JPH08114402A

JPH08114402A - 変位センサ

Info

Publication number: JPH08114402A
Application number: JP27426694A
Authority: JP
Inventors: Kazuo Chikaraishi; 一穂力石; Koichi Sato; 浩一佐藤
Original assignee: NSK Ltd
Current assignee: NSK Ltd
Priority date: 1994-10-14
Filing date: 1994-10-14
Publication date: 1996-05-07

Abstract

(57)【要約】【目的】感度向上及び小型化が図られる変位センサを提
供する。【構成】入力軸２及び出力軸３間の回転方向の相対変位
に従って変位するスライダ８を、鉄等の磁性材料から形
成するとともに、その外周面に大径部８ａを形成し、そ
の大径部８ａの軸方向両側に、アルミニウム等の導電性
で且つ非磁性の材料からなるリング部材１２，１３を配
設する。そして、スライダ８を包囲するように一対のコ
イル１５，１６を同軸に配設し、それらコイル１５，１
６の自己誘導起電力の差に基づいてスライダ８の変位を
検出する。さらに、スライダ８の進退範囲の全域に渡っ
て、リング部材１２，１３の全体がコイル１５，１６の
内側に入り込んだり、外側に出てしまわないようにす
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、部材間の相対変位を
測定する変位センサに関し、特に、部材間の相対変位に
応じてコイルの内側でコアを進退させ、その進退位置に
応じて変化するコイルの誘導起電力に基づいて部材間の
相対変位を検出する変位センサにおいて、検出能力の向
上及び装置の小型化を図ったものである。

【０００２】

【従来の技術】この種の従来の技術としては、本出願人
が先に提案した特開平４−４２０１６号公報に開示され
たものがある。この従来の変位センサは、発振コイル及
び受信コイルの内側に進退自在に配置されるコアを、導
電体で且つ非磁性体の部材と、磁性体の部材とを、進退
方向に並べて構成したことに特徴がある。つまり、発振
コイル及び受信コイル間の相互インダクタンスの変化
を、コアを磁性体の部材のみから形成した場合に比べて
急峻にすることができるから、測定精度が向上するとい
うものであった。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】確かに、上記従来の技
術によれば、相互インダクタンスの変化を急峻にできる
から、測定精度が向上するという顕著な効果を得ること
ができるが、実用に供しようとした場合に下記のような
不具合があることが確認された。先ず、発振コイル及び
受信コイルを有するため、コイルを含んだ検出部の構造
が大型してしまうという問題点がある。つまり、実際に
は、発振コイルに対して受信コイルが一つだけである
と、コアの進退以外の要因（例えば、温度変化）によっ
て相互インダクタンスが変化した場合にこれをキャンセ
ルすることが困難であることから、受信コイルを二つ設
けてそれら各コイルの誘導起電力の差を差動増幅回路等
を用いて検出し、その検出結果からコアの変位を測定す
ることになるが、これではコイルの個数が最低でも三つ
になってしまい、装置の小型化を図る上で支障となる。
特に、スペース的に余裕の少ない車両に搭載されるパワ
ーステアリング装置のトルクセンサに適用する場合に
は、例えば各コイルの巻き数等を少なくしてコイル自身
の小型化を図る必要も生じることがあるが、これでは、
検出感度が落ちてしまう。

【０００４】また、上記公報に開示される構造では、内
周面及び外周面間の幅を比較的厚くしたリング状の部材
を軸方向に重ね合わせてコアを構成しているため、その
外側にさらにコイルを配設すると、センサ部分の径が太
くなってしまい、やはり装置の小型化を図る上で支障と
なる。本発明はこのような従来の技術が有する未解決の
課題に着目してなされたものであって、検出精度を向上
することができ、しかも小型化を図るのに適した構造の
変位センサを提供することを目的としている。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明である変位センサは、同軸に配設された一対
のコイルの内側に、軸方向に進退自在にコアを配置し、
前記コアの外周面に、導電性で且つ非磁性の材料からな
る領域と、磁性材料からなる領域とを、一方の領域が他
方の領域を軸方向から挟み込むように形成し、そして、
前記一対のコイル，前記一方の領域及び前記他方の領域
の軸方向の寸法関係を、前記コアの進退範囲の全域に渡
って、前記一方の領域の軸方向外側端部が常に前記一対
のコイルの軸方向外側端面よりも外側に位置し、前記他
方の領域の一端が常に前記一対のコイルのうちの一方の
内側に位置し、前記他方の領域の他端が常に前記一対の
コイルのうちの他方の内側に位置するように設定し、さ
らに、前記一対のコイルのそれぞれの自己誘導起電力の
差を検出する差動検出手段を設け、その差動検出手段の
出力に基づいて、一対のコイルを支持する部材と、前記
コアを支持する部材との間の軸方向の相対変位を測定す
るようにした。

【０００６】

【作用】ここで、本発明における非磁性の材料とは、常
磁性体及び一部の反磁性体のことであり、磁性材料と
は、強磁性体のことである。そして、非磁性材料の透磁
率は、空気と同程度であり、磁性体の透磁率に比べて小
さい。また、導電体に磁束が鎖交するとその磁束の変化
を妨げるように“うず電流”が生じ、これによって磁界
が発生するため、物質内を均等に磁束が通らないで表皮
部分に磁束が集中する表皮効果が表れる。従って、導電
性で且つ非磁性の材料からなる領域は、空気よりも磁束
を通し難い性質を有する。

【０００７】一方、コアの外周面に形成された二種類の
領域は、一対のコイルに対する軸方向の寸法関係を適宜
設定しているため、コアの進退範囲の全域に渡って、各
コイルの自己インダクタンスがリニアに変化する。各コ
イルの自己インダクタンスは、二種類の領域の磁束の通
しやすさに大きな差があるため、コアの進退に伴って急
峻に変化する。

【０００８】そして、各コイルの自己誘導起電力の差が
差動検出手段によって検出され、その検出結果から、一
対のコイルを支持する部材とコアを支持する部材との間
の相対変位が検出されるから、例えば温度等によって各
コイルの自己インダクタンスが変化してもキャンセルさ
れる。このように、本発明にあっては、自己インダクタ
ンスの変化に基づいて変位が検出されるから、発振コイ
ルは不要である。また、少なくともコアの外周面に二種
類の領域を形成する構成であるが、上述したように非磁
性体には表皮効果があるから、それら二種類の領域が薄
くても各コイルの自己インダクタンスは急峻に変化す
る。

【０００９】

【実施例】以下、この発明の実施例を図面に基づいて説
明する。図１は本発明の一実施例の全体構成を示す断面
図であって、これは、本発明に係る変位センサを、車両
用の電動パワーステアリング装置に適用した例であり、
より具体的には、操舵系に発生する操舵トルクを検出す
るトルクセンサに適用したものである。

【００１０】先ず、構成を説明すると、ハウジング１内
には、トーションバー４を介して連結された入力軸２及
び出力軸３が、軸受５ａ，５ｂ及び５ｃによって回転自
在に支持されている。ただし、入力軸２，出力軸３及び
トーションバー４は、同軸に配置されている。入力軸２
の図示しない図１右端側には、ステアリングホイールが
回転方向に一体に取り付けられており、また、出力軸３
の図示しない図１左端側には、例えば公知のラックアン
ドピニオン式ステアリング装置を構成するピニオン軸が
連結されている。従って、操縦者がステアリングホイー
ルを操舵することによって発生した操舵力は、入力軸
２，トーションバー４，出力軸３及びラックアンドピニ
オン式ステアリング装置を介して、図示しない転舵輪に
伝達する。

【００１１】また、出力軸３の右端面縁部分の周方向の
所定の位置には、入力軸２側に突出した凸部３ａが形成
されていて、この凸部３ａは、入力軸２の左端部外周面
に形成された凸部３ａよりも幅広の縦溝２ａに挿入され
ている。これにより、入力軸２及び出力軸３間の所定範
囲（例えば±５度程度）以上の相対回転を防止してい
る。

【００１２】そして、出力軸３には、出力軸３と同軸且
つ一体に回転するウォームホイール６が外嵌し、このウ
ォームホイール６に、電動モータ７の出力軸７ａ外周面
に形成されたウォーム７ｂが噛み合っている。従って、
電動モータ７の回転力は、その出力軸７ａ，ウォーム７
ｂ及びウォームホイール６を介して出力軸３に伝達され
るようになっており、電動モータ７の回転方向を適宜切
り換えることにより、出力軸３に任意の方向の操舵補助
トルクが付与されるようになっている。

【００１３】さらに、入力軸２には、入力軸２に対して
軸方向及び回転方向への相対変位が自在な円筒形のスラ
イダ８が外嵌し、そのスライダ８の左端部には、凸部３
ａに近接する円筒形のクロスガイド９の端部が結合され
ている。そして、クロスガイド９内周面の凸部３ａに対
向する部分には軸方向に長い縦溝９ａが形成されてお
り、その縦溝９ａには、内端が凸部３ａに圧入され径方
向外側に突出したピン３ｂの外端が挿入されている。

【００１４】従って、出力軸３及びスライダ８は、回転
方向には一体であるが、軸方向には縦溝９ａの長さの範
囲において相対変位が可能となっている。スライダ８
は、スプリング１０によって図１右方に常時付勢される
ようになっている。ただし、縦溝９ａから周方向に約１
８０度離隔したクロスガイド９内周面に形成された凹部
９ｂに転動可能に収容されたボール１１が、入力軸２の
左端側外周面に形成された周方向に連続する溝２ｃにも
入り込んでいるため、スライダ８の軸方向への移動は規
制されている。そして、溝２ｃは、軸に対して若干傾斜
しているため、入力軸２及び出力軸３間にトーションバ
ー４の捩じれを伴って相対回転が生じ、入力軸２に対す
るスライダ８の回転方向位置が変化すると、溝２ｃに沿
ってボール１１が軸方向に移動し、これによってスライ
ダ８が軸方向に移動するようになっている。

【００１５】本実施例のスライダ８は、磁性材料（例え
ば、鉄）製であって、その外周面の軸方向中央部分には
軸方向の所定距離に渡る大径部８ａが形成されている。
そして、その大径部８ａを軸方向の両側から挟み込むよ
うに、導電性で且つ非磁性の材料（例えば、アルミニウ
ム）製の比較的肉薄のリング部材１２及び１３がスライ
ダ８に外嵌している。なお、リング部材１２及び１３は
同一の部材であって、大径部８ａ両端の段差を埋めるよ
うな厚みを有している。

【００１６】これにより、スライダ８の外周面には、導
電性で且つ非磁性の材料からなる領域（リング部材１
２，１３）と、磁性材料からなる領域（大径部８ａ）と
が形成されている。この場合、リング部材１２及び１３
が、本発明における一方の領域となり、大径部８ａが、
本発明における他方の領域となる。さらに、ハウジング
１の内周面には、スライダ８の外周面を包囲するよう
に、軸方向に離隔した同規格の一対のコイル１５及び１
６が配設されている。具体的には、コイル１５及び１６
は、ボビン１７の内周面に同軸に保持されていて、その
ボビン１７がハウジング１の内周面に圧入されている。

【００１７】スライダ８が進退範囲の中立位置（操舵ト
ルクが零の位置）にある時の、スライダ８及びコイル１
５，１６の配置関係を拡大した図２に示すように、大径
部８ａの軸方向の中心位置ａが、コイル１５及び１６間
の中心に位置し、リング部材１２及び１３の軸方向外側
の端面位置ｂ₁，ｂ₂が、それぞれコイル１５及び１６
の軸方向外側端部よりも外側に位置し、大径部８ａ及び
リング部材１２の境界位置ｃ₁がコイル１５の内側に位
置し、大径部８ｂ及びリング部材１３の境界位置ｃ₂が
コイル１６の内側に位置するようになっている。

【００１８】そして、本実施例では、リング部材１２及
び１３の軸方向寸法（ｂ₁−ｃ₁，ｂ₂−ｃ₂）は、ス
ライダ８の進退範囲の全域に渡って、端面位置ｂ₁，ｂ
₂が常にコイル１５及び１６の軸方向外側端部よりも外
側に位置し、境界位置ｃ₁が常にコイル１５の内側に位
置し、境界位置ｃ₂が常にコイル１６の内側に位置する
ようになっている。具体的には、スライダ８が中立位置
にある時のコイル１５及び１６の軸方向外側の端面位置
を、リング部材１２又は１３の軸方向の中心位置に合わ
せるとともに、その端面位置からリング部材１２及び１
３の両端部位置までの距離を、スライダ８の中立位置か
らの最大進退距離よりも長くすることにより、上述した
寸法関係を満足するようにしている。

【００１９】コイル１５及び１６は、ハウジング１に固
定されたセンサケース２０内に収容されたモータ制御回
路に接続されている。センサケース２０に収容されたモ
ータ制御回路は、例えば図３に示すように、所定周波数
の交流電流をコイル１５，１６に供給する発振部２１
と、コイル１５の自己誘導起電力を整流及び平滑して出
力する整流・平滑回路２２と、コイル１６の自己誘導起
電力を整流及び平滑して出力する整流・平滑回路２３
と、整流・平滑回路２２の出力及び整流平滑回路２３の
出力の差を増幅して出力する差動アンプ２４Ａ，２４Ｂ
と、その差動アンプ２４Ａの出力に含まれる外部からの
ノイズ成分を除去するノイズ除去フィルタ２５Ａと、差
動アンプ２４Ｂの出力に含まれる外部からのノイズ成分
を除去するノイズ除去フィルタ２５Ｂと、それらノイズ
除去フィルタ２５Ａ，２５Ｂの出力の例えば平均値に基
づいてスライダ８の中立位置からの変位の方向及び大き
さを演算する変位演算部２６と、変位演算部２６の演算
結果に基づいて操舵系に発生している操舵トルクを求め
その操舵トルクを軽減する操舵補助トルクが発生するよ
うな駆動電流Ｉを電動モータ７に供給するモータ駆動部
２７と、から構成されている。

【００２０】次に、本実施例の動作を説明する。今、操
舵系が直進状態にあり、操舵トルクが零であるものとす
ると、入力軸２及び出力軸３間には相対回転は生じない
から、出力軸３と一体に回転するスライダ８と、入力軸
２との間にも相対回転は生じない。従って、ボール１１
は溝２ｃの初期位置に収まった状態を維持するから、ス
ライダ８には進退力は発生せず、スライダ８は中立位置
から動かない。

【００２１】一方、ステアリングホイールを操舵して入
力軸２に回転力が生じると、その回転力は、トーション
バー４を介して出力軸３に伝達される。このとき、出力
軸３には、転舵輪及び路面間の摩擦力や出力軸３の図示
しない左端側に構成されたラックアンドピニオン式ステ
アリング装置のギアの噛み合い等の摩擦力に応じた抵抗
力が生じるため、入力軸２及び出力軸３間には、トーシ
ョンバー４が捩じれることによって出力軸３が遅れる相
対回転が発生する。

【００２２】すると、出力軸３と回転方向に一体となっ
たスライダ８にも入力軸２に対する相対回転が生じる
が、スライダ８と一体となったクロスガイド９の凹部９
ｂに収容されたボール１１が入力軸２に形成された溝２
ｃ内にも収まっているので、溝２ｃの傾斜角に従ってス
ライダ８は軸方向に進退するようになる。なお、ボール
１１と、溝２ｃ，凹部９ｂの内面との間には、ボール１
１が転動できるように若干の隙間を持たせる必要がある
が、スプリング１０がスライダ８を一方向に付勢してい
るので、その隙間によるスライダ８のがたつきは防止さ
れている。

【００２３】ここで、右操舵トルク（右回転方向操舵時
に発生する操舵トルク）発生時の入力軸２及び出力軸３
間の相対回転によってスライダ８が図１右方に移動し、
左操舵トルク（左回転方向操舵時に発生する操舵トル
ク）発生時の入力軸２及び出力軸３間の相対回転によっ
てスライダ８が図１左方に移動するものとする。する
と、大径部８ａは、リング部材１２，１３よりも磁束を
通しやすい性質を有しているため、右操舵トルク発生時
には、コイル１５の自己インダクタンスは増大しコイル
１６の自己インダクタンスは減少するから、コイル１５
の自己誘導起電力は大きくなり、コイル１６の自己誘導
起電力は小さくなる。逆に、左操舵トルク発生時には、
コイル１５の自己インダクタンスは減少しコイル１６の
自己インダクタンスは増大するから、コイル１５の自己
誘導起電力は小さくなり、コイル１６の自己誘導起電力
は大きくなる。

【００２４】従って、コイル１５及び１６の自己誘導起
電力の差を求める差動アンプ２４Ａ及び２４Ｂの出力
は、図４に示すように、操舵トルクの方向及び大きさに
従ってリニアに変化するようになる。また、差動アンプ
２４Ａ及び２４Ｂにおいて整流・平滑回路２２，２３の
差を求めているため、温度等による自己インダクタンス
の変化はキャンセルされる。

【００２５】そして、変位演算部２６は、ノイズ除去フ
ィルタ２５Ａ，２５Ｂを介して供給される差動アンプ２
４Ａ，２４Ｂの出力の平均値を演算し、その値に例えば
所定の比例ゲインを乗じてスライダ８の変位量を求め、
その結果をモータ駆動部２７に供給する。モータ駆動部
２７は、スライダ８の変位の方向及び大きさが操舵トル
クの方向及び大きさに対応することから、変位演算部２
６の出力に応じた方向及び大きさの駆動電流Ｉを電動モ
ータ７に供給する。

【００２６】すると、電動モータ７には、操舵系に発生
している操舵トルクの方向及び大きさに応じた回転力が
発生し、その回転力が出力軸７ａ，ウォーム７ｂ及びウ
ォームホイール６を介して出力軸３に伝達されるから、
出力軸３に操舵補助トルクが付与されたことになり、操
舵トルクが減少し、操縦者の負担が軽減される。そし
て、スライダ８の大径部８ａ，リング部材１２，１３及
びコイル１５，１６の軸方向の寸法関係を上述のように
設定しているので、スライダ８の進退範囲全域のいずれ
の位置にあっても、リング部材１２，１３の全体がコイ
ル１５，１６の内側に入り込んでしまったり、外側に出
てしまったりすることがないから、図４に示した差動ア
ンプ２４Ａ，２４Ｂの出力は常にリニアに変化する。こ
のため、操舵系に発生する操舵トルクを、その大きさに
関係なく正確に検出できるから、的確な操舵補助トルク
を付与することができる。

【００２７】また、導電性で且つ非磁性の材料からなる
リング部材１２及び１３は、交番磁界と鎖交する場合に
は、うず電流が発生して磁束を通し難くなるため、空気
よりも更に磁束を通し難い性質を有する。従って、リン
グ部材１２，１３を設けない場合に比べて、コイル１
５，１６の自己インダクタンスの変化を急峻にすること
ができるから、差動アンプ２４Ａ，２４Ｂの出力を急峻
にしてセンサ感度を上げることができる。逆に、センサ
感度が従来のままでよければ、コイル１５，１６の巻き
数等を少なくしてコイル１５，１６を小型化できる。

【００２８】また、リング部材１２，１３内を通過する
磁束は、うず電流による表皮効果によって、コイル１
５，１６に近い表皮部分に集中することになる。ちなみ
に、コイル１５，１６に供給する交流電流の周波数を
ｆ、リング部材１２，１３をなす材料の透磁率をμ、そ
の電気伝導率をσとすれば、磁束が集中する表皮の厚さ
δは、下記の（１）式のようになる。

【００２９】 δ＝２／（２πｆ・σ・μ）^1/2 ……（１）つまり、リング部材１２，１３の径方向の厚みは、上記
（１）式で求められる厚さδ以上あればよいから、スラ
イダ８の外径寸法を小さくできる。さらには、コイルの
相互インダクタンスを変化させるのではなく、自己イン
ダクタンスを変化させる形式であるため、発振コイルは
不要である。従って、差動を取る構成であってもコイル
は二つで済み、小型化及び低コスト化を図ることができ
る。

【００３０】以上から、本実施例の構成であれば、スラ
イダ８が配設される部分を従来に比べて小型化（細く）
できるという利点があり、本実施例のようにスペース的
な余裕が小さい車両に適用される装置にとっては特に有
益である。そして、スライダ８を中心とした進退する部
材が小型化されれば、そのイナーシャも小さくなるか
ら、センサ感度が高くなるという利点もある。

【００３１】ここで、本実施例では、スライダ８及びリ
ング部材１２，１３によってコアが構成され、発振部２
１，整流・平滑回路２２，２３及び差動アンプ２４Ａ，
２４Ｂによって差動検出手段が構成される。なお、上記
実施例では、信頼性を向上させるために、差動アンプ２
４Ａ，２４Ｂ及びノイズ除去フィルタ２５Ａ，２５Ｂを
二系統設けているが、これは必ずしも必要ではなく、個
々の回路の信頼性が十分であれば一系統であっもよい
し、逆に三系統以上設けてもよい。

【００３２】また、上記実施例では、本発明に係る変位
センサを、車両用の電動パワーステアリング装置に適用
した場合について説明したが、本発明の適用対象はこれ
に限定されるものではない。そして、上記実施例では、
直線方向の変位を測定する変位センサに本発明を適用し
たが、これに限定されるものではなく、角度を検出する
変位センサ等にも適用可能である。

【００３３】さらに、上記実施例では、磁性材料からな
る大径部８ａを、導電性で且つ非磁性の材料からなるリ
ング部材１２，１３で挟み込む構成としているが、これ
らの関係は逆であってもよい。例えば、スライダ８の大
径部８ａの形成される部分に逆に小径部を形成し、そこ
に導電性で且つ非磁性の材料からなるリングを嵌め込ん
でもよいし、或いは、上記実施例と同じ構成のスライダ
８を導電性で且つ非磁性の材料で形成し、リング部材１
２，１３を磁性材料で形成するようにしてもよい。この
場合、後者の構造であれば、同じ寸法であれば進退する
部材全体の質量を低減することができるから、イナーシ
ャをより小さくできるという利点も得られる。

【００３４】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
同軸に配設された一対のコイルの内側に、軸方向に進退
自在にコアを配置し、前記コアの外周面に、導電性で且
つ非磁性の材料からなる領域と、磁性材料からなる領域
とを、一方の領域が他方の領域を軸方向から挟み込むよ
うに形成し、そして、前記一対のコイル，前記一方の領
域及び前記他方の領域の軸方向の寸法関係を、前記コア
の進退範囲の全域に渡って、前記一方の領域の軸方向外
側端部が常に前記一対のコイルの軸方向外側端面よりも
外側に位置し、前記他方の領域の一端が常に前記一対の
コイルのうちの一方の内側に位置し、前記他方の領域の
他端が常に前記一対のコイルのうちの他方の内側に位置
するように設定し、さらに、前記一対のコイルのそれぞ
れの自己誘導起電力の差を検出する差動検出手段を設
け、その差動検出手段の出力に基づいて、一対のコイル
を支持する部材と、前記コアを支持する部材との間の軸
方向の相対変位を測定するようにしたため、高いセンサ
感度が得られるとともに、装置を小型化することができ
るという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例の構成を示す断面図である。

【図２】図１の要部を拡大した図である。

【図３】モータ制御回路の一例を示す回路図である。

【図４】操舵トルクと差動アンプの出力との関係を示す
グラフである。

【符号の説明】

１ハウジング２入力軸３出力軸４トーションバー８スライダ８ａ大径部（磁性材料からなる領域）１２，１３リング部材（導電性で且つ非磁性材料
からなる領域）１５，１６コイル２１発振部２２，２３整流・平滑回路２４Ａ，２４Ｂ差動アンプ２５Ａ，２５Ｂノイズ除去フィルタ２６変位演算部２７モータ駆動回路

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】同軸に配設された一対のコイルの内側
に、軸方向に進退自在にコアを配置し、前記コアの外周
面に、導電性で且つ非磁性の材料からなる領域と、磁性
材料からなる領域とを、一方の領域が他方の領域を軸方
向から挟み込むように形成し、そして、前記一対のコイ
ル，前記一方の領域及び前記他方の領域の軸方向の寸法
関係を、前記コアの進退範囲の全域に渡って、前記一方
の領域の軸方向外側端部が常に前記一対のコイルの軸方
向外側端面よりも外側に位置し、前記他方の領域の一端
が常に前記一対のコイルのうちの一方の内側に位置し、
前記他方の領域の他端が常に前記一対のコイルのうちの
他方の内側に位置するように設定し、さらに、前記一対
のコイルのそれぞれの自己誘導起電力の差を検出する差
動検出手段を設け、その差動検出手段の出力に基づい
て、一対のコイルを支持する部材と、前記コアを支持す
る部材との間の軸方向の相対変位を測定することを特徴
とする変位センサ。