締め付けることによ
って、開口２と３が閉鎖される。
【０００４】一方、開口４を閉鎖する第２マスキング治
具１３は、先端の雄ねじがロッド８のねじ孔８ａに螺着
され、開口４を通る基端がバルブボディ１外突出するロ
ッド１４と、該ロッド１４の基端に挿通させた閉鎖部材
１５及び押圧部材１６とを備え、これらの部材１５及び
１６を、ロッド１４の基端に螺着させたナット１７で締
め付けることによって、開口４が閉鎖される。上記開口
閉鎖部７の外周面と、閉鎖部材９及び１５のバルブボデ
ィ１との対向面には、対向する開口をシールするＯリン
グ１８，・・がそれぞれ取付けられている。また、押圧
部材１０と１６には、開口閉鎖部材９，１５との対向面
と、ロッド８，１４との対向面に、これらの間をシール
するＯリング１９，・・が取付けられている。
具１３は、先端の雄ねじがロッド８のねじ孔８ａに螺着
され、開口４を通る基端がバルブボディ１外突出するロ
ッド１４と、該ロッド１４の基端に挿通させた閉鎖部材
１５及び押圧部材１６とを備え、これらの部材１５及び
１６を、ロッド１４の基端に螺着させたナット１７で締
め付けることによって、開口４が閉鎖される。上記開口
閉鎖部７の外周面と、閉鎖部材９及び１５のバルブボデ
ィ１との対向面には、対向する開口をシールするＯリン
グ１８，・・がそれぞれ取付けられている。また、押圧
部材１０と１６には、開口閉鎖部材９，１５との対向面
と、ロッド８，１４との対向面に、これらの間をシール
するＯリング１９，・・が取付けられている。
【０００５】マスキング治具６及び１３による開口２，
３，４のマスキングは、各開口がＯリング１８，・・に
よってシールされるので、バルブボディ１内に表面処理
が施されることを防止することができる。しかしなが
ら、上記マスキングは、バルブボディ１が、同一直線上
及びこれと直交する方向の３つの開口を有する図示のよ
うな簡単な形状を有する場合であっても、ロッド８，１
４のバルブボディ１内への挿入や、ナット１１，１７の
締め付けが面倒である。したがって、バルブボディ１の
開口数が多くなったり、またはボディ１の形状が複雑で
あって各開口毎に異なる治具が必要になる場合には、治
具の数が増加しその構造も複雑なものになるので、マス
キング治具の取付け及び取り外し作業に要する手数が多
くなって一層面倒になる。
３，４のマスキングは、各開口がＯリング１８，・・に
よってシールされるので、バルブボディ１内に表面処理
が施されることを防止することができる。しかしなが
ら、上記マスキングは、バルブボディ１が、同一直線上
及びこれと直交する方向の３つの開口を有する図示のよ
うな簡単な形状を有する場合であっても、ロッド８，１
４のバルブボディ１内への挿入や、ナット１１，１７の
締め付けが面倒である。したがって、バルブボディ１の
開口数が多くなったり、またはボディ１の形状が複雑で
あって各開口毎に異なる治具が必要になる場合には、治
具の数が増加しその構造も複雑なものになるので、マス
キング治具の取付け及び取り外し作業に要する手数が多
くなって一層面倒になる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明が解決しようと
する課題は、作業が容易な高真空圧用のバルブボディの
マスキング方法、及び該マスキング方法に使用する閉鎖
部材を提供することにある。
する課題は、作業が容易な高真空圧用のバルブボディの
マスキング方法、及び該マスキング方法に使用する閉鎖
部材を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明における高真空圧用のバルブボディのマスキ
ング方法は、高真空圧用のバルブボディに設けた複数個
の開口にそれぞれ閉鎖部材を装着し、これらの閉鎖部材
の１個または複数個に設けたポートから上記バルブボデ
ィ内の空気を吸引して、大気圧とバルブボディ内の真空
圧との差圧によって各閉鎖部材が対応する開口をシール
することを特徴としている。
め、本発明における高真空圧用のバルブボディのマスキ
ング方法は、高真空圧用のバルブボディに設けた複数個
の開口にそれぞれ閉鎖部材を装着し、これらの閉鎖部材
の１個または複数個に設けたポートから上記バルブボデ
ィ内の空気を吸引して、大気圧とバルブボディ内の真空
圧との差圧によって各閉鎖部材が対応する開口をシール
することを特徴としている。
【０００８】また、同様の課題を解決するため、本発明
における高真空圧用バルブボディのマスキング方法は、
吸引によってバルブボディ内の真空圧が所望の真空圧に
なった後に、閉鎖部材のポートを閉鎖してバルブボディ
内の真空圧を維持することを特徴としている。
における高真空圧用バルブボディのマスキング方法は、
吸引によってバルブボディ内の真空圧が所望の真空圧に
なった後に、閉鎖部材のポートを閉鎖してバルブボディ
内の真空圧を維持することを特徴としている。
【０００９】さらに、同様の課題を解決するため、本発
明における高真空圧用バルブボディのマスキング方法
は、高真空圧用のバルブボディ表面のマスキング箇所に
閉鎖部材を当接し、該閉鎖部材に設けたポートから上記
閉鎖部材で区画された空間の空気を吸引して、大気圧と
上記空間内の真空圧との差圧によってバルブボディのマ
スキング箇所をシールすることを特徴としている。
明における高真空圧用バルブボディのマスキング方法
は、高真空圧用のバルブボディ表面のマスキング箇所に
閉鎖部材を当接し、該閉鎖部材に設けたポートから上記
閉鎖部材で区画された空間の空気を吸引して、大気圧と
上記空間内の真空圧との差圧によってバルブボディのマ
スキング箇所をシールすることを特徴としている。
【００１０】また、高真空圧用バルブボディの開口を閉
鎖する１個または複数個の閉鎖部材が、バルブボディの
開口をシールするシールリングと、外部に開口するポー
トと、該ポートを閉鎖する方向に付勢された弁体とを備
え、他の閉鎖部材が、バルブボディの開口をシールする
シールリングを備えていることを特徴としている。
鎖する１個または複数個の閉鎖部材が、バルブボディの
開口をシールするシールリングと、外部に開口するポー
トと、該ポートを閉鎖する方向に付勢された弁体とを備
え、他の閉鎖部材が、バルブボディの開口をシールする
シールリングを備えていることを特徴としている。
【００１１】さらに、高真空圧用バルブボディの表面を
閉鎖する閉鎖部材が、バルブボディ表面のマスキング箇
所をシールする無端状のシール部材と、外部に開口する
ポートと、該ポートを閉鎖する方向に付勢された弁体と
を備えていることを特徴としている。
閉鎖する閉鎖部材が、バルブボディ表面のマスキング箇
所をシールする無端状のシール部材と、外部に開口する
ポートと、該ポートを閉鎖する方向に付勢された弁体と
を備えていることを特徴としている。
【００１２】
【作用】高真空圧用のバルブボディに設けた複数個の開
口に、それぞれ閉鎖部材を仮に装着して、１個または複
数個の閉鎖部材に設けたポートから、バルブボディ内の
空気を吸引すると、大気圧とバルブボディ内の真空圧と
の差圧によって、各閉鎖部材がそれぞれ対応する開口に
吸着されて気密にシールする。したがって、マスキング
作業がきわめて容易である。また、バルブボディ内の空
気の吸引後、弁体によってポートを閉鎖すると、バルブ
ボディ内が所望の真空圧に維持されるので、空気の吸引
を停止することができる。
口に、それぞれ閉鎖部材を仮に装着して、１個または複
数個の閉鎖部材に設けたポートから、バルブボディ内の
空気を吸引すると、大気圧とバルブボディ内の真空圧と
の差圧によって、各閉鎖部材がそれぞれ対応する開口に
吸着されて気密にシールする。したがって、マスキング
作業がきわめて容易である。また、バルブボディ内の空
気の吸引後、弁体によってポートを閉鎖すると、バルブ
ボディ内が所望の真空圧に維持されるので、空気の吸引
を停止することができる。
【００１３】また、バルブボディ表面のマスキング箇所
に閉鎖部材を当接して、該閉鎖部材に設けたポートから
閉鎖部材で区画された空間の空気を吸引すると、大気圧
と上記空間内の真空圧との差圧によって、閉鎖部材がバ
ルブボディの表面に吸着されてマスキング箇所を気密に
シールする。
に閉鎖部材を当接して、該閉鎖部材に設けたポートから
閉鎖部材で区画された空間の空気を吸引すると、大気圧
と上記空間内の真空圧との差圧によって、閉鎖部材がバ
ルブボディの表面に吸着されてマスキング箇所を気密に
シールする。
【００１４】
【実施例】図１及び図２は本発明の第１実施例を示し、
この実施例においてマスキングされる高真空圧用バルブ
のバルブボディ２１は、背向する軸方向の開口２２及び
２３と、これと直交する方向の開口２４とを備え、これ
らの開口２２，２３，２４は互いに連通している。上記
開口２２にはポートを有する閉鎖部材２６が、開口２
３，２４には閉鎖部材２７，２７がそれぞれ仮に装着さ
れ、閉鎖部材２６の外周面には開口２２をシールするＯ
リング２９が、閉鎖部材２７，２７のバルブボディ２１
との対向面には開口２３，２４をシールするＯリング３
０，３０が、それぞれ取付けられている。また、上記Ｏ
リング２９と３０は、各開口のシール面３１，・・より
外側をシールして、シール面３１，・・に表面処理が施
されないようにしている。
この実施例においてマスキングされる高真空圧用バルブ
のバルブボディ２１は、背向する軸方向の開口２２及び
２３と、これと直交する方向の開口２４とを備え、これ
らの開口２２，２３，２４は互いに連通している。上記
開口２２にはポートを有する閉鎖部材２６が、開口２
３，２４には閉鎖部材２７，２７がそれぞれ仮に装着さ
れ、閉鎖部材２６の外周面には開口２２をシールするＯ
リング２９が、閉鎖部材２７，２７のバルブボディ２１
との対向面には開口２３，２４をシールするＯリング３
０，３０が、それぞれ取付けられている。また、上記Ｏ
リング２９と３０は、各開口のシール面３１，・・より
外側をシールして、シール面３１，・・に表面処理が施
されないようにしている。
【００１５】図２に詳細を示す閉鎖部材２６は、中心部
分に軸方向のポート３２を有し、バルブボディ２１側
に、ポート３２の周囲を囲むカップ状のアダプタ３３が
取付けられており、ポート３２は、アダプタ３３の底壁
に設けた連通孔３３ａによってバルブボディ２１内に連
通している。上記アダプタ３３内に移動可能に挿入され
た弁体３５は、ポート３２のアダプタ３３側に形成した
弁座３４を開閉する弁部材３６を備え、弁部材３６より
弁座側に形設した軸方向の切欠溝によって空気の通路が
形成されており、アダプタ３３の底面との間に縮設され
たばね３７によって弁座３４を閉鎖する方向に付勢され
ている。
分に軸方向のポート３２を有し、バルブボディ２１側
に、ポート３２の周囲を囲むカップ状のアダプタ３３が
取付けられており、ポート３２は、アダプタ３３の底壁
に設けた連通孔３３ａによってバルブボディ２１内に連
通している。上記アダプタ３３内に移動可能に挿入され
た弁体３５は、ポート３２のアダプタ３３側に形成した
弁座３４を開閉する弁部材３６を備え、弁部材３６より
弁座側に形設した軸方向の切欠溝によって空気の通路が
形成されており、アダプタ３３の底面との間に縮設され
たばね３７によって弁座３４を閉鎖する方向に付勢され
ている。
【００１６】上記ポート３２には、該ポートを閉鎖する
プラグ３９（図１参照）と、真空ポンプ等の真空源（図
示省略）に接続するための吸引治具４０（図２参照）と
が、交換可能に取付けられる。図２に示す上記吸引治具
４０は、閉鎖部材２６との当接面を気密にシールするＯ
リング４２及び軸方向の流路４３を有し、ポート３２に
挿入される第１部材４１と、軸方向の流路４５、該流路
一端のポート４６及び上記流路４３を気密にシールする
Ｏリング４７を有し、第１部材４１の流路４３に気密に
挿入される第２部材４４とを備え、第２部材４４は、流
路４３に挿入されると、弁体３５を押圧して弁座３４を
開放させる軸方向長さを有している。また、Ｏリング４
７は、第２部材４２を第１部材４１から抜き出すとき
に、弁部材３６が弁座３４を閉鎖した後に流路４３から
抜け出す位置に取付けられている。
プラグ３９（図１参照）と、真空ポンプ等の真空源（図
示省略）に接続するための吸引治具４０（図２参照）と
が、交換可能に取付けられる。図２に示す上記吸引治具
４０は、閉鎖部材２６との当接面を気密にシールするＯ
リング４２及び軸方向の流路４３を有し、ポート３２に
挿入される第１部材４１と、軸方向の流路４５、該流路
一端のポート４６及び上記流路４３を気密にシールする
Ｏリング４７を有し、第１部材４１の流路４３に気密に
挿入される第２部材４４とを備え、第２部材４４は、流
路４３に挿入されると、弁体３５を押圧して弁座３４を
開放させる軸方向長さを有している。また、Ｏリング４
７は、第２部材４２を第１部材４１から抜き出すとき
に、弁部材３６が弁座３４を閉鎖した後に流路４３から
抜け出す位置に取付けられている。
【００１７】上記第１実施例は、開口２２に閉鎖部材２
６を、開口２３，２４に閉鎖部材２７，２７をそれぞれ
当接し、治具等の適宜の手段によってその状態を保持さ
せて、閉鎖部材２６のポート３２に吸引治具４０を挿入
すると、吸引治具４０によって押圧された弁体３５が弁
座３４を開放する（図２参照）。この状態で、ポート４
６を真空源に連通させると、バルブボディ２１内の空気
が吸引されてボディ内に真空圧が作用するので、閉鎖部
材２６，２７，２７がそれぞれ対応する開口に吸着され
てこれらの開口を気密にシールする。バルブボディ２１
内が所定の真空圧になった後に吸引治具４０を取り外す
と、弁体３５が弁座３４を閉鎖してバルブボディ２１内
の真空圧が保持される。なお、開口２２に仮に装着した
閉鎖部材２６からバルブボディ２１内の空気を吸引し、
空気を吸引しながら開口２３と２４に閉鎖部材２７，２
７を当接して、これらの閉鎖部材を開口に吸着させるこ
ともできる。
６を、開口２３，２４に閉鎖部材２７，２７をそれぞれ
当接し、治具等の適宜の手段によってその状態を保持さ
せて、閉鎖部材２６のポート３２に吸引治具４０を挿入
すると、吸引治具４０によって押圧された弁体３５が弁
座３４を開放する（図２参照）。この状態で、ポート４
６を真空源に連通させると、バルブボディ２１内の空気
が吸引されてボディ内に真空圧が作用するので、閉鎖部
材２６，２７，２７がそれぞれ対応する開口に吸着され
てこれらの開口を気密にシールする。バルブボディ２１
内が所定の真空圧になった後に吸引治具４０を取り外す
と、弁体３５が弁座３４を閉鎖してバルブボディ２１内
の真空圧が保持される。なお、開口２２に仮に装着した
閉鎖部材２６からバルブボディ２１内の空気を吸引し、
空気を吸引しながら開口２３と２４に閉鎖部材２７，２
７を当接して、これらの閉鎖部材を開口に吸着させるこ
ともできる。
【００１８】バルブボディ２１に表面処理を施すとき
は、図１に示すように閉鎖部材２６のポート３２をプラ
グ３９で閉鎖して、表面処理が閉鎖部材２６のポート３
２に施されないようにする。表面処理の終了後、ポート
３２に嵌着させたプラグ２９を抜いて吸引治具４０を挿
入すると、弁体３５が弁座３４を開放してバルブボディ
２１内に外気が流入するので、開口２２，２３，２４に
吸着した閉鎖部材２６，２７，２７を取り外すことがで
きる。
は、図１に示すように閉鎖部材２６のポート３２をプラ
グ３９で閉鎖して、表面処理が閉鎖部材２６のポート３
２に施されないようにする。表面処理の終了後、ポート
３２に嵌着させたプラグ２９を抜いて吸引治具４０を挿
入すると、弁体３５が弁座３４を開放してバルブボディ
２１内に外気が流入するので、開口２２，２３，２４に
吸着した閉鎖部材２６，２７，２７を取り外すことがで
きる。
【００１９】上記第１実施例は、閉鎖部材２６，２７，
２７が、バルブボディ２１内の真空圧によって対応する
開口２２，２３，２４に吸着されて、これらの開口を気
密にシールするので、開口数が多かったり、あるいはバ
ルブボディの形状が複雑であっても、各開口の径に対応
する閉鎖部材２６及び２７，・・とによって、バルブボ
ディ２１の各開口をマスキングできるので、マスキング
作業が容易である。なお、図示を省略しているが、上記
閉鎖部材２６は一個に限定されるものではなく、バルブ
ボディ２１の内容積が大きい場合には、複数箇所の開口
に閉鎖部材２６を取付けて、これらの閉鎖部材から空気
を吸引することもできる。このようにすると、バルブボ
ディ２１内の空気の吸引時間を短縮することができる。
２７が、バルブボディ２１内の真空圧によって対応する
開口２２，２３，２４に吸着されて、これらの開口を気
密にシールするので、開口数が多かったり、あるいはバ
ルブボディの形状が複雑であっても、各開口の径に対応
する閉鎖部材２６及び２７，・・とによって、バルブボ
ディ２１の各開口をマスキングできるので、マスキング
作業が容易である。なお、図示を省略しているが、上記
閉鎖部材２６は一個に限定されるものではなく、バルブ
ボディ２１の内容積が大きい場合には、複数箇所の開口
に閉鎖部材２６を取付けて、これらの閉鎖部材から空気
を吸引することもできる。このようにすると、バルブボ
ディ２１内の空気の吸引時間を短縮することができる。
【００２０】バルブボディによっては、ボディの内面の
みでなく、小径のポート、未開口のポート開設箇所、凹
み等のような、ボディ表面の所望の箇所をマスキングす
ることが必要な場合がある。図３は、バルブボディ２１
の表面をマスキングする本発明の第２実施例を示す。第
２実施例のマスキングに使用する閉鎖部材５０は、バル
ブボディ２１表面のマスキング箇所を覆う無端状のシー
ル部材（Ｏリング）５１と、軸方向のポート５２と、ポ
ート５２が開口する部屋５３と、Ｏリング５１で区画さ
れた空間５４と部屋５３とを連通させるポート５３ａ
と、部屋５３に移動可能に挿入された弁体３５、及び弁
体３５を弁座３４に向けて付勢するばね３７とを備えて
いる。閉鎖部材５０の他の構成は閉鎖部材２６と同じで
あるから、詳細な説明は省略する。
みでなく、小径のポート、未開口のポート開設箇所、凹
み等のような、ボディ表面の所望の箇所をマスキングす
ることが必要な場合がある。図３は、バルブボディ２１
の表面をマスキングする本発明の第２実施例を示す。第
２実施例のマスキングに使用する閉鎖部材５０は、バル
ブボディ２１表面のマスキング箇所を覆う無端状のシー
ル部材（Ｏリング）５１と、軸方向のポート５２と、ポ
ート５２が開口する部屋５３と、Ｏリング５１で区画さ
れた空間５４と部屋５３とを連通させるポート５３ａ
と、部屋５３に移動可能に挿入された弁体３５、及び弁
体３５を弁座３４に向けて付勢するばね３７とを備えて
いる。閉鎖部材５０の他の構成は閉鎖部材２６と同じで
あるから、詳細な説明は省略する。
【００２１】上記第２実施例は、閉鎖部材５０をバルブ
ボディ２１表面のマスキング箇所に当接し、ポート５２
からＯリング５１によって区画された空間５４の空気を
吸引すると、閉鎖部材５０がバルブボディ２１表面のマ
スキング箇所に気密に吸着するので、バルブボディの表
面をマスキングすることができる。第２実施例の他の作
用は第１実施例と同じであるから、説明は省略する。
ボディ２１表面のマスキング箇所に当接し、ポート５２
からＯリング５１によって区画された空間５４の空気を
吸引すると、閉鎖部材５０がバルブボディ２１表面のマ
スキング箇所に気密に吸着するので、バルブボディの表
面をマスキングすることができる。第２実施例の他の作
用は第１実施例と同じであるから、説明は省略する。
【００２２】
【発明の効果】本発明における高真空圧用のバルブボデ
ィのマスキング方法は、バルブボディに設けた複数個の
開口にそれぞれ閉鎖部材を仮に装着し、１個または複数
個の閉鎖部材に設けたポートからバルブボディ内の空気
を吸引することによって、複数の開口を一度に閉鎖でき
るので、バルブボディの開口数が多かったり、形状が複
雑であったりしても、きわめて簡単にマスキングするこ
とができる。また、閉鎖部材のポートに弁を設けたこと
によって、吸引を停止してもボディ内の真空圧を保持す
ることができる。
ィのマスキング方法は、バルブボディに設けた複数個の
開口にそれぞれ閉鎖部材を仮に装着し、１個または複数
個の閉鎖部材に設けたポートからバルブボディ内の空気
を吸引することによって、複数の開口を一度に閉鎖でき
るので、バルブボディの開口数が多かったり、形状が複
雑であったりしても、きわめて簡単にマスキングするこ
とができる。また、閉鎖部材のポートに弁を設けたこと
によって、吸引を停止してもボディ内の真空圧を保持す
ることができる。
【００２３】さらに、バルブボディ表面のマスキング箇
所に閉鎖部材を当接して、該閉鎖部材で区画された空間
内の空気を吸引することによって、バルブボディ表面の
所望の箇所を簡単にマスキングすることができる。
所に閉鎖部材を当接して、該閉鎖部材で区画された空間
内の空気を吸引することによって、バルブボディ表面の
所望の箇所を簡単にマスキングすることができる。
【図１】第１実施例の縦断面図である。
【図２】要部の縦断面図である。
【図３】第２実施例の縦断面図である。
【図４】公知のマスキング方法を示す縦断面図である。
２１ バルブボディ ２２，２３，２４ 開口 ２６，２７，５０ 閉鎖部材 ２９，３０，５１ Ｏリング ３２，５２ ポート ３５ 弁体 ５４ 空間
Claims (5)
- 【請求項１】高真空圧用のバルブボディに設けた複数個
の開口にそれぞれ閉鎖部材を装着し、これらの閉鎖部材
の１個または複数個に設けたポートから上記バルブボデ
ィ内の空気を吸引して、大気圧とバルブボディ内の真空
圧との差圧によって各閉鎖部材が対応する開口をシール
する、ことを特徴とする高真空圧用バルブボディのマス
キング方法。 - 【請求項２】吸引によりバルブボディ内の真空圧が所望
の真空圧になった後に、閉鎖部材のポートを閉鎖してバ
ルブボディ内の真空圧を維持する、ことを特徴とする請
求項１に記載した高真空圧用バルブボディのマスキング
方法。 - 【請求項３】高真空圧用のバルブボディ表面のマスキン
グ箇所に閉鎖部材を当接し、該閉鎖部材に設けたポート
から閉鎖部材で区画された空間の空気を吸引して、大気
圧と上記空間内の真空圧との差圧によってバルブボディ
のマスキング箇所をシールする、ことを特徴とする高真
空圧用バルブボディのマスキング方法。 - 【請求項４】１個または複数個の閉鎖部材が、バルブボ
ディの開口をシールするシールリングと、外部に開口す
るポートと、該ポートを閉鎖する方向に付勢された弁体
とを備え、他の閉鎖部材が、バルブボディの開口をシー
ルするシールリングを備えている、ことを特徴とする請
求項２に記載した高真空圧用バルブボディのマスキング
方法に使用する閉鎖部材。 - 【請求項５】閉鎖部材が、バルブボディ表面のマスキン
グ箇所をシールする無端状のシール部材と、外部に開口
するポートと、該ポートを閉鎖する方向に付勢された弁
体とを備えている、ことを特徴とする請求項３に記載し
た高真空圧用バルブボディのマスキング方法に使用する
閉鎖部材。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29785894A JPH08135826A (ja) | 1994-11-07 | 1994-11-07 | 高真空圧用バルブボディのマスキング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29785894A JPH08135826A (ja) | 1994-11-07 | 1994-11-07 | 高真空圧用バルブボディのマスキング方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08135826A true JPH08135826A (ja) | 1996-05-31 |
Family
ID=17852063
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29785894A Pending JPH08135826A (ja) | 1994-11-07 | 1994-11-07 | 高真空圧用バルブボディのマスキング方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08135826A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004301178A (ja) * | 2003-03-28 | 2004-10-28 | Tomoe Tech Res Co | バタフライ弁のギアボックス |
-
1994
- 1994-11-07 JP JP29785894A patent/JPH08135826A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004301178A (ja) * | 2003-03-28 | 2004-10-28 | Tomoe Tech Res Co | バタフライ弁のギアボックス |
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