JPH08100778A - 容積式逆流冷却形多段真空ポンプ装置 - Google Patents
容積式逆流冷却形多段真空ポンプ装置Info
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- JPH08100778A JPH08100778A JP24020194A JP24020194A JPH08100778A JP H08100778 A JPH08100778 A JP H08100778A JP 24020194 A JP24020194 A JP 24020194A JP 24020194 A JP24020194 A JP 24020194A JP H08100778 A JPH08100778 A JP H08100778A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 容積式逆流冷却形多段真空ポンプ装置におい
て、ハウジング内のガス温度によって、冷却器（３）か
ら真空ポンプの冷却液槽に至る配管に設けられた開閉弁
（１０）を開閉することによりハウジング内のガス温度
が設定されるようにする。 【構成】 第１ポンプ区分で圧縮されたガスは該ポンプ
区分の吐出口より、外周気体流路（１４）を通って、次
段のポンプ区分の吸込口に至る。この外周気体流路（１
４）の外側には、伝熱媒体（６）が満たされている冷却
液槽（５）があるので、外周気体流路を流れるガスと伝
熱媒体の熱交換が行われる。冷却液槽（５）の上部およ
び下部より各一本の配管（１）（２）で接続する冷却器
を設け、該冷却液槽の下部より該冷却器（３）に至る配
管には、伝熱媒体を循環するポンプとハウジング内ガス
温度によって作動させる開閉弁（１０）が設けられる。
て、ハウジング内のガス温度によって、冷却器（３）か
ら真空ポンプの冷却液槽に至る配管に設けられた開閉弁
（１０）を開閉することによりハウジング内のガス温度
が設定されるようにする。 【構成】 第１ポンプ区分で圧縮されたガスは該ポンプ
区分の吐出口より、外周気体流路（１４）を通って、次
段のポンプ区分の吸込口に至る。この外周気体流路（１
４）の外側には、伝熱媒体（６）が満たされている冷却
液槽（５）があるので、外周気体流路を流れるガスと伝
熱媒体の熱交換が行われる。冷却液槽（５）の上部およ
び下部より各一本の配管（１）（２）で接続する冷却器
を設け、該冷却液槽の下部より該冷却器（３）に至る配
管には、伝熱媒体を循環するポンプとハウジング内ガス
温度によって作動させる開閉弁（１０）が設けられる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ハウジング内のガス温
度を考慮した容積式逆流冷却形多段真空ポンプに関す
る。本発明による真空ポンプ装置は、化学装置における
化学反応装置用、電子工業における半導体製造装置用等
として用いられる。
度を考慮した容積式逆流冷却形多段真空ポンプに関す
る。本発明による真空ポンプ装置は、化学装置における
化学反応装置用、電子工業における半導体製造装置用等
として用いられる。
【０００２】
【従来の技術】一般に、ガスを吸引する容積式多段真空
ポンプが化学工業、電子工業において用いられる。化学
工業における化学反応装置においては真空ポンプにより
脂肪酸、スチレン等の重合性ガスが、また電子工業にお
ける半導体製造装置においては真空ポンプより塩素化合
ガスの吸引が行われるが、特定の温度以下にガス温度が
低下すると、化学反応生成物を発生することがある。容
積式多段真空ポンプの運転においては、吸込圧力が、大
気圧力から１mPa レベルまでの領域において、高圧縮比
状態で運転され、取扱いガスが、温度によっては、重合
あるいは化学反応生成物を発生するという点に注意しな
ければならない。
ポンプが化学工業、電子工業において用いられる。化学
工業における化学反応装置においては真空ポンプにより
脂肪酸、スチレン等の重合性ガスが、また電子工業にお
ける半導体製造装置においては真空ポンプより塩素化合
ガスの吸引が行われるが、特定の温度以下にガス温度が
低下すると、化学反応生成物を発生することがある。容
積式多段真空ポンプの運転においては、吸込圧力が、大
気圧力から１mPa レベルまでの領域において、高圧縮比
状態で運転され、取扱いガスが、温度によっては、重合
あるいは化学反応生成物を発生するという点に注意しな
ければならない。
【０００３】従来の容積式逆流冷却形多段真空ポンプが
図４に示される。図４の装置は複数のポンプ区分により
形成され、各ポンプ区分に共通の２本の軸がもうけら
れ、これらの軸に支承されるロータが設けられ、各ポン
プ区分を構成しロータを内蔵するハウジングには、吸込
口・吐出口が設けられ、該ハウジングの外周部には該ハ
ウジングに隣接する外周気体流路および該外周気体流路
の外側に冷却液を流すための冷却液槽が設けられ、該吸
込口から該ハウジングに流入し該吐出口を通って排出さ
れる気体が該外周気体流路へ導かれて冷却され、該冷却
された気体の少なくとも一部が該ハウジングへ返還され
安定的に、冷却されて使用される容積式多段真空ポンプ
が提案されている（特開平２−７０９９０）。
図４に示される。図４の装置は複数のポンプ区分により
形成され、各ポンプ区分に共通の２本の軸がもうけら
れ、これらの軸に支承されるロータが設けられ、各ポン
プ区分を構成しロータを内蔵するハウジングには、吸込
口・吐出口が設けられ、該ハウジングの外周部には該ハ
ウジングに隣接する外周気体流路および該外周気体流路
の外側に冷却液を流すための冷却液槽が設けられ、該吸
込口から該ハウジングに流入し該吐出口を通って排出さ
れる気体が該外周気体流路へ導かれて冷却され、該冷却
された気体の少なくとも一部が該ハウジングへ返還され
安定的に、冷却されて使用される容積式多段真空ポンプ
が提案されている（特開平２−７０９９０）。
【０００４】従来の容積式多段真空ポンプにおいては、
逆流冷却用気体は、各ポンプ区分の吸込圧力と吐出圧力
の圧力差により充分な流量が確保され、逆流冷却用気体
の流入口・ハウジング内部・吐出口・外周気体流路と順
次流れる循環流となりハウジング内部における圧縮によ
る発熱と外周気体流路における放熱とを繰り返すサイク
ルが形成され、常に、ハウジング内部における圧縮熱を
ハウジングの外部に連続的に搬出すると共にハウジング
を適度な温度に保温することによりポンプ運転時のハウ
ジング内部のロータとハウジングの温度差を小さく抑え
る作用を行っている。
逆流冷却用気体は、各ポンプ区分の吸込圧力と吐出圧力
の圧力差により充分な流量が確保され、逆流冷却用気体
の流入口・ハウジング内部・吐出口・外周気体流路と順
次流れる循環流となりハウジング内部における圧縮によ
る発熱と外周気体流路における放熱とを繰り返すサイク
ルが形成され、常に、ハウジング内部における圧縮熱を
ハウジングの外部に連続的に搬出すると共にハウジング
を適度な温度に保温することによりポンプ運転時のハウ
ジング内部のロータとハウジングの温度差を小さく抑え
る作用を行っている。
【０００５】他方、次段のポンプ区分の吸込口に流入す
る気体は、冷却液槽を流れる冷却液により、充分に冷却
された外周気体流路の外壁とハウジングとの間の外周気
体流路を流れることにより外周気体流路の外壁に放熱す
るとともに、ハウジングが冷却液により直接冷却される
ことを防止している。以上の作用が各ポンプ区分におい
て順次行われている。
る気体は、冷却液槽を流れる冷却液により、充分に冷却
された外周気体流路の外壁とハウジングとの間の外周気
体流路を流れることにより外周気体流路の外壁に放熱す
るとともに、ハウジングが冷却液により直接冷却される
ことを防止している。以上の作用が各ポンプ区分におい
て順次行われている。
【０００６】上述の真空ポンプは各ポンプ区分において
発生した圧縮熱は、ハウジングに隣接する外周気体流路
に導かれ、冷却液槽外壁によって連続的に冷却されると
共に、該冷却された気体の少なくとも一部が、該ハウジ
ングへ返還され、冷却された気体によって、ハウジング
内部で圧縮作用を生じさせることにより、圧縮熱を低く
抑えられる構造である。このため、吸引ガスが特定の温
度以下では重合したり、化学反応生成物を発生する場合
には、取扱いガスを特定の温度以上に維持しなければな
らないにも拘らず、取扱いガスは充分に冷却されるの
で、真空ポンプ内で固形物を発生し、真空ポンプの故障
の原因となっていた。
発生した圧縮熱は、ハウジングに隣接する外周気体流路
に導かれ、冷却液槽外壁によって連続的に冷却されると
共に、該冷却された気体の少なくとも一部が、該ハウジ
ングへ返還され、冷却された気体によって、ハウジング
内部で圧縮作用を生じさせることにより、圧縮熱を低く
抑えられる構造である。このため、吸引ガスが特定の温
度以下では重合したり、化学反応生成物を発生する場合
には、取扱いガスを特定の温度以上に維持しなければな
らないにも拘らず、取扱いガスは充分に冷却されるの
で、真空ポンプ内で固形物を発生し、真空ポンプの故障
の原因となっていた。
【０００７】上述の真空ポンプにおいては、充分な冷却
を目的としたため、通常は冷却液槽には連続的に冷却水
を流し、出来るだけ低温に維持されていた。また真空ポ
ンプの取扱いガス温度を一定の特定温度に維持する目的
で、冷却水の流量を温度によって調整することが試みら
れたが、水の比熱がガスのそれに対して充分に大きいた
め、少量の水でガス温度が急激に冷却されてしまうの
で、多頻度の弁の作動が必要となると共に、安定した一
定の温度の維持が困難であった。
を目的としたため、通常は冷却液槽には連続的に冷却水
を流し、出来るだけ低温に維持されていた。また真空ポ
ンプの取扱いガス温度を一定の特定温度に維持する目的
で、冷却水の流量を温度によって調整することが試みら
れたが、水の比熱がガスのそれに対して充分に大きいた
め、少量の水でガス温度が急激に冷却されてしまうの
で、多頻度の弁の作動が必要となると共に、安定した一
定の温度の維持が困難であった。
【０００８】上述のように、多段真空ポンプは通常複数
のポンプ区分によって構成され第１ポンプ区分から、最
終ポンプ区分に至るまで、順次圧縮作用を行うことによ
り、高圧縮比が得られるようになっている。
のポンプ区分によって構成され第１ポンプ区分から、最
終ポンプ区分に至るまで、順次圧縮作用を行うことによ
り、高圧縮比が得られるようになっている。
【０００９】該真空ポンプにおいては、第１ポンプ区分
は最終ポンプ区分に比べはるかに高真空圧力での作動と
なり、他方最終ポンプ区分においては、吐出圧力が大気
圧力であるので、大気圧力近傍での高い圧力での作動と
なる。このため、各ポンプ区分における仕事量の差異か
ら第１ポンプ区分の方が発熱は少なく、最終ポンプ区分
に近づくにつれ発熱は多くなる。即ちハウジング内部の
ガス温度は第１ポンプ区分では低く、最終ポンプ区分で
は高くなり、温度勾配が発生する。例えば８０℃以下で
は真空ポンプの取扱いガスが重合して固体に変化する様
な場合には、最終ポンプ区分の側では８０℃以上となっ
て、ガスの重合・固化が生じないが、第１ポンプ区分で
は８０℃以下となりガスの重合・固化が生じ、真空ポン
プの故障の原因となっていた。このため真空ポンプの全
ポンプ区分にわたって所定の温度範囲内に維持し、ガス
の重合、固化を防止することが、望まれている。
は最終ポンプ区分に比べはるかに高真空圧力での作動と
なり、他方最終ポンプ区分においては、吐出圧力が大気
圧力であるので、大気圧力近傍での高い圧力での作動と
なる。このため、各ポンプ区分における仕事量の差異か
ら第１ポンプ区分の方が発熱は少なく、最終ポンプ区分
に近づくにつれ発熱は多くなる。即ちハウジング内部の
ガス温度は第１ポンプ区分では低く、最終ポンプ区分で
は高くなり、温度勾配が発生する。例えば８０℃以下で
は真空ポンプの取扱いガスが重合して固体に変化する様
な場合には、最終ポンプ区分の側では８０℃以上となっ
て、ガスの重合・固化が生じないが、第１ポンプ区分で
は８０℃以下となりガスの重合・固化が生じ、真空ポン
プの故障の原因となっていた。このため真空ポンプの全
ポンプ区分にわたって所定の温度範囲内に維持し、ガス
の重合、固化を防止することが、望まれている。
【００１０】本発明の目的は、容積式逆流冷却形多段真
空ポンプにおいて、冷却液槽に冷却された伝熱媒体を流
すと外周気体流路内のガス温度と併せてケーシング内の
ガス温度は低下し、また伝熱媒体の流れを止めると外周
気体流路内のガス温度と併せてケーシング内のガス温度
は上昇し、それによりハウジング内のガス温度は伝熱媒
体の流れを制御する弁の開閉によって設定され、重合性
ガスまたは化学反応生成物を発生するガスを取り扱う場
合にガスの固化が防止されるようにすることにある。
空ポンプにおいて、冷却液槽に冷却された伝熱媒体を流
すと外周気体流路内のガス温度と併せてケーシング内の
ガス温度は低下し、また伝熱媒体の流れを止めると外周
気体流路内のガス温度と併せてケーシング内のガス温度
は上昇し、それによりハウジング内のガス温度は伝熱媒
体の流れを制御する弁の開閉によって設定され、重合性
ガスまたは化学反応生成物を発生するガスを取り扱う場
合にガスの固化が防止されるようにすることにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明においては、容積
式逆流冷却形多段真空ポンプが複数のポンプ区分により
形成され、吸込口は第１ポンプ区分に設け、吐出口は最
終のポンプ区分に設け、各ポンプ区分に共通の２本の軸
が設けられ、該２本の軸に支承される複葉形ロータが設
けられ、各ポンプ区分を構成し、該複葉形ロータを内蔵
する該ハウジングには該ハウジングの外周部に各ポンプ
区分の吐出口を次段ポンプ区分の吸込口に連通する外周
気体流路、逆流冷却用気体を前段のポンプ区分のハウジ
ングに導く流路、および該外周気体流路の外周に位置す
る冷却液槽が設けられている容積式逆流冷却形多段真空
ポンプにおいて、冷却液槽上部および下部より各１本の
配管により接続された冷却器と、該配管途中に伝熱媒体
を循環するための循環ポンプを真空ポンプ周辺に設け、
冷却液槽と配管、循環ポンプ、およびこれに接続する冷
却器内には、伝熱媒体を充満し、伝熱媒体の流れをハウ
ジング内ガス温度によって開閉制御する弁を冷却液槽と
冷却器とを連結する配管部の途中に設けたことを特徴と
する容積式逆流冷却形多段真空ポンプ装置が提供され
る。
式逆流冷却形多段真空ポンプが複数のポンプ区分により
形成され、吸込口は第１ポンプ区分に設け、吐出口は最
終のポンプ区分に設け、各ポンプ区分に共通の２本の軸
が設けられ、該２本の軸に支承される複葉形ロータが設
けられ、各ポンプ区分を構成し、該複葉形ロータを内蔵
する該ハウジングには該ハウジングの外周部に各ポンプ
区分の吐出口を次段ポンプ区分の吸込口に連通する外周
気体流路、逆流冷却用気体を前段のポンプ区分のハウジ
ングに導く流路、および該外周気体流路の外周に位置す
る冷却液槽が設けられている容積式逆流冷却形多段真空
ポンプにおいて、冷却液槽上部および下部より各１本の
配管により接続された冷却器と、該配管途中に伝熱媒体
を循環するための循環ポンプを真空ポンプ周辺に設け、
冷却液槽と配管、循環ポンプ、およびこれに接続する冷
却器内には、伝熱媒体を充満し、伝熱媒体の流れをハウ
ジング内ガス温度によって開閉制御する弁を冷却液槽と
冷却器とを連結する配管部の途中に設けたことを特徴と
する容積式逆流冷却形多段真空ポンプ装置が提供され
る。
【００１２】
【作用】本発明による装置の作用について述べると、吸
込口より吸引されたガスは第１ポンプ区分の吸込口から
第１ポンプ区分に流入し圧縮され、第１ポンプ区分の吐
出口より外周気体流路に吐出される。この時ガスは圧縮
熱によって温度が上昇する。そして次段のポンプ区分に
至る外周気体流路の外側には冷却液槽があり、中には伝
熱媒体が満たされているので、温度が上昇したガスは外
周気体流路の外壁を通して近似的に伝熱媒体の温度まで
放熱冷却される。そして放熱冷却された外周気体流路内
の気体の少なくとも一部が、逆流冷却気体としてハウジ
ングへ逆流口を通って返還され、ハウジング内ガス温度
を適度に冷却する逆流冷却作用が行われる。そして外周
気体流路の残部の気体は、該外周気体流路を通って次段
のポンプ区分の吸込口へ導かれる。この外周気体流路の
外壁を通して交換される熱量を制御するために、伝熱の
温度、即ち該媒体の流れを開始・停止することによりハ
ウジング内のガス温度を一定の温度に維持することが可
能となる。具体的には、冷却液槽に供給される伝熱媒体
の流れを、ハウジング内ガス温度によって開閉制御する
弁を設け、冷却液槽に伝熱媒体が流れると、冷却液槽内
の伝熱媒体の温度は降下し、外周気体流路内のガス温度
は低下する。そして伝熱媒体の流れが停止すると冷却液
槽の伝熱媒体の温度は上昇し、外周気体流路内のガス温
度は上昇する。この作用により容積式逆流冷却形多段真
空ポンプ装置において、ハウジング内のガス温度は弁の
開閉する温度を定めることにより、設定でき、重合性ガ
スまたは化学生成物を発生するガスを取り扱う場合に、
ガスの固化を防止できる。
込口より吸引されたガスは第１ポンプ区分の吸込口から
第１ポンプ区分に流入し圧縮され、第１ポンプ区分の吐
出口より外周気体流路に吐出される。この時ガスは圧縮
熱によって温度が上昇する。そして次段のポンプ区分に
至る外周気体流路の外側には冷却液槽があり、中には伝
熱媒体が満たされているので、温度が上昇したガスは外
周気体流路の外壁を通して近似的に伝熱媒体の温度まで
放熱冷却される。そして放熱冷却された外周気体流路内
の気体の少なくとも一部が、逆流冷却気体としてハウジ
ングへ逆流口を通って返還され、ハウジング内ガス温度
を適度に冷却する逆流冷却作用が行われる。そして外周
気体流路の残部の気体は、該外周気体流路を通って次段
のポンプ区分の吸込口へ導かれる。この外周気体流路の
外壁を通して交換される熱量を制御するために、伝熱の
温度、即ち該媒体の流れを開始・停止することによりハ
ウジング内のガス温度を一定の温度に維持することが可
能となる。具体的には、冷却液槽に供給される伝熱媒体
の流れを、ハウジング内ガス温度によって開閉制御する
弁を設け、冷却液槽に伝熱媒体が流れると、冷却液槽内
の伝熱媒体の温度は降下し、外周気体流路内のガス温度
は低下する。そして伝熱媒体の流れが停止すると冷却液
槽の伝熱媒体の温度は上昇し、外周気体流路内のガス温
度は上昇する。この作用により容積式逆流冷却形多段真
空ポンプ装置において、ハウジング内のガス温度は弁の
開閉する温度を定めることにより、設定でき、重合性ガ
スまたは化学生成物を発生するガスを取り扱う場合に、
ガスの固化を防止できる。
【００１３】なお該弁はハウジング内ガス温度によって
弁の開閉を行うが、具体的には、ハウジング内ガス温度
を測定する温度センサーと、これに接続し任意の温度を
設定する温度設定器および該温度設定器により指示さ
れ、作動する開閉弁により、伝熱媒体の流れを断続して
行われる。
弁の開閉を行うが、具体的には、ハウジング内ガス温度
を測定する温度センサーと、これに接続し任意の温度を
設定する温度設定器および該温度設定器により指示さ
れ、作動する開閉弁により、伝熱媒体の流れを断続して
行われる。
【００１４】なお伝熱媒体の性質は、水よりも熱容量が
小さい、即ち比熱が小さいのでハウジング内ガス温度の
変化に対しての追随が早く、また熱伝導度が大きいので
伝熱媒体内部での熱移動が大きく、伝熱媒体全体として
均一な温度が得られる。このことにより、全体に安定し
た温度の伝熱媒体が内部に満たされている冷却液槽を外
壁に持つ外周気体流路は、均一な温度に維持することが
できる。
小さい、即ち比熱が小さいのでハウジング内ガス温度の
変化に対しての追随が早く、また熱伝導度が大きいので
伝熱媒体内部での熱移動が大きく、伝熱媒体全体として
均一な温度が得られる。このことにより、全体に安定し
た温度の伝熱媒体が内部に満たされている冷却液槽を外
壁に持つ外周気体流路は、均一な温度に維持することが
できる。
【００１５】
【実施例】本発明の一実施例としての真空ポンプ装置が
図１に示される。図１の装置は、容積式多段真空ポンプ
（１００）の一種であり、３段形の構造を有する。図２
は図１のＡ−Ａに於ける断面図である該真空ポンプに
は、冷却液槽（５）の上部および下部より各一本の配管
（１）（２）で接続する冷却器を設け、該冷却液槽の下
部より該冷却器（３）に到る配管には、伝熱媒体を循環
するポンプとハウジング内ガス温度によって、作動させ
る開閉弁（１３）を設け、それらには伝熱媒体を充満し
ている。
図１に示される。図１の装置は、容積式多段真空ポンプ
（１００）の一種であり、３段形の構造を有する。図２
は図１のＡ−Ａに於ける断面図である該真空ポンプに
は、冷却液槽（５）の上部および下部より各一本の配管
（１）（２）で接続する冷却器を設け、該冷却液槽の下
部より該冷却器（３）に到る配管には、伝熱媒体を循環
するポンプとハウジング内ガス温度によって、作動させ
る開閉弁（１３）を設け、それらには伝熱媒体を充満し
ている。
【００１６】真空ポンプ装置の作用について述べると、
第１ポンプ区分で圧縮されたガスは該ポンプ区分の吐出
口より、外周気体流路（１４）を通って、次段のポンプ
区分の吸込口に至る。この外周気体流路（１４）の外側
には、伝熱媒体（６）が満たされている冷却液槽（５）
があるので、外周気体流路を流れるガスと伝熱媒体の熱
交換が行われる。即ち、熱交換された外周気体流路（１
４）内の気体の少なくとも一部が、逆流冷却気体として
ハウジングへ逆流口（１０４）を通って返還され、ハウ
ジング内ガス温度を適度に冷却する逆流冷却作用が行わ
れる。そして外周気体流路の残部の気体は、該外周気体
流路を通って次段のポンプ区分の吸込口へ導かれる。こ
の外周気体流路の外壁を通して交換される熱量を制御す
るために、伝熱の温度、即ち該媒体の流れを開始または
停止することによりハウジング内のガス温度を一定の温
度に維持することが可能となる。そして外周気体流路の
外壁を通して熱せられた伝熱媒体は、冷却液槽の出口
（２２）より配管内を流れ、冷却器（３）に至る。該冷
却器には、冷却水入り口（７）より冷却水が供給され、
伝熱媒体を冷却し、冷却水出口（８）より排出される。
冷却された伝熱媒体は循環ポンプ（４）によって、真空
ポンプの冷却液槽（５）に送り込まれる。
第１ポンプ区分で圧縮されたガスは該ポンプ区分の吐出
口より、外周気体流路（１４）を通って、次段のポンプ
区分の吸込口に至る。この外周気体流路（１４）の外側
には、伝熱媒体（６）が満たされている冷却液槽（５）
があるので、外周気体流路を流れるガスと伝熱媒体の熱
交換が行われる。即ち、熱交換された外周気体流路（１
４）内の気体の少なくとも一部が、逆流冷却気体として
ハウジングへ逆流口（１０４）を通って返還され、ハウ
ジング内ガス温度を適度に冷却する逆流冷却作用が行わ
れる。そして外周気体流路の残部の気体は、該外周気体
流路を通って次段のポンプ区分の吸込口へ導かれる。こ
の外周気体流路の外壁を通して交換される熱量を制御す
るために、伝熱の温度、即ち該媒体の流れを開始または
停止することによりハウジング内のガス温度を一定の温
度に維持することが可能となる。そして外周気体流路の
外壁を通して熱せられた伝熱媒体は、冷却液槽の出口
（２２）より配管内を流れ、冷却器（３）に至る。該冷
却器には、冷却水入り口（７）より冷却水が供給され、
伝熱媒体を冷却し、冷却水出口（８）より排出される。
冷却された伝熱媒体は循環ポンプ（４）によって、真空
ポンプの冷却液槽（５）に送り込まれる。
【００１７】該循環ポンプ（４）と冷却液槽（５）の配
管途中には、ハウジング内ガス温度を測定する温度セン
サーによって開閉作動をする弁（１３）が設けられてお
り、ハウジング内ガス温度は、全体に均一で安定した温
度に維持される。即ち、伝熱媒体（６）が流れると、該
冷却液槽（５）の伝熱媒体（６）の温度は降下し、外周
気体流路内（１４）のガス温度も降下する。また循環伝
熱媒体（６）の流れが停止すると、該冷却液槽（５）内
の伝熱媒体の温度は上昇する。この作用により、ハウジ
ング内のガス温度によって弁を開閉すると、ハウジング
内のガス温度が設定される。
管途中には、ハウジング内ガス温度を測定する温度セン
サーによって開閉作動をする弁（１３）が設けられてお
り、ハウジング内ガス温度は、全体に均一で安定した温
度に維持される。即ち、伝熱媒体（６）が流れると、該
冷却液槽（５）の伝熱媒体（６）の温度は降下し、外周
気体流路内（１４）のガス温度も降下する。また循環伝
熱媒体（６）の流れが停止すると、該冷却液槽（５）内
の伝熱媒体の温度は上昇する。この作用により、ハウジ
ング内のガス温度によって弁を開閉すると、ハウジング
内のガス温度が設定される。
【００１８】本発明の実施例では、図３に示されるよう
に、３段式真空ポンプの冷却液槽上部および下部より各
１本の配管により接続された冷却器と伝熱媒体を循環す
るための、循環ポンプを真空ポンプの周辺に設け、冷却
液槽と配管、循環ポンプおよびこれに接続する冷却器内
には、伝熱媒体を充満し、併せて、伝熱媒体の流れをハ
ウジング内のガス温度（この場合は１段目吐出温度）に
よって開閉制御するための弁（ＳＶ１）を冷却液槽と、
冷却器とを連結する配管部の途中に設けている。なお冷
却器をバイパスする弁（ＳＶ２）を設け、ＳＶ１とＳＶ
２は交互の作動、即ちＳＶ１が開の時はＳＶ２は閉、ま
たＳＶ１が閉の時はＳＶ２は開となるようにし、ＳＶ２
は循環伝熱媒体をバイパスさせる作用を行う様にしてあ
る。
に、３段式真空ポンプの冷却液槽上部および下部より各
１本の配管により接続された冷却器と伝熱媒体を循環す
るための、循環ポンプを真空ポンプの周辺に設け、冷却
液槽と配管、循環ポンプおよびこれに接続する冷却器内
には、伝熱媒体を充満し、併せて、伝熱媒体の流れをハ
ウジング内のガス温度（この場合は１段目吐出温度）に
よって開閉制御するための弁（ＳＶ１）を冷却液槽と、
冷却器とを連結する配管部の途中に設けている。なお冷
却器をバイパスする弁（ＳＶ２）を設け、ＳＶ１とＳＶ
２は交互の作動、即ちＳＶ１が開の時はＳＶ２は閉、ま
たＳＶ１が閉の時はＳＶ２は開となるようにし、ＳＶ２
は循環伝熱媒体をバイパスさせる作用を行う様にしてあ
る。
【００１９】発明者による実験においては、初めにはＳ
Ｖ１を開け（ＳＶ２は閉の状態）伝熱媒体を全量真空ポ
ンプ内の冷却液槽に流入させ、温度が充分飽和してか
ら、１段目吐出温度ＴG を測定し、次にＳＶ１を閉め
（ＳＶ２は開の状態）、伝熱媒体を冷却液槽には全く流
さないで１段目吐出温度ＴG を測定した。なお伝熱媒体
の流量は５リットル毎分であった。得られた結果は下記
のとおりである。 弁の状態としてＳＶ１開、ＳＶ２閉のとき、ＴG ＝８４
℃ 弁の状態としてＳＶ１閉、ＳＶ２開のとき、ＴG ＝６２
℃
Ｖ１を開け（ＳＶ２は閉の状態）伝熱媒体を全量真空ポ
ンプ内の冷却液槽に流入させ、温度が充分飽和してか
ら、１段目吐出温度ＴG を測定し、次にＳＶ１を閉め
（ＳＶ２は開の状態）、伝熱媒体を冷却液槽には全く流
さないで１段目吐出温度ＴG を測定した。なお伝熱媒体
の流量は５リットル毎分であった。得られた結果は下記
のとおりである。 弁の状態としてＳＶ１開、ＳＶ２閉のとき、ＴG ＝８４
℃ 弁の状態としてＳＶ１閉、ＳＶ２開のとき、ＴG ＝６２
℃
【００２０】以上の結果からこの真空ポンプの１段目吐
出温度の制御範囲は、８４℃から６２℃の間になるの
で、設定温度を８０℃と７０℃として２回の実験が行わ
れた。得られた結果として吐出温度制御特性の２つの例
が図４および図５に示される。この吐出温度制御特性の
例からもわかるように、この真空ポンプにおいてはハウ
ジング内温度は正確に一定温度に維持されており、弁の
多頻度の作動も発生していない。
出温度の制御範囲は、８４℃から６２℃の間になるの
で、設定温度を８０℃と７０℃として２回の実験が行わ
れた。得られた結果として吐出温度制御特性の２つの例
が図４および図５に示される。この吐出温度制御特性の
例からもわかるように、この真空ポンプにおいてはハウ
ジング内温度は正確に一定温度に維持されており、弁の
多頻度の作動も発生していない。
【００２１】
【発明の効果】本発明によれば、容積式多段真空ポンプ
の冷却液槽上部および下部より各１本の配管により接続
された冷却器が真空ポンプの周辺に設けられ、冷却液
槽、配管およびこれに接続する冷却器内には伝熱媒体が
充満され、冷却液槽から冷却器、そして冷却液槽へと循
環する伝熱媒体の流れをハウジング内ガス温度によって
断続するための開閉弁が冷却液槽と冷却器を連結する配
管部の途中に設けられ、冷却液槽に伝熱媒体が流れる
と、外周気体流路内のガス温度は低下し、また伝熱媒体
の流れが停止すると、外周気体流路内のガス温度は上昇
し、ハウジング内のガス温度によって弁を開閉すること
により、ハウジング内のガス温度が設定され、重合性ガ
スまたは化学反応生成物を発生するガスを取り扱う場合
にガスの固化が防止される容積式多段真空ポンプを実現
することができる。
の冷却液槽上部および下部より各１本の配管により接続
された冷却器が真空ポンプの周辺に設けられ、冷却液
槽、配管およびこれに接続する冷却器内には伝熱媒体が
充満され、冷却液槽から冷却器、そして冷却液槽へと循
環する伝熱媒体の流れをハウジング内ガス温度によって
断続するための開閉弁が冷却液槽と冷却器を連結する配
管部の途中に設けられ、冷却液槽に伝熱媒体が流れる
と、外周気体流路内のガス温度は低下し、また伝熱媒体
の流れが停止すると、外周気体流路内のガス温度は上昇
し、ハウジング内のガス温度によって弁を開閉すること
により、ハウジング内のガス温度が設定され、重合性ガ
スまたは化学反応生成物を発生するガスを取り扱う場合
にガスの固化が防止される容積式多段真空ポンプを実現
することができる。
【図１】本発明の一実施例による真空ポンプ装置を示す
図である。
図である。
【図２】図１のＡ−Ａにおける断面を示す図である。
【図３】本発明の一実施例による真空ポンプ装置におけ
る流体の流れを示す図である。
る流体の流れを示す図である。
【図４】従来の容積式逆流冷却形多段真空ポンプを示す
図である。
図である。
【図５】本発明による真空ポンプ装置における吐出温度
制御特性の一例を示す図である。
制御特性の一例を示す図である。
【図６】本発明による真空ポンプ装置における吐出温度
制御特性の他の例を示す図である。
制御特性の他の例を示す図である。
１…上部配管 ２…下部配管 ３…冷却器 ４…循環ポンプ ５…冷却液槽 ６…伝熱媒体 ７…冷却器冷却水入口 ８…冷却器冷却水入口 １０…開閉弁 １４…外周気体流路 ２０…ベントバルブ ２１…冷却液槽冷却液入口 ２２…冷却液槽冷却液出口 １００…真空ポンプ本体 １０１…第１ポンプ区分 １０２…第１ポンプ区分の吸込口 １０３…第１ポンプ区分の吐出口 １０４…逆流口 １０５…真空ポンプの吸込口 １０６…真空ポンプの吐出口
Claims (1)
- 【請求項１】 容積式真空ポンプが複数のポンプ区分に
より形成され、吸込口は第１ポンプ区分に設け、吐出口
は最終のポンプ区分に設け、各ポンプ区分に共通の２本
の軸が設けられ、該２本の軸に支承される複葉形ロータ
が設けられ、各ポンプ区分を構成し、該複葉形ロータを
内蔵する該ハウジングには該ハウジングの外周部に各ポ
ンプ区分の吐出口を次段ポンプ区分の吸込口に連通する
外周気体流路、逆流冷却用気体を前段のポンプ区分のハ
ウジングに導く流路、および該外周気体流路の外周に位
置する冷却液槽が設けられている、容積式逆流冷却形多
段真空ポンプにおいて、該冷却液槽上部および下部より
各１本の配管により接続された冷却器と、該配管途中に
伝熱媒体を循環するための循環ポンプを真空ポンプ周辺
に設け、冷却液槽と配管、循環ポンプ、およびこれに接
続する冷却器内には、伝熱媒体を充満し、熱媒体の流れ
をハウジング内ガス温度によって開閉するための弁を冷
却液槽と冷却器とを連結する配管部の途中に設けたこと
を特徴とする容積式逆流冷却形多段真空ポンプ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24020194A JP3722504B2 (ja) | 1994-10-04 | 1994-10-04 | 容積式逆流冷却形多段真空ポンプ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24020194A JP3722504B2 (ja) | 1994-10-04 | 1994-10-04 | 容積式逆流冷却形多段真空ポンプ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08100778A true JPH08100778A (ja) | 1996-04-16 |
| JP3722504B2 JP3722504B2 (ja) | 2005-11-30 |
Family
ID=17055967
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24020194A Expired - Fee Related JP3722504B2 (ja) | 1994-10-04 | 1994-10-04 | 容積式逆流冷却形多段真空ポンプ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3722504B2 (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2011019048A1 (ja) | 2009-08-14 | 2011-02-17 | 株式会社アルバック | ドライポンプ |
| CN107654381A (zh) * | 2017-08-22 | 2018-02-02 | 徐州北方泵业有限公司 | 自冷却真空泵系统 |
| CN108252359A (zh) * | 2018-02-07 | 2018-07-06 | 杭州赛孚机电科技有限公司 | 一种液态自冷式电机供水系统 |
| JP2018173026A (ja) * | 2017-03-31 | 2018-11-08 | 株式会社荏原製作所 | ルーツ型真空ポンプ及びルーツ型真空ポンプの運転方法 |
| CN111425374A (zh) * | 2020-03-13 | 2020-07-17 | 海宁市富连机械有限公司 | 一种隔音散热减震真空泵 |
| CN114396372A (zh) * | 2021-12-24 | 2022-04-26 | 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司 | 一种干式真空泵冷却系统 |
| CN115450911A (zh) * | 2022-10-15 | 2022-12-09 | 浙江博亚精密机械有限公司 | 一种低噪音的罗茨真空泵 |
| CN115628218A (zh) * | 2022-10-21 | 2023-01-20 | 合肥裕升热工技术有限公司 | 一种铅基反应堆用循环泵 |
-
1994
- 1994-10-04 JP JP24020194A patent/JP3722504B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2011019048A1 (ja) | 2009-08-14 | 2011-02-17 | 株式会社アルバック | ドライポンプ |
| US8512016B2 (en) | 2009-08-14 | 2013-08-20 | Ulvac, Inc. | Positive-displacement dry pump |
| JP2018173026A (ja) * | 2017-03-31 | 2018-11-08 | 株式会社荏原製作所 | ルーツ型真空ポンプ及びルーツ型真空ポンプの運転方法 |
| CN107654381A (zh) * | 2017-08-22 | 2018-02-02 | 徐州北方泵业有限公司 | 自冷却真空泵系统 |
| CN107654381B (zh) * | 2017-08-22 | 2018-11-30 | 徐州北方泵业有限公司 | 自冷却真空泵系统 |
| CN108252359A (zh) * | 2018-02-07 | 2018-07-06 | 杭州赛孚机电科技有限公司 | 一种液态自冷式电机供水系统 |
| CN111425374A (zh) * | 2020-03-13 | 2020-07-17 | 海宁市富连机械有限公司 | 一种隔音散热减震真空泵 |
| CN114396372A (zh) * | 2021-12-24 | 2022-04-26 | 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司 | 一种干式真空泵冷却系统 |
| CN114396372B (zh) * | 2021-12-24 | 2022-12-16 | 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司 | 一种干式真空泵冷却系统 |
| CN115450911A (zh) * | 2022-10-15 | 2022-12-09 | 浙江博亚精密机械有限公司 | 一种低噪音的罗茨真空泵 |
| CN115628218A (zh) * | 2022-10-21 | 2023-01-20 | 合肥裕升热工技术有限公司 | 一种铅基反应堆用循环泵 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3722504B2 (ja) | 2005-11-30 |
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