JPH08110278A - 圧力測定装置 - Google Patents
圧力測定装置Info
- Publication number
- JPH08110278A JPH08110278A JP6310980A JP31098094A JPH08110278A JP H08110278 A JPH08110278 A JP H08110278A JP 6310980 A JP6310980 A JP 6310980A JP 31098094 A JP31098094 A JP 31098094A JP H08110278 A JPH08110278 A JP H08110278A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- notch
- diaphragm
- strain gauge
- section
- measuring device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/14—Housings
- G01L19/142—Multiple part housings
- G01L19/143—Two part housings
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/0061—Electrical connection means
- G01L19/0084—Electrical connection means to the outside of the housing
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/06—Means for preventing overload or deleterious influence of the measured medium on the measuring device or vice versa
- G01L19/0627—Protection against aggressive medium in general
- G01L19/0645—Protection against aggressive medium in general using isolation membranes, specially adapted for protection
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/14—Housings
- G01L19/148—Details about the circuit board integration, e.g. integrated with the diaphragm surface or encapsulation
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/0051—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance
Abstract
(57)【要約】
【構成】 圧力測定装置において、（イ）基体１２と装
着された歪計１１を備えた付属のダイヤフラム１０とを
有している圧力センサと、（ロ）接続線材２，３，４，
５，６，７，８及び油充填接続導管１を備えた絶縁材ヘ
ッダ１３と、（ハ）第１横断面１９内に第１中央切欠き
１８と、第１横断面１９から離反した第２横断面２０内
に第２中央切欠き２１と、第１中央切欠き１８及び第２
中央切欠き２１を接続している孔２２とを備えている金
属部体１７と、（ニ）開口２４を備えた導電性フォイル
２３と、（ホ）第２切欠き２１内に挿入されて該切欠き
をその縁部で閉鎖している金属製ダイヤフラム２５と、
（ヘ）第１切欠き１８及び孔内に装着された油充填装置
１と、を備えている。 【効果】 これによって、電磁的に放射される電波妨害
及び油充填装置に由来する充填作用に対する低感度並び
に長時間の安定性に関して、更に改善を行うことができ
た。
着された歪計１１を備えた付属のダイヤフラム１０とを
有している圧力センサと、（ロ）接続線材２，３，４，
５，６，７，８及び油充填接続導管１を備えた絶縁材ヘ
ッダ１３と、（ハ）第１横断面１９内に第１中央切欠き
１８と、第１横断面１９から離反した第２横断面２０内
に第２中央切欠き２１と、第１中央切欠き１８及び第２
中央切欠き２１を接続している孔２２とを備えている金
属部体１７と、（ニ）開口２４を備えた導電性フォイル
２３と、（ホ）第２切欠き２１内に挿入されて該切欠き
をその縁部で閉鎖している金属製ダイヤフラム２５と、
（ヘ）第１切欠き１８及び孔内に装着された油充填装置
１と、を備えている。 【効果】 これによって、電磁的に放射される電波妨害
及び油充填装置に由来する充填作用に対する低感度並び
に長時間の安定性に関して、更に改善を行うことができ
た。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、基体と、装着された付
属のダイヤフラムを有する圧力センサとを備えている圧
力測定装置に関する。
属のダイヤフラムを有する圧力センサとを備えている圧
力測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】昨今来本出願人による圧力測定装置が流
通しており、該装置は、（イ）基体と装着された歪計を
備えた付属のダイヤフラムとを有している圧力センサ
と、（ロ）接続線材及び油充填接続導管を備えた絶縁材
ヘッダと、（ハ）第１横断面内に第１中央切欠きと、第
１横断面から離反した第２横断面内に第２中央切欠き
と、第１中央切欠き及び第２中央切欠きを接続している
孔とを備えている金属部体と、（ニ）第２切欠き内に挿
入されて該切欠きをその縁部で閉鎖している金属製分離
ダイヤフラムと、（ホ）前記両切欠き及び前記孔内に充
填された油とを備えており、前記絶縁材ヘッダ上に基体
が固定されていて、前記接続線材と歪計とが電気的に接
触しており、前記第１横断面がその縁部において絶縁材
ヘッダに密に接続されていて、前記第１切欠きが基体及
びダイヤフラムを、これらに接触することなく受容して
いる。
通しており、該装置は、（イ）基体と装着された歪計を
備えた付属のダイヤフラムとを有している圧力センサ
と、（ロ）接続線材及び油充填接続導管を備えた絶縁材
ヘッダと、（ハ）第１横断面内に第１中央切欠きと、第
１横断面から離反した第２横断面内に第２中央切欠き
と、第１中央切欠き及び第２中央切欠きを接続している
孔とを備えている金属部体と、（ニ）第２切欠き内に挿
入されて該切欠きをその縁部で閉鎖している金属製分離
ダイヤフラムと、（ホ）前記両切欠き及び前記孔内に充
填された油とを備えており、前記絶縁材ヘッダ上に基体
が固定されていて、前記接続線材と歪計とが電気的に接
触しており、前記第１横断面がその縁部において絶縁材
ヘッダに密に接続されていて、前記第１切欠きが基体及
びダイヤフラムを、これらに接触することなく受容して
いる。
【０００３】この公に使用可能な圧力測定装置は、電磁
的に放射される電波妨害及び油充填装置に由来する充填
作用に対する低感度並びに長時間の安定性に関して、更
になを改善が必要である。
的に放射される電波妨害及び油充填装置に由来する充填
作用に対する低感度並びに長時間の安定性に関して、更
になを改善が必要である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は上述の
欠点を除去することにある。
欠点を除去することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明では圧力測定装置
において、（イ）基体と装着された歪計を備えた付属の
ダイヤフラムとを有している圧力センサと、（ロ）接続
線材及び油充填接続導管を備えた絶縁材ヘッダと、
（ハ）第１横断面内に第１中央切欠きと、第１横断面か
ら離反した第２横断面内に第２中央切欠きと、第１中央
切欠き及び第２中央切欠きを接続している孔とを備えて
いる金属部体と、（ニ）開口を備えた導電性フォイル
と、（ホ）第２切欠き内に挿入されて該切欠きをその縁
部で閉鎖している金属製分離ダイヤフラムと、（ヘ）前
記両切欠き及び前記孔内に充填された油とを備えてお
り、前記絶縁材ヘッダ上に基体が固定されていて、前記
接続線材と歪計とが電気的に接触しており、前記第１横
断面がその縁部において絶縁材ヘッダに密に接続されて
いて、前記第１切欠きが基体及びダイヤフラムを、これ
らに接触することなく受容しており、前記フォイルが、
歪計の可能な限り近くで歪計に接触しないで歪計を覆う
ように第１切欠き内に配置されかつ回路零点に接続され
ていることによって、上記課題を解決することができ
た。
において、（イ）基体と装着された歪計を備えた付属の
ダイヤフラムとを有している圧力センサと、（ロ）接続
線材及び油充填接続導管を備えた絶縁材ヘッダと、
（ハ）第１横断面内に第１中央切欠きと、第１横断面か
ら離反した第２横断面内に第２中央切欠きと、第１中央
切欠き及び第２中央切欠きを接続している孔とを備えて
いる金属部体と、（ニ）開口を備えた導電性フォイル
と、（ホ）第２切欠き内に挿入されて該切欠きをその縁
部で閉鎖している金属製分離ダイヤフラムと、（ヘ）前
記両切欠き及び前記孔内に充填された油とを備えてお
り、前記絶縁材ヘッダ上に基体が固定されていて、前記
接続線材と歪計とが電気的に接触しており、前記第１横
断面がその縁部において絶縁材ヘッダに密に接続されて
いて、前記第１切欠きが基体及びダイヤフラムを、これ
らに接触することなく受容しており、前記フォイルが、
歪計の可能な限り近くで歪計に接触しないで歪計を覆う
ように第１切欠き内に配置されかつ回路零点に接続され
ていることによって、上記課題を解決することができ
た。
【０００６】本発明の別の有利な構成によれば、絶縁材
ヘッダ及び基体を油密に貫通して延びている圧力供給導
管が設けられている。
ヘッダ及び基体を油密に貫通して延びている圧力供給導
管が設けられている。
【０００７】本発明の更に別の有利な構成によれば、ヘ
ッダ側に金属部体のケーシング状の延長部が設けられて
いる。
ッダ側に金属部体のケーシング状の延長部が設けられて
いる。
【０００８】この構成は、延長部の内側に沿って配置さ
れて回路零点に接続されている別の導電性フィオルが設
けられていることによって、更に改善可能である。
れて回路零点に接続されている別の導電性フィオルが設
けられていることによって、更に改善可能である。
【０００９】
【実施例】次に本発明を、本発明の概略の実施例を示す
図面に基いて詳しく説明する。その際図面では、同一部
分には同一の符号が使用されている。
図面に基いて詳しく説明する。その際図面では、同一部
分には同一の符号が使用されている。
【００１０】図１には、本発明に基く圧力測定装置の、
圧力センサ機能のために重要な部分が斜視図で図示され
ている。圧力センサはダイヤフラム１０と基体１２とを
有し、該ダイヤフラム１０は、基板１０′の中央部に形
成されていて、基板１０′が図面の下方に切欠きを有し
それによってダイヤフラム１０が基板１０′のより薄い
中央領域に位置できるようになっている。ダイヤフラム
１０上には歪計１１が装着されており、該歪計１１は配
線回路によってダイヤフラムの縁部に設けられた接続パ
ッドに接続されている。
圧力センサ機能のために重要な部分が斜視図で図示され
ている。圧力センサはダイヤフラム１０と基体１２とを
有し、該ダイヤフラム１０は、基板１０′の中央部に形
成されていて、基板１０′が図面の下方に切欠きを有し
それによってダイヤフラム１０が基板１０′のより薄い
中央領域に位置できるようになっている。ダイヤフラム
１０上には歪計１１が装着されており、該歪計１１は配
線回路によってダイヤフラムの縁部に設けられた接続パ
ッドに接続されている。
【００１１】ダイヤフラム１０は例へばガラス又はシリ
コンから成っている。歪計１１は多結晶シリコン所謂ポ
リシリコンから成り、該ポリシリコンは、ガラスダイヤ
フラムの場合には直接溶着可能であり、シリコンダイヤ
フラムの場合にはその上に存在するＳｉＯ2 層上に溶着
可能である。基体１２は例へばガラス又はシリコンから
成っている。
コンから成っている。歪計１１は多結晶シリコン所謂ポ
リシリコンから成り、該ポリシリコンは、ガラスダイヤ
フラムの場合には直接溶着可能であり、シリコンダイヤ
フラムの場合にはその上に存在するＳｉＯ2 層上に溶着
可能である。基体１２は例へばガラス又はシリコンから
成っている。
【００１２】絶縁材ヘッダ１３は接続線材２，３，４，
５，６，７，８と油充填接続導管１とを有しており、該
油充填接続導管１は油の充填後閉ぢられる（図２及び図
３の閉鎖部１′参照）。絶縁材ヘッダ１３は、その他の
点では半導体技術で公知の、所謂ＴＯ−８ケーシングの
ヘッダと同じ様に構成されている。
５，６，７，８と油充填接続導管１とを有しており、該
油充填接続導管１は油の充填後閉ぢられる（図２及び図
３の閉鎖部１′参照）。絶縁材ヘッダ１３は、その他の
点では半導体技術で公知の、所謂ＴＯ−８ケーシングの
ヘッダと同じ様に構成されている。
【００１３】圧力測定装置が差動圧力センサとして形成
されている場合には、絶縁材ヘッダ１３内に更に圧力供
給導管９が、また基体１２内には中心孔１４が、夫々設
けられており、該孔１４内に圧力供給導管９が接続され
ている。
されている場合には、絶縁材ヘッダ１３内に更に圧力供
給導管９が、また基体１２内には中心孔１４が、夫々設
けられており、該孔１４内に圧力供給導管９が接続され
ている。
【００１４】基体１２は絶縁材ヘッダ１３の中央部に固
定されている。歪計１１は絶縁材ヘッダ１３の接続導線
２乃至８に、例へば熱圧縮ボンド線材を用いて電気的に
接触せしめられている。
定されている。歪計１１は絶縁材ヘッダ１３の接続導線
２乃至８に、例へば熱圧縮ボンド線材を用いて電気的に
接触せしめられている。
【００１５】基板１０′が例へば両縁部に沿ってチャン
バを形成し乍ら基体１２上に密に固定されており、その
ためダイヤフラム１０は、歪計に抵抗変化を惹き起すよ
うな圧力作用を受けて撓むことができるようになってい
る。
バを形成し乍ら基体１２上に密に固定されており、その
ためダイヤフラム１０は、歪計に抵抗変化を惹き起すよ
うな圧力作用を受けて撓むことができるようになってい
る。
【００１６】絶縁材ヘッダ１３から基体１２の側部に起
立している接続線材２〜８上に、絶縁材部分１５がそれ
に適した孔２′，３′，４′，５′，６′，７′，８′
によって載置されていて、基体１２に適合した中央開口
１６を有している。
立している接続線材２〜８上に、絶縁材部分１５がそれ
に適した孔２′，３′，４′，５′，６′，７′，８′
によって載置されていて、基体１２に適合した中央開口
１６を有している。
【００１７】図２に基く完成した圧力測定装置の断面図
には金属部体１７が認められ、該金属部体１７は第１外
方横断面１９から内方に向いている第１中央切欠き１８
を有している。第１横断面１９は、その縁部において絶
縁材ヘッダ１３に密に結合されている。
には金属部体１７が認められ、該金属部体１７は第１外
方横断面１９から内方に向いている第１中央切欠き１８
を有している。第１横断面１９は、その縁部において絶
縁材ヘッダ１３に密に結合されている。
【００１８】第１横断面１９とは反対側の第２横断面２
０には第２中央切欠き２１が設けられており、該切欠き
２１は第１切欠き１８に較べて極めて平らである。両切
欠き１８，２１は金属部体１７内の孔２２によって相互
に接続されている。
０には第２中央切欠き２１が設けられており、該切欠き
２１は第１切欠き１８に較べて極めて平らである。両切
欠き１８，２１は金属部体１７内の孔２２によって相互
に接続されている。
【００１９】基体１２は基板１０′とダイヤフラム１０
と絶縁材部分１５と一緒に、これらが切欠き１８の内壁
に接触しないように第１切欠き１８内に受容されてい
る。
と絶縁材部分１５と一緒に、これらが切欠き１８の内壁
に接触しないように第１切欠き１８内に受容されてい
る。
【００２０】第１切欠き１８内の、歪計１１の可能な限
り近くに中心開口２４を備えた導電性のフォイル２３が
配置されており、該フォイル２３は少くとも歪計１１を
特に全基板１０′を、ダイヤフラム１０で覆っていて、
これらの部分を接触せしめないようにしている。
り近くに中心開口２４を備えた導電性のフォイル２３が
配置されており、該フォイル２３は少くとも歪計１１を
特に全基板１０′を、ダイヤフラム１０で覆っていて、
これらの部分を接触せしめないようにしている。
【００２１】フォイル２３は基板１０′の電気的な接続
部と協働して回路零点、つまり例へばアース電位に接続
可能である。このことは、例へばフォイル２３と、接続
線材４，５，８に所属する絶縁材部分１５の金属面
４″，５″，８″との導電的な接着によって行われてお
り（図１参照）、その場合該接続線材４，５，８は、圧
力測定装置の挿入位置においてその位置の回路零点に接
続することができる。
部と協働して回路零点、つまり例へばアース電位に接続
可能である。このことは、例へばフォイル２３と、接続
線材４，５，８に所属する絶縁材部分１５の金属面
４″，５″，８″との導電的な接着によって行われてお
り（図１参照）、その場合該接続線材４，５，８は、圧
力測定装置の挿入位置においてその位置の回路零点に接
続することができる。
【００２２】金属製の分離ダイヤフラム２５は、第２切
欠き２１内に挿入されていて、該切欠き２１をその縁部
において密に閉ざしている。両切欠き１８，２１及び孔
２２内には油充填接続導管によって油の充填が行われて
おり、該油が分離ダイヤフラム２５の外方に存在してい
る圧力をダイヤフラム１０へ伝達するための圧力伝達媒
体として役立っている。
欠き２１内に挿入されていて、該切欠き２１をその縁部
において密に閉ざしている。両切欠き１８，２１及び孔
２２内には油充填接続導管によって油の充填が行われて
おり、該油が分離ダイヤフラム２５の外方に存在してい
る圧力をダイヤフラム１０へ伝達するための圧力伝達媒
体として役立っている。
【００２３】本発明に基く装置の場合には先使用権のあ
る装置の場合と同じ様に、フォイル２３の前述の開口２
４によって充填された油が歪計１１を覆っているけれど
も、意外な作用や不意の作用が発生せず、従って電磁的
に放射される電波妨害が抑制されるだけでなく、油充填
の特性によって極めて良好な電気不導体として形成され
てその電気的な充電に寄与している、歪計の圧力に依存
する抵抗変化の作用を、充分に阻止することも可能であ
る。
る装置の場合と同じ様に、フォイル２３の前述の開口２
４によって充填された油が歪計１１を覆っているけれど
も、意外な作用や不意の作用が発生せず、従って電磁的
に放射される電波妨害が抑制されるだけでなく、油充填
の特性によって極めて良好な電気不導体として形成され
てその電気的な充電に寄与している、歪計の圧力に依存
する抵抗変化の作用を、充分に阻止することも可能であ
る。
【００２４】図３には、図２に基く装置の別の構成が同
じ様に断面図で示されている。金属部体１７はケーシン
グ状のヘッダ側延長部１７′を有し、その内方には歪計
１１に接続された回路ボード２６が取り付けられてお
り、該回路ボード２６には補償回路、特に温度補償回路
が存在している。
じ様に断面図で示されている。金属部体１７はケーシン
グ状のヘッダ側延長部１７′を有し、その内方には歪計
１１に接続された回路ボード２６が取り付けられてお
り、該回路ボード２６には補償回路、特に温度補償回路
が存在している。
【００２５】本発明の別の有利な構成にあっては、別の
導電性のフォイル２３′が延長部１７′に沿って配置さ
れており、該フォイル２３′はフォイル２３と同じ様に
回路零点に接続可能である。
導電性のフォイル２３′が延長部１７′に沿って配置さ
れており、該フォイル２３′はフォイル２３と同じ様に
回路零点に接続可能である。
【図１】圧力測定装置の圧力センサ機能に重要な部分の
分解斜視図である。
分解斜視図である。
【図２】完成した圧力測定装置の断面図である。
【図３】図２の圧力測定装置とは異なった構成の圧力測
定装置の断面図である。
定装置の断面図である。
１ 油充填接続導管 １′ 閉鎖部 ２〜８ 接続線材 ２′〜８′ 孔 ４″，５″，８″ 金属面 ９ 圧力供給導管 １０ ダイヤフラム １０′ 基板 １１ 歪計 １２ 基体 １３ 絶縁材ヘッダ １４ 孔 １５ 絶縁材部分 １６ 中央開口 １７ 金属部体 １７′ 延長部 １８ 切欠き １９，２０ 横断面 ２１ 切欠き ２２ 孔 ２３，２３′ フォイル ２４ 開口 ２５ 分離ダイヤフラム ２６ 回路ボード
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ノルベルト ギル ドイツ連邦共和国 フェルマール エスペ ナウアー シュトラーセ 43 (72)発明者 ユルゲン ランゲ ドイツ連邦共和国 フェルマール ウルメ ンヴェーク ８ (72)発明者 フォルカー シュレーベル ドイツ連邦共和国 ヘルサ イーバッハヴ ェーク 34 (72)発明者 ロルフ シャーデ ドイツ連邦共和国 カッセル シャンツェ ンシュトラーセ 40
Claims (4)
- 【請求項１】 圧力測定装置において、（イ）基体（１
２）と装着された歪計（１１）を備えた付属のダイヤフ
ラム（１０）とを有している圧力センサと、（ロ）接続
線材（２，３，４，５，６，７，８）及び油充填接続導
管（１）を備えた絶縁材ヘッダ（１３）と、（ハ）第１
横断面（１９）内に第１中央切欠き（１８）と、第１横
断面（１９）から離反した第２横断面（２０）内に第２
中央切欠き（２１）と、第１中央切欠き（１８）及び第
２中央切欠き（２１）を接続している孔（２２）とを備
えている金属部体（１７）と、（ニ）開口（２４）を備
えた導電性フォイル（２３）と、（ホ）第２切欠き（２
１）内に挿入されて該切欠き（２１）をその縁部で閉鎖
している金属製分離ダイヤフラム（２５）と、（ヘ）前
記両切欠き及び前記孔内に充填された油とを備えてお
り、前記絶縁材ヘッダ（１３）上に基体（１２）が固定
されていて、前記接続線材（２〜８）と歪計（１１）と
が電気的に接触しており、前記第１横断面（１９）がそ
の縁部において絶縁材ヘッダ（１３）に密に接続されて
いて、前記第１切欠き（１８）が基体（１２）及びダイ
ヤフラム（１０）を、これらに接触することなく受容し
ており、前記フォイル（２３）が、歪計（１１）の可能
な限り近くで歪計（１１）に接触しないで歪計（１１）
を覆うように第１切欠き（１８）内に配置されかつ回路
零点に接続されていることを特徴とする、圧力測定装
置。 - 【請求項２】 絶縁材ヘッダ（１３）及び基体（１２）
を油密に貫通して延びている圧力供給導管（９）が設け
られていることを特徴とする、請求項１記載の圧力測定
装置。 - 【請求項３】 ヘッダ側に金属部体(１７)のケーシング
状の延長部(１７′)が設けられていることを特徴とす
る、請求項１又は２記載の圧力測定装置。 - 【請求項４】 延長部（１７′）の内側に沿って配置さ
れて回路零点に接続されている別の導電性フィオル（２
３′）が設けられていることを特徴とする、請求項３記
載圧力測定装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE93810874.3 | 1993-12-14 | ||
| EP93810874A EP0658754B1 (de) | 1993-12-14 | 1993-12-14 | Druckmessanordnung |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08110278A true JPH08110278A (ja) | 1996-04-30 |
Family
ID=8215088
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6310980A Pending JPH08110278A (ja) | 1993-12-14 | 1994-12-14 | 圧力測定装置 |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5551303A (ja) |
| EP (1) | EP0658754B1 (ja) |
| JP (1) | JPH08110278A (ja) |
| CN (1) | CN1055158C (ja) |
| CA (1) | CA2137962C (ja) |
| DE (1) | DE59307025D1 (ja) |
| DK (1) | DK0658754T3 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20040024324A (ko) * | 2002-09-13 | 2004-03-20 | 주식회사 케이이씨 | 압력센서 패키지 |
| JP2013148350A (ja) * | 2012-01-17 | 2013-08-01 | Fuji Koki Corp | 圧力センサ |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DK0780674T3 (da) * | 1995-12-22 | 2000-04-03 | Envec Mess Und Regeltechn Gmbh | Trykmåleindretning med skærmelektrode |
| EP0849577B1 (de) * | 1996-12-18 | 2000-06-21 | WIKA ALEXANDER WIEGAND GmbH & CO. | Membran für einen Druckmittler |
| JP2004294413A (ja) * | 2003-02-12 | 2004-10-21 | Pacific Ind Co Ltd | 圧力センサ、送信機、及びタイヤ状態監視装置 |
| JP2005257497A (ja) * | 2004-03-12 | 2005-09-22 | Denso Corp | センサ装置およびセンサ装置の接続構造 |
| DE102008043175A1 (de) * | 2008-10-24 | 2010-04-29 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Relativdrucksensor |
| DE102009028488A1 (de) * | 2009-08-12 | 2011-02-17 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Relativdrucksensor |
| DE102013110376A1 (de) | 2013-09-19 | 2015-03-19 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Messgerät mit einem Halbleitersensor und einem metallischen Stützkörper |
| CN105319002A (zh) * | 2015-11-27 | 2016-02-10 | 上海立格仪表有限公司 | 一种自然透气压力测量仪器 |
| JP6527193B2 (ja) * | 2017-04-07 | 2019-06-05 | 株式会社鷺宮製作所 | 圧力センサ |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63122926A (ja) * | 1986-11-13 | 1988-05-26 | Nippon Denso Co Ltd | 圧電型圧力検出器 |
| JPH01147331A (ja) * | 1987-12-03 | 1989-06-09 | Ngk Insulators Ltd | 圧力検出器 |
| JPH02141635A (ja) * | 1988-11-22 | 1990-05-31 | Nippon Denso Co Ltd | 高圧用半導体式圧力センサの取付け構造 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57197435A (en) * | 1981-05-29 | 1982-12-03 | Hitachi Ltd | Semiconductor pressure converter |
| DE3569824D1 (en) * | 1985-09-11 | 1989-06-01 | Kunz Manfred | Pressure sensor |
| US4970898A (en) * | 1989-09-20 | 1990-11-20 | Rosemount Inc. | Pressure transmitter with flame isolating plug |
| JPH06132545A (ja) * | 1992-10-19 | 1994-05-13 | Mitsubishi Electric Corp | 圧力検出装置 |
-
1993
- 1993-12-14 DK DK93810874.3T patent/DK0658754T3/da active
- 1993-12-14 DE DE59307025T patent/DE59307025D1/de not_active Expired - Lifetime
- 1993-12-14 EP EP93810874A patent/EP0658754B1/de not_active Expired - Lifetime
-
1994
- 1994-12-05 US US08/349,608 patent/US5551303A/en not_active Expired - Lifetime
- 1994-12-13 CA CA002137962A patent/CA2137962C/en not_active Expired - Fee Related
- 1994-12-13 CN CN94119306.3A patent/CN1055158C/zh not_active Expired - Lifetime
- 1994-12-14 JP JP6310980A patent/JPH08110278A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63122926A (ja) * | 1986-11-13 | 1988-05-26 | Nippon Denso Co Ltd | 圧電型圧力検出器 |
| JPH01147331A (ja) * | 1987-12-03 | 1989-06-09 | Ngk Insulators Ltd | 圧力検出器 |
| JPH02141635A (ja) * | 1988-11-22 | 1990-05-31 | Nippon Denso Co Ltd | 高圧用半導体式圧力センサの取付け構造 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20040024324A (ko) * | 2002-09-13 | 2004-03-20 | 주식회사 케이이씨 | 압력센서 패키지 |
| JP2013148350A (ja) * | 2012-01-17 | 2013-08-01 | Fuji Koki Corp | 圧力センサ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5551303A (en) | 1996-09-03 |
| CA2137962A1 (en) | 1995-06-15 |
| DE59307025D1 (de) | 1997-09-04 |
| CN1055158C (zh) | 2000-08-02 |
| EP0658754B1 (de) | 1997-07-30 |
| EP0658754A1 (de) | 1995-06-21 |
| DK0658754T3 (da) | 1998-03-02 |
| CN1109971A (zh) | 1995-10-11 |
| CA2137962C (en) | 1999-10-05 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5974893A (en) | Combined pressure responsive transducer and temperature sensor apparatus | |
| US4314225A (en) | Pressure sensor having semiconductor diaphragm | |
| JPH08110278A (ja) | 圧力測定装置 | |
| GB2194344A (en) | Pressure transducer and method of fabricating same | |
| EP0126989B2 (en) | Fluid pressure transmitter | |
| JP2854896B2 (ja) | 圧力センサー | |
| JPS63238441A (ja) | 半導体圧力センサおよびその製造方法 | |
| JPS61221631A (ja) | 容量式絶対圧力変換器 | |
| GB2047465A (en) | Pressure sensor | |
| CN1228837A (zh) | 微力学传感器 | |
| JP4563312B2 (ja) | 静電容量式圧力センサ装置 | |
| JPS61108300A (ja) | ピエゾ電気ダイヤフラムを有する電気音響変換器 | |
| US6313514B1 (en) | Pressure sensor component | |
| CN213688772U (zh) | 传感器封装结构及差压传感器 | |
| US20030019288A1 (en) | Airtight sealed sensor | |
| JP2660517B2 (ja) | 静電容量型レベルセンサー | |
| JPH0318894Y2 (ja) | ||
| JP3550458B2 (ja) | 静電容量式の気体用圧力センサ | |
| JP2001153701A (ja) | 発熱抵抗式空気流量測定装置 | |
| JP3578865B2 (ja) | 気体用圧力センサ | |
| JP2002228742A (ja) | 超音波センサ | |
| JPS6125259Y2 (ja) | ||
| JP3131374B2 (ja) | 半導体圧力センサ | |
| JPH0117529B2 (ja) | ||
| CN208458921U (zh) | 一种高绝缘强度的压力传感器 |