JPH08104749A - ポリイミド/シリカ複合体及びそのフィルムの製造方法 - Google Patents

ポリイミド/シリカ複合体及びそのフィルムの製造方法

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JPH08104749A
JPH08104749A JP7234944A JP23494495A JPH08104749A JP H08104749 A JPH08104749 A JP H08104749A JP 7234944 A JP7234944 A JP 7234944A JP 23494495 A JP23494495 A JP 23494495A JP H08104749 A JPH08104749 A JP H08104749A
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polyimide
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silica
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Yonteku I
イ・ヨンテク
Fajin Jon
ジョン・ファジン
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SK Discovery Co Ltd
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SENKIYOU INDASUTORI KK
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Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【課題】 高い相溶性をもつポリイミド/シリカ複合体
及びそのフィルムの製造方法の提供。 【解決手段】 (a) 過剰量のピロメリット酸二無水物
(PMDA)とオキシジアニリン(ODA)とを非プロ
トン性極性溶媒下で反応させて(I)のポリアミド酸
(PAA)を合成する工程、 (b) PAA(I)と3−アミノプロピルメチルジエト
キシシラン(APMDS)とをPAAの末端酸無水物基
モル数と同モル数のAPMDSの比率で反応させてシロ
キサン構造を有する下記構造式(II)を製造する工程、
及び (c) (II)に、不活性雰囲気下でゾル−ゲル反応によ
り規定量のテトラエトキシシランと蒸留水を添加し均一
に攪拌して、下記構造式(III)の化合物とシリコンテ
トラヒドロキシドを含有するプレポリマー粘性溶液を製
造する工程、 (d) 通常の溶液キャスティング方法によりプレポリマ
ーフィルムを製造する工程、及び加熱処理してイミド化
及び縮重合させる工程から製造される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はポリイミド/シリカ複合
体及びそのフィルムの製造方法に関するもので、詳しく
はゾル−ゲル(sol-gel)法によりポリイミド/シリカ
複合体内のシリカ含量を増加させ、相溶性を向上させる
ことにより、架橋密度の高いポリイミド/シリカ複合体
及びそのフィルムの製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】一般に、ポリイミド(以下、PIとい
う)は耐熱性の樹脂で、分子鎖の硬直性、共鳴安定化、
強い化学結合及び頂上角の環構造等により軟化点が高
く、熱分解に優れた抵抗性を有し、酸化又は加水分解の
ような化学変化に対して良好な安定性と優れた機械的特
性及び電気的特性を有している。
【0003】このような特性を有するポリイミドは電
気、電子、自動車及び航空宇宙産業等にフィルム、樹
脂、成形部品、接着剤及び絶縁材等として多様に使用さ
れており、特にマイクロエレクトロニクス産業でチップ
及びチップモジュールの高集積化が急速に進行するにつ
れて高い熱安定性と絶縁性を要求する成形部品及び接着
剤等の素材として最近多くの関心を集めており、又シリ
コンウェーハとの親和性、熱膨張性及び吸湿性等を改善
して電子産業用接着剤として使用するか、金属、熱硬化
性樹脂及びセラミックの代替材料として使用するため、
これに適合する特性を有するポリイミドに対する技術開
発の必要性が漸次増大している。
【0004】従って、このような要求に応じて現在多く
の研究者により、熱安定性、耐酸化性、耐オゾン性、電
気絶縁性及び酸素透過性等が優秀であると知られたシリ
カをPIに導入したPI/シリカ複合体を製造する研究
が積極的に検討されており、このような研究の大部分は
主に、混合又はグラフト化により導入する方法である。
【0005】しかし、混合方法は工程が単純で容易であ
り、有機高分子とシリカの複合体の場合、シリカが主に
補強剤又は充填剤として用いられているが、有機高分子
に対する低い相溶性のため、その含量と収率に多くの問
題点を有しており、特に混合方法により製造されたPI
/シリカ複合体の場合、系内のシリカ含量を10wt%を
越えたものとすることは困難で、またPIとシリカとの
相分離により良質の透明なフィルムの製造も難しいとい
う問題点を有している。
【0006】従って、有機高分子とシリカとの複合体を
製造する時、これらの間に化学的結合を導入する製造法
が漸次関心を引いており、最近PI/シリカ複合体の製
造においてはゾル−ゲル法が効果的な合成法として注目
を浴びている。
【0007】ゾル−ゲル法というのは、既存の溶融法に
比して相対的に低い温度でもガラス状物質の製造を可能
にする方法で、その過程としては金属アルコキシドの加
水分解とつづいての縮重合による架橋体の生成という2
段階の反応で構成されている。一方、その架橋体の3次
元網状構造はマトリックス内の分子的挙動を制限し、結
晶化を経なくても多成分系の複合体の製造を可能にする
ので、最近、有機、無機複合体を製造する時に多くの関
心を引いており、主に有機高分子とテトラエトキシシラ
ン(Tetraethoxysilane:以下、TEOS)を前駆物質
とする高分子/シリカ複合体の製造を主体とするもので
ある。
【0008】ゾル−ゲル法によるPI/シリカ複合体の
製造は、Polymer Journal., 24, 1,107(1992) に始めに
報告されており、これはPIの前駆体であるポリアミド
酸(polyamic acid、以下、PAA)とTEOS及び水
を添加し、均一に攪拌してまずTEOSを加水分解させ
てから熱処理してPAAのイミド化と同時にゾル−ゲル
法によるシリカ生成を誘導する、PI鎖とシリカの網状
構造が物理的に混合された複合体の製造方法である。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、PI高
分子鎖はゾル−ゲル過程中、化学的架橋構造を形成でき
るシラン架橋点を有していないので、一般的な無機シリ
カはPIに対して親和性が低く、シリカの網目構造のP
I高分子鎖に対する低い相溶性のために複合体内の生成
シリカの含量が8wt%を越える場合、得られたフィルム
内の均質度が低下し、局部的網目鎖である直径3〜7μ
mの球形シリカ粒子を形成し、これがフィルムの不透明
性及び物性低下の原因になって多くの問題点を生ずるこ
とになった。
【0010】従って、本発明は従来技術の問題点を解決
するとともにより改善された相溶性によって高いシリカ
含量を有する新規な架橋複合体及びそのフィルムを提供
することを目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】本発明は、PIとシリカ
の間に化学的結合を誘導するために、シラン架橋剤であ
る反応性アミン作用基を有するシランカップリング剤を
用いてゾル−ゲル反応により製造されるPI/シリカ複
合体及びそのフィルムに関するものである。
【0012】より具体的に、本発明のポリイミド/シリ
カ複合体は次の工程を含む方法により製造される。 (a) 過剰量のピロメリット酸二無水物(PMDA)と
オキシジアニリン(ODA)とをN,N−ジメチルアセ
トアミド(DMAc)溶媒中で反応させて、末端に酸無
水物基(anhydride group)を有する下記構造式(I)
のポリアミド酸(PAA)を合成する工程、
【0013】
【化9】
【0014】(b) PAA(I)とシランカップリング
剤である3−アミノプロピルメチルジエトキシシラン
(APMDS)とをAPMDSをPAAの末端アンヒド
リド基のモル数と同モル数の比率で反応させてシロキサ
ン構造を有する下記構造式(II)のAPMDS−封止P
AAを製造する工程、及び
【0015】
【化10】
【0016】(c) APMDS−封止PAA(II)に、
ゾル−ゲル反応により不活性雰囲気下で規定量のテトラ
エトキシシラン(TEOS)と蒸留水を添加し均一に攪
拌して、末端にシラノール基が形成された下記構造式
(III)の化合物とシリコンテトラヒドロキシドとを含
有するプレポリマー粘性溶液を製造する工程。
【0017】
【化11】
【0018】前記工程(a)において、ODAに対するP
MDAの反応量論比は0.5〜1.5モル%過剰量で添加
して2〜3時間反応させることが適当である。PMDA
の過量が1.5モル%を越えると低い重合度のためフィ
ルムに成形することができなくなり、一方、PMDAの
過剰量が0.5モル%より少ないと末端の酸無水物官能
基数が著しく減少し次の工程(b)でのAPMDSとの反
応率が低くなってPAAの酸無水物末端へのAPMDS
−封止が充分ではなくなる。又、2時間未満で反応させ
ると重合反応が完全には起こらず、3時間を越えて反応
させてもそれ以上の反応は進行せず、反応時間遅延によ
る不純物混入増加及び一部逆反応による解重合のおそれ
がある。
【0019】又、工程(b)でPAA鎖末端を封止するた
めに添加されるAPMDSの量は生成PAAを理想状態
(polydispersity=1)と仮定して計算された末端酸無
水物基のモル数と同モル数で投入し、反応が充分に進行
するように一定時間攪拌することが望ましい。APMD
S−封止PAA(II)はゾル−ゲル反応を通じてシロキ
サンの架橋構造を形成させるためのマクロ単量体として
使用される。
【0020】工程(c)では、不活性雰囲気、例えば窒素
存在下でAPMDS−封止PAA(II)の粘性溶液に規
定量のTEOSを添加し均一に攪拌した後、加水分解の
ための規定量の蒸留水を投入し、常温で一定時間攪拌し
て、末端にシラノール基が形成された化合物(III)と
シリコンテトラヒドリドを含有するプレポリマー粘性溶
液を製造する。
【0021】プレポリマー粘性溶液はPAA鎖の側鎖の
カルボキシル基により酸性を有し、サンテクス(Sunte
x)社のpH測定器(台湾、serial No. Sp-2000A)でp
H4.5であることを確認した。従って、プレポリマー
粘性溶液でシロキサンを重合させるためのゾル−ゲル反
応を活性化させるのに別度の酸触媒の添加は必要でな
く、自触媒反応でも充分である。
【0022】本発明によるプレポリマー粘性溶液内のシ
リカ含量は重量比で30〜40%がもっとも好ましい。
30%未満である場合にはゾル−ゲル反応による充分な
物性をもつシリカ架橋体を得るのにはシリカ含量が不足
し、40%を越える場合には加水分解による不安定なP
AA高分子鎖の切断が起こり易く、低分子量であるシリ
コンテトラヒドロキシド含量の増加により粘度が低くな
り引張強度及び引張伸度が低下し、またフィルムが成形
されても不透明で使用に困難かある。
【0023】本発明のポリイミド/シリカ複合体フィル
ムは次の工程を含む方法により製造される。 (d) 前記工程(a)〜(c)を通じて製造された化合物
(III)とシリコンテトラヒドロキシドとを含有するプ
レポリマー粘性溶液を通常の溶液キャスティング方法に
よりキャスティングし乾燥して、シロキサンがPIに線
形重合された下記構造式(IV)の化合物と未反応シリコ
ンテトラヒドロキシドを含有するプレポリマーフィルム
を製造する工程、及び
【0024】
【化12】
【0025】(e) プレポリマーフィルムを加熱処理し
てイミド化及び縮重合させることにより、PIとシリカ
が化学的架橋構造を有する下記構造式(V)のポリイミ
ド/シリカ複合体フィルムを製造する工程。
【化13】
【0026】本発明によるポリイミド/シリカ複合体フ
ィルムの製造において、工程(d)では前記工程(c)で製
造されるプレポリマー粘性溶液を通常の溶液キャスティ
ング方法によりキャスティングし乾燥して、シロキサン
が線形重合された前記構造式(IV)の化合物と未反応シ
リコンテトラヒドロキシドとを含有するプレポリマーフ
ィルムを製造する。
【0027】工程(e)でプレポリマーフィルムを大気中
で270℃以上の温度で充分な時間熱処理すると、構造
式(IV)の化合物と未反応シリコンテトラヒドロキシド
間で追加の縮重合が起こり、構造式(IV)の化合物で分
子内イミド化が起こってPIにシリカが化学的架橋結合
を成したポリイミド/シリカ複合体(V)フィルムが形
成される。この際の、急速な熱転換はフィルム表面から
蒸発する水分の痕跡が空孔として残りやすいので、これ
を防止するために徐々に昇温させながら熱処理すること
が要求される。
【0028】
【実施例】以下、本発明を具体的な実施例によって詳細
に説明する。 実施例1〜2及び比較例1〜3 下記実施例及び比較例のPI/シリカ複合体とフィルム
は次の方法により製造した。 1.PI/シリカ複合体の合成 溶媒であるDMAc中の微量の水分とPMDAとの副反
応を防止するため、先ず窒素雰囲気下でDMAc(日本
ジュンセイケミカル社製品:純度99%)の水分を除去
してから純度98%のODA(ベルギーのザンセンケミ
カル社製品)とともに900rpmで攪拌させながら溶解
させた後、純度97%のPMDA(米国のアルドリッチ
ケミカル社製品)をODAに対して過剰に添加して、窒
素雰囲気、常温下で3時間溶液重合して末端にアンヒド
リドを有するPAAを合成した後に純度98%のAPM
DS(スイスのプルカケミカル社製品)をPAAの末端
酸無水物基のモル数と同モル数で投入し900rpmで1
時間攪拌してAPMDS−封止PAA(II)粘性溶液を
製造した。次いで、APMDS−封止PAA粘性溶液に
TEOS(プルカケミカル社製品、純度98%)を添加
し均一に撹拌した後、蒸留水を投入し常温で6時間90
0rpmで撹拌して、末端にシラノール基が形成された化
合物(III)とシリコンテトラヒドロキシドとを含有す
るプレポリマー粘性溶液を製造した。
【0029】2.PI/シリカ複合体フィルムの製造 前記1の粘性溶液をガラス基板にキャスティングした
後、大気中で60℃に12時間乾燥して、シロキサンが
線形重合された化合物(IV)と未反応シリコンテトラヒ
ドロキシドとを含有するプレポリマーフィルムを製造
し、これを大気中で270℃で3時間熱処理してイミド
化及び縮重合させることにより、PIとシリカが化学的
架橋構造を有する下記構造式(V)のポリイミド/シリ
カ複合体フィルムを製造した。
【0030】製造されたポリイミド/シリカ複合体フィ
ルムの物性は次の方法により測定された。 固有粘度測定 製造されたPAA試料を無水メタノールに沈積させて未
反応単量体を除去した後、濾過してから50℃で6時間
減圧乾燥し、DMAcを使用して濃度0.5g/デシリ
ットルの希薄溶液とした後、オストワルド粘度計を使用
して30℃で固有粘度を測定した。固有粘度(ηinh
は下記式により求められた。
【0031】
【数1】
【0032】 引張強度試験 重合体の力学的物性を測定するため、PI/シリカ複合
体フィルムをマイクロ引張試験用切断機を使用して幅
4.5mm、長さ22.4mmに切断して準備した厚さ0.2
〜0.4mm範囲の試片をツビック社(ドイツ)のモデル
1435万能引張試験器を使用して100mm/分の引張
速度で破断時の引張強度を求めた。
【0033】 透明度測定 フィルムの透明度はライカ社(ドイツ)のモデル200
0SEM走査顕微鏡を使用して3,800倍の拡大写真
を得、単位面積(L×W×D=10mm×19mm×0.1m
m)当たりシリカ凝集物が肉眼で確認されなかった場合
に透明であると判定した。
【0034】 熱重量測定 重合体の耐熱性は島津製作所(日本)のモデルTGA
40M熱重量装置を使用して昇温速度10℃/minで2
0〜800℃の温度範囲で窒素及び大気中で各々測定を
行い、その結果は10%重量損失温度で示した。
【0035】〔実施例1〕下記表1に提示される含量比
でフィルムを製造した。ODAに対するPMDA過剰量
は反応量論比で1モル%であり、APMDS−封止PA
A粘性溶液にシリカ含量が40%となるようにTEOS
を添加した。製造されたフィルムの物性は表1に示され
る。
【0036】〔実施例2〕表1に示される含量比でフィ
ルムを製造した。ODAに対するPMDA過剰量は反応
量論比で1モル%であり、APMDS−封止PAA粘性
溶液にシリカ含量が30%となるようにTEOSを添加
した。製造されたフィルムの物性は表1に示される。
【0037】〔比較例1〕表1に示される含量比でフィ
ルムを製造した。ODAに対するPMDA過剰量は反応
量論比で1モル%であり、APMDS−封止PAA粘性
溶液にシリカ含量が15%となるようにTEOSを添加
した。製造されたフィルムの物性は表1に示される。
【0038】〔比較例2〕表1に示される含量比でフィ
ルムを製造した。ODAに対するPMDA過剰量は反応
量論比で1.5モル%であり、APMDS−封止PAA
粘性溶液にシリカ含量が40%となるようにTEOSを
添加した。製造されたフィルムの物性は表1に示され
る。
【0039】〔比較例3〕表1に示される含量比でフィ
ルムを製造した。ODAに対するPMDA過剰量は反応
量論比で1モル%であり、APMDS−封止PAA粘性
溶液にシリカ含量が70%となるようにTEOSを添加
した。製造されたフィルムの物性は表1に示される。
【0040】〔比較例4〕表1に示される含量比でフィ
ルムを製造した。ODAに対するPMDA過剰量は反応
量論比で0.3モル%であり、APMDS−封止PAA
粘性溶液にシリカ含量が40%となるようにTEOSを
添加した。製造されたフィルムの物性は表1に示され
る。
【0041】
【表1】
【0042】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によるポリ
イミド/シリカ複合体及びそのフィルムの製造方法はシ
ランカップリング剤を用いてゾル−ゲル(sol-gel)法
によりポリイミド/シリカ複合体内の相溶性を向上さ
せ、シリカ含量を増加させることにより、架橋密度を高
めることができる効果がある。

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 次の工程を含む方法により製造されるポ
    リイミド/シリカ複合体。 (a) 過剰量のピロメリット酸二無水物(PMDA)と
    オキシジアニリン(ODA)とを非プロトン性極性溶媒
    中で反応させて、末端に酸無水物基を有する次の構造式
    (I) 【化1】 のポリアミド酸(PAA)を合成する工程、 (b) PAA(I)とシランカップリング剤である3−
    アミノプロピルメチルジエトキシシラン(APMDS)
    とをAPMDSをPAAの末端アンヒドリド基のモル数
    と同モル数の比率で反応させてシロキサン構造を有する
    次の構造式(II) 【化2】 のAPMDS−封止PAAを製造する工程、及び (c) APMDS−封止PAA(II)に、ゾル−ゲル反
    応法により不活性雰囲気下で規定量のテトラエトキシシ
    ラン(TEOS)と蒸留水を添加し均一に攪拌して、末
    端にシラノール基が形成された次の構造式(III) 【化3】 の化合物とシリコンテトラヒドロキシドとを含有するプ
    レポリマー粘性溶液を製造する工程。
  2. 【請求項2】 ODAに対するPMDAの反応量論比は
    0.5〜1.5モル%過剰量であり、ODAとPMDAの
    反応時間は2〜3時間であることを特徴とする請求項1
    記載のポリイミド/シリカ複合体。
  3. 【請求項3】 ポリイミド/シリカ複合体内のシリカ含
    量が30〜40重量%となるようにTEOSを添加する
    ことを特徴とする請求項1記載のポリイミド/シリカ複
    合体。
  4. 【請求項4】 次の工程を含むポリイミド/シリカ複合
    体フィルムの製造方法。 (a) 過剰量のピロメリット酸二無水物(PMDA)と
    オキシジアニリン(ODA)を非プロトン性極性溶媒中
    で反応させて、末端に酸無水物基を有する次の構造式
    (I) 【化4】 のポリアミド酸(PAA)を合成する工程、 (b) PAA(I)とシランカップリング剤である3−
    アミノプロピルメチルジエトキシシラン(APMDS)
    とをAPMDSをPAAの末端アンヒドリド基のモル数
    と同モル数の比率で反応させてシロキサン構造を有する
    次の構造式(II) 【化5】 のAPMDS−封止PAAを製造する工程、 (c) APMDS−封止PAA(II)に、ゾル−ゲル反
    応法により不活性雰囲気下で規定量のテトラエトキシシ
    ラン(TEOS)と蒸留水を添加し均一に攪拌して、末
    端にシラノール基が形成された次の構造式(III) 【化6】 の化合物とシリコンテトラヒドロキシドを含有するプレ
    ポリマー粘性溶液を製造する工程、 (d) 前記工程(a)〜(c)を通じて製造された化合物
    (III)とシリコンテトラヒドロキシドを含有するプレ
    ポリマー粘性溶液を通常の溶液キャスティング方式によ
    りキャスティングし乾燥して、シロキサンがポリイミド
    に線形重合された次の構造式(IV) 【化7】 の化合物と未反応シリコンテトラヒドロキシドを含有す
    るプレポリマーフィルムを製造する工程、及び (e) プレポリマーフィルムを加熱処理してイミド化及
    び縮重合させることにより、ポリイミドとシリカが化学
    的架橋構造を有する次の構造式(V) 【化8】 のポリイミド/シリカ複合体フィルムを製造する工程。
  5. 【請求項5】 ODAに対するPMDAの反応量論比は
    0.5〜1.5モル%過剰量であり、ODAとPMDAと
    の反応時間は2〜3時間であることを特徴とする請求項
    4記載のポリイミド/シリカ複合体。
  6. 【請求項6】 ポリイミド/シリカ複合体内のシリカ含
    量が30〜40重量%となるようにTEOSを添加する
    ことを特徴とする請求項4記載のポリイミド/シリカ複
    合体。
  7. 【請求項7】 熱処理は270℃以上で行うことを特徴
    とする請求項4記載のポリイミド/シリカ複合体。
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