CN201265531Y - 一种多级干式真空泵的水冷系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种多级干式真空泵的水冷系统。包括进水管路、出水管路，冷却水经进水管路流入，进水管路分为两路，一路冷却水进入进水管路冷却干泵排气口易发热部位轴承板，冷却水在内部循环后经出水管路流出；另一路冷却水进入进水管路，进入多级干泵的电机进行冷却，然后进入增压泵的电机，从电机流出后一路在增压泵上进行冷却，最后经排水管路流出，另一路直接接入出水管路。本实用新型的优点为：1.本实用新型对两个电机同时冷却，对增压泵和多级干泵可以选择冷却；2.本实用新型采用水流量计来控制进水流量大小并可自动报警；3.本实用新型通过电磁阀自动控制；4.本实用新型在管路上设置有两位三通阀，可选择是否对增压泵进行水冷。

Description

一种多级干式真空泵的水冷系统

技术领域

本实用新型涉及一种水冷技术，具体说是一种多级干式真空泵的水冷系统。

背景技术

干式真空泵是一种泵内不用油类(或液体)密封的变容真空泵。由于干式真空泵泵腔内不需要工作液体，因此，适用于半导体行业、化学工业、制药工业及食品行业等需要无油清洁真空环境的工艺场合。随着半导体工业、电子工业的蓬勃兴起，对于真空环境的要求越来越多、越来越严格。由于由普通的油封机械泵、扩散泵所组成的真空系统易于向真空室中返油，真空室中的油分子会在硅片晶体上沉积，使硅晶体成为废品。所以这样的真空系统在半导体工业、电子工业中的应用受到了限制。相反，由于干式真空泵不需要润滑油来润滑密封，做到了无油蒸汽污染，而且对被抽气体中含有的灰尘和水蒸气不敏感。所以，由干式真空泵组成的真空系统得到了广泛的应用，并在半导体工业、电子工业的发展过程中起到了推动的作用。

由于在半导体工艺中，使用的气体往往都是比较高的温度。高温气体经过反应腔进入泵体内部，最后经泵的排气口排出。因此气体将部分热量传给了干泵，同时由于多级干泵自身也不断压缩气体，产生大量热量，这些热量也有很大一部分传导到泵体上。经过多方面的热量传导干泵自身的温度就比较高，使得泵体内部的零部件由于高温而变形，这对泵自身的寿命以及人员安全都造成威胁。因此通过对泵体的冷却从而达到保护泵自身及使用人员的安全成为亟待解决的问题。

实用新型内容

为了解决干式真空泵冷却的问题，本实用新型的目的在于提供一种多级干式真空泵的冷却系统。

本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现的：

一种多级干式真空泵的冷却系统，包括进水管路、出水管路，冷却水经进水管路流入，进水管路分为两路，一路冷却水进入进水管路冷却干泵排气口易发热部位轴承板，冷却水在内部循环后经出水管路流出；另一路冷却水进入进水管路，进入多级干泵的电机进行冷却，然后再进入增压泵的电机，从电机流出后一路在增压泵上进行冷却，最后经排水管路流出，另一路直接接入出水管路。

所述进水管路与多级干泵的电机间连接有水流量计。

所述进水管路上连接有电磁阀。

水流量计上有接近开关，所述接近开关是一个传感器，设置在流量计上，起到监控水流量的作用。

在增压泵的电机、增压泵、出水管间设置有三通阀。

所述三通阀(5)为两位三通阀。

本实用新型的优点与积极效果为：

1.本实用新型对两个电机同时冷却，对增压泵和多级干泵可以选择冷却。

2.本实用新型采用水流量计来控制进水流量大小，通过调节水流量计来手动控制水冷量，同时如果进水流量小于设定值，在干泵的控制系统上会有报警提示。

3.本实用新型通过电磁阀来控制冷却水是否进入多级干泵的排气口易发热部位的轴承板。可以设置电磁阀打开的温度，当排气口端的轴承板温度达到设置温度时，电磁阀自动打开，冷却水进入进行冷却。

4.本实用新型在管路上设置了三通阀，可以手动调节三通阀改变冷却水流向，可以选择是否对增压泵进行水冷。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

其中：1为电磁阀，2水流量计，3为多级干泵电机，4增压泵电机，5为三通阀，6、10、11为进水管路，7为出水管路，8为多级干泵，9为增压泵，12为接近开关。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步详述。

如图1所示，冷却水经进水管路6进入，一路经电磁阀1进入进水管11、多级干泵8的排气口轴承板部分，对其进行冷却，然后直接经过出水管路7流出。所述电磁阀1来控制冷却水是否进入多级干泵的排气口易发热部位的轴承板。可以设置电磁阀打开的温度，当排气口端的轴承板温度达到设置温度时，电磁阀自动打开，冷却水进入进行冷却。

另一路进入进水管路10、水流量计2、多级干泵8的电机3，在电机内部冷却后又进入增压泵9的电机4进行冷却，然后到三通阀5，在三通阀5处选择是否对增压泵9进行冷却，从三通阀出来两路水路，一路在增压泵9上进行冷却，另一路直接接入出水管路。

进入电机的冷却水要通过水流量计2，在水流量计2处设置冷却水流量的大小。针对不同的半导体工艺水流量设置是不同的，当反应气体温度比较高时水流量计设置的流量就应当大些，反之则应当小一些。水流量计2上设置接近开关12，通过接近开关12监控冷却水流量的大小，当冷却水流量小于设置值时，在控制面板出就会有报警来提示冷却水流量过小。

由于针对不同的半导体工艺对增压泵的冷却是不同的，有的工艺气体温度比较低，在经过增压泵时不会将大量的热量传给泵体，因此增压泵的温度并不是很高，可选择不对增压泵进行冷却。为实现此技术方案，三通阀5为两位三通阀。

本实用新型在抽气过程中可保持真空环境不受污染，适用于半导体、石化、冶金、食品、医药、电子、包装、印刷等行业。

Claims (6)

1.一种多级干式真空泵的冷却系统，包括进水管路(6、10、11)、出水管路(7)，其特征在于：冷却水经进水管路(6)流入，进水管路分为两路(10、11)，一路冷却水进入进水管路(11)冷却干泵排气口易发热部位轴承板，冷却水在内部循环后经出水管路(7)流出；另一路冷却水进入进水管路(10)，进入多级干泵(8)的电机(3)进行冷却，然后再进入增压泵(9)的电机(4)，从电机(4)流出后一路在增压泵(9)上进行冷却，最后经排水管路(7)流出，另一路直接接入出水管路(7)。

2.按权利要求1所述的多级干式真空泵的冷却系统，其特征在于：所述进水管路(10)与多级干泵(8)的电机(3)间连接有水流量计(2)。

3.按权利要求1所述的多级干式真空泵的冷却系统，其特征在于：所述进水管路(11)上连接有电磁阀(1)。

4.按权利要求2所述的多级干式真空泵的冷却系统，其特征在于：水流量计(2)上有接近开关(12)。

5.按权利要求2～4所述的任一多级干式真空泵的冷却系统，其特征在于：在增压泵(9)的电机(4)、增压泵(9)、出水管(7)间设置有三通阀(5)。

6.按权利要求2～4所述的任一多级干式真空泵的冷却系统，其特征在于：所述三通阀(5)为两位三通阀。