JPH08115593A - 半導体記憶装置、及びデータ処理装置 - Google Patents

半導体記憶装置、及びデータ処理装置

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JPH08115593A
JPH08115593A JP6275864A JP27586494A JPH08115593A JP H08115593 A JPH08115593 A JP H08115593A JP 6275864 A JP6275864 A JP 6275864A JP 27586494 A JP27586494 A JP 27586494A JP H08115593 A JPH08115593 A JP H08115593A
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JP
Japan
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burst
counter
address
enable signal
synchronization
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JP6275864A
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English (en)
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Hideo Omori
秀雄 大森
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Hitachi Ltd
Hitachi Consumer Electronics Co Ltd
Japan Display Inc
Original Assignee
Hitachi Device Engineering Co Ltd
Hitachi Ltd
Hitachi Consumer Electronics Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明の目的は、バーストカウンタのサイク
ル時間を短縮することによって、シンクロナスDRAM
の動作速度の向上を図ることにある。 【構成】 カウンタセットイネーブル信号CSE*のア
サートタイミングに同期して歩進動作を開始し、設定さ
れたバースト長まで歩進動作することによって、上記バ
ーストカウンタのバースト動作終了指示のためのバース
トエンドを検出するためのバーストエンド検出用カウン
タ111を設け、バーストエンド検出のためのアドレス
比較を省略することで、アドレスセットサイクルでのタ
イミングマージンの拡大を図り、シンクロナスDRAM
の動作速度の向上を図る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体記憶装置、さら
にはそれの動作速度の高速化技術に関し、例えばシンク
ロナスDRAM(ダイナミック・ランダム・アクセス・
メモリ)に適用して有効な技術に関する。
【0002】
【従来の技術】半導体記憶装置の一例とされるDRAM
においては、ランダムアクセスが主体であり、アクセス
毎にロウアドレス、カラムアドレスの読み込みを順次行
うことにより、メモリセルが選択される。それに対し
て、近年、高速で大容量のメモリとしてシンクロナスD
RAMが注目され始めている。このシンクロナスDRA
Mは、従来のDRAMに比べ、クロックに同期してデー
タ、アドレス、制御信号を入出力できるため、DRAM
などと同様に大容量でありながら、その動作はSRAM
(スタティック・ランダム・アクセス・メモリ)に匹敵
するほど高速である。そのようなシンクロナスDRAM
は、選択された1本のワード線に対して幾つのデータを
アクセスするかを例えばバースト数(バースト長とも称
される)によって指定できるようになっており、バース
ト数がNである場合には内蔵カラムアドレスカウンタに
よってカラム系の選択状態を順次切換えていってN個の
データを連続的にリード又はライトできるようになって
いる。
【0003】尚、シンクロナスDRAMについて記載さ
れた文献の例としては、平成4年5月11日に、日経B
P社から発行された「日経エレクトロニクスNo.55
3(第143頁〜第147頁)」がある。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】シンクロナスDRAM
の動作速度をさらに向上させるため、カラムアドレスを
生成するためのバーストカウンタのサイクル時間の短縮
について本発明者が検討したところ、以下の理由によ
り、それが困難であることが見いだされた。
【0005】ここで、先ず本発明の一実施例にかかるア
ドレスカウンタとの比較対象とされる回路構成について
簡説する。
【0006】図5には上記カラムアドレスカウンタ50
0の構成例が示される。カウンタユニット501は、入
力される初期(1st)アドレスのビット構成に対応し
て複数設けられる。そのうちの一つの構成が代表的に示
されるように、歩進動作するバーストカウンタ508
や、バーストエンド検出用のエクスクルージブノア50
9、及びその他の論理ゲートを含む。初期アドレスは双
方ゲート502を介してバーストカウンタ508に、ま
た、双方ゲート503を介してエクスクルージブノア5
03に、それぞれ入力されるようになっている。制御信
号S1によって双方ゲート503を制御するため、制御
信号S1を反転するためのインバータ504が設けら
れ、同様に制御信号S2によって双方向ゲート503を
制御するため、制御信号S2を反転するためのインバー
タ505が設けられている。さらに、バーストカウンタ
508、エクスクルージブノア509の一方のノードを
グランドレベルに初期化するためのnチャンネル型MO
Sトランジスタ506,509が設けられている。
【0007】上記カウンタユニット501の外部には、
バーストカウンタ508の出力に基づいてカラム系選択
のためのカラムアドレスCABを生成するためのカラム
アドレスジェネレータ512が設けられ、そして、エク
スクルージブノア509の出力信号αをモニタしてバー
ストエンドを検出するためのバーストエンドモニタ51
1や、このバーストエンド検出結果に基づいて上記バー
ストカウンタ508の動作を制御するためのカウンタ制
御回路510が設けられている。
【0008】図6には上記カラムアドレスカウンタ50
0の主要部動作タイミングが示される。
【0009】制御信号S1,S2の制御によりバースト
カウンタ508が初期化された後に、制御信号S3,S
4の制御により、エクスクルージブノアの一方の入力ノ
ードに、初期アドレスが入力され、その状態で、バース
トカウンタ508の歩進動作が開始される。本回路構成
において、バーストエンドの検出は、バーストカウンタ
508の出力アドレスと、初期アドレスとを比較するこ
とによって可能とされる。すなわち、バーストエンドア
ドレスの次のアドレス(バーストエンドアドレス+1)
が初期アドレスに等しくなることから、図5に示される
構成では、バーストカウンタ508の出力アドレスと、
初期アドレスとをエクスクルージブノア509で比較
し、この比較結果をバーストモニタ511でチェックす
ることによって、バーストエンド検出が行われる。
【0010】しかしながら、本発明者の検討によれば、
上記のようにバーストカウンタ508の出力アドレス
と、初期アドレスとをエクスクルージブノア509で比
較し、この比較結果をバーストモニタ511でチェック
する方式では、バーストカウンタ508のキャリー伝達
が終了するまでは、バーストエンドを検出することがで
きないため、サイクル時間の短縮が困難であることが見
いだされた。すなわち、バーストカウンタ508のサイ
クル時間を考えた場合、図6に示されるように、アドレ
スセットサイクルでは内部クロックICLKとカウンタ
セットイネーブル信号CSE*(*はローアクティブ又
は信号反転を意味する)とのタイムラグAと、バースト
カウンタ508のアドレスセット時間(キャリー伝搬時
間に等しい)Bと、エクスクルージブノア509でのア
ドレス比較に要する時間Cとが必要とされ、サイクル時
間を短くすると、タイミングマージンの減少により不所
望な誤動作を生ずる虞がある。そのため、バーストカウ
ンタ508のサイクル時間を短縮することができず、こ
のことが、シンクロナスDRAMの動作速度の向上を阻
害することが、本発明者によって明らかとされた。
【0011】本発明の目的は、バーストカウンタのサイ
クル時間を短縮することによって、動作速度の向上を図
るための技術を提供することにある。
【0012】本発明の前記並びにその他の目的と新規な
特徴は本明細書の記述及び添付図面から明らかになるで
あろう。
【0013】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち代表的なものの概要を簡単に説明すれば下記
の通りである。
【0014】すなわち、カウンタセットイネーブル信号
のアサートタイミングに同期して初期アドレスを基準と
する歩進動作を開始し、この歩進動作により上記初期ア
ドレスに続くカラムアドレスを生成するためのバースト
カウンタを含んで半導体記憶装置が構成されるとき、上
記カウンタセットイネーブル信号のアサートタイミング
に同期して歩進動作を開始し、設定されたバースト長ま
で歩進動作することによって、上記バーストカウンタの
バーストカウント動作終了指示のためのバーストエンド
を検出するためのバーストエンド検出用カウンタを、上
記バーストカウンタとは別個に設けるものである。この
とき、上記バーストエンド専用カウンタの出力に基づい
て上記バーストカウンタの動作を制御するためのカウン
タ制御回路を設けることができる。また、そのような半
導体記憶装置を含んでデータ処理装置を構成することが
できる。
【0015】
【作用】上記した手段によれば、バーストエンド検出用
カウンタは、上記バーストカウンタの動作とは独立し
て、バーストカウンタのバーストカウント動作終了指示
のためのバーストエンドを検出する。このことが、バー
ストエンド検出のためのバーストカウンタの出力アドレ
スと初期アドレスとの比較を不要として、バーストカウ
ンタのサイクル時間の短縮化を達成する。
【0016】
【実施例】図4には、本発明の一実施例であるデータ処
理装置が示される。
【0017】この装置は、システムバス400を介し
て、CPU(中央処理装置)400、DRAM制御部4
03、SRAM(スタティック・ランダム・アクセス・
メモリ)406、ROM(リード・オンリ・メモリ)4
05、周辺装置制御部407、表示系410などが、互
いに信号のやり取り可能に結合されることによって、予
め定められたプログラムに従って所定のデータ処理を行
うコンピュータシステムとして構成される。
【0018】上記CPU401は、本システムの論理的
中核とされ、主として、アドレス指定、情報の読出しと
書込み、データの演算、命令のシーケンス、割り込の受
付け、記憶装置と入出力装置との情報交換の起動等の機
能を有し、演算制御部や、バス制御部、メモリアクセス
制御部などの各部から構成される。内部記憶装置とし
て、上記DRAM制御部403によって制御されるDR
AM402や、SRAM406、このSRAM406の
バックアップを制御するためのバックアップ制御部40
4、ROM405が設けられる。DRAM402やSR
AM406には、CPU401での計算や制御に必要な
プログラムやデータが格納される。ROM405は、読
出し専用であるため、通常は変更を要しないプログラム
が格納される。上記周辺装置制御部407は、特に制限
されないが、磁気記憶装置を一例とする外部記憶装置4
08や、キーボード409を一例とする入力装置などの
周辺装置のインタフェースとして機能する。上記表示系
410は、VRAM(ビデオ・ランダム・アクセス・メ
モリ)410A、及びそれの制御回路を含み、システム
バス400を介して転送された表示用データは、CRT
ディスプレイ装置412に同期して当該ディスプレイ装
置412に出力される。また、電源供給部411が設け
られ、ここで生成された各種電圧が、本実施例装置の各
部に供給されるようになっている。
【0019】このようなデータ処理装置において、上記
DRAM402は、本実施例システムのメインメモリと
して使用されるため、特に高速動作が要求される。その
ような意味で本実施例では、上記DRAM402とし
て、クロックに同期することにより、高速動作可能なシ
ンクロナスDRAMが適用される。
【0020】図3には上記DRAM402として上記デ
ータ処理装置に適用されるシンクロナスDRAMの全体
的な構成が示される。このシンクロナスDRAMは、C
PU401のクロックに同期してデータのリード・ライ
トが可能とされ、特に制限されないが、公知の半導体集
積回路製造技術により、単結晶シリコン基板などの一つ
の半導体基板に形成される。
【0021】図3に示されるように、このシンクロナス
DRAMは、特に制限されないが、Bank0,Ban
k1で示されるように、二つのメモリセルアレイ(メモ
リバンクと称される)312,313を有する。このメ
モリセルアレイ312,313は、それぞれダイナミッ
ク型メモリセルをアレイ状に配列して成る複数のメモリ
マットを有する。外部から取込まれたアドレスA0〜A
10がロウアドレスバッファ311を介してロウデコー
ダ308,309に伝達され、そこでデコードされるこ
とによって、それぞれメモリセルアレイ312,313
のワード線を選択的に駆動するための信号が生成される
ようになっている。
【0022】また、外部から取込まれたアドレスA0〜
A10の一部(A0〜A8)が、カラムアドレスバッフ
ァ315を介してカラムアドレスカウンタ314に入力
されるようになっている。このカラムアドレスカウンタ
314は、入力アドレスを初期アドレスとしてそれに続
くカラムアドレスを歩進動作によって生成する。生成さ
れたカラムアドレスは、カラムデコーダ304,306
に伝達されるようになっている。このカラムデコーダ3
04,305は、それぞれ入力アドレスをデコードする
ことによって、カラム選択回路の動作信号を生成する。
メモリセルアレイ312,313には、それぞれセンス
アンプ及びI/Oデータバス303,307が結合され
る。このセンスアンプ及びI/Oバスには、メモリセル
アレイ312,313のメモリセルに結合されたデータ
線の微弱な電位差(メモリセルデータ)を増幅するため
のセンスアンプや、コモンI/O線(I/Oバスとも称
される)、上記カラムデコーダ304,306からの制
御信号に基づいて上記データ線を選択的にコモンI/O
線に結合するためのカラム選択回路などが含まれる。
【0023】カラムデコード出力に基づきカラム選択回
路が動作されることによって、データ線が選択的にコモ
ンI/O線に結合されると、メモリセルへのデータ書込
み、又は当該メモリセルからのデータ読出しが可能とさ
れる。上記センスアンプで増幅されたメモリセルデータ
は、メインアンプMAを介して、外部出力可能とされ
る。また、外部からの書込みデータは、ライトアンプW
Aで増幅された後にコモンI/O線に伝達され、上記の
ようにカラムアドレスに基づいて選択されたデータ線を
介して、対応するメモリセルに伝達されることによっ
て、書込み可能とされる。上記メモリセルアレイ31
2,313は、特に制限されないが、入力されるアドレ
スの一部を利用することによって、選択的にリード・ラ
イトに関与するため、上記ライトアンプWAやメインア
ンプMA、及びデータバスDBUSは、上記メモリセル
アレイ312,313で共有されている。尚、ライトア
ンプWAやメインアンプMAのビット構成は、上記セン
スアンプ及びI/Oバスのビット構成に対応している。
例えば、上記コモンI/O線が、8ビット構成とされる
とき、上記ライトアンプWAやメインアンプMAも、そ
れに対応して8ビット構成とされる。
【0024】さらに本実施例では、コントローラ305
が設けられ、このコントローラ305は、基本クロック
CLK、チップセレクト信号CS*(*はローアクティ
ブ又は信号反転を意味する)、ロウアドレスストローブ
信号RAS*、カラムアドレスストローブ信号CAS
*、ライトイネーブル信号WE*など、外部から入力さ
れる各種信号に基づいて、本実施例シンクロナスDRA
Mにおける各部の動作制御信号を生成する。特に、この
シンクロナスDRAMの動作モードは、チップセレクト
信号CS*、ロウアドレスストローブ信号RAS*、ラ
イトイネーブル信号WE*の論理状態の組合せにによっ
て決定されるようになっている。
【0025】図1には上記カラムアドレスカウンタ31
4の主要部の構成例が示される。
【0026】カウンタユニット101は、入力される初
期(1st)アドレスのビット構成に対応して複数設け
られる。そのうちの一つの構成が代表的に示されるよう
に、歩進動作するバーストカウンタ108、及びこのバ
ーストカウンタ108への初期アドレス設定のための双
方向ゲート104、バーストカウンタ108を初期化す
るため、制御信号S2によって動作制御されるnチャン
ネル型MOSトランジスタ106が設けられる。初期
(1st)アドレスは双方ゲート102を介してバース
トカウンタ508に入力されるようになっている。制御
信号S1によって双方ゲート503を制御するため、制
御信号S1を反転するためのインバータ504が設けら
れる。
【0027】バーストカウンタ508の出力に基づいて
カラム系選択のためのカラムアドレスCABを生成する
ためのカラムアドレスジェネレータ112が設けられ
る。このカラムアドレスジェネレータ112では、初期
アドレスについては双方向ゲート102を介して取込
み、第2番目(2nd)以降のアドレスについてはバー
ストカウンタ108の出力を取込むようになっている。
そして、本実施例では、バーストエンド検出のためのア
ドレス比較に代えて、バーストエンド検出専用のカウン
タを設け、この専用カウンタの歩進動作によってバース
トエンドを検出するようにしており、それが、本実施例
回路の特徴点の一つとされる。すなわち、カウンタセッ
トイネーブル信号のアサートタイミングに同期して歩進
動作を開始して、設定されたバースト長まで歩進動作す
ることによって、上記バーストカウンタ108のバース
トカウント動作終了指示のためのバーストエンドを検出
するためのバーストエンド検出用カウンタ111や、こ
のバーストエンド検出用カウンタ111の検出結果に基
づいて上記バーストカウンタ508の動作を制御するた
めのカウンタ制御回路110が設けられている。
【0028】図6には上記カラムアドレスカウンタ11
0の主要部動作タイミングが示される。
【0029】上記バーストエンド検出用カウンタ111
は、カウンタセットイネーブル信号CSE*がローレベ
ルにアサートされることにより、それに同期してカウン
タの初期状態が設定される。この場合の初期状態は、全
ビット0(オール0)とされる。例えばバースト数が8
の場合のバーストエンドを検出するには、バーストカウ
ントが内部クロックICLKに同期することから、バー
ストエンド検出用カウンタ111の出力値が、全ビット
0の初期状態からの歩進動作により、「8」に到達する
ことによって検出可能とされる。そのように、バースト
エンド検出用カウンタ111は、内部クロックICLK
に同期して歩進動作され、その計数値がが、予め設定さ
れたバースト長に達した時点で、カウンタオペレーショ
ンイネーブル信号COEがローレベルにネゲートされ
る。このカウンタオペレーションイネーブル信号COE
のネゲートは、バーストエンドを意味するから、カウン
タ制御回路110は、それを受けて、バーストカウンタ
108の歩進動作を停止させる。また、カウンタオペレ
ーションイネーブル信号COEのネゲートは、他の機能
ブロックにも伝達されことによって、バースト動作の終
了が示される。
【0030】ここで、図5に示される回路構成に従え
ば、バーストカウンタ508の出力アドレスと、初期ア
ドレスとをエクスクルージブノア509で比較し、この
比較結果をバーストモニタ511でチェックすることに
よって、バーストエンド検出を行っていたため、バース
トカウンタ508のキャリー伝達が終了するまでは、バ
ーストエンドを検出することができず、そのためにサイ
クル時間の短縮が困難であるが、本実施例回路では、バ
ーストエンド検出用カウンタ111の歩進動作により、
バーストエンドが検出されるようになっているので、図
5に示される構成の場合のようにバーストエンド検出の
ためにバーストカウンタ508の出力アドレスと初期ア
ドレスとを比較する必要が無い。つまり、バーストエン
ド検出のためのアドレス比較が不要であり、その分、ア
ドレスセットサイクルでのタイミングマージンが拡大さ
れる。このことは、バーストカウンタのサイクル時間の
短縮が可能であることを意味する。つまり、図5に示さ
れる回路構成の場合に比して、バーストカウンタのサイ
クル時間を短縮したにもかかわらず、十分なタイミング
マージンを設けることができる。
【0031】上記実施例によれば、以下の作用効果を得
ることができる。
【0032】(1)カウンタセットイネーブル信号CS
E*のアサートタイミングに同期して歩進動作を開始
し、設定されたバースト長まで歩進動作することによっ
て、上記バーストカウンタのバースト動作終了指示のた
めのバーストエンドを検出するためのバーストエンド検
出用カウンタ111が設けられることにより、バースト
エンド検出のためのアドレス比較が不要となるため、そ
の分、アドレスセットサイクルでのタイミングマージン
が拡大される。そのようにアドレスセットサイクルでの
タイミングマージンが拡大されるので、図5に示される
構成の場合に比して、アドレスセットサイクルを短縮す
ることができ、それにより、シンクロナスDRAMの動
作速度の向上を図ることができる。
【0033】(2)カウンタセットイネーブル信号CS
E*のアサートタイミングに同期して歩進動作を開始
し、設定されたバースト長まで歩進動作することによっ
て、上記バーストカウンタのバースト動作終了指示のた
めのバーストエンドを検出するためのバーストエンド検
出用カウンタ111と、バーストエンド検出用カウンタ
111の出力に基づいてバーストカウンタ108の動作
を制御するためのカウンタ制御回路110とを設けたこ
とにより、バーストエンド検出のためのアドレス比較が
不要となるため、その分、アドレスセットサイクルでの
タイミングマージンが拡大される。そのようにアドレス
セットサイクルでのタイミングマージンが拡大されるこ
とにより、図5に示される構成の場合に比して、アドレ
スセットサイクルを短縮することができ、それにより、
シンクロナスDRAMの動作速度の向上を図ることがで
きる。
【0034】(3)上記のようにバーストエンド検出の
ためのアドレス比較が不要とされるので、図5に示され
るエクスクルージブノア509、双方向ゲート503、
nチャンネル型MOSトランジスタ509、及びインバ
ータ505に相当する論理ゲートが不要とされ、それに
より、カウンタユニット101の構成の簡略化を図るこ
とができる。
【0035】(4)上記のように高速化が図られたシン
クロナスDRAMがメインメモリなどとして搭載された
データ処理装置においては、CPU401によるメイン
メモリアクセス速度が高速化されるから、プログラムの
実行や、データのリード・ライトが高速化され、それに
より、システム全体としての処理の高速化を図ることが
できる。
【0036】以上本発明者によってなされた発明を実施
例に基づいて具体的に説明したが、本発明はそれに限定
されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲におい
て種々変更可能であることは言うまでもない。
【0037】例えば、上記実施例ではデータ処理装置の
メインメモリとしてダイナミックDRAMを適用した場
合について説明したが、キャッシュメモリや、VRAM
として、シンクロナスDRAMを適用することができ
る。また、上記実施例では、メモリセルアレイ312,
313をダイナミック型メモリセルにより形成したもの
について説明したが、複数のスタティック型メモリセル
をアレイ状に配列してメモリセルアレイを形成しても良
い。
【0038】以上の説明では主として本発明者によって
なされた発明をその背景となった利用分野であるデータ
処理装置に適用した場合について説明したが、クロック
に同期して高速にメモリをアクセスする高速画像処理シ
ステムなどに適用することができる。
【0039】本発明は、少なくとも歩進動作により初期
アドレスに続くカラムアドレスを生成するためのカウン
タを含むことを条件に適用することができる。
【0040】
【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば下記
の通りである。
【0041】すなわち、バーストカウンタの動作とは独
立して、バーストカウンタのバーストカウント動作終了
指示のためのバーストエンドを検出することにより、バ
ーストエンド検出のためのアドレス比較が不要とされ、
その分、アドレスセットサイクルでのタイミングマージ
ンを拡大することができるので、バーストカウンタのサ
イクル時間の短縮化により、シンクロナスDRAMなど
の同期型半導体記憶装置の動作速度の向上を図ることが
できる。
【0042】また、そのように高速化が図られた半導体
記憶装置を搭載するデータ処理装置においては、中央処
理装置によるメモリアクセス速度が高速化されるから、
データ処理の高速化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例であるシンクロナスDRAM
におけるカラムアドレスカウンタの主要部構成ブロック
図である。
【図2】上記カラムアドレスカウンタの動作タイミング
図である。
【図3】上記シンクロナスDRAMの全体的な構成ブロ
ック図である。
【図4】上記シンクロナスDRAMを含むデータ処理装
置の全体的な構成ブロック図である。
【図5】本発明の一実施例であるシンクロナスDRAM
におけるカラムアドレスカウンタとの比較対象とされる
カウンタの構成ブロック図である。
【図6】図5に示されるカラムアドレスカウンタの動作
タイミング図である。
【符号の説明】
101 カウンタユニット 102 双方向ゲート 104 インバータ 106 nチャンネル型MOSトランジスタ 108 バーストカウンタ 110 カウンタ制御回路 111 バーストエンド検出用カウンタ 112 カラムアドレスジェネレータ 304 カラムデコーダ 305 コントローラ 306 カラムデコーダ 307 センスアンプ、及びI/Oバス 308,309 ロウデコーダ 311 ロウアドレスバッファ 312,313 メモリセルアレイ 314 カラムアドレスカウンタ 315 カラムアドレスバッファ MA メインアンプ WA ライトアンプ 401 CPU 402 DRAM 403 DRAM制御部 404 バックアップ制御部 405 ROM 406 SRAM 407 周辺装置制御部 408 外部記憶装置 409 キーボード 410 表示系 410A VRAM 411 電源供給部 412 CRTディスプレイ装置

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 カウンタセットイネーブル信号のアサー
    トタイミングに同期して初期アドレスを基準とする歩進
    動作を開始し、この歩進動作により上記初期アドレスに
    続くカラムアドレスを生成するためのバーストカウンタ
    を含み、カラムアドレスに従ってカラム選択を行うよう
    に構成された半導体記憶装置において、上記カウンタセ
    ットイネーブル信号のアサートタイミングに同期して歩
    進動作が開始され、計数値が、設定されたバースト数に
    達することにより、上記バーストカウンタに対するバー
    ストカウント動作終了指示のためのバーストエンドを検
    出するためのバーストエンド検出用カウンタを含むこと
    を特徴とする半導体記憶装置。
  2. 【請求項2】 カウンタセットイネーブル信号のアサー
    トタイミングに同期して初期アドレスを基準とする歩進
    動作を開始し、この歩進動作により上記初期アドレスに
    続くカラムアドレスを生成するためのバーストカウンタ
    を含み、カラムアドレスに従ってカラム選択を行うよう
    に構成された半導体記憶装置において、上記カウンタセ
    ットイネーブル信号のアサートタイミングに同期して歩
    進動作が開始され、計数値が、設定されたバースト数に
    達することにより、上記バーストカウンタに対するバー
    ストカウント動作終了指示のためのバーストエンドを検
    出するためのバーストエンド検出用カウンタと、このバ
    ーストエンド検出用カウンタの出力に基づいて上記バー
    ストカウンタの動作を制御するためのカウンタ制御回路
    をと含むことを特徴とする半導体記憶装置。
  3. 【請求項3】 ダイナミック型メモリセルをアレイ状に
    配列して成る複数のメモリマットを含む請求項1記載の
    半導体記憶装置。
  4. 【請求項4】 中央処理装置と、それによってアクセス
    されるメモリとを含むデータ処理装置において、上記メ
    モリとして、請求項1乃至5のいずれか1項に記載の半
    導体記憶装置を適用して成ることを特徴とするデータ処
    理装置。
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