JPH08129726A - 磁気ヘッド及びこの製造方法 - Google Patents

磁気ヘッド及びこの製造方法

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JPH08129726A
JPH08129726A JP6266908A JP26690894A JPH08129726A JP H08129726 A JPH08129726 A JP H08129726A JP 6266908 A JP6266908 A JP 6266908A JP 26690894 A JP26690894 A JP 26690894A JP H08129726 A JPH08129726 A JP H08129726A
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 磁気ヘッドと磁気記録媒体との接触頻度を減
少させること。 【構成】 支持バネ表面に追従方向の剛性を高めずにシ
ーク方向の剛性を高めるシーク方向保持部材を有する。
シーク方向保持部材は、シーク方向に平行な凸部、また
はシーク方向に平行な折れ曲がり部で形成されている。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はコンピュータなどの磁気
ディスク装置に用いられる磁気ヘッドに関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】近年、情報記憶ファイルの分野において
高記録密度化が着実に向上している。磁気ディスク装置
では、情報を読み書きする磁気ヘッドと、情報を保持し
ている磁気記録媒体との間隔（以下スペーシングと称す
る）を小さくすることが高密度化の重要な要素の一つと
なっている。スペーシングの微小化にともない、磁気ヘ
ッドと磁気記録媒体との接触頻度が増加して摩耗の問題
が顕在化してきた。特に磁気ヘッドの振動により、磁気
ヘッドが磁気記録媒体に接触する場合が多い。
【０００３】磁気ヘッドの振動は、主として磁気記録媒
体または磁気ヘッドの走行方向に生じるピッチング振動
とシーク方向（磁気記録媒体の半径方向）に生じるロー
リングの２つのモードがあるが、特にシーク方向振動に
よる摩耗が重大である。シーク方向振動を減少させるた
めに、磁気ヘッドを保持する支持バネのシーク方向剛性
を高め、共振点を高周波側に移動させてローリングの振
幅を減少させる方法が知られている。また、支持バネの
シーク剛性を高めるために支持バネのシーク方向端面を
Ｌ字型に折れ曲げる事が行われている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしスペーシングが
０．５マイクロメーター以下に減少した場合、Ｌ字型端
面を有する支持バネでは、シーク剛性が不足でありロー
リングによる摩耗を防止する事は困難である。また磁気
ヘッドの小型化および軽荷重化にともない、支持バネの
押しつけ荷重を微小にするために支持バネの厚さを微小
にする必要がある。しかし支持バネが薄くなるとＬ字型
端面形状では十分なシーク剛性を保持する事が困難であ
る。またＬ字型端面形状は、磁気記録媒体に垂直な方向
への剛性も大きくしてしまうので磁気記録媒体への押し
つけ荷重も大きくなってしまう。
【０００５】
【発明の目的】本発明は、係る従来例の有する不都合を
解決し、特に、磁気ヘッドと磁気記録媒体との接触頻度
を減少させることのできる磁気ヘッドを提供すること
を、その目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】そこで、本発明では、磁
気ヘッドスライダを支持する支持バネの表面に追従方向
の剛性を高めずにシーク方向の剛性を高めるシーク方向
剛性保持部材を有する、という構成を採っている。これ
によって前述した目的を達成しようとするものである。
【０００７】具体的には、（１）．シーク方向剛性保持
部材が、シーク方向に平行な凸部で形成されていると良
い。
【０００８】この場合、凸部のアスペクト比が、０．５
〜１．０であると従来例との比較において飛躍的な効果
を奏する。
【０００９】また、この（１）の磁気ヘッドは、磁気ヘ
ッドスライダを支持する支持バネを、燐青銅，ステンレ
ス，アルミナ，又は珪素で構成すると共に、シーク方向
に平行な凸部を、当該燐青銅等にレジストを塗布しマス
クを通して露光した後当該燐青銅等に応じたエッチング
液により食刻したのちレジストを剥離剤により除去して
形成することにより製造することができる。
【００１０】一方、（２）．シーク方向剛性保持部材
が、シーク方向に平行な折れ曲がり部で形成されていて
も良い。
【００１１】この場合、折れ曲がり部のアスペクト比
が、０．０５〜１．０であると従来例との比較において
飛躍的な効果を奏する。
【００１２】また、この（２）の磁気ヘッドは、磁気ヘ
ッドスライダを支持する支持バネを、燐青銅又はステン
レスで構成すると共に、シーク方向に平行な折れ曲がり
部を、プレスにより作製したすることにより製造するこ
とができる。
【００１３】
【作用】本発明の磁気ヘッドを保持する支持バネの一つ
は、シーク方向に平行な凸部を有しているため、シーク
方向の剛性が高まるとともに共振周波数が増加し、振動
が低減される。このため磁気記録媒体との接触頻度が減
少する。
【００１４】この様な凸部は支持バネに用いられる燐青
銅，ステンレスなどの金属あるいはアルミナ，珪素など
のセラミックスの薄板にレジストを塗布し、マスクを通
して露光した後、塩化第二鉄，王水，ふっ化水素酸，ふ
っ化水素酸と硝酸の混合液，あるいはＫＯＨなどのエッ
チング液により食刻した後、レジストを剥離剤により除
去して形成する（以下フォトリソグラフィー法とい
う）。凸部によりシーク剛性が大きくなるが、押しつけ
荷重の増加はわずかである。
【００１５】また本発明の別の支持バネは、シーク方向
に平行な折れ曲がり部を有しているため、シーク方向の
剛性が高まるとともに共振周波数が増加し、振動が低減
される。このため磁気記録媒体との接触頻度が減少す
る。
【００１６】この様な折れ曲がり部は燐青銅，ステンレ
スなどの金属材料の薄板をプレスにより形成する。先の
凸部の場合と同様、押しつけ荷重を小さくしたままシー
ク剛性を大きくする事が出来る。
【００１７】エッチング法による凸部ではアスペクト比
（凸部の高さと巾の比）を大きく取れる（例えば１〜２
０以上）ことが特徴である。一方、プレス法ではアスペ
クト比は１以下と小さいが、簡便に作製する事が出来
る。上記凸部または折れ曲がり部はシーク方向に平行に
設けられる事が重要である。従来のヘッドのようにＬ型
端面がシーク方向と垂直に設けられている場合はシーク
剛性を高める効果は少ない。
【００１８】
【実施例】次に、本発明の実施例（１）について説明す
る。本実施例では、スペーシングが０．５マイクロメー
タおよび荷重が１グラム重以下の低スペーシング，軽荷
重磁気ヘッドにおいてシーク剛性を高めるために、支持
バネ表面にシーク方向に平行な凸部を作製するか、また
は支持バネ表面にシーク方向に平行な折れ曲がり部を作
製することを特徴とする。
【００１９】図１は本発明の記録ヘッド１の基本構成を
示す図で、符号２は磁気ヘッドスライダー，符号３は支
持バネ，符号４は凸部である。巾０．５ｍｍ（磁気ヘッ
ドスライダ装着部）〜１．０ｍｍ（基部），長さ１０ｍ
ｍ，厚さ３０マイクロメーターの珪素板からなる支持バ
ネ３の表面に前記フォトリソグラフィー法により巾５マ
イクロメーター，高さ２．５マイクロメーター〜２０マ
イクロメーター（アスペクト比０．５〜１０）の凸部４
を作製した。エッチング液はＫＯＨを用いた。凸部の具
体的な大きさは、巾５マイクロメーターであり、アスペ
クト比を０．５，１．０，５．０，１０．０としてい
る。
【００２０】さらに実施例（２）として、実施例（１）
と同様の手法で支持バネ３にアルミナ板を用いて凸部４
を作製した。
【００２１】さらに実施例（３）として、実施例（１）
と同様の手法で支持バネ３にステンレス，エッチング液
に塩化第二鉄水溶液を用いて凸部４を作製した。
【００２２】さらに実施例（４）として、実施例（２）
と同様の手法で支持バネ３に燐青銅板を用いて凸部４を
作製した。
【００２３】また本発明の実施例（５）について説明す
る。図２は本発明の別の磁気ヘッド１の基本構造で、２
は磁気ヘッドスライダー，３は支持バネ，５は折れ曲が
り部である。巾０．５ｍｍ（磁気ヘッドスライダー装着
部）〜１．０ｍｍ（基部），長さ１０ｍｍ，厚さ５０マ
イクロメーターのステンレス板からなる支持バネ３の表
面にプレスにより巾１００マイクロメーター，高さ５マ
イクロメーター〜１００マイクロメーターの折れ曲がり
部５を作製した。また巾１００マイクロメーターでアス
ペクト比を０．０５，０．１，０．５，１．０とした折
れ曲がり部５を作製した。
【００２４】さらに実施例（６）として、実施例５と同
様にして但し支持バネ３に燐青銅板を用いて折れ曲がり
部５を作製した。以上の実施例の磁気ヘッドスライダー
２はスペーシング０．０５マイクロメーターに設計され
ている。
【００２５】さらに比較例（１）として実施例（１）と
同様にして但し、凸部の無い支持バネを有する磁気ヘッ
ドを作製した。また比較例（２）として実施例（５）と
同様に但し、折れ曲がり部の無い支持バネを有する磁気
ヘッドを作製した。
【００２６】さらに比較例（３）として、図３に示すよ
うにＬ型端面５６を有する従来の支持バネ５３を有する
磁気ヘッド５１を作製した。なお、従来の磁気ヘッドの
スペーシングは、０．２マイクロメーターで支持バネの
大きさ巾２．０ｍｍ（磁気ヘッドスライダー装着部）〜
６．０ｍｍ（基部），板厚１００マイクロメーターのス
テンレスである。
【００２７】以上の実施例（１）から（６）および比較
例（１）から（３）の支持バネ３の先端に磁気ヘッドス
ライダー２を接着して磁気ヘッド１を作製し、シーク方
向７に加振したときの振幅の周波数特性を調べた。ある
いは磁気ヘッド１を押しつけ方向（磁気記録媒体方向）
８に、支持バネ３が磁気記録媒体表面に平行になるまで
押しつけたときの荷重を測定した。
【００２８】また、各実施例および比較例を用いて、シ
ーク方向に磁気ヘッドを１時間繰り返し動かして磁気ヘ
ッドスライダーと磁気ディスク媒体の接触の頻度、およ
び磁気ヘッドスライダーおよび磁気ディスク媒体表面の
摩耗の程度を観察する試験を行った（シーク接触，摩耗
試験）。おな、該試験において磁気ヘッドスライダーに
１０ミリボルトの電界をかけ、磁気ヘッドスライダーと
磁気ディスク媒体の接触を検知し接触頻度を調べた。な
お、磁気記録媒体の回転数を調節して、各磁気ヘッドス
ライダーのスペーシングを等しくした。
【００２９】
【発明の効果】上記試験の結果、実施例（１）の磁気ヘ
ッドは図４に示すように、シーク方向の共振周波数がア
スペクト比が大きいほど増加し、また凸部の無い比較例
（１）あるいはＬ字端面を有する従来ヘッド（比較例
（３））に比べて極めて高い方に移動している事が分か
る。一方、荷重は凸部の無い比較例（１）に比べ、１．
５〜２倍の増加に留まった。また実施例（５）の磁気ヘ
ッドは図５に示すようにシーク方向の共振周波数がアス
ペクト比が大きいほど増加し、また凸部の無い比較例
（２）あるいはＬ字端面を有する従来ヘッド（比較例
（３））に比べて極めて高い方に移動している事が分か
る。一方、荷重は折れ曲がり部の無い比較例２に比べ、
１．１〜１．５倍の増加に留まった。
【００３０】また実施例（２），（３），および（４）
の磁気ヘッドも、図４に示す実施例（１）とほぼ同等の
効果が確認された。また実施例（６）の磁気ヘッドは、
図５に示す実施例（６）とほぼ同等の効果が得られた。
【００３１】さらに前記シーク接触摩耗試験の結果、図
６に示すように実施例（１）〜（６）までの凸部または
折れ曲がり部を有する磁気ヘッドは、シーク時の接触頻
度が少なく、摩耗や傷も観察されないことが分かる。一
方、比較例の磁気ヘッドはシーク時の接触が多く、傷や
摩耗が生じる事が分かった。なお、上記凸部の断面形状
は長方形を一例として示したが、三角形，台形など他の
形状でも同様の効果がある事も確認された。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の磁気ヘッドの一実施例を説明するため
の図である。
【図２】本発明の磁気ヘッドの別の実施例を説明するた
めの図である。
【図３】本発明の磁気ヘッドの比較例を説明するための
図である。
【図４】本発明の実施例（１）あるいは比較例（１）お
よび（３）の磁気ヘッドにおける、共振周波数とアスペ
クト比の関係を表す図である。
【図５】本発明の実施例（５）あるいは比較例（２）お
よび（３）の磁気ヘッドにおける、共振周波数とアスペ
クト比の関係を表す図である。
【図６】実施例（１）〜（６）及び比較例（１）〜
（３）のシーク接触摩耗試験の結果を示す図表である。
【符号の説明】
１ 磁気ヘッド ２ 磁気ヘッドスライダー ３ 支持バネ ４ 凸部 ５ 折れ曲がり部 ６ Ｌ型端面 ７ シーク方向 ８ 押しつけ方向

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 磁気ヘッドスライダを支持する支持バネ
    の表面に追従方向の剛性を高めずにシーク方向の剛性を
    高めるシーク方向剛性保持部材を有することを特徴とす
    る磁気ヘッド、
  2. 【請求項２】 前記シーク方向剛性保持部材が、シーク
    方向に平行な凸部であることを特徴とする請求項１記載
    の磁気ヘッド。
  3. 【請求項３】 前記凸部のアスペクト比が、０．５〜
    １．０であることを特徴とした請求項２記載の磁気ヘッ
    ド。
  4. 【請求項４】 磁気ヘッドスライダを支持する支持バネ
    を、燐青銅，ステンレス，アルミナ，又は珪素で構成す
    ると共に、シーク方向に平行な凸部を、当該燐青銅等に
    レジストを塗布しマスクを通して露光した後当該燐青銅
    等に応じたエッチング液により食刻したのちレジストを
    剥離剤により除去して形成することを特徴とする磁気ヘ
    ッドの製造方法。
  5. 【請求項５】 前記シーク方向剛性保持部材が、シーク
    方向に平行な折れ曲がり部であることを特徴とする請求
    項１記載の磁気ヘッド。
  6. 【請求項６】 前記折れ曲がり部のアスペクト比が、
    ０．０５〜１．０であることを特徴とした請求項５記載
    の磁気ヘッド。
  7. 【請求項７】 磁気ヘッドスライダを支持する支持バネ
    を、燐青銅又はステンレスで構成すると共に、シーク方
    向に平行な折れ曲がり部を、プレスにより作製すること
    を特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
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