JPH08130235A - 電子部品の移送装置と移送方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 電子部品の搬送移載装置に関し、真空吸着用
エアシリンダへの制御容易化と部品開離の確実化を実現
して生産性の向上を図ることを目的とする。 【構成】 開口部を部品吸着部とする第１の吸着シリン
ダ４と該開口部を密閉して密閉部とした第２の吸着シリ
ンダ４とを一体化併設した電子部品の移送装置であっ
て、第１の吸着シリンダ４にはピストンヘッドの開口側
端面にバキュームパッド16の部品吸着面を越える高さの
プッシャ41を装着すると共にバキュームパッド域の真空
度検出手段43を設け、該第１の吸着シリンダ４と第２の
吸着シリンダ５とは第１の吸着シリンダ４のバキューム
パッド近傍と第２の吸着シリンダ５の上記密閉域との間
を流気管3aで接続して構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は例えば平坦面を持つ電子
デバイスや半導体ウェーハの如き平坦な基板を工程間で
移送するときに使用する電子部品の移送装置とその移送
方法に係り、特に真空吸着を行わしめるエアシリンダへ
の制御を容易ならしめると共に基板とバキュームパッド
間の密着・開離の確実化を実現して生産性の向上を図っ
た電子部品の移送装置（以下文中では移送装置とする）
と移送方法に関する。

【０００２】例えば半導体装置の製造分野では半導体ウ
ェーハ（以下文中では単にウェーハとする）を複数の工
程の間で移送する必要があるが、かかる移送には移送ヘ
ッドに該ウェーハを真空吸着せしめる技術が多用されて
いる。

【０００３】この場合、確実な移送を実現するのに複雑
なエアシリンダ制御が必要であると同時に、密着後の基
板とバキュームパッド間の開離が単なる真空破壊のみで
は実現し得ないことがあることからその解決が強く望ま
れている。

【０００４】

【従来の技術】図７は従来の移送装置の基本構成例を作
動と共にシステム的に説明する図であり、 (7-1)はウェ
ーハ吸着時の状態を示し (7-2)は吸着解除時の状態を示
したものである。

【０００５】また図８は従来の他の移送装置の構成例を
概略的に説明する図である。なお図ではいずれも基板を
半導体ウェーハとする移送装置を例としているので、両
図間で同じ対象部材や部位には同一の記号を付すと共に
重複する説明についてはそれを省略する。

【０００６】図７の(7-1) で従来の移送装置１は、例え
ば真空ポンプ等による圧搾空気タンク11に繋がる主流気
管1aに配置された真空発生用電磁弁12とエジェクタ13と
真空破壊用封止弁14、と上記真空発生用電磁弁12の上流
側と上記エジェクタ13間を結ぶ副流気管1b中に配置され
た真空破壊用電磁弁15、および該副流気管1bの真空破壊
用電磁弁15と上記エジェクタ13との中間から分岐した吸
着用流気管1cの端部に配置されたゴム状の弾性材からな
る例えばスカート状のバキュームパッド16と該流気管1c
に繋がる真空スイッチ17とを少なくとも備えて構成され
ているものである。

【０００７】そして上述した真空発生用電磁弁12の起動
で主流気管1aを流れる圧搾空気はエジェクタ13と真空破
壊用封止弁14とを通過して大気中に放出されるが、エジ
ェクタ13を通過する際に該エジェクタ13を構成する図示
されないノズルによってその周囲の圧力が低下するの
で、副流気管1bのエジェクタ13と真空破壊用電磁弁15と
の間および吸着用流気管1cが減圧され、結果的に上記吸
着用流気管1cの端部に配置されたバキュームパッド16か
ら大気が吸い込まれることとなって載置台19_-1上に位置
するウェーハ20を吸着することができる。

【０００８】なお上記真空スイッチ17は該吸着用流気管
1c中の真空度をチェックするためのものである。一方図
の(7-2) に示す如く移送後の載置台19_-2と対応する位置
で、上記真空発生用電磁弁12の作動を停止させて主流気
管1aでの圧搾空気流路を遮断すると共に真空破壊用電磁
弁15を作動させて該圧搾空気を副流気管1bに流し該副流
気管1bと吸着用流気管1cとを正圧にすることでバキュー
ムパッド16に吸着されたウェーハ20を該パッド20から開
離させることができるので、該ウェーハ20を載置台19_-2
に移載することができる。

【０００９】かかる従来の移送装置１では圧搾空気とし
ての供給圧力を一定にすれば得られる真空度も安定して
いるため、同一種類ウェーハの連続した移送が効率的に
行なえる効果がある。

【００１０】しかしサイズが異なる等異種類のウェーハ
を移送するにはその都度圧搾空気の供給圧力を変える必
要があり、結果的に該供給圧力の制御システムを付加す
るか別の真空ポンプを使用したシステムを構築しなけれ
ばならず、システム全体が複雑化したり大型になり易い
デメリットがある。

【００１１】そこで、エアシリンダから得られる往復運
動で吸着用真空の発生とその破壊を行わせる簡易構成の
移送装置が発表されている。図８はかかる基本構成に基
づく移送装置の構成例を動作工程と共に説明する概略図
であり、(8-1) はウェーハ吸着前の常態を示し (8-2)は
ウェーハ吸着時の状態を、また (8-3)は移送時の状態を
示し (8-4)は移送後の移載時の状態を表わしている。

【００１２】図の(8-1) で、移送装置２は図７における
圧搾空気タンク11に繋がる５ポート電磁弁21と、該電磁
弁21の片側の２ポート21a,21b に繋がる２個の流気管2
a,2bを介して接続されている二段式エアシリンダ22とか
らなるものである。

【００１３】そしてこの場合の該二段式エアシリンダ22
は、駆動シリンダ22_-1と開口シリンダ22_-2とが１個の２
ヘッドピストン23の往復動で同時に動作し得るようにピ
ストン軸方向に続いて形成されているものであり、上記
２個の流気管2a,2b は該駆動シリンダ22_-1の両端部近傍
に設けられた２個の吸排気ポート22_-1′と22_-1″にそれ
ぞれ接続されている。

【００１４】また該エアシリンダ22の開口シリンダ22_-2
には、駆動シリンダ側端部近傍に吸排気ポート22_-2′が
設けられていると共にその開口部には図７で説明したバ
キュームパッド16が装着されている。

【００１５】なお上述した５ポート電磁弁21は一般市販
されているものであり、図示されない制御部からの信号
によって上記２個の流気管2a,2b に繋がる２ポートを例
えば21c,21d のように切替えることで、圧搾空気タンク
11からの圧搾空気の供給を変えることなく上記二段式エ
アシリンダ22への圧搾空気流路を逆転せしめて駆動シリ
ンダ22_-1としての作動を実現するように構成されている
ものである。

【００１６】従って、かかる５ポート電磁弁21を ON さ
せた図の状態で圧搾空気タンク11から圧搾空気を流すと
流気管2aを経由して上記駆動シリンダ22_-1の駆動側に注
入される圧搾空気による２ヘッドピストン23の押圧で該
ピストン自体を押下せしめることとなり、上記電磁弁21
を OFFせしめると流気管2bを経由して駆動シリンダ22 _-1
の復帰側に注入される圧搾空気による上記ヘッド裏面側
からの押圧で該ピストン23自体が押上げられるので、上
記５ポート電磁弁21を ON-OFF せしめることで上記二段
式エアシリンダ22を作動させることができる。

【００１７】一方、上記二段式エアシリンダ22の開口シ
リンダ22_-2には上記２ヘッドピストン23の他方のヘッド
が位置せしめられている。従って、上記電磁弁21を ON
させた図示状態の該移送装置２を矢印Ａのように降下さ
せてそのバキュームパッド16を載置台19_-1上のウェーハ
20に当接せしめた後上記電磁弁21を OFFすると、 (8-2)
に示すように該ウェーハ20をバキュームパッド16を介し
て上記シリンダ22に吸着させることができる。

【００１８】そこで移送装置２を矢印Ｂのように所定位
置まで移動させて (8-3)の状態とした後、該所定位置に
おける載置台19_-2上で上記電磁弁21を OFFせしめること
で、(8-4)に示すように該ウェーハ20を載置台19_-2に移
載することができる。

【００１９】かかる移送装置２では、図７で説明したよ
うに複数の電磁弁を使用する必要がないので、装置とし
てのシステムが簡略化し得るメリットがある。

【００２０】

【発明が解決しようとする課題】しかし移送中に吸着用
真空度が低下してもそれを補償することができないため
ウェーハの吸着力が低下して位置ずれが出たり落下する
ことがあると言う問題があり、更に真空吸着時にウェー
ハと密着するバキュームパッドが、吸盤状になったりウ
ェーハ表面との間の微細な引っ掛かりで機械的に噛み合
ったりすることがあって密着後の基板とバキュームパッ
ド間の開離が単なる真空破壊のみでは実現し得ないこと
があると言う問題があった。

【００２１】

【課題を解決するための手段】上記課題は、バキューム
パッドが装着された開口部を電子部品の吸着部とする第
１の吸着シリンダと、該第１の吸着シリンダと同じ構成
でその開口側のみを密閉した第２の吸着シリンダとを少
なくとも備えて構成され、第１の吸着シリンダには、そ
れに内設されて往復動するピストンヘッドの開口側端面
に該ピストンヘッドが開口側に位置したときに上記バキ
ュームパッドの電子部品吸着面を越える高さの弾性材か
らなるプッシャが設けられていると共に、上記バキュー
ムパッド近傍に電子部品吸着時の真空度検出手段が設け
られ、第１の吸着シリンダと第２の吸着シリンダとは、
第１の吸着シリンダのバキュームパッド近傍と第２の吸
着シリンダの上記密閉部近傍とが流気管で接続されてな
る電子部品の移送装置によって解決される。

【００２２】また、バキュームパッドが装着された開口
部を電子部品の吸着部とし、内設されて往復動するピス
トンヘッドの該開口側端面に該ピストンヘッドが開口側
に位置したときに上記バキュームパッドの電子部品吸着
面を越える高さの弾性材からなるプッシャを設けた第１
の吸着シリンダで電子部品を吸着する工程と、該吸着時
の真空度を検出する工程と、検出された真空度が上記電
子部品を吸着するに足る真空度に到達していないとき
に、該第１の吸着シリンダと同じ構成でその開口部のみ
が密閉され且つ該第１の吸着シリンダとはそのバキュー
ムパッド近傍と上記密閉部近傍とが流気管で接続されて
いる該第２の吸着シリンダを作動させて上記真空度を該
電子部品を吸着するに足る真空度に到達せしめる工程
と、を少なくとも含む電子部品の移送方法によって解決
される。

【００２３】

【作用】従来の二段式エアシリンダと真空度可変域を備
えた二段型エアシリンダとを、二段式エアシリンダのバ
キュームパッド領域と該二段型エアシリンダの真空度可
変域とが流気的に繋がるように併設すると、二段式エア
シリンダにおける開口シリンダのバキュームパッド領域
での真空度ひいては基板の吸着力を該二段型エアシリン
ダの作動で調整することができる。

【００２４】また、二段式エアシリンダにおける２ヘッ
ドピストンの開口側ヘッド端面にバキュームパッドの基
板吸着面より突出するプッシャを装着すると、吸着時の
ウェーハとバキュームパッド間の開離の確実化を図るこ
とができる。

【００２５】そこで本発明では、図８における二段式エ
アシリンダと、その開口シリンダのみを開口を持たない
換言すれば密閉域を持つ真空度調整シリンダに変えた二
段型エアシリンダとを、上記開口シリンダのバキューム
パット近傍と該真空度調整シリンダの密閉域間が流気管
で繋がれるように一体化させて併設すると共に、上記開
口シリンダ内に位置するピストンヘッドの開口側端面に
自然態でバキュームパッドの基板吸着面を越えるような
高さで高さ方向に弾力性あるプッシャを装着して移送装
置を構成するようにしている。

【００２６】このことは、二段式エアシリンダで吸着さ
れたウェーハの吸着力が低下したときに二段型エアシリ
ンダの作動でその吸着力が上げられることを意味すると
共に、上記ピストンの降下による真空破壊で吸着されて
いるウェーハをバキュームパッドから開離させるときに
該バキュームパッドがウェーハ表面から離れた後も上記
プッシャがウェーハ表面を押圧していることになって該
開離の確実化が実現できることを示している。

【００２７】従って、図７で説明した従来の搬送移載装
置よりも簡易化されるばかりでなく、搬送中におけるウ
ェーハの吸着力低下に伴うウェーハとしての位置ずれや
落下が抑制し得ると共にウェーハのバキュームパッドか
らの開離が確実な移送装置を構成することができて、生
産性の向上を期待することができる。

【００２８】

【実施例】図１は本発明になる移送装置の基本的構成を
説明する図であり、図２は図１の移送装置の動作を工程
的に説明する図（その１）、図３は図１の移送装置の動
作を工程的に説明する図（その２）、図４は図１の移送
装置の動作を工程的に説明する図（その３）、図５は図
１の移送装置の動作を工程的に説明する図（その４）で
ある。

【００２９】また図６は本発明の他の移送装置を構成的
に説明する図である。なお図ではいずれも、図７，図８
同様に基板がウェーハである場合を例としているので、
図７，図８と同じ対象部材・部位には同一の記号を付し
て表わしていると共に重複する説明についてはそれを省
略する。

【００３０】図１で本発明になる移送装置３は、図８で
説明した５ポート電磁弁21に繋がる第１の吸着シリンダ
４と他の５ポート電磁弁21に繋がる第２の吸着シリンダ
５とを、例えば２個の共通したパネル31に併設状に固定
一体化して構成したものである。

【００３１】この内第１の吸着シリンダ４は、図８で説
明した二段式エアシリンダ22の２ヘッドピストン（以下
単にピストンとする）23の開口シリンダ22_-2側ヘッドす
なわち図面では下側ヘッドの下端面に例えばコイルばね
からなるプッシャ41のみを追加固定したものであり、ま
た第２の吸着シリンダ５は図８で説明した二段式エアシ
リンダ22における駆動シリンダ22_-1と密閉域を備えた真
空度調整シリンダ51_-1とを上記ピストン23の軸方向に続
けて形成したものである。

【００３２】そして第１の吸着シリンダ４のピストンヘ
ッド下端面に装着される上記プッシャ41は、該ピストン
23が下死点に位置した状態で該シリンダの下端に装着さ
れている上記バキュームパッド16のウェーハ吸着面より
も突出するような長さに設定されている。

【００３３】また上記吸着シリンダ４と５とは、第１の
吸着シリンダ４における開口シリンダ22_-2のバキューム
パッド領域と第２の吸着シリンダ５の真空度調整シリン
ダ51 _-1におけるヘッドより下側の密閉域との間が、図７
で説明した電磁弁12と同様の構成であるが流路遮断側が
斜めの流路に形成されている電磁弁12′を介する流気管
3aで接続されていると共に、上記各吸着シリンダ４と５
のそれぞれに繋がる５ポート電磁弁21は共通した圧搾空
気タンク11に接続されている。

【００３４】なお各吸着シリンダ４，５の駆動シリンダ
側表面のピストンヘッド上死点と下死点とに対応するそ
れぞれの位置には、該ピストンヘッドの位置を確認する
ためのシリンダセンサ42_-1，42_-2，52_-1，52_-2が装着さ
れ、また吸着シリンダ４のバキュームパッド近傍にはウ
ェーハ吸着力換言すれば該バキュームパッド領域での真
空度が検出できる圧力センサ43が装着されている。

【００３５】かかる構成になる移送装置３では、各吸着
シリンダ４，５のそれぞれに繋がる５ポート電磁弁21を
同時に図８同様に ON 状態にした後、吸着シリンダ４の
５ポート電磁弁21のみを OFF状態にすることで図８同様
にウェーハを吸着することができるが、この場合のウェ
ーハ吸着力は上記吸着シリンダ５に繋がる５ポート電磁
弁21を OFFせしめて吸着シリンダ４のバキュームパッド
域を吸引することで更に上げることができる。

【００３６】従って、上記第１の吸着シリンダ４と第２
の吸着シリンダ５との併用で、確実なウェーハ吸着力を
得ることができる。以下図２乃至図５で移送装置３とし
ての動作を工程的に説明する。

【００３７】図２の(2-1) は本発明になる移送装置３を
図１で説明した状態で示したものである。そこで、該移
送装置３を降下させて第１の吸着シリンダ４のバキュー
ムパッド16を載置台19_-1上のウェーハ20に当接させて(2
-2) の状態にする。

【００３８】次いで、図３の(3-1) に示すように上記シ
リンダ４に繋がる５ポート電磁弁21を OFFさせると、図
８で説明したように流気管2bを経由して駆動シリンダ22
_-1の復帰側に注入される圧搾空気によってピストン23自
体が押上げられるので上記ウェーハ20がバキュームパッ
ド16を介して該第１の吸着シリンダ４に吸着されるが、
この時点で第２の吸着シリンダ５はそれに繋がる５ポー
ト電磁弁21が ON 状態にあるためピストン23が動かず初
期状態を維持している。

【００３９】そしてこのときのピストン23の位置は上述
したシリンダセンサ42_-1で検知し得ると共にウェーハ20
の吸着力すなわちバキュームパッド部での真空度は上述
した圧力センサ43で検知することができる。

【００４０】そこで、該圧力センサ43で検知された真空
度がウェーハ20を吸着するに足る真空度に到達している
ときには、第１の吸着シリンダ４と第２の吸着シリンダ
５との間に位置する電磁弁12′を図示の如くに ON して
バキュームパッド内での真空度を維持せしめると同時に
第２の吸着シリンダ５の密閉域真空度を大気圧に戻すこ
とで、上記ウェーハ20を第１の吸着シリンダ４に吸着さ
せることができる。

【００４１】なお、圧力センサ43で検知されたバキュー
ムパッド内の真空度がウェーハ20を吸着するに足る真空
度に到達していないときには、上記第２の吸着シリンダ
５に繋がる５ポート電磁弁21を OFFしてシリンダセンサ
52_-1で検出し得る位置までピストン23を上昇させ流気管
3aで繋がる上記バキュームパッド内の真空度を上げた
後、上述した電磁弁12′を ON して上記バキュームパッ
ド部での真空度を維持すると共に第２の吸着シリンダ５
の圧力調整シリンダ51_-1における密閉域内の真空度を大
気圧に戻すことで、(3-2) に示すようにウェーハ20を確
実に第１の吸着シリンダ４に吸着させることができる。

【００４２】その後、(3-1) もしくは(3-2) “図では(3
-1) ”の状態にある上記移送装置３を矢印Ｃのように一
旦上昇させた後所定の載置台19_-2と対応する位置まで移
動せしめるが、図４の(4-1) はこのときの状態を示した
ものである。

【００４３】そこで該移送装置３を降下させて上記バキ
ュームパッド16に吸着されているウェーハ20を該載置台
19_-2の表面に当接させた後、各吸着シリンダ４，５に繋
がる５ポート電磁弁21を ON せしめてそれぞれのピスト
ン23を降下させると、バキュームパッド内の真空度が徐
々に大気圧に戻ってウェーハ20の吸着力がなくなるが、
該ピストンと共に降下する上記プッシャ41がウェーハ20
と接触した時点以降は該プッシャ41の押圧による開離力
がウェーハ20に付加される。

【００４４】図４の(4-2) はこのときの状態を示したも
のであり、この時点では第１の吸着シリンダ４のピスト
ン23がシリンダセンサ42_-2で検出される位置に到達して
いないことを表わしている。

【００４５】一方該移送装置３を上昇させると、バキュ
ームパッド16がウェーハ表面から離れても上記プッシャ
41がウェーハ表面を押圧している図５の(5-1) の状態を
経て、(5-2) で示す状態すなわち初期の(2-1) の状態に
戻るので、ウェーハ20のバキュームパッド16ひいては第
１の吸着シリンダ４からの開離の確実化を図ることがで
きる。

【００４６】なお、図における各吸着シリンダ４，５そ
れぞれの駆動側の流気管2bに流量を調整するスピードコ
ントローラ44,53 を装着すると、該各コントローラ44,5
3 によって吸着シリンダ４と５の各駆動シリンダ内部の
ピストン動作速度を制御することができるので、ウェー
ハ開離時の該ウェーハに対する衝撃が調整し得るメリッ
トがある。

【００４７】移送装置としての他の構成例を説明する図
６は、図１で説明した移送装置３における各シリンダの
駆動源である圧搾空気をモータに置き換えたものであ
る。すなわちこの場合の移送装置６は、回転方向と回転
速度および回転角度が制御し得る例えばステッピングモ
ータやサーボモータの如きモータ61の回転軸に直結した
ボールねじ62に嵌合して該回転軸方向に上下動し得るナ
ット板63に係合して動作する前記開口シリンダ22_-2と等
しい第１の吸着シリンダ７と、型格が同じ他のモータ61
の回転軸に直結したボールねじ62に嵌合して該回転軸方
向に上下動し得るナット板63に係合して動作する前記圧
力調整シリンダ51_-1と等しい第２の吸着シリンダ８と
が、例えばそれぞれのモータ域とシリンダ域とで位置決
め保持し得る２個の共通したパネル64に装着一体化して
構成されたものである。

【００４８】そして、上記第１の吸着シリンダ７の開口
側端部には図１における開口シリンダ22_-2と同様にバキ
ュームパッド16とプッシャ41とが装着され、また該第１
の吸着シリンダ７のバキュームパッド領域と上記第２の
吸着シリンダ８の前述した密閉域とは図１同様に電磁弁
12′を介する流気管6aで接続されている。なお、第１の
吸着シリンダ７のバキュームパッド近傍にウェーハ吸着
力が検出し得る圧力センサ43が装着されていることも図
１の場合と同様である。

【００４９】かかる構成になる移送装置６では、上記第
１，第２の各吸着シリンダ７，８それぞれのモータ71を
動作させてナット板73を上昇させると図１における電磁
弁21を OFF にした場合と同じ状態になし得るので、上
記バキュームパッド16をウェーハ20の表面に当接せしめ
て上記ナット板73を上昇させることで該ウェーハ20を真
空吸着することができる。

【００５０】なお、該バキュームパッド域での真空度が
上記圧力センサ43による検知で不足しているときには、
第２の吸着シリンダ８のナット板73を上昇させることで
解消し得ることは図３の場合と同様である。

【００５１】以後、該移送装置６を所定の載置台に移動
させ更に上記ウェーハを該載置台に当接せしめた後、例
えば上記第１の吸着シリンダ７のモータ61によるナット
板73の降下でバキュームパッド域の真空を破壊せしめる
ことで、上述したプッシャ41の作用とあいまって該ウェ
ーハ20を所定の載置台上に確実に移送することができ
る。

【００５２】かかる移送装置６では、図１で説明したよ
うな圧搾空気や二段式エアシリンダ等を使用する必要が
ないので、図１の移送装置３よりも装置としての小型化
や簡略化が実現できるメリットがある。

【００５３】なお上記説明ではウェーハ用の移送装置を
例としているが、該ウェーハが吸着面を持つ電子デバイ
スや回路基板等であっても同等の効果が得られることは
明らかである。

【００５４】

【発明の効果】上述の如く本発明により、真空吸着を行
わしめるシリンダへの制御を容易ならしめると共に電子
部品とバキュームパッド間の密着・開離の確実化を実現
して生産性の向上を図った電子部品の移送装置と移送方
法を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明になる移送装置の基本的構成を説明す
る図。

【図２】 図１の移送装置の動作を工程的に説明する図
（その１）。

【図３】 図１の移送装置の動作を工程的に説明する図
（その２）。

【図４】 図１の移送装置の動作を工程的に説明する図
（その３）。

【図５】 図１の移送装置の動作を工程的に説明する図
（その４）。

【図６】 本発明の他の移送装置を構成的に説明する
図。

【図７】 従来の移送装置の基本構成例を作動と共にシ
ステム的に説明する図。

【図８】 従来の他の移送装置の構成例を概略的に説明
する図。

【符号の説明】

3,6 電子部品の移送装置 2a,2b,3a,6
a 流気管 4,7 第１の吸着シリンダ 5,8 第２の吸着シリンダ 12′ 電磁弁 16 バキュームパッド 19_-1，19_-2 載置台 20 半導体ウェーハ 21 ５ポート電磁弁 22_-1 駆動シリンダ 22_-2 開口シリンダ（第１のシリンダ） 23 ピストン 31,64 パネル 41 プッシャ 42_-1，42_-2，52_-1，52_-2 シリンダセンサ 43 圧力センサ 44,53 スピードコントローラ 51_-1 圧力調整シリンダ（第２のシリンダ）

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 バキュームパッドが装着された開口部を
   電子部品の吸着部とする第１の吸着シリンダと、該第１
   の吸着シリンダと同じ構成でその開口側のみを密閉した
   第２の吸着シリンダとを少なくとも備えて構成され、 第１の吸着シリンダには、それに内設されて往復動する
   ピストンヘッドの開口側端面に該ピストンヘッドが開口
   側に位置したときに上記バキュームパッドの電子部品吸
   着面を越える高さの弾性材からなるプッシャが設けられ
   ていると共に、上記バキュームパッド近傍に電子部品吸
   着時の真空度検出手段が設けられ、 第１の吸着シリンダと第２の吸着シリンダとは、第１の
   吸着シリンダのバキュームパッド近傍と第２の吸着シリ
   ンダの上記密閉部近傍とが流気管で接続されてなること
   を特徴とする電子部品の移送装置。
2. 【請求項２】 請求項１記載の第１の吸着シリンダと第
   ２の吸着シリンダのそれぞれに内設されているピストン
   ヘッドを往復動させる駆動源が、電磁弁を介する圧搾空
   気であることを特徴とする電子部品の移送装置。
3. 【請求項３】 請求項２記載の電子部品の移送装置にお
   いて、 第１の吸着シリンダが、駆動シリンダとそれに連動する
   開口シリンダとが１個のピストン軸方向に連設された二
   段式エアシリンダで構成され、 第２の吸着シリンダが、駆動シリンダとそれに連動する
   真空度調整シリンダとが１個のピストン軸方向に連設さ
   れた二段型エアシリンダで構成されていることを特徴と
   する電子部品の移送装置。
4. 【請求項４】 請求項１記載の第１の吸着シリンダと第
   ２の吸着シリンダのそれぞれに内設されているピストン
   ヘッドの往復動が、回転方向と回転速度および回転角度
   が制御し得るモータの回転軸に直結するボールねじと嵌
   合して往復動するナット板を駆動現として構成されてい
   ることを特徴とする電子部品の移送装置。
5. 【請求項５】 請求項４記載の電子部品の移送装置にお
   いて、 第１の吸着シリンダが、往復動なし得るナット板にボー
   ルねじと平行するように固定された軸をピストン軸とす
   る開口シリンダで構成され、 第２の吸着シリンダが、上記ナット板にボールねじと平
   行するように固定された軸をピストン軸とする真空度調
   整シリンダで構成されていることを特徴とする電子部品
   の移送装置。
6. 【請求項６】 バキュームパッドが装着された開口部を
   電子部品の吸着部とし、内設されて往復動するピストン
   ヘッドの該開口側端面に該ピストンヘッドが開口側に位
   置したときに上記バキュームパッドの電子部品吸着面を
   越える高さの弾性材からなるプッシャを設けた第１の吸
   着シリンダで電子部品を吸着する工程と、 該吸着時の真空度を検出する工程と、 検出された真空度が上記電子部品を吸着するに足る真空
   度に到達していないときに、該第１の吸着シリンダと同
   じ構成でその開口部のみが密閉され且つ該第１の吸着シ
   リンダとはそのバキュームパッド近傍と上記密閉部近傍
   とが流気管で接続されている該第２の吸着シリンダを作
   動させて上記真空度を該電子部品を吸着するに足る真空
   度に到達せしめる工程と、 を少なくとも含むことを特徴とする電子部品の移送方
   法。
7. 【請求項７】 請求項６記載の第１の吸着シリンダと第
   ２の吸着シリンダのそれぞれに内設されているピストン
   ヘッドを往復動させる駆動源を、電磁弁を介する圧搾空
   気とすることを特徴とする電子部品の移送方法。
8. 【請求項８】 請求項６記載の電子部品の移送方法にお
   いて、 第１の吸着シリンダを、駆動シリンダとそれに連動する
   開口シリンダとが１個のピストン軸方向に連設された二
   段式エアシリンダで構成し、 第２の吸着シリンダを、駆動シリンダとそれに連動する
   真空度調整シリンダとが１個のピストン軸方向に連設さ
   れた二段型エアシリンダで構成することを特徴とする電
   子部品の移送方法。
9. 【請求項９】 請求項６記載の第１の吸着シリンダと第
   ２の吸着シリンダのそれぞれに内設されているピストン
   ヘッドの往復動を、回転方向と回転速度および回転角度
   が制御し得るモータの回転軸に直結するボールねじと嵌
   合して往復動するナット板を駆動現とすることを特徴と
   する電子部品の移送方法。
10. 【請求項１０】 請求項６記載の電子部品の移送方法に
    おいて、 第１の吸着シリンダを、往復動し得るナット板にボール
    ねじと平行するように固定された軸をピストン軸とする
    開口シリンダで構成し、 第２の吸着シリンダを、上記ナット板にボールねじと平
    行するように固定された軸をピストン軸とする真空度調
    整シリンダで構成することを特徴とする電子部品の移送
    方法。