JPH08105715A - レーザ厚み測定機の光軸合わせ方法 - Google Patents
レーザ厚み測定機の光軸合わせ方法Info
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- JPH08105715A JPH08105715A JP24283994A JP24283994A JPH08105715A JP H08105715 A JPH08105715 A JP H08105715A JP 24283994 A JP24283994 A JP 24283994A JP 24283994 A JP24283994 A JP 24283994A JP H08105715 A JPH08105715 A JP H08105715A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 一対のセンサヘッドが対向配置されてなるレ
ーザ厚み測定機において、従来よりも定量的にかつ確実
に両センサヘッドの光軸合わせが行えるようにする。 【構成】 厚みtが既知の試料Ｓを用いるとともに、両
センサヘッドＨ1，Ｈ2の間にあって互いの光軸Ｏ1，Ｏ2
に対して共通に直交する平面Ｐを仮想したとき、この仮
想平面Ｐ上に互いに直交するＸ軸，Ｙ軸を設定し、試料
ＳをＸ軸、Ｙ軸の各方向において仮想平面Ｐからそれぞ
れ所定の角度θX，θYだけ傾斜させた後、試料Ｓの厚み
を個別に測定しつつ、その測定されたＸ軸に関する厚み
tmXはt／cosθX，Ｙ軸に関する厚みtmYはt／cosθYとな
るように、少なくとも一方のセンサヘッドＨ1を仮想平
面Ｐと平行に、かつ、Ｘ軸方向またはＹ軸方向に沿って
それぞれ移動させて両センサヘッドＨ1，Ｈ2の相対位置
を調整する。
ーザ厚み測定機において、従来よりも定量的にかつ確実
に両センサヘッドの光軸合わせが行えるようにする。 【構成】 厚みtが既知の試料Ｓを用いるとともに、両
センサヘッドＨ1，Ｈ2の間にあって互いの光軸Ｏ1，Ｏ2
に対して共通に直交する平面Ｐを仮想したとき、この仮
想平面Ｐ上に互いに直交するＸ軸，Ｙ軸を設定し、試料
ＳをＸ軸、Ｙ軸の各方向において仮想平面Ｐからそれぞ
れ所定の角度θX，θYだけ傾斜させた後、試料Ｓの厚み
を個別に測定しつつ、その測定されたＸ軸に関する厚み
tmXはt／cosθX，Ｙ軸に関する厚みtmYはt／cosθYとな
るように、少なくとも一方のセンサヘッドＨ1を仮想平
面Ｐと平行に、かつ、Ｘ軸方向またはＹ軸方向に沿って
それぞれ移動させて両センサヘッドＨ1，Ｈ2の相対位置
を調整する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、レーザ厚み測定機にお
ける光軸合わせ方法に関する。
ける光軸合わせ方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、たとえば、セラミックグリーン
シートなどの製造工程においては、図３に示すように、
押し出し機Ａを用いてスラリー状の原料をフィルム状に
成形してシートＢとするが、その際、成形されるシート
Ｂの厚みが不均一であると製品品質に悪影響を及ぼすた
め、均一な肉厚のシートＢが成形されるように監視する
ことが必要となる。
シートなどの製造工程においては、図３に示すように、
押し出し機Ａを用いてスラリー状の原料をフィルム状に
成形してシートＢとするが、その際、成形されるシート
Ｂの厚みが不均一であると製品品質に悪影響を及ぼすた
め、均一な肉厚のシートＢが成形されるように監視する
ことが必要となる。
【０００３】そのため、従来より、被測定物(この例で
はシート)Ｂの厚みを非接触で連続的に測定できるもの
として、レーザ厚み測定機Ｃが使用されている。
はシート)Ｂの厚みを非接触で連続的に測定できるもの
として、レーザ厚み測定機Ｃが使用されている。
【０００４】すなわち、このレーザ厚み測定機Ｃは、被
測定物Ｂの厚みを検出する厚み検出部Ｄと、この厚み検
出部Ｄからの検出出力に基づいて厚みを算出して表示す
る厚み演算制御部Ｅとからなる。
測定物Ｂの厚みを検出する厚み検出部Ｄと、この厚み検
出部Ｄからの検出出力に基づいて厚みを算出して表示す
る厚み演算制御部Ｅとからなる。
【０００５】そして、厚み検出部Ｄは、コの字型の固定
フレームＦを備え、この固定フレームＦの上下の各アー
ム部Ｆ1，Ｆ2にそれぞれセンサヘッドＨ1，Ｈ2が対向配
置されている。
フレームＦを備え、この固定フレームＦの上下の各アー
ム部Ｆ1，Ｆ2にそれぞれセンサヘッドＨ1，Ｈ2が対向配
置されている。
【０００６】各センサヘッドＨ1，Ｈ2は、フォトリフレ
クタ形のもので、レーザダイオードなどの発光素子とフ
ォトダイオードなどの受光素子(いずれも図示省略)が内
蔵されている。
クタ形のもので、レーザダイオードなどの発光素子とフ
ォトダイオードなどの受光素子(いずれも図示省略)が内
蔵されている。
【０００７】そして、各センサヘッドＨ1，Ｈ2は、発光
素子からのレーザ光が被測定物Ｂの表面で反射されて、
受光素子で受光されるまでの時間をそれぞれ検出する。
素子からのレーザ光が被測定物Ｂの表面で反射されて、
受光素子で受光されるまでの時間をそれぞれ検出する。
【０００８】図４に示すように、両センサヘッドＨ1，
Ｈ2間の距離Ｌは予め設定されているので既知であり、
したがって、厚み演算制御部Ｅは、両センサヘッド
Ｈ1，Ｈ2の検出出力に基づいて、各センサヘッドＨ1，
Ｈ2から被測定物Ｂまでの距離Ｌ1、Ｌ2をそれぞれ検出
し、次式、 t＝Ｌ−(Ｌ1＋Ｌ2) (１) によって、被測定物Ｂの厚みtを算出し、その値tを表示
したり、プリントアウトするようになっている。
Ｈ2間の距離Ｌは予め設定されているので既知であり、
したがって、厚み演算制御部Ｅは、両センサヘッド
Ｈ1，Ｈ2の検出出力に基づいて、各センサヘッドＨ1，
Ｈ2から被測定物Ｂまでの距離Ｌ1、Ｌ2をそれぞれ検出
し、次式、 t＝Ｌ−(Ｌ1＋Ｌ2) (１) によって、被測定物Ｂの厚みtを算出し、その値tを表示
したり、プリントアウトするようになっている。
【０００９】このような構成のレーザ厚み測定機Ｃを用
いれば、特に、被測定物Ｂが、押し出し機Ａから押し出
された直後の水分を含んだ柔らかいシート状のものであ
っても、非接触で連続的に厚みを測定できるという利点
がある。
いれば、特に、被測定物Ｂが、押し出し機Ａから押し出
された直後の水分を含んだ柔らかいシート状のものであ
っても、非接触で連続的に厚みを測定できるという利点
がある。
【００１０】ところで、いま、図５に示すように、被測
定物Ｂの実際の厚みをt、センサヘッドＨ1，Ｈ2の互い
の光軸Ｏ1，Ｏ2のずれをδ、センサヘッドＨ1，Ｈ2の両
光軸Ｏ1，Ｏ2に共通に直交する平面からの被測定物Ｂの
傾きをθとしたとき、幾何学的な関係より、測定される
厚みtmは、次式で与えられる。
定物Ｂの実際の厚みをt、センサヘッドＨ1，Ｈ2の互い
の光軸Ｏ1，Ｏ2のずれをδ、センサヘッドＨ1，Ｈ2の両
光軸Ｏ1，Ｏ2に共通に直交する平面からの被測定物Ｂの
傾きをθとしたとき、幾何学的な関係より、測定される
厚みtmは、次式で与えられる。
【００１１】 tm＝t＋tα＋tβ (２) ここに、tα，tβは誤差成分であって、次式で与えられ
る。
る。
【００１２】 tα＝t・{(１／cosθ)−１} (３) tβ＝δ・tanθ (４) (２)式から分かるように、被測定物Ｂの傾きθと、光軸
Ｏ1，Ｏ2のずれδとがあれば、実際の厚みtに対して、t
α＋tβの誤差を生じることになる。
Ｏ1，Ｏ2のずれδとがあれば、実際の厚みtに対して、t
α＋tβの誤差を生じることになる。
【００１３】ここに、一方の誤差成分tαは、(３)式か
ら分かるように、光軸のずれδの因子を含まず、単に被
測定物の傾きθにのみに起因する誤差である。これに対
して、他方の誤差成分tβは、(４)式から分かるよう
に、光軸のずれδと被測定物の傾きθの双方に起因する
誤差である。
ら分かるように、光軸のずれδの因子を含まず、単に被
測定物の傾きθにのみに起因する誤差である。これに対
して、他方の誤差成分tβは、(４)式から分かるよう
に、光軸のずれδと被測定物の傾きθの双方に起因する
誤差である。
【００１４】そして、測定される厚みtmに対しては、二
つの誤差成分tα，tβの内、tβの方がtαよりもその影
響が大きい。
つの誤差成分tα，tβの内、tβの方がtαよりもその影
響が大きい。
【００１５】たとえば、被測定物の真の厚みt＝１００
μm、光軸のずれδ＝２００μm、被測定物の傾きθ＝１
０°としたとき、tα＝１.５μm、tβ＝１７.６μmとな
り、tβの影響が非常に大きいことが分かる。
μm、光軸のずれδ＝２００μm、被測定物の傾きθ＝１
０°としたとき、tα＝１.５μm、tβ＝１７.６μmとな
り、tβの影響が非常に大きいことが分かる。
【００１６】つまり、tαは被測定物Ｂが傾くと必ず生
じる誤差であるが、tβに比べると非常に小さいので、
誤差の影響因子としてそれほど問題にならないのに対
し、tβは非常に大きな値となるので、測定誤差を小さ
くするには、tβの値を小さくする必要がある。
じる誤差であるが、tβに比べると非常に小さいので、
誤差の影響因子としてそれほど問題にならないのに対
し、tβは非常に大きな値となるので、測定誤差を小さ
くするには、tβの値を小さくする必要がある。
【００１７】(４)式において、被測定物Ｂの傾きが大き
いほどtanθも大きくなるが、光軸が合っておればδは
略零となるから、結果として、tβも略零となる。つま
り、光軸合わせができれば、誤差成分tβの影響を無く
すことができる。
いほどtanθも大きくなるが、光軸が合っておればδは
略零となるから、結果として、tβも略零となる。つま
り、光軸合わせができれば、誤差成分tβの影響を無く
すことができる。
【００１８】そこで、従来技術では、各センサヘッドＨ
1，Ｈ2の発光素子からのレーザ光のスポットをそれぞれ
半透明紙に写し、これらのスポットをレーザ光観察用の
護眼拡大スコープを通して目視で観察しながら、両スポ
ットが互いに重なり合うように、両センサヘッドＨ1，
Ｈ2の光軸合わせを行って、光軸ずれδが極力小さくな
るようにしている。
1，Ｈ2の発光素子からのレーザ光のスポットをそれぞれ
半透明紙に写し、これらのスポットをレーザ光観察用の
護眼拡大スコープを通して目視で観察しながら、両スポ
ットが互いに重なり合うように、両センサヘッドＨ1，
Ｈ2の光軸合わせを行って、光軸ずれδが極力小さくな
るようにしている。
【００１９】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
方法では、感覚的な光軸合わせであって、定量的に光軸
が合っているか否かを判定するものではないから、光軸
合わせの確実性に欠け、個人差が生じたりして、常に精
度良く光軸合わせを行えないという問題がある。本発明
は、上記の問題点を解決するためになされたもので、従
来よりも常に精度良く光軸合わせが行えるようにするこ
とを課題とする。
方法では、感覚的な光軸合わせであって、定量的に光軸
が合っているか否かを判定するものではないから、光軸
合わせの確実性に欠け、個人差が生じたりして、常に精
度良く光軸合わせを行えないという問題がある。本発明
は、上記の問題点を解決するためになされたもので、従
来よりも常に精度良く光軸合わせが行えるようにするこ
とを課題とする。
【００２０】
【課題を解決するための手段】前述の(４)式における誤
差成分tβは、両センサヘッドＨ1，Ｈ2の光軸Ｏ1，Ｏ2
間のずれδを含むので、このtβを光軸Ｏ1，Ｏ2が一致
したか否かのパラメータとして利用することができる。
差成分tβは、両センサヘッドＨ1，Ｈ2の光軸Ｏ1，Ｏ2
間のずれδを含むので、このtβを光軸Ｏ1，Ｏ2が一致
したか否かのパラメータとして利用することができる。
【００２１】すなわち、両センサヘッドＨ1，Ｈ2の光軸
Ｏ1，Ｏ2が合えば、tβは零となるから、(２)式の関係
から、被測定物を所定角度θだけ傾けた状態でその厚さ
tmを測定したとき、その測定された厚さtmが、t＋tαと
なるように各センサヘッドＨ1，Ｈ2の光軸Ｏ1，Ｏ2を調
整すればよい。
Ｏ1，Ｏ2が合えば、tβは零となるから、(２)式の関係
から、被測定物を所定角度θだけ傾けた状態でその厚さ
tmを測定したとき、その測定された厚さtmが、t＋tαと
なるように各センサヘッドＨ1，Ｈ2の光軸Ｏ1，Ｏ2を調
整すればよい。
【００２２】ここで、前述の(３)式の関係から、t＋tα
＝t／cosθとなるから、光軸合わせの判断の最終的なパ
ラメータとしては、t／cosθを用いることができる。
＝t／cosθとなるから、光軸合わせの判断の最終的なパ
ラメータとしては、t／cosθを用いることができる。
【００２３】このような光軸合わせを行う上では、次の
前提が必要となる。
前提が必要となる。
【００２４】いま、被測定物が、センサヘッドＨ1，Ｈ2
の両光軸Ｏ1，Ｏ2に共通に直交する平面に対して全く傾
いていないとき、あるいは傾きが僅かであると、tanθ
≒０となり、光軸ずれδがどのような値であっても、
(４)式の誤差成分tβ≒０となるから、tβを光軸合わせ
を行う上でのパラメータとすることができなくなる。
の両光軸Ｏ1，Ｏ2に共通に直交する平面に対して全く傾
いていないとき、あるいは傾きが僅かであると、tanθ
≒０となり、光軸ずれδがどのような値であっても、
(４)式の誤差成分tβ≒０となるから、tβを光軸合わせ
を行う上でのパラメータとすることができなくなる。
【００２５】したがって、tβを光軸合わせのパラメー
タとする上では、被測定物を一定角度θだけ傾けて、ta
nθが有効な値をもつようにしておく必要がある。
タとする上では、被測定物を一定角度θだけ傾けて、ta
nθが有効な値をもつようにしておく必要がある。
【００２６】本発明は、このような事象に着目してなさ
れたもので、上記の課題を解決するため、具体的に次の
ようにしている。
れたもので、上記の課題を解決するため、具体的に次の
ようにしている。
【００２７】すなわち、本発明のレーザ厚み測定機の光
軸合わせ方法では、厚みtが既知の試料を用いるととも
に、前記両センサヘッドの間にあって互いの光軸に対し
て共に直交する一つの平面を仮想したとき、この仮想平
面上に互いに直交するＸ軸，Ｙ軸を設定し、試料をＸ軸
方向において仮想平面から所定の角度θXだけ傾斜させ
た後、試料の厚みを測定しつつ、その測定された厚みtm
Xがt／cosθXとなるように、少なくとも一方のセンサヘ
ッドを前記仮想平面と平行に、かつ、Ｘ軸方向に沿って
移動させて両センサヘッドの相対位置を調整し、次に、
試料をＹ軸方向において仮想平面から所定の角度θYだ
け傾斜させた後、試料の厚みを測定しつつ、その測定さ
れた厚みtmYがt／cosθYとなるように、少なくとも一方
のセンサヘッドを前記仮想平面と平行に、かつ、Ｙ軸方
向に沿って移動させて両センサヘッドの相対位置を調整
する。
軸合わせ方法では、厚みtが既知の試料を用いるととも
に、前記両センサヘッドの間にあって互いの光軸に対し
て共に直交する一つの平面を仮想したとき、この仮想平
面上に互いに直交するＸ軸，Ｙ軸を設定し、試料をＸ軸
方向において仮想平面から所定の角度θXだけ傾斜させ
た後、試料の厚みを測定しつつ、その測定された厚みtm
Xがt／cosθXとなるように、少なくとも一方のセンサヘ
ッドを前記仮想平面と平行に、かつ、Ｘ軸方向に沿って
移動させて両センサヘッドの相対位置を調整し、次に、
試料をＹ軸方向において仮想平面から所定の角度θYだ
け傾斜させた後、試料の厚みを測定しつつ、その測定さ
れた厚みtmYがt／cosθYとなるように、少なくとも一方
のセンサヘッドを前記仮想平面と平行に、かつ、Ｙ軸方
向に沿って移動させて両センサヘッドの相対位置を調整
する。
【００２８】
【作用】本発明の方法によれば、Ｘ軸方向については、
t／cosθX、Ｙ軸方向については、t／cosθYをそれぞれ
指標として、Ｘ軸，Ｙ軸の直交する２方向についてそれ
ぞれ定量的に光軸合わせを行えるため、従来よりも光軸
合わせの確実性が高まる。
t／cosθX、Ｙ軸方向については、t／cosθYをそれぞれ
指標として、Ｘ軸，Ｙ軸の直交する２方向についてそれ
ぞれ定量的に光軸合わせを行えるため、従来よりも光軸
合わせの確実性が高まる。
【００２９】
【実施例】本発明方法を適用するに際しては、予め、厚
みtが既知のシート状の試料Ｓを準備する。
みtが既知のシート状の試料Ｓを準備する。
【００３０】一方、図１に示すように、レーザ厚み測定
機を構成するコの字型の固定フレームＦの上側のアーム
部Ｆ1にＸＹテーブルＴを設ける。
機を構成するコの字型の固定フレームＦの上側のアーム
部Ｆ1にＸＹテーブルＴを設ける。
【００３１】そして、このＸＹテーブルＴの上にヘッド
固定ブロックＪを取り付け、このヘッド固定ブロックＪ
に一方のセンサヘッドＨ1を固定し、固定フレームＦの
下側のアーム部Ｆ2に取り付た他方のセンサヘッドＨ2と
対向させる。
固定ブロックＪを取り付け、このヘッド固定ブロックＪ
に一方のセンサヘッドＨ1を固定し、固定フレームＦの
下側のアーム部Ｆ2に取り付た他方のセンサヘッドＨ2と
対向させる。
【００３２】こうしておいてから、図２に示すように、
両センサヘッドＨ1，Ｈ2の間にあって互いの光軸Ｏ1，
Ｏ2に対して共に直交する一つの平面Ｐを仮想し、か
つ、この仮想平面Ｐ上に互いに直交するＸ軸，Ｙ軸を設
定する。この場合のＸ軸，Ｙ軸の方向は、ＸＹテーブル
Ｔの２軸移動方向(図１のＸ軸，Ｙ軸方向)に一致させ
る。
両センサヘッドＨ1，Ｈ2の間にあって互いの光軸Ｏ1，
Ｏ2に対して共に直交する一つの平面Ｐを仮想し、か
つ、この仮想平面Ｐ上に互いに直交するＸ軸，Ｙ軸を設
定する。この場合のＸ軸，Ｙ軸の方向は、ＸＹテーブル
Ｔの２軸移動方向(図１のＸ軸，Ｙ軸方向)に一致させ
る。
【００３３】次に、図２(a)に示すように、試料Ｓを、
Ｘ軸方向において仮想平面Ｐから所定の角度θXだけ傾
斜させて配置する。
Ｘ軸方向において仮想平面Ｐから所定の角度θXだけ傾
斜させて配置する。
【００３４】この状態で、(１)式によって、試料Ｓの厚
みを測定する。両センサヘッドＨ1，Ｈ2の光軸Ｏ1，Ｏ2
が互いにずれているときには、その厚みの測定値tmは、
(４)式で決まる誤差成分tβをもつから、この誤差成分t
βが零になるように、すなわち、測定される厚みtmXがt
／cosθXになるまで、一方のセンサヘッドＨ1を仮想平
面Ｐと平行に、かつ、Ｘ軸方向に沿って移動させる。こ
れには、ＸＹテーブルＴをＸ軸方向に沿って移動させれ
ばよい。
みを測定する。両センサヘッドＨ1，Ｈ2の光軸Ｏ1，Ｏ2
が互いにずれているときには、その厚みの測定値tmは、
(４)式で決まる誤差成分tβをもつから、この誤差成分t
βが零になるように、すなわち、測定される厚みtmXがt
／cosθXになるまで、一方のセンサヘッドＨ1を仮想平
面Ｐと平行に、かつ、Ｘ軸方向に沿って移動させる。こ
れには、ＸＹテーブルＴをＸ軸方向に沿って移動させれ
ばよい。
【００３５】以上のようにしてＸ軸方向の光軸が合え
ば、次に、図２(b)に示すように、試料Ｓを、Ｙ軸方向
において仮想平面Ｐから所定の角度θYだけ傾斜させた
後、同様に、試料Ｓの厚みを測定しつつ、その測定され
た厚みtmYがt／cosθYとなるように、一方のセンサヘッ
ドＨ1を仮想平面Ｐと平行に、かつ、Ｙ軸方向に沿って
移動させる。これには、ＸＹテーブルＴをＹ軸方向に沿
って移動させる。
ば、次に、図２(b)に示すように、試料Ｓを、Ｙ軸方向
において仮想平面Ｐから所定の角度θYだけ傾斜させた
後、同様に、試料Ｓの厚みを測定しつつ、その測定され
た厚みtmYがt／cosθYとなるように、一方のセンサヘッ
ドＨ1を仮想平面Ｐと平行に、かつ、Ｙ軸方向に沿って
移動させる。これには、ＸＹテーブルＴをＹ軸方向に沿
って移動させる。
【００３６】こうして、Ｘ軸，Ｙ軸の両方向の光軸が合
えば、誤差成分tβは発生しなくなるので、光軸合わせ
が完了する。
えば、誤差成分tβは発生しなくなるので、光軸合わせ
が完了する。
【００３７】具体例として、実際の数値を挙げて説明す
ると、試料Ｓの厚みt＝１００μm、試料Ｓの傾斜角度θ
X＝θY＝１０°、初期の光軸のずれは、Ｘ軸方向にδX
＝２００μm、Ｙ軸方向にδY＝１００μmであったとす
る。
ると、試料Ｓの厚みt＝１００μm、試料Ｓの傾斜角度θ
X＝θY＝１０°、初期の光軸のずれは、Ｘ軸方向にδX
＝２００μm、Ｙ軸方向にδY＝１００μmであったとす
る。
【００３８】図２(a)の状態で、光軸合わせ前の測定し
た厚みtmXは、(２)〜(４)式より、tmX＝１００＋１.５
＋３５.２＝１３６.７μmとなるので、この測定値tm
Xが、１０１.５μmになるまでＸＹテーブルＴをＸ軸方
向に沿って移動させる。
た厚みtmXは、(２)〜(４)式より、tmX＝１００＋１.５
＋３５.２＝１３６.７μmとなるので、この測定値tm
Xが、１０１.５μmになるまでＸＹテーブルＴをＸ軸方
向に沿って移動させる。
【００３９】図２(b)の状態で、光軸合わせ前の測定し
た厚みtmYは、(２)〜(４)式より、tmYX＝１００＋１.５
＋１７.６＝１１９.１μmとなるので、この測定値tm
Xが、１０１.５μmになるまでＸＹテーブルＴをＹ軸方
向に沿って移動させる。
た厚みtmYは、(２)〜(４)式より、tmYX＝１００＋１.５
＋１７.６＝１１９.１μmとなるので、この測定値tm
Xが、１０１.５μmになるまでＸＹテーブルＴをＹ軸方
向に沿って移動させる。
【００４０】なお、この実施例では、固定フレームＦの
上側に位置するセンサヘッドＨ1のみがＸ軸，Ｙ軸の各
方向に沿って移動させて光軸合わせを行う場合について
説明したが、光軸合わせは、両センサヘッドＨ1，Ｈ2の
相対的な位置関係で決まるものであるから、固定フレー
ムＦの下側に位置するセンサヘッドＨ2をＸ軸，Ｙ軸の
各方向に移動させる場合であってもよく、さらに、両セ
ンサヘッドＨ1，Ｈ2を共にＸ軸，Ｙ軸に沿って移動させ
て光軸合わせを行ってもよい。
上側に位置するセンサヘッドＨ1のみがＸ軸，Ｙ軸の各
方向に沿って移動させて光軸合わせを行う場合について
説明したが、光軸合わせは、両センサヘッドＨ1，Ｈ2の
相対的な位置関係で決まるものであるから、固定フレー
ムＦの下側に位置するセンサヘッドＨ2をＸ軸，Ｙ軸の
各方向に移動させる場合であってもよく、さらに、両セ
ンサヘッドＨ1，Ｈ2を共にＸ軸，Ｙ軸に沿って移動させ
て光軸合わせを行ってもよい。
【００４１】
【発明の効果】本発明によれば、次の効果を奏する。
【００４２】(１) Ｘ軸，Ｙ軸の直交する２方向につい
てそれぞれ定量的に光軸合わせを行えるため、従来より
も光軸合わせの確実性が高まる。
てそれぞれ定量的に光軸合わせを行えるため、従来より
も光軸合わせの確実性が高まる。
【００４３】(２) 従来のようなレーザ光観察用の護眼
拡大スコープは不要となるので、安価に光軸合わせを行
える。
拡大スコープは不要となるので、安価に光軸合わせを行
える。
【図１】本発明の方法を適用するレーザ厚み測定機の厚
み検出部分の構成を示す斜視図である。
み検出部分の構成を示す斜視図である。
【図２】本発明方法の説明図である。
【図３】レーザ厚み測定機の全体構成図である。
【図４】レーザ厚み測定機を用いて被測定物の厚みを測
定する場合の説明図である。
定する場合の説明図である。
【図５】レーザ厚み測定機を用いて被測定物の厚みを測
定する際に誤差成分が生じる場合の説明図である。
定する際に誤差成分が生じる場合の説明図である。
Ｄ…レーザ厚み測定機、Ｂ…被測定物、Ｆ…固定フレー
ム、Ｈ1，Ｈ2…センサヘッド、Ｓ…試料、Ｏ1，Ｏ2…各
センサヘッドの光軸、Ｐ…仮想平面、θX，θY…試料の
Ｘ軸、Ｙ軸方向の仮想平面からの各傾斜角度。
ム、Ｈ1，Ｈ2…センサヘッド、Ｓ…試料、Ｏ1，Ｏ2…各
センサヘッドの光軸、Ｐ…仮想平面、θX，θY…試料の
Ｘ軸、Ｙ軸方向の仮想平面からの各傾斜角度。
Claims (1)
- 【請求項１】 一対のセンサヘッドが対向配置されてな
るレーザ厚み測定機の、前記両センサヘッドの互いの光
軸を一致させるための方法であって、 厚みtが既知の試料を用いるとともに、前記両センサヘ
ッドの間にあって互いの光軸に対して共に直交する一つ
の平面を仮想したとき、この仮想平面上に互いに直交す
るＸ軸，Ｙ軸を設定し、 前記試料を、Ｘ軸方向において仮想平面から所定の角度
θXだけ傾斜させた後、試料の厚みを測定しつつ、その
測定された厚みtmXがt／cosθXとなるように、少なくと
も一方のセンサヘッドを前記仮想平面と平行に、かつ、
Ｘ軸方向に沿って移動させて両センサヘッドの相対位置
を調整し、 次に、前記試料を、Ｙ軸方向において仮想平面から所定
の角度θYだけ傾斜させた後、試料の厚みを測定しつ
つ、その測定された厚みtmYがt／cosθYとなるように、
少なくとも一方のセンサヘッドを前記仮想平面と平行
に、かつ、Ｙ軸方向に沿って移動させて両センサヘッド
の相対位置を調整する、 ことを特徴とするレーザ厚み測定機の光軸合わせ方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24283994A JPH08105715A (ja) | 1994-10-06 | 1994-10-06 | レーザ厚み測定機の光軸合わせ方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24283994A JPH08105715A (ja) | 1994-10-06 | 1994-10-06 | レーザ厚み測定機の光軸合わせ方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08105715A true JPH08105715A (ja) | 1996-04-23 |
Family
ID=17095066
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24283994A Pending JPH08105715A (ja) | 1994-10-06 | 1994-10-06 | レーザ厚み測定機の光軸合わせ方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08105715A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007263818A (ja) * | 2006-03-29 | 2007-10-11 | Jfe Steel Kk | 厚さ計測装置の調整方法及びその装置 |
| JP2009031120A (ja) * | 2007-07-27 | 2009-02-12 | Jfe Steel Kk | 厚さ計測装置の調整方法及びその装置 |
| JP2015169546A (ja) * | 2014-03-07 | 2015-09-28 | オムロン株式会社 | 共焦点計測装置の光軸調整方法、共焦点計測システム、プログラム、及び、プログラムを記録した記録媒体 |
| JP2015179046A (ja) * | 2014-03-19 | 2015-10-08 | 東京応化工業株式会社 | 厚さ測定器および厚さ測定方法 |
| CN113834429A (zh) * | 2021-09-22 | 2021-12-24 | 深圳市大成精密设备股份有限公司 | 一种同轴度校准方法及装置 |
-
1994
- 1994-10-06 JP JP24283994A patent/JPH08105715A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007263818A (ja) * | 2006-03-29 | 2007-10-11 | Jfe Steel Kk | 厚さ計測装置の調整方法及びその装置 |
| JP2009031120A (ja) * | 2007-07-27 | 2009-02-12 | Jfe Steel Kk | 厚さ計測装置の調整方法及びその装置 |
| JP2015169546A (ja) * | 2014-03-07 | 2015-09-28 | オムロン株式会社 | 共焦点計測装置の光軸調整方法、共焦点計測システム、プログラム、及び、プログラムを記録した記録媒体 |
| JP2015179046A (ja) * | 2014-03-19 | 2015-10-08 | 東京応化工業株式会社 | 厚さ測定器および厚さ測定方法 |
| CN113834429A (zh) * | 2021-09-22 | 2021-12-24 | 深圳市大成精密设备股份有限公司 | 一种同轴度校准方法及装置 |
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