JPH0811042A - 平面研削加工方法 - Google Patents
平面研削加工方法Info
- Publication number
- JPH0811042A JPH0811042A JP14909994A JP14909994A JPH0811042A JP H0811042 A JPH0811042 A JP H0811042A JP 14909994 A JP14909994 A JP 14909994A JP 14909994 A JP14909994 A JP 14909994A JP H0811042 A JPH0811042 A JP H0811042A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- grinding
- flat surface
- grindstone
- ground
- grinding wheel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 加工時の研削抵抗をできるだけ小さくし、従
来加工方法よりも高能率で高精度な小径砥石による平面
研削加工を可能にする 【構成】 ワーク４は、図示しない駆動装置により加工
平面４ａに平行で、回転砥石５の回転軸に直角な方向に
ワーク４を往復運動させる所謂オシレーション動作を行
う第１オシレート軸２が設けられており、同様に回転砥
石５の軸方向に平行な方向にワーク４を往復運動させる
第２オシレート軸３が設けられている。さらに被加工平
面４ａに直角な方向へ切り込み送りを行う切り込み軸
（図示せず）が回転砥石５の軸側に設けられており、回
転砥石５が被加工平面に向けて送られることにより、被
加工平面全体を研削加工する。
来加工方法よりも高能率で高精度な小径砥石による平面
研削加工を可能にする 【構成】 ワーク４は、図示しない駆動装置により加工
平面４ａに平行で、回転砥石５の回転軸に直角な方向に
ワーク４を往復運動させる所謂オシレーション動作を行
う第１オシレート軸２が設けられており、同様に回転砥
石５の軸方向に平行な方向にワーク４を往復運動させる
第２オシレート軸３が設けられている。さらに被加工平
面４ａに直角な方向へ切り込み送りを行う切り込み軸
（図示せず）が回転砥石５の軸側に設けられており、回
転砥石５が被加工平面に向けて送られることにより、被
加工平面全体を研削加工する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、平面研削加工方法、特
に小径砥石により平面を研削加工する方法に関するもの
である。
に小径砥石により平面を研削加工する方法に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】従来、平面部分の研削加工にはクリープ
・フィード方式による研削加工が多く行われている。図
３に示すようにこの加工方法は、ワーク１４の上面を平
面検索する際、必要な平面高さまでの研削によって取り
除かれる除去深さＴが砥石の１回当たりの切り込み深さ
ｔとほぼ同じで切り込み深さが深く、被加工平面と平行
でかつ砥石軸に対し直角な方向に送る図３における矢印
１３方向への加工送りの加工送り速度を遅くして高速回
転砥石１５の加工送り方向への１回の砥石移動動作で加
工する加工方法である。この時、砥石の目詰まりや軸方
向の直線度を上げるため、図３の矢印１６に示されるよ
うな砥石の軸方向に高速の往復運動（所謂オシレーショ
ンもしくはチョッピング）を施している。
・フィード方式による研削加工が多く行われている。図
３に示すようにこの加工方法は、ワーク１４の上面を平
面検索する際、必要な平面高さまでの研削によって取り
除かれる除去深さＴが砥石の１回当たりの切り込み深さ
ｔとほぼ同じで切り込み深さが深く、被加工平面と平行
でかつ砥石軸に対し直角な方向に送る図３における矢印
１３方向への加工送りの加工送り速度を遅くして高速回
転砥石１５の加工送り方向への１回の砥石移動動作で加
工する加工方法である。この時、砥石の目詰まりや軸方
向の直線度を上げるため、図３の矢印１６に示されるよ
うな砥石の軸方向に高速の往復運動（所謂オシレーショ
ンもしくはチョッピング）を施している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】このような加工方法で
は、加工時の同時作用切れ刃数（砥石数）が多いため砥
粒１個当たりに作用する研削抵抗が小さくなり砥石磨耗
の進行が軽減されるという特性を有しているが、同時作
用切れ刃数が多いことから、全体的な研削抵抗は逆に大
きくなるため、加工軸系の剛性不足等により寸法形状精
度が劣化するなど加工精度に影響を及ぼす問題がある。
特にこの加工方法は砥石径の制限を受けるような内部平
面や閉所部平面等の加工の場合は、砥石形状に制約を受
け、砥石径もしくは砥石軸径が細くなるために加工軸系
の剛性不足から加工精度を不安定にしてしまう。
は、加工時の同時作用切れ刃数（砥石数）が多いため砥
粒１個当たりに作用する研削抵抗が小さくなり砥石磨耗
の進行が軽減されるという特性を有しているが、同時作
用切れ刃数が多いことから、全体的な研削抵抗は逆に大
きくなるため、加工軸系の剛性不足等により寸法形状精
度が劣化するなど加工精度に影響を及ぼす問題がある。
特にこの加工方法は砥石径の制限を受けるような内部平
面や閉所部平面等の加工の場合は、砥石形状に制約を受
け、砥石径もしくは砥石軸径が細くなるために加工軸系
の剛性不足から加工精度を不安定にしてしまう。
【０００４】そのため、加工精度・加工表面粗度を安
定、向上させるために加工送り速度を３０〜５０ｍｍ／
ｍｉｎ程度に極端に遅くし、除去速度を落とすことによ
って加工時の研削抵抗を軽減させ、その欠点を補ってい
る。このため加工効率が悪く、加工部分が大きい場合や
要求加工精度が厳しい場合には総加工時間が著しく長く
なるという問題があった。
定、向上させるために加工送り速度を３０〜５０ｍｍ／
ｍｉｎ程度に極端に遅くし、除去速度を落とすことによ
って加工時の研削抵抗を軽減させ、その欠点を補ってい
る。このため加工効率が悪く、加工部分が大きい場合や
要求加工精度が厳しい場合には総加工時間が著しく長く
なるという問題があった。
【０００５】そこで本発明は、上記問題点を解決するた
めに、加工時の研削抵抗をできるだけ小さくし、従来加
工方法よりも高能率で高精度な小径砥石による平面研削
加工を可能にすることを目的としている。
めに、加工時の研削抵抗をできるだけ小さくし、従来加
工方法よりも高能率で高精度な小径砥石による平面研削
加工を可能にすることを目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するために、小径砥石を回転させて平面を研削する平面
研削加工において、被加工平面に平行でかつ交差する２
方向に、小径砥石もしくは被加工物を往復動作させて平
面を研削加工するという技術的手段を採用するものであ
る。
するために、小径砥石を回転させて平面を研削する平面
研削加工において、被加工平面に平行でかつ交差する２
方向に、小径砥石もしくは被加工物を往復動作させて平
面を研削加工するという技術的手段を採用するものであ
る。
【０００７】
【作用及び発明の効果】本発明によれば、回転する小径
砥石は、被加工平面上を、被加工平面と平行でかつ交差
する２方向にそれぞれ往復運動しながら平面を研削加工
する。そのため、砥粒に働く切削抵抗は、異なる方向へ
分散され、平均化するとともに、砥石の目詰まりも低減
し、結果的に研削抵抗が軽減されるため、剛性の低い小
径砥石でも高能率加工が可能となり、高速でも平面度を
向上させることができ、加工時間の大幅な短縮と加工精
度の安定化を計ることが可能となる。
砥石は、被加工平面上を、被加工平面と平行でかつ交差
する２方向にそれぞれ往復運動しながら平面を研削加工
する。そのため、砥粒に働く切削抵抗は、異なる方向へ
分散され、平均化するとともに、砥石の目詰まりも低減
し、結果的に研削抵抗が軽減されるため、剛性の低い小
径砥石でも高能率加工が可能となり、高速でも平面度を
向上させることができ、加工時間の大幅な短縮と加工精
度の安定化を計ることが可能となる。
【０００８】
【実施例】以下本発明を図に示す実施例により説明す
る。図１は本加工方法の形態を示す。約φ１０ｍｍ以下
の小径の円筒形回転砥石５は、その軸を中心に約１０〜
２０万ＲＰＭ程度の高速で、図示しない高周波モータ等
の回転駆動装置により高速回転される。平面を研削する
に際しては回転砥石５の軸方向と被加工平面４ａとを平
行に配置し、回転砥石５の外周を被加工平面４ａ上に接
触させる。また、平面研削加工されるワーク４が固定さ
れるテーブル（図示せず）は、図示しない駆動装置によ
り加工平面４ａに平行で、回転砥石５の回転軸に直角な
方向にワーク４を往復運動させる所謂オシレーション動
作を行う第１オシレート軸２が設けられており、同様に
回転砥石５の軸方向に平行な方向にワーク４を往復運動
させる第２オシレート軸３が設けられている。これらの
動作は、それぞれ独立した駆動装置（図示せず）により
駆動制御されており、その速度は約９０００ｍｍ／ｍｉ
ｎ程度である。また、その動作ストロークは各オシレー
ト軸方向の被加工平面４ａの長さと砥石形状により適宜
設定することができる。さらに被加工平面４ａに直角な
方向へ切り込み送りを行う切り込み軸（図示せず）が回
転砥石５の軸側に設けられており、回転砥石５が被加工
平面に向けて送られることにより、被加工平面全体を研
削加工する。このような構成により、回転砥石５は、第
１オシレート軸２及び第２オシレート軸３の各オシレー
ション動作が複合的に動作することにより、被加工平面
４ａ上を矢印６のように８の字を描くように高速に移動
することとなる。そのため被加工平面全域に渡り回転砥
石５が接触、研削を施すこととなり、広い面積を短時間
で研削加工される。
る。図１は本加工方法の形態を示す。約φ１０ｍｍ以下
の小径の円筒形回転砥石５は、その軸を中心に約１０〜
２０万ＲＰＭ程度の高速で、図示しない高周波モータ等
の回転駆動装置により高速回転される。平面を研削する
に際しては回転砥石５の軸方向と被加工平面４ａとを平
行に配置し、回転砥石５の外周を被加工平面４ａ上に接
触させる。また、平面研削加工されるワーク４が固定さ
れるテーブル（図示せず）は、図示しない駆動装置によ
り加工平面４ａに平行で、回転砥石５の回転軸に直角な
方向にワーク４を往復運動させる所謂オシレーション動
作を行う第１オシレート軸２が設けられており、同様に
回転砥石５の軸方向に平行な方向にワーク４を往復運動
させる第２オシレート軸３が設けられている。これらの
動作は、それぞれ独立した駆動装置（図示せず）により
駆動制御されており、その速度は約９０００ｍｍ／ｍｉ
ｎ程度である。また、その動作ストロークは各オシレー
ト軸方向の被加工平面４ａの長さと砥石形状により適宜
設定することができる。さらに被加工平面４ａに直角な
方向へ切り込み送りを行う切り込み軸（図示せず）が回
転砥石５の軸側に設けられており、回転砥石５が被加工
平面に向けて送られることにより、被加工平面全体を研
削加工する。このような構成により、回転砥石５は、第
１オシレート軸２及び第２オシレート軸３の各オシレー
ション動作が複合的に動作することにより、被加工平面
４ａ上を矢印６のように８の字を描くように高速に移動
することとなる。そのため被加工平面全域に渡り回転砥
石５が接触、研削を施すこととなり、広い面積を短時間
で研削加工される。
【０００９】オシレーション動作の往復速度は、高速で
あるため、１サイクル当たりの切り込み深さｔ’は、従
来の切り込み深さｔに比べ微小でありながら、結果的に
従来の方法よりも短時間に加工を施すことができる。ま
た、切り込み深さｔ’が浅いことからワーク４に対する
砥石の同時作用切れ刃数が少なくなり、砥石に対する研
削抵抗が小さくなるため、高精度に平面加工を実現でき
る。
あるため、１サイクル当たりの切り込み深さｔ’は、従
来の切り込み深さｔに比べ微小でありながら、結果的に
従来の方法よりも短時間に加工を施すことができる。ま
た、切り込み深さｔ’が浅いことからワーク４に対する
砥石の同時作用切れ刃数が少なくなり、砥石に対する研
削抵抗が小さくなるため、高精度に平面加工を実現でき
る。
【００１０】図２は従来方法と本発明による加工方法に
おける、除去体積と加工時間との関係を示すグラフであ
る。平面度１０μｍ以下、面粗さ１．６μｍＲｚの形状
精度を達成する際の、各除去体積に対する加工時間を示
しており、１５ｍｍ3 においては、従来に比べ、約５分
の１の時間で加工が行えることがわかる。
おける、除去体積と加工時間との関係を示すグラフであ
る。平面度１０μｍ以下、面粗さ１．６μｍＲｚの形状
精度を達成する際の、各除去体積に対する加工時間を示
しており、１５ｍｍ3 においては、従来に比べ、約５分
の１の時間で加工が行えることがわかる。
【００１１】なお、上記実施例においては、オシレーシ
ョン動作を行うオシレート軸を２軸ともワーク４が固定
されるテーブル側に配置した構成について説明したが、
これに限らず、被加工平面に平行に異なる２方向への相
対的な往復移動が実現されればよいので、例えば回転砥
石５の軸方向及び直角方向にオシレーション動作するよ
うオシレート軸を両方とも回転砥石５に設けてもよい
し、また、回転砥石５にその軸方向にオシレーション動
作するオシレート軸を設けて、直角方向のオシレート軸
は、テーブル側即ちワーク４を往復動させるよう設けて
もよい。また、その逆に、回転砥石５の軸の直角方向の
オシレート軸を、砥石側に設けて、回転砥石５の軸方向
に平行な方向にオシレーション動作するオシレート軸を
テーブル側に設けてもよい。
ョン動作を行うオシレート軸を２軸ともワーク４が固定
されるテーブル側に配置した構成について説明したが、
これに限らず、被加工平面に平行に異なる２方向への相
対的な往復移動が実現されればよいので、例えば回転砥
石５の軸方向及び直角方向にオシレーション動作するよ
うオシレート軸を両方とも回転砥石５に設けてもよい
し、また、回転砥石５にその軸方向にオシレーション動
作するオシレート軸を設けて、直角方向のオシレート軸
は、テーブル側即ちワーク４を往復動させるよう設けて
もよい。また、その逆に、回転砥石５の軸の直角方向の
オシレート軸を、砥石側に設けて、回転砥石５の軸方向
に平行な方向にオシレーション動作するオシレート軸を
テーブル側に設けてもよい。
【００１２】また、各駆動はそれぞれ独立に設けられて
いるため、それぞれの往復運動速度を必要に応じ、適宜
変化させることが可能であり、砥石の回転速度、切り込
み深さ等の諸条件に合わせて、最適なオシレーション速
度を設定することで、さらに面粗度、平面度等形状精度
の向上を計ることが可能となる。また、各オシレート軸
は、互いに直角となるよう配置したが、特に直角に限定
されることなく、加工精度に影響を与えない程度に交差
角度を変化させても構わない。
いるため、それぞれの往復運動速度を必要に応じ、適宜
変化させることが可能であり、砥石の回転速度、切り込
み深さ等の諸条件に合わせて、最適なオシレーション速
度を設定することで、さらに面粗度、平面度等形状精度
の向上を計ることが可能となる。また、各オシレート軸
は、互いに直角となるよう配置したが、特に直角に限定
されることなく、加工精度に影響を与えない程度に交差
角度を変化させても構わない。
【図１】本発明の加工方法を示す図。
【図２】従来方法と本発明による加工方法における、除
去体積と加工時間との関係を示す図。
去体積と加工時間との関係を示す図。
【図３】従来の加工方法を示す図。
２ 第１オシレーション軸 ３ 第２オシレーション軸 ４ ワーク ５ 回転砥石 ｔ’１サイクルあたりの切り込み深さ Ｔ 除去深さ
Claims (2)
- 【請求項１】 小径砥石を回転させて平面を研削する平
面研削加工において、被加工平面に平行でかつ交差する
２方向に、小径砥石もしくは被加工物を往復動作させて
平面を研削加工する平面研削加工方法。 - 【請求項２】 前記２方向の往復動作は、それぞれ独立
して往復動することを特徴とする請求項１記載の平面研
削加工方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14909994A JPH0811042A (ja) | 1994-06-30 | 1994-06-30 | 平面研削加工方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14909994A JPH0811042A (ja) | 1994-06-30 | 1994-06-30 | 平面研削加工方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0811042A true JPH0811042A (ja) | 1996-01-16 |
Family
ID=15467682
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14909994A Pending JPH0811042A (ja) | 1994-06-30 | 1994-06-30 | 平面研削加工方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0811042A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018134710A (ja) * | 2017-02-22 | 2018-08-30 | 株式会社荏原製作所 | 基板の研磨装置および研磨方法 |
| JP2018202577A (ja) * | 2017-06-08 | 2018-12-27 | 株式会社Ihi | 加工装置 |
-
1994
- 1994-06-30 JP JP14909994A patent/JPH0811042A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018134710A (ja) * | 2017-02-22 | 2018-08-30 | 株式会社荏原製作所 | 基板の研磨装置および研磨方法 |
| JP2018202577A (ja) * | 2017-06-08 | 2018-12-27 | 株式会社Ihi | 加工装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20000919 |