CN216698273U - 一种可视盖板以及干法刻蚀机 - Google Patents

Abstract

本申请实施例公开了一种可视盖板以及干法刻蚀机，可视盖板应用于干法刻蚀机，干法刻蚀机具有进气口以及刻蚀腔，可视盖板开设有气道，气道开设于可视盖板内部，气道用于连通进气口以及刻蚀腔。本申请实施例中，对刻蚀腔进行检修或者维护后，需要取下可视盖板时，可视盖板内开设的气道能够让进气口处的气体进入处于真空状态的刻蚀腔内，使得刻蚀腔的内部气压和外部气压相差较小，从而降低将可视盖板从刻蚀腔上取下的难度。

Description

一种可视盖板以及干法刻蚀机

技术领域

本申请涉及半导体设备制造领域，特别涉及一种可视盖板以及干法刻蚀机。

背景技术

干法刻蚀即等离子体刻蚀，其过程通常是在干法刻蚀机的上腔体内产生等离子体等气体，利用等离子体对待刻蚀的晶圆进行刻蚀。干法刻蚀机具有一上腔室，化学气体进入上腔室，上腔室内内的电极产生电弧放电，电离化学气体产生等离子体气体；干法刻蚀是在干法刻蚀机的下腔体(也即刻蚀腔)内进行的，下腔体的顶壁上设有一顶板，顶板的中间设有一气孔，上腔体在产生了等离子体等反应气体后，通过顶板中间的气孔进入到下腔体内，下腔体具有一刻蚀空间，等离子体气体在此刻蚀空间内对晶圆进行刻蚀。

实用新型内容

本申请实施例提供了一种干法刻蚀机干法刻蚀机具有进气口以及刻蚀腔，干法刻蚀机还包括厂务端以及进气阀以及盖设于刻蚀腔上的刻蚀盖板，可视盖板设有气道，气道开设于可视盖板内部，在可视盖板盖设于刻蚀腔时，气道用于连通进气口以及刻蚀腔。厂务端可通过进气阀、进气口以及气道与刻蚀腔连通，由于进气阀设置于刻蚀腔与厂务端之间，因此，进气阀可用于控制厂务端与刻蚀腔之间的气流通道的通断。

基于上述实施例，在对干法刻蚀机的刻蚀腔进行检修或者维护时，会用到可视盖板观察刻蚀腔内部件如晶圆承载基台在真空环境下的运动情况或者与其他部件之间的位置关系，在可视盖板内开设气道，气道一端与进气口连通，气道的另一端与刻蚀腔连通，对刻蚀腔进行检修或者维护后，需要取下可视盖板时，气道能够使得进气口内的气体进入刻蚀腔内，使得刻蚀腔内的气压与刻蚀腔外部的气压相差较小，从而降低将可视盖板从刻蚀腔上取下的难度。

基于上述实施例，厂务端用于提供气体，在刻蚀腔与厂务端之间设置进气阀，进气阀控制厂务端与刻蚀腔之间的气流通道的通断，在刻蚀腔检修或者维护完成，需取下可视盖板时，厂务端的气体从进气口进入气道再进入刻蚀腔，待刻蚀腔内部的气压与刻蚀腔外部的气压相差较小能够取下可视盖板时，关闭进气阀。进气阀的设置能够及时关闭厂务端与刻蚀腔之间的气流通道，同时还能节约气体。

在其中一些实施例中，可视盖板还包括盖板本体以及凸伸部，盖板本体内开设第一气道，第一气道在盖板本体具有用于与刻蚀腔连通的第一开口；凸伸部凸设于盖板本体的边缘，凸伸部内开设第二气道，第一气道与所述第二气道连通以形成气道，第二气道具有用于与进气口连通的第二开口。

基于上述实施例，在盖板本体的边缘设置凸伸部，在盖板本体内开设第一气道，第一气道的第一开口与刻蚀腔连通，气体能够通过第一气道输入刻蚀腔内，在凸伸部内开设第二气道，第二气道的第二开口与进气口连通，气体从进气口输出至第二开口，再依次经过第二气道、第一气道、第一开口进入刻蚀腔，凸伸部30的设置是便于第二开口12A能与进气口A连接更加紧密。

在其中一些实施例中，第一气道包括第一输气段以及第一导气段；第二气道包括第二输气段以及第二导气段；第一输气段、第一导气段、第二导气段以及第二输气段依次连通，第一输气段远离第一导气段的一端具有第一开口，第二输气段远离第二导气段的一端具有第二开口。

基于上述实施例，气体从进气口输出至第二开口，再依次经过第二输气段、第二导气段、第一导气段、第一输气段以及第一开口进入刻蚀腔，第二输气段、第二导气段、第一导气段以及第一输气段依次连通形成具有规则形状的气道，便于气道的加工。

在其中一些实施例中，盖板本体具有开设第一开口的第一开口面，凸伸部具有开设第二开口的第二开口面，第一开口面相较于所述第二开口面更靠近刻蚀腔，以在凸伸部与盖板本体连接处构成台阶结构。

基于上述实施例，进气口的端部与第二开口面上的第二开口连接，干法刻蚀机的进气口高出干法刻蚀机的台面，将第一开口面与第二开口面之间设置成台阶结构，第一开口面相较于第二开口面更靠近刻蚀腔，能够使得进气口与第二开口之间连接的更加密封。

在其中一些实施例中，可视盖板背离第一开口的表面开设有凹槽，凹槽的槽底与第一导气段以及第二导气段连通，可视盖板还包括密封件，密封件用于密封凹槽的槽底，密封件用于隔绝空气进入第一导气段以及第二导气段。

基于上述实施例，在可视盖板上开设凹槽，凹槽的槽底与第一导气段以及第二导气段连通，凹槽的设置以便于加工第二输气段、第二导气段、第一导气段以及第一输气段，第二输气段、第二导气段、第一导气段以及第一输气段依次连通以形成规则形状，凹槽的槽底与第一导气段以及第二导气段连通可便于加工形状规则的气道，可视盖板还包括密封件，密封件用于密封凹槽的槽底，在用可视盖板观察刻蚀腔内部件如晶圆承载基台在真空环境下的运动情况以及各部件之间的位置关系时，密封件与凹槽配合，防止空气或者其他聚合物进入刻蚀腔，以污染刻蚀腔。

在其中一些实施例中，可视盖板还包括紧固件，紧固件与密封件以及凹槽的槽底及/或槽壁连接，紧固件用于将密封件固定于凹槽的槽底及/或槽壁。

基于上述实施例，密封件用于密封凹槽的槽底及/或槽壁，紧固件与密封件以及凹槽的槽底及/或槽壁连接，紧固件将密封件固定于凹槽的槽底及/或槽壁，以防止密封件从凹槽的槽底及/或槽壁脱落，提高了密封件对凹槽的槽底的密封性。

在其中一些实施例中，凹槽的槽底开设有螺纹孔，密封件上开设有通孔，紧固件为螺纹件，螺纹件穿设于通孔并与螺纹孔配合。

基于上述实施例，紧固件为螺纹件，螺纹件穿设于通孔，螺纹件的外螺纹与螺纹孔的内螺纹配合，使得螺纹件能够将密封件固定于凹槽的槽底，螺纹件还便于拆装，以方便更换。

在其中一些实施例中，气道的流通截面为圆形，流通截面的直径为4mm～5mm。

基于上述实施例，当气道流通截面的直径小于4mm时，第二开口的外壁位于进气口内，厂务端向气道进气时，第二开口易与进气口错开；由于气道开设于可视盖板内，当气道流通截面的直径大于5mm时，可视盖板内部有较大的空间，导致可视盖板强度较小，在向气道进气时，可视盖板易损坏；当气道流通截面的直径在4mm～5mm范围内，气道的内壁能够与进气口外壁连接的更加紧密，以防止漏气。

在其中一些实施例中，干法刻蚀机还包括密封圈，密封圈设置于进气口处，气道的周壁与密封圈抵接，密封圈用于密封进气口与气道的连接处。

基于上述实施例，在进气口的口壁周围设置密封圈，气道的周壁抵接于密封圈，密封圈用于密封进气口与气道的周壁的连接处，密封圈能够防止进气口处漏气，也可防止空气进入气道。

基于本申请的可视盖板，可视盖板应用于干法刻蚀机，干法刻蚀机具有刻蚀腔以及进气口，可视盖板内开设气道，在可视盖板盖设于刻蚀腔时，气道连通刻蚀腔与进气口，对刻蚀腔进行检修或者维护后，需要取下可视盖板时，可视盖板内开设的气道能够让进气口处的气体进入处于真空状态的刻蚀腔内，使得刻蚀腔的内部气压和外部气压相差较小，从而降低将可视盖板从刻蚀腔上取下的难度。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请一种实施例中干法刻蚀机整体结构示意图；

图2为本申请一种实施例中可视盖板的剖面图；

图3为本申请一种实施例中可视盖板的结构示意图。

附图标记：可视盖板-100；气道-10；第一气道-11；第一输气段-111；第一导气段-112；第一开口-11A；第二气道-12；第二导气段-121；第二输气段-122；第二开口-12A；盖板本体-20；第一开口面-21；凸伸部-30；第二开口面31；凹槽-40；槽底-41；槽壁-42；螺纹孔-411；密封件-50；通孔-51；厂务端-61；进气阀-62；密封圈-63；干法刻蚀机-200；进气口-A；刻蚀腔-B；台阶结构-C。

具体实施方式

为了使本申请的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本申请进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。

干法刻蚀机具有上腔体和下腔体(也即刻蚀腔)，上腔体产生等离子体等反应气体，下腔体具有一刻蚀空间，下腔体还具有一顶板，顶板中间设有一气孔，上腔体在产生等离子体等反应气体之后，通过顶板中间的气孔进入到下腔体内。上腔体内部设有电极，在进行刻蚀操作时，反应气体进入上腔体后，电极加上电压后产生电弧放电，将反应气体进行电离进而产生等离子体反应气体，下腔体内是真空环境，刻蚀气体在真空环境下刻蚀晶圆。

对下腔体进行检修或者维护时，需要将透明的透明盖板盖设于下腔体上，以模拟下腔体在刻蚀时的真空环境，并可通过透明盖板观察下腔体的内部部件如晶圆承载基台等在真空环境下的运动情况以及各部件之间的位置关系。在检修或者维护完毕后，则需要取下透明盖板，由于下腔体处于真空状态，因此透明盖板较难取下，而在相关技术中，在下腔体的外壁上设有阀门，通过打开阀门，能够让大气进入下腔体，待下腔体内部的气压与外部的大气压相差较小后，再取下透明盖板，但是由于阀门与刻蚀腔连通，打开阀门后，空气以及其他杂质会进入刻蚀腔，会导致刻蚀腔被污染。

请参考图1，本申请实施例提供了一种干法刻蚀机200，干法刻蚀机200具有进气口A以及刻蚀腔B，干法刻蚀机200还包括厂务端61、进气阀62以及盖设于刻蚀腔B上的可视盖板100，可视盖板100开设有气道10，气道10开设于可视盖板100内部，在可视盖板100盖设于刻蚀腔B时，气道10用于连通进气口A以及刻蚀腔B，以使得厂务端61可通过进气阀62、进气口A以及气道10与刻蚀腔B连通，由于进气阀62设置于刻蚀腔B与厂务端61之间，因此，进气阀62可用于控制厂务端61与刻蚀腔B之间的气流通道的通断。

具体地，可视盖板100的形状可以设置为圆形的板状，可以理解的是，可视盖板100也可以设置为其他形状，本实施例对可视盖板100的形状不做限制，可视盖板100的材料可以设置为树脂或者玻璃等透光材质，在其他实施例中，可视盖板100也可以由其他材料制成。气道10开设于可视盖板100的内部，气道10的一端连通干法刻蚀机200的进气口A，气道10的另一端连通刻蚀腔B。

可以理解的是，在需要进行刻蚀操作时，是无需使用上述可视盖板100的，干法刻蚀机200还包括一用于产生等离子体的反应腔室，通过进气口A向反应腔室内通入反应气体，反应腔体内部设有电极，电极产生电弧放电，以将反应气体进行电离进而产生等离子体反应气体，等离子体反应气体进入刻蚀腔B，对放置于刻蚀腔B内的承载于晶圆承载基台上的晶圆进行刻蚀。

在进行维护或者检修时，需将干法刻蚀机200停机，将可视盖板100盖设于刻蚀腔B上，使刻蚀腔B形成密封的刻蚀空间，以模拟刻蚀腔B处于刻蚀状态时的环境，并可以通过可视盖板100观察刻蚀腔B内部件如晶圆承载基台等在真空环境下的运动情况以及各部件之间的位置关系。可以理解的是，为了能够通过可视盖板100进行观察，可视盖板100需为透明或者透光材质，如树脂或者玻璃等。

在检修或者维护完成，需取下可视盖板100时，打开进气阀62，并将厂务端61连接至氮气源或者厂务端61本身为氮气钢瓶，厂务端61的气体(也即氮气)依次经过进气阀62、进气口A以及气道10再进入刻蚀腔B，待刻蚀腔B内部的气压与刻蚀腔B外部的气压相差较小，则可比较容易地取下可视盖板100，之后，关闭进气阀62，进气阀62的设置能够及时关闭厂务端61与刻蚀腔B之间的气流通道，同时还能节约气体。气道10的形状除了可以设置成图1所示的形状之外，还可以设置为其他形状如倒V字形，可以理解的是，气道10也可以设置为其他形状，本实施例对气道10的形状和尺寸不做限制，在本申请实施中，气体除了可以选择氮气，还可以选择其他化学性质稳定且易获取的气体。

综上所述，本申请实施例中，通过在可视盖板100内开设气道10，在可视盖板100盖设于刻蚀腔B时，气道10连通刻蚀腔B与进气口A，对刻蚀腔B进行检修或者维护后，需要取下可视盖板100时，可视盖板100内开设的气道10能够让进气口A处的气体进入处于真空状态的刻蚀腔B内，使得刻蚀腔B的内部气压和外部气压相差较小，从而降低将可视盖板100从刻蚀腔上取下的难度，且厂务端61通入的是较为纯净的且化学性质较为稳定的气体，可以降低刻蚀腔B被污染的风险。

请参考图2-3，在其中一些实施例中，可视盖板100包括盖板本体20以及凸伸部30，盖板本体20内开设第一气道11，第一气道1具有用于与刻蚀腔B连通的第一开口11A；凸伸部30凸设于盖板本体20的边缘，凸伸部30内开设第二气道12，第一气道11与所述第二气道12连通以形成气道10，第二气道12具有用于与进气口A连通的第二开口12A。

盖板本体20用于盖设于刻蚀腔B，盖板本体20的形状可以设置为圆形，盖板本体20的材料可以设置为树脂或者玻璃。

第一气道11开设于盖板本体20内部，第一气道11具有第一开口11A，第一气道11通过第一开口11A与刻蚀腔B连通，以使第一气道11内的气体能够进入到刻蚀腔B内，本实施例对第一气道11以及第一开口11A的形状与尺寸均不做限制。

凸伸部30凸设于盖板本体20的边缘，凸伸部30的正投影位于刻蚀腔B外部，在本施例中，凸伸部30可以设置为扇形，可以理解的是，凸伸部30也可以设置为其他形状，本实施例对凸伸部30的形状不做限制，凸伸部30的材料可以选择与盖板本体20相同的材料。可以理解的是，盖板本体20与凸伸部30可以一体成型也可以分体成型。

第二气道12开设于凸伸部30内部，第二气道12具有第二开口12A，第二气道12通过第二开口12A与进气口A连通，进气口A的气体能够通过第二开口12A进入第二气道12，再依次经过第一气道11、第一开口11A进入刻蚀腔B，由于进气口A位于刻蚀腔B外部，凸伸部30的设置可便于第二开口12A与进气口A连通。

请参考图2，在其中一些实施例中，第一气道11包括第一输气段111以及第一导气段112；第二气道12包括第二输气段121以及第二导气段122；第一输气段111、第一导气段112、第二导气段122以及第二输气段121依次连通，第一输气段111远离第一导气段112的一端具有第一开口11A，第二输气段121远离第二导气段122的一端具有第二开口12A。

基于上述实施例，第一输气段111、第一导气段112、第二导气段122以及第二输气段121依次连通，气体从进气口A流通至第二开口12A，再依次经过第二输气段121、第二导气段122、第一导气段112、第一输气段111以及第一开口11A进入刻蚀腔B。第二输气段121、第二导气段122、第一导气段112、第一输气段111依次连通形成具有规则形状的气道10，便于气道10的加工。本申请实施例对第一输气段111、第一导气段112、第二导气段122以及第二输气段121的形状和尺寸均不做限制。

请参考图1-2，在其中一些实施例中，盖板本体20具有开设第一开口11A的第一开口面21，凸伸部30具有开设第二开口12A的第二开口面31，第一开口面21相较于所述第二开口面31更靠近刻蚀腔B，以在凸伸部30与盖板本体20连接处构成台阶结构C。

基于上述实施例，干法刻蚀机200的进气口A高出干法刻蚀机200的台面，凸伸部30靠近刻蚀腔B的表面为第二开口面31，盖板本体20靠近刻蚀腔B的表面为第一开口面21，第一开口面21与干法刻蚀机200的台面高度一致，在凸伸部30与盖板本体20连接处构成台阶结构C，能够使得第二开口12A与进气口A连接的更加紧密，以防止漏气，也可以防止空气或者其他聚合物如微粒、金属污染物以及有机污染物进入第二气道12。

请参考图2-3，在其中一些实施例中，可视盖板100背离第一开口21的表面开设有凹槽40，凹槽40的槽底41与第一导气段112以及第二导气段122连通，可视盖板100还包括密封件50，密封件50用于密封凹槽40的槽底41，密封件50用于隔绝空气进入第一导气段112以及第二导气段122。

基于上述实施例，在可视盖板100上开设凹槽40，凹槽40的槽底41与第一导气段112以及第二导气段122连通，凹槽40的设置可以方便开设第一输气段111、第一导气段112、第二导气段122以及第二输气段121。第一输气段111、第一导气段112、第二导气段122以及第二输气段121依次连通形成如图2所示的倒凹字形，如图3所示，凹槽40的槽底41可以部分与第一导气段112以及第二导气段122连通，以便于加工规则形状的如图2所示的凹字形气道10，加工气道10的方式可以采用“钻、镗”等工艺，可视盖板100还包括密封件50，密封件50用于密封凹槽40的槽底41，防止空气进入第一输气段111、第一导气段112、第二导气段122以及第二输气段121，避免外部气体或者杂质污染刻蚀腔B。本实施例中，密封件50可以设置为板状，密封件50的正投影覆盖第一输气段111、第一导气段112、第二导气段122以及第二输气段121，以使密封将50对第一输气段111、第一导气段112、第二导气段122以及第二输气段121进行密封。可以理解的是，密封件50也可以设置为其他形状，本实施例对密封件50的形状不做限制，密封件50的材料可以选择与盖板本体20相同的材料。

请参考图3，在一些实施例中，可视盖板100还包括紧固件，紧固件与密封件50以及凹槽40的槽底41及/或槽壁42连接，紧固件用于将密封件50固定于凹槽40的槽底41及/或槽壁42。

基于上述实施例，由于刻蚀腔B在进行刻蚀过程或者维护、检修过程时需保持真空状态，因此，需要将密封件50固定在凹槽40的槽底41及/或槽壁42上以实现对气道10的密封，在本实施例中，紧固件可以为胶粘剂，将胶粘剂涂布于密封件50与凹槽40的槽底41及/或槽壁42之间，使得密封件50粘接于凹槽40的槽底41及/或槽壁42，当凹槽40的槽底41以及凹槽40的槽壁42均涂布胶粘剂时，密封件50对凹槽40的槽底41密封效果较好。可以理解的是，密封件50与凹槽40槽底41及/或槽壁42之间还可以选择其他连接方式如螺纹连接等。

请参考图3，在一些实施例中，凹槽40的槽底41未与气道10连通的部分开设有螺纹孔411，密封件50上开设有通孔51，紧固件为螺纹件，螺纹件穿设于通孔51并与螺纹孔411螺纹配合。

基于上述实施例，螺纹件穿设于通孔51，螺纹件的外螺纹与螺纹孔411的内螺纹连接，而将密封件50固定于凹槽40的槽底41，螺纹件的外螺纹和螺纹孔411的内螺纹相互咬合使得密封件50更加紧密的固定于凹槽40的槽底41，从而实现对气道10的密封，同时螺纹件还便于拆装。螺纹孔411、通孔51以及螺纹件的数量可以根据实际情况进行选择。

在一些实施例中，气道10的流通截面为圆形，流通截面的直径为4mm～5mm。

基于上述实施例，气道10的流通截面为圆形以及流通截面的直径为4mm～5mm，当气道10流通截面的直径小于4mm时，第二开口12A的口径小于进气口A的口径，不利于气体从进气口A流入第二开口12A；由于气道10开设于厚度一定的可视盖板100内，当气道10流通截面的直径大于5mm时，气道10占用过大的厚度导致可视盖板100强度较小，在使用可视盖板100观察刻蚀腔B内各部件的运动情况时，可视盖板100需承受较大的气压，可视盖板100强度较小容易导致可视盖板100损坏；当气道10流通截面的直径在4mm～5mm范围内，不仅利于气体在通道10内流通，且可以使得可视盖板100具有较强的刚性，从而可以提高可视盖板100的使用寿命。

请参阅图1-2，在其中一些实施例中，干法刻蚀机200还包括密封圈63，密封圈63设置于进气口A的口壁周围，气道10的周壁与密封圈63抵接，密封圈63用于密封进气口A的口壁与气道10的周壁的连接处。

基于上述实施例，在进气口A的口壁周围设置密封圈63，气道10的周壁抵接于密封圈63，密封圈63用于密封进气口A与气道10的周壁的连接处，密封圈63能够防止进气口A处漏气，也可防止空气进入气道10。密封圈63的材料可以设置为橡胶。可以理解的是，密封圈63对应进气口A处开设有通孔，以使厂务端61流出的气体可通过进气口A、通孔以及第二开口12A流入气道10，此外，由于，第一开口面21与所述第二开口面31之间构成台阶结构C，可视盖板100盖合于刻蚀腔B后，第二开口面31与干法刻蚀机200的台面之间存在间隙，密封圈63的厚度可以大于该间隙，密封圈63与第二开口面31以及干法刻蚀机200的台面之间过盈配合，从而通过密封圈63密封进气口A的口壁与第二开口12A的口壁，达到更好地密封效果，可以理解的是，密封圈63的厚度可以等于该间隙。

本实施例的附图中相同或相似的标号对相同或相似的部件；在本申请的描述中，需要理解的是，若有术语“上”、“下”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此附图中描述位置关系的用语仅用于示例性说明，不能理解为对本专利的限制，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语的具体含义。

以上仅为本申请的较佳实施例而已，并不用以限制本申请，凡在本申请的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种可视盖板，其特征在于，应用于干法刻蚀机，所述干法刻蚀机具有进气口以及刻蚀腔，所述可视盖板开设有气道，所述气道开设于所述可视盖板内部，在所述可视盖板盖设于刻蚀腔时，所述气道用于连通所述进气口以及所述刻蚀腔。

2.如权利要求1所述的可视盖板，其特征在于，所述可视盖板还包括：

盖板本体，所述盖板本体内开设第一气道，所述第一气道具有用于与所述刻蚀腔连通的第一开口；以及

凸伸部，所述凸伸部凸设于所述盖板本体的边缘，所述凸伸部内开设第二气道，所述第一气道与所述第二气道连通以形成所述气道，所述第二气道具有用于与所述进气口连通的第二开口。

3.如权利要求2所述的可视盖板，其特征在于，

所述第一气道包括第一输气段以及第一导气段；

所述第二气道包括第二输气段以及第二导气段；

所述第一输气段、所述第一导气段、所述第二导气段以及所述第二输气段依次连通，所述第一输气段远离所述第一导气段的一端具有所述第一开口，所述第二输气段远离所述第二导气段的一端具有所述第二开口。

4.如权利要求3所述的可视盖板，其特征在于，所述可视盖板背离所述第一开口的表面开设有凹槽，所述凹槽的槽底与所述第一导气段以及所述第二导气段连通，所述可视盖板还包括：

密封件，所述密封件用于密封所述凹槽的槽底，所述密封件用于隔绝空气进入所述第一导气段以及所述第二导气段。

5.如权利要求4所述的可视盖板，其特征在于，所述可视盖板还包括：

紧固件，所述紧固件与所述密封件以及所述凹槽的槽底及/或槽壁连接，所述紧固件用于将所述密封件固定于所述凹槽的槽底及/或槽壁。

6.如权利要求5所述的可视盖板，其特征在于，所述凹槽的槽底开设有螺纹孔，所述密封件上开设有通孔，所述紧固件为螺纹件，所述螺纹件穿设于所述通孔并与所述螺纹孔螺纹配合。

7.如权利要求2所述的可视盖板，其特征在于，所述盖板本体具有开设所述第一开口的第一开口面，所述凸伸部具有开设所述第二开口的第二开口面，所述第一开口面相较于所述第二开口面更靠近所述刻蚀腔，以在所述凸伸部与所述盖板本体连接处构成台阶结构。

8.如权利要求1所述的可视盖板，其特征在于，所述气道的流通截面为圆形，所述流通截面的直径为4mm～5mm。

9.一种干法刻蚀机，其特征在于，包括：

如权利要求1-8任一项所述的可视盖板；

厂务端，可经所述进气口以及所述气道与所述刻蚀腔连通；以及

进气阀，所述进气阀设置于所述刻蚀腔与所述厂务端之间，用于控制所述厂务端与所述刻蚀腔之间的气流通道的通断。

10.如权利要求9所述的干法刻蚀机，其特征在于，所述干法刻蚀机还包括：

密封圈，所述密封圈设置于所述进气口的口壁周围，所述气道的周壁与所述密封圈抵接，所述密封圈用于密封所述进气口的口壁与所述气道的周壁的连接处。

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