JPH08101219A - 走査型プローブ顕微鏡 - Google Patents
走査型プローブ顕微鏡Info
- Publication number
- JPH08101219A JPH08101219A JP23729294A JP23729294A JPH08101219A JP H08101219 A JPH08101219 A JP H08101219A JP 23729294 A JP23729294 A JP 23729294A JP 23729294 A JP23729294 A JP 23729294A JP H08101219 A JPH08101219 A JP H08101219A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 試料の交換作業が簡単な走査型プローブ顕微
鏡を提供する。 【構成】 測定光学部１を測定部１１とベース１２の二
つのユニットで構成し、その測定部１１をベース１２に
対して前後方向に移動して測定位置または試料交換を行
う位置のいずれか一方に選択的に配置するための移動機
構を設け、また、測定部１１を測定位置に配置したと
き、この測定部１１をベース１２に固定するための固定
機構を設けている。
鏡を提供する。 【構成】 測定光学部１を測定部１１とベース１２の二
つのユニットで構成し、その測定部１１をベース１２に
対して前後方向に移動して測定位置または試料交換を行
う位置のいずれか一方に選択的に配置するための移動機
構を設け、また、測定部１１を測定位置に配置したと
き、この測定部１１をベース１２に固定するための固定
機構を設けている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は走査型プローブ顕微鏡に
関する。
関する。
【０００２】
【従来の技術】金属や半導体の試料面上の微細構造を測
定する有力な装置として走査型トンネル顕微鏡（ＳＴ
Ｍ）がある。また、最近では、そのＳＴＭの技術を応用
して、探針先端と試料との間に働く力量（原子と探針先
端間の引力等）をプローブとして試料表面の微細構造を
観察する走査型プローブ顕微鏡が開発されている。
定する有力な装置として走査型トンネル顕微鏡（ＳＴ
Ｍ）がある。また、最近では、そのＳＴＭの技術を応用
して、探針先端と試料との間に働く力量（原子と探針先
端間の引力等）をプローブとして試料表面の微細構造を
観察する走査型プローブ顕微鏡が開発されている。
【０００３】この走査型プローブ顕微鏡は、探針をもつ
カンチレバーを試料表面に沿って２次元状に走査する
と、そのカンチレバーが試料の表面形状に応じて変位す
る点を利用し、カンチレバーの変位を検出することによ
り試料表面の微細形状を原子レベルで測定する装置であ
る。
カンチレバーを試料表面に沿って２次元状に走査する
と、そのカンチレバーが試料の表面形状に応じて変位す
る点を利用し、カンチレバーの変位を検出することによ
り試料表面の微細形状を原子レベルで測定する装置であ
る。
【０００４】また、この種の走査型プローブ顕微鏡にお
いては、図５に示すように、レーザダイオードLDの出力
光をレンズLe，ビームスプリッタBSを介してカンチレバ
ーCLに照射し、その反射光をフォトダイオードPDで受光
するといった構成の測定光学部を、試料Ｓの上方に配置
してカンチレバーCLの変位を検出する構造のものがあ
る。
いては、図５に示すように、レーザダイオードLDの出力
光をレンズLe，ビームスプリッタBSを介してカンチレバ
ーCLに照射し、その反射光をフォトダイオードPDで受光
するといった構成の測定光学部を、試料Ｓの上方に配置
してカンチレバーCLの変位を検出する構造のものがあ
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来の走査
型プローブ顕微鏡によれば、図６に示すように、カンチ
レバーCLの変位検出用の光学系が配置された測定光学部
１０１を、試料Ｓが置かれるスキャナ（チューブピエ
ゾ）１２１の上方に固定配置して測定を行う構造となっ
ていることから、試料Ｓの交換の際には測定光学部１０
１を装置から取り外す必要があり、このため試料の交換
作業が煩雑となっていた。
型プローブ顕微鏡によれば、図６に示すように、カンチ
レバーCLの変位検出用の光学系が配置された測定光学部
１０１を、試料Ｓが置かれるスキャナ（チューブピエ
ゾ）１２１の上方に固定配置して測定を行う構造となっ
ていることから、試料Ｓの交換の際には測定光学部１０
１を装置から取り外す必要があり、このため試料の交換
作業が煩雑となっていた。
【０００６】本発明はそのような点を解消すべくなされ
たもので、試料の交換作業が簡単な走査型プローブ顕微
鏡の提供を目的とする。
たもので、試料の交換作業が簡単な走査型プローブ顕微
鏡の提供を目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明の走査型プローブ顕微鏡は、実施例に対応す
る図１〜図４に示すように、測定光学部１が、スキャナ
２１に対し所定の位置関係で固定されるベース１２とこ
のベース１２上に配置される測定部１１によって構成さ
れ、その測定部１１のフレーム１１ａは、前面の開口部
から後部側に向けて延びる空洞Ｃが形成された構造で、
その空洞Ｃの内部にカンチレバー３が配置され、かつ、
このカンチレバー３の変位を検出するための光学系がフ
レーム１１ａに配置されているとともに、測定光学部１
には、測定部１１をベース１２に対し前後方向に移動し
てカンチレバー３をスキャナ２１の上方の測定位置また
はそのスキャナ２１の上方領域とは干渉しない位置のい
ずれか一方の位置に選択的に配置するための移動機構
（例えばリンク機構）と、測定部１１を上記測定位置に
配置したときに、当該測定部１をベース１２に対して固
定するための固定機構（固定レバー６及び溝１１ｃ）が
設けられていることによって特徴づけられる。
め、本発明の走査型プローブ顕微鏡は、実施例に対応す
る図１〜図４に示すように、測定光学部１が、スキャナ
２１に対し所定の位置関係で固定されるベース１２とこ
のベース１２上に配置される測定部１１によって構成さ
れ、その測定部１１のフレーム１１ａは、前面の開口部
から後部側に向けて延びる空洞Ｃが形成された構造で、
その空洞Ｃの内部にカンチレバー３が配置され、かつ、
このカンチレバー３の変位を検出するための光学系がフ
レーム１１ａに配置されているとともに、測定光学部１
には、測定部１１をベース１２に対し前後方向に移動し
てカンチレバー３をスキャナ２１の上方の測定位置また
はそのスキャナ２１の上方領域とは干渉しない位置のい
ずれか一方の位置に選択的に配置するための移動機構
（例えばリンク機構）と、測定部１１を上記測定位置に
配置したときに、当該測定部１をベース１２に対して固
定するための固定機構（固定レバー６及び溝１１ｃ）が
設けられていることによって特徴づけられる。
【０００８】
【作用】測定部１１をベース１２に対して前後方向に移
動させるだけで、スキャナ２１に置かれた試料Ｓの上方
領域に交換作業を行うための空間Ａを確保できる。従っ
て試料交換の際に測定光学部１を装置から取り外す必要
がなくなる。
動させるだけで、スキャナ２１に置かれた試料Ｓの上方
領域に交換作業を行うための空間Ａを確保できる。従っ
て試料交換の際に測定光学部１を装置から取り外す必要
がなくなる。
【０００９】また、測定部１１を測定位置に配置したと
きには、固定機構によって測定部１１をベース１２に固
定できるので、測定光学部１を測定部１１とベース１２
の二つのユニットで構成しても、測定に悪影響が及ぶこ
とはない。
きには、固定機構によって測定部１１をベース１２に固
定できるので、測定光学部１を測定部１１とベース１２
の二つのユニットで構成しても、測定に悪影響が及ぶこ
とはない。
【００１０】
【実施例】本発明の実施例を、以下、図面に基づいて説
明する。図１は本発明実施例の構造を模式的に示す図
で、(a) 及び(b) はそれぞれ測定時及び試料交換時の状
態を示す。また、図２は本発明実施例の測定光学部１の
外観斜視図である。なお、図２(a) はカンチレバー交換
時の状態を示し、また同図(b) は試料交換時の状態を示
す。
明する。図１は本発明実施例の構造を模式的に示す図
で、(a) 及び(b) はそれぞれ測定時及び試料交換時の状
態を示す。また、図２は本発明実施例の測定光学部１の
外観斜視図である。なお、図２(a) はカンチレバー交換
時の状態を示し、また同図(b) は試料交換時の状態を示
す。
【００１１】さらに、図３はその測定光学部１の要部構
造を示す図で、(a) は正面部分断面図、(b) はその(a)
のＸ−Ｘ矢視断面図である。まず、この実施例の顕微鏡
は測定光学部１と試料Ｓの走査を行う走査機構部２によ
って構成されている。
造を示す図で、(a) は正面部分断面図、(b) はその(a)
のＸ−Ｘ矢視断面図である。まず、この実施例の顕微鏡
は測定光学部１と試料Ｓの走査を行う走査機構部２によ
って構成されている。
【００１２】走査機構部２は、試料Ｓが置かれるスキャ
ナ（チューブピエゾ）２１及び支持台２２を備えた構造
で、その支持台２２の上方に測定光学部１が配置され
る。また、支持台２２にはスキャナ２１の周辺の複数部
位（３か所）に調節ねじ２３・・２３が配設されており、
この各調節ねじ２３の操作により、スキャナ２１上の試
料Ｓに対する測定光学部１の高さ位置を粗調節すること
ができる。なお、測定光学部１は支持台２２に対して、
例えばねじと引張ばねまたはプランジャ等（図示せず）
を利用した機構によって固定される。
ナ（チューブピエゾ）２１及び支持台２２を備えた構造
で、その支持台２２の上方に測定光学部１が配置され
る。また、支持台２２にはスキャナ２１の周辺の複数部
位（３か所）に調節ねじ２３・・２３が配設されており、
この各調節ねじ２３の操作により、スキャナ２１上の試
料Ｓに対する測定光学部１の高さ位置を粗調節すること
ができる。なお、測定光学部１は支持台２２に対して、
例えばねじと引張ばねまたはプランジャ等（図示せず）
を利用した機構によって固定される。
【００１３】さて、測定光学部１は、測定部１１とベー
ス１２の二つのユニットで構成されている。その測定部
１１のフレーム１１ａには、前面側が開放された空洞Ｃ
が設けられており、その空洞Ｃの奥方にカンチレバー３
がホルダ４を利用して装着される。また、フレーム１１
ａには、図示しないが、カンチレバー３の変位を検出す
るための光学系（先の図５または図６を参照）が組み込
まれている。また、ベース１２の中央部にはＵ字形の切
欠き１２ａが設けられており、この切欠き１２ａを通じ
てスキャナ２１の上端部が空洞Ｃの内部に臨む。
ス１２の二つのユニットで構成されている。その測定部
１１のフレーム１１ａには、前面側が開放された空洞Ｃ
が設けられており、その空洞Ｃの奥方にカンチレバー３
がホルダ４を利用して装着される。また、フレーム１１
ａには、図示しないが、カンチレバー３の変位を検出す
るための光学系（先の図５または図６を参照）が組み込
まれている。また、ベース１２の中央部にはＵ字形の切
欠き１２ａが設けられており、この切欠き１２ａを通じ
てスキャナ２１の上端部が空洞Ｃの内部に臨む。
【００１４】フレーム１１ａの左右の側壁下部には、そ
れぞれ、側壁に対して所定の間隔を隔てて延びる内部壁
１１ｂが一体に形成されており、その左右の内部壁１１
ｂには、それぞれ前後の２か所にリンク５・・５がピン５
ａによって連結されている。また、各リンク５の他端は
ベース１２にピン５ｂを介して回動自在に支承されてお
り、これらの部材により構成される４節リンク機構によ
って、測定部１１の全体がベース１２に対して前後方向
に移動可能となっている。
れぞれ、側壁に対して所定の間隔を隔てて延びる内部壁
１１ｂが一体に形成されており、その左右の内部壁１１
ｂには、それぞれ前後の２か所にリンク５・・５がピン５
ａによって連結されている。また、各リンク５の他端は
ベース１２にピン５ｂを介して回動自在に支承されてお
り、これらの部材により構成される４節リンク機構によ
って、測定部１１の全体がベース１２に対して前後方向
に移動可能となっている。
【００１５】そして、測定部１１を、ベース１２の前部
側の位置に配置した状態で、カンチレバー３がスキャナ
２１に置かれた試料Ｓの上方に位置して測定可能な状態
となり、また、試料Ｓを交換する際には、測定部１１を
後方へと移動させる、といった簡単な作業により、試料
Ｓの上方領域に、交換作業のための空間Ａを確保するこ
とができる。
側の位置に配置した状態で、カンチレバー３がスキャナ
２１に置かれた試料Ｓの上方に位置して測定可能な状態
となり、また、試料Ｓを交換する際には、測定部１１を
後方へと移動させる、といった簡単な作業により、試料
Ｓの上方領域に、交換作業のための空間Ａを確保するこ
とができる。
【００１６】ここで、測定部１１を測定位置に配置した
ときには、測定部１１をベース１２に固定する必要があ
り、その手段として本発明実施例では、図４に示す固定
レバー６を設けている。この固定レバー６は、ベース１
２に設けられた支点１２ｂに回動自在に支承されてお
り、その力点側を操作することにより、荷重点側の先端
６ａが、測定部１１の内部壁１１ｂに設けた溝１１ｃに
嵌り込む。この溝１１ｃはベース１２の後方側に向かう
につれて上方へと傾く形状に加工されており、従って固
定レバー６の力点側をベース１２の前方側への向きに回
すと、固定レバー６の先端６ａが溝１１ｃの下側の面を
下方へと押圧し、これにより測定部１１がベース１２に
強固に固定される。
ときには、測定部１１をベース１２に固定する必要があ
り、その手段として本発明実施例では、図４に示す固定
レバー６を設けている。この固定レバー６は、ベース１
２に設けられた支点１２ｂに回動自在に支承されてお
り、その力点側を操作することにより、荷重点側の先端
６ａが、測定部１１の内部壁１１ｂに設けた溝１１ｃに
嵌り込む。この溝１１ｃはベース１２の後方側に向かう
につれて上方へと傾く形状に加工されており、従って固
定レバー６の力点側をベース１２の前方側への向きに回
すと、固定レバー６の先端６ａが溝１１ｃの下側の面を
下方へと押圧し、これにより測定部１１がベース１２に
強固に固定される。
【００１７】なお、以上の実施例では、測定部１１の移
動機構としてリンク機構を採用しているが、これに限ら
れることなく、例えば測定部１１をベース１２上に沿っ
て移動させるスライド機構などの他の公知の機構であっ
てもよい。また、固定機構としては固定レバーに代え
て、例えばプランジャ又はピンを利用した他の公知の固
定手段を採用してもよい。
動機構としてリンク機構を採用しているが、これに限ら
れることなく、例えば測定部１１をベース１２上に沿っ
て移動させるスライド機構などの他の公知の機構であっ
てもよい。また、固定機構としては固定レバーに代え
て、例えばプランジャ又はピンを利用した他の公知の固
定手段を採用してもよい。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の走査型プ
ローブ顕微鏡によれば、試料上方に配置される測定光学
部を、測定部とベースの二つのユニットで構成し、その
測定部をベースに対して前後方向に移動する機構（リン
ク機構等）を設けたので、試料交換の際には、測定部を
移動させるだけで試料の上方に広い空間を確保でき、そ
の結果、試料交換の作業性が大幅に向上する。
ローブ顕微鏡によれば、試料上方に配置される測定光学
部を、測定部とベースの二つのユニットで構成し、その
測定部をベースに対して前後方向に移動する機構（リン
ク機構等）を設けたので、試料交換の際には、測定部を
移動させるだけで試料の上方に広い空間を確保でき、そ
の結果、試料交換の作業性が大幅に向上する。
【図１】本発明実施例の構造を模式的に示す図
【図２】本発明実施例の測定光学部１の構造を示す外観
斜視図
斜視図
【図３】その測定光学部１の要部構造を示す縦断面図
【図４】本発明実施例の固定レバー６の構造を示す部分
斜視図
斜視図
【図５】走査型プローブ顕微鏡の測定光学部の構成例を
示す図
示す図
【図６】測定光学部を試料上方に配置した走査型プロー
ブ顕微鏡の従来の構造例を示す図
ブ顕微鏡の従来の構造例を示す図
１ 測定光学部 １１ 測定部 １１ａ フレーム １１ｂ 内部壁 １１ｃ 溝 １２ ベース １２ｂ 支点 ２ 走査部 ２１ スキャナ ２２ 支持台 ３ カンチレバー ４ ホルダ ５・・５ リンク ５ａ・・５ａ，５ｂ・・５ｂ ピン ６ 固定レバー ６ａ 固定レバーの先端
Claims (1)
- 【請求項１】 試料面上の微細構造を測定する顕微鏡で
あって、探針をもつカンチレバーと、試料を上記探針に
対して２次元の方向に走査するスキャナを有し、このス
キャナの上方に測定光学部が配置される走査型プローブ
顕微鏡において、上記測定光学部は、上記スキャナに対
し所定の位置関係で固定されるベースとこのベース上に
配置される測定部によって構成され、その測定部のフレ
ームは前面の開口部から後部側に向けて延びる空洞が形
成された構造で、その空洞内部に上記カンチレバーが配
置され、かつ、このカンチレバーの変位を検出するため
の光学系が当該フレームに配置されているとともに、上
記測定光学部には、上記測定部を上記ベースに対し前後
方向に移動して上記カンチレバーを上記スキャナの上方
の測定位置またはそのスキャナの上方領域とは干渉しな
い位置のいずれか一方の位置に選択的に配置するための
移動機構と、上記測定部を上記測定位置に配置したとき
に、当該測定部を上記ベースに対して固定するための固
定機構が設けられていることを特徴とする走査型プロー
ブ顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23729294A JP2833491B2 (ja) | 1994-09-30 | 1994-09-30 | 走査型プローブ顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23729294A JP2833491B2 (ja) | 1994-09-30 | 1994-09-30 | 走査型プローブ顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08101219A true JPH08101219A (ja) | 1996-04-16 |
| JP2833491B2 JP2833491B2 (ja) | 1998-12-09 |
Family
ID=17013216
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23729294A Expired - Lifetime JP2833491B2 (ja) | 1994-09-30 | 1994-09-30 | 走査型プローブ顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2833491B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013238430A (ja) * | 2012-05-11 | 2013-11-28 | Olympus Corp | 走査型プローブ顕微鏡およびその操作方法 |
| KR20160078672A (ko) * | 2014-12-24 | 2016-07-05 | 파크시스템스 주식회사 | 레이저 스팟의 이동 범위를 제한하는 헤드 및 이를 구비하는 원자현미경 |
| WO2020080290A1 (ja) * | 2018-10-16 | 2020-04-23 | 株式会社島津製作所 | 表面分析装置 |
| US10996238B2 (en) | 2019-04-04 | 2021-05-04 | Shimadzu Corporation | Surface analyzer |
-
1994
- 1994-09-30 JP JP23729294A patent/JP2833491B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013238430A (ja) * | 2012-05-11 | 2013-11-28 | Olympus Corp | 走査型プローブ顕微鏡およびその操作方法 |
| KR20160078672A (ko) * | 2014-12-24 | 2016-07-05 | 파크시스템스 주식회사 | 레이저 스팟의 이동 범위를 제한하는 헤드 및 이를 구비하는 원자현미경 |
| WO2020080290A1 (ja) * | 2018-10-16 | 2020-04-23 | 株式会社島津製作所 | 表面分析装置 |
| US11499989B2 (en) | 2018-10-16 | 2022-11-15 | Shimadzu Corporation | Surface analysis device |
| US10996238B2 (en) | 2019-04-04 | 2021-05-04 | Shimadzu Corporation | Surface analyzer |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2833491B2 (ja) | 1998-12-09 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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