JPH0786860A

JPH0786860A - 水晶振動子

Info

Publication number: JPH0786860A
Application number: JP13216694A
Authority: JP
Inventors: Noriyuki Tanaka; 規幸田中; Tsuneo Hayashi; 恒夫林; Toshiyuki Kasashima; 敏之笠島; Norio Shimizu; 紀夫清水
Original assignee: Mimaki Electronic Component Co Ltd
Current assignee: Mimaki Electronic Component Co Ltd
Priority date: 1993-07-20
Filing date: 1994-06-14
Publication date: 1995-03-31

Abstract

(57)【要約】【目的】水晶振動子において製造コストを低減させ、
加工性および寸法精度を向上させる。【構成】パッケージの絶縁材料にチタン酸アルカリ繊
維およびガラスの複合材料を主体として用いる。チタン
酸アルカリ繊維と、ガラス粉と、結晶性セラミック粉
と、バインダとを混合し、加圧成形、焼成して製造す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は電子回路素子として利用
する。特に、水晶振動子のパッケージング技術に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】水晶振動子のパッケージングには気密性
を必要とするため、従来から金属性のパッケージング材
料によるハーメチック・シールが用いられてきた。近
年、移動電話やコードレス電話機に水晶振動子が用いら
れるようになって、振動および衝撃に対する規格が厳し
くなり、このため水晶振動子を複数の支点で支持する構
造ではなく、平面全体で支持するフェイスマウント法な
どが検討されるようになった。また、これにより形状も
平面的なものが必要になった。一方、導電材料である金
属材料によるパッケージングではフェイスマウントを行
うには適当ではなく、絶縁材料、すなわちセラミックス
によるパッケージングが検討されはじめている。セラミ
ックスとしては、アルミナ（酸化アルミニウム）焼結体
あるいはガラスが検討されている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】アルミナ焼結体は、代
表的セラミックスであるので、性能的にはすぐれている
と期待できるが、焼結温度が摂氏１０００度を越えるの
で、製造コストが高いことと、硬いことによる加工性が
悪いことが、水晶振動子のパッケージとして採用するに
はなお検討すべき問題がある。一方、ガラスは比較的低
温で変形加工ができるから、成形および加工性に優れる
が寸法精度が悪く製造歩留りが低下するなどの問題があ
る。

【０００４】本発明は、このような背景に行われたもの
であり、製造コストが安価であり、加工性がよく、寸法
精度の高いパッケージを用いた水晶振動子およびその製
造方法を提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明の第一の観点は、
水晶振動子であり、その特徴とするところは、パッケー
ジの絶縁材料がチタン酸アルカリ繊維およびガラスの複
合材料を主体とするところにある。あるいは、前記チタ
ン酸アルカリ繊維の少なくとも一部がチタン酸アルカリ
粒子であることもできる。

【０００６】このチタン酸アルカリ繊維はチタン酸カリ
ウム繊維であることが望ましい。あるいは、このチタン
酸アルカリ粒子はチタン酸カリウム粒子であることもで
きる。また、前記絶縁材料に、二酸化ケイ素、酸化アル
ミニウム、酸化ジルコニウム、酸化チタンの一以上を含
むセラミックスとすることができる。前記ガラスは、遷
移金属を含むことが望ましい。前記遷移金属は、コバル
ト、ニッケルの少なくとも一方であることが望ましい。

【０００７】本発明の第二の観点は、水晶振動子パッケ
ージの製造方法でありその特徴とするところは、チタン
酸アルカリ繊維と、ガラス粉と、結晶性セラミック粉
と、バインダとを混合する工程と、この混合された材料
を加圧成形する工程と、加圧成形された材料を焼成する
工程とを含むところにある。あるいは、チタン酸アルカ
リ繊維と、ガラス粉と、セラミック粉と、バンイダと、
溶媒とを混合しスラリーを生成する工程と、このスラリ
ーをシートに形成する工程と、このシートを複数枚積層
加熱圧着して加圧成形する工程と、加圧成形された材料
を焼成する工程とを含むこともできる。この焼成する工
程は、加圧しながら実行されることが望ましい。前記パ
ッケージは、その表面に金属メッキを施すこともでき
る。

【０００８】まず、本発明の複合材料は、チタン酸アル
カリ系繊維（チタン酸カリウム、チタン酸ナトリウム、
酸化チタン）を強化材料とし、ガラスをマトリックスと
したセラミックス系複合材料である。チタン酸アルカリ
およびガラスのそれぞれの特徴および組合せにより発生
する特徴が期待できる。それは、１）チタン酸アルカリ
系繊維は、複合材料を強化し、歪みなどの発生を防止す
る、２）チタン酸アルカリ系繊維は、複合材料の寸法精
度を向上させる、３）チタン酸アルカリ系繊維は、ガラ
スの流動性を制御し、成形性を確保する、４）チタン酸
アルカリ系繊維は、複合材料に機械加工性を生み出す、
５）チタン酸アルカリ系繊維は、複合材料に直接メッキ
を可能とし、パッケージに回路を形成することを可能と
する、６）チタン酸アルカリ系繊維は、赤外線反射率が
高く、複合材料の水晶振動子の熱保護機能が期待でき
る、７）ガラスは、複合材料の焼結温度を摂氏１０００
度以下にし、気密性を確保する、８）ガラスは、摂氏５
００度以下の温度で流動性をもち、複合材料の成形性を
確保する、９）ガラスは、種類が多く、機能も多いので
ガラスを選択することにより、複合材料にいろいろな機
能を付与することが期待できる、１０）９）の一つの例
として、コバルトやニッケルなどの遷移金属を含むガラ
スを用いることにより、水晶振動子の端子部金属を直
接、複合材料に埋設することを可能とし、かつ気密性を
確保できる、１１）チタン酸アルカリ系繊維以外に、二
酸化ケイ素、酸化アルミニウム、酸化ジルコニウム、酸
化チタンなどのセラミックス粉体を添加すると、ガラス
の流動性を制御することができ、複合材料の成形性、寸
法精度、焼成条件などを改善することが可能である。

【０００９】次に、パッケージ製造プロセスとして、チ
タン酸アルカリ系繊維、ガラス粉、セラミック粉を混
合、成形、焼成して製品とし水晶振動子をパッケージン
グする。チタン酸アルカリ繊維は、チタン酸カリウム繊
維が中心であるが、チタン酸ナトリウム繊維およびチタ
ン酸アルカリ繊維より誘導した二酸化チタン繊維でもよ
い。繊維長は、通常５０〜１００μｍのものを用いる
が、これよりも短くても、長くても利用することができ
る。チタン酸アルカリ繊維のアルカリ成分は、加熱によ
りしばしばガラス成分に移行する。

【００１０】ガラス粉は、通常１００メッシュ以下のも
のを利用するが、成形性や焼結性を考慮して自由に変え
ることができる。ガラス粉の調合量は、通常、重量比で
３０〜７０％であるが、この範囲以外でも複合材料をつ
くることが可能である。ガラスの量が増えると、焼成温
度が低下し、焼成時の変形がおこりやすくなる。また、
ガラス量が少ないと、焼成温度が高くなる。

【００１１】セラミック粉は、チタン酸アルカリ繊維と
同等の機能を有するが、通常、必要があればチタン酸ア
ルカリ系繊維の量の３０％以下の量を添加することが望
ましい。チタン酸アルカリ系繊維の量の３０％を越える
量を置き換えても複合材料をつくることができる。

【００１２】混合には、原料をできるだけ均一に混合す
ることが必要で、かつ、繊維を切断しないように配慮す
ることが必要である。一般的には、湿式混合をするのが
好ましい。また、このとき必要があればバインダを添加
する。湿式混合の場合は混合後乾燥する必要がありこの
とき造粒してもよい。

【００１３】成形には原料粉を用いて１００ｋｇ／ｃｍ
²以上の圧力で加圧成形することが望ましい。また、原
料粉に適当なバインダー、溶媒を添加混合してスラリー
状とし、これをドクターブレード法やカレンダーロール
法によりグリーンシート（生シート）を形成し、それを
型で積層加圧成形することもできる。成形時に端子の金
属部分を組み込むことができる。

【００１４】焼成には、成形した圧粉体を焼成するが、
加圧しながら焼成することがよい。焼成温度は、摂氏７
００度〜摂氏９００度が適当であるが、ガラスの種類お
よび組成により必ずしもこの温度でなくてもよい。焼成
時間は、１０〜３０分が適当である。

【００１５】

【発明の効果】チタン酸カリウム、チタン酸ナトリウ
ム、酸化チタン等のチタン酸アルカリ系繊維を強化材料
とし、ガラスをマトリックスとしたセラミックス系複合
材料を用いることにより、複合材料の強化、歪みなどの
発生の防止、寸法精度の向上、成形性の確保、機械加工
性の向上、メッキ加工性の向上、熱反射性能の向上、気
密性を確保、材料機能の多様性の向上、端子部金属を直
接、複合材料に埋設する性能の向上などがはかれる。

【００１６】これにより、複合材料の成形性、寸法精
度、焼成条件などを改善することができる。

【００１７】本発明によれば量産性に優れ、製造歩留り
がよく、製造コストを安価にすることができる。

【００１８】

【実施例】図１に本発明第一ないし第三実施例の水晶パ
ッケージの構造を示す。図２に本発明第四および第五実
施例の水晶パッケージの構造を示す。図３に本発明第六
実施例の水晶パッケージ構造を示す。

【００１９】〔第一実施例〕平均繊維長６０μｍの六チ
タン酸カリウム繊維とそれぞれの重量％がＳｉＯ₂が５
６％、Ａｌ₂Ｏ₃が１５％、ＣａＯ＋ＭｇＯが２１％、
Ｂ₂Ｏ₃が８％のＥガラスであるガラス長繊維用無アル
カリガラスの１００メッシュアンダー粉末を重量比で
１：１になるように秤取り、少量のバインダーを加え良
く混合した。混合時間は、１時間のものと３日間のもの
とを用いた。混合粉を金型にて加圧成形し、圧粉体を得
た。圧粉体を黒鉛板上に並べ、あらかじめプログラムさ
れた電気炉にて、摂氏８００度で３０分焼成し、プログ
ラムにしたがって室温まで冷却した。この焼成体の断層
観察を行ったところ、混合時間１時間のものは繊維状の
ものが多く観察された。しかし、３日間混合したものに
ついては繊維量が減少しているものが観察された。

【００２０】焼成体は、図１（ａ）のベース１の部分お
よび図１（ｂ）のカバー２の部分の二種類を作成した。
ベース１には金の蒸着により、リード部分５を形成し、
外部端子３０の部分は銀ペーストを焼き付けることによ
り設けた。これに、水晶片１０を組み込み、窒素雰囲気
中でカバー２の部分をハンダガラスを用いて加熱封着し
た。また、リード部分５の位置を変更して外部端子３０
の代わりに外部端子３２を用いることも試作した。図１
に示す例は、サイズが図示のように１１．６×５．５ｍ
ｍであるが、さらに小さいサイズ、例えば４×２ｍｍ程
度のものについても同様に実施できる。

【００２１】〔第二実施例〕平均繊維長６０μｍの六チ
タン酸カリウム繊維に本発明第一実施例と同じ組成のＥ
ガラスによるガラス長繊維用無アルカリガラスの１００
メッシュアンダー粉末および石英の１００メッシュアン
ダー粉末を重量比で１：０．８：０．２になるように秤
取り、少量のバインダーを加え良く混合したものと、石
英の代わりに１００メッシュアンダーのアルミナ粉末を
用い、重量比で１：０．９：０．１になるように秤取
り、良く混合したものとをそれぞれ作った。混合時間
は、１時間のものと３日間のものとを用いた。それぞれ
の混合粉を金型にて加圧成形し、圧粉体を得た。圧粉体
を黒鉛板上に並べ、あらかじめプログラムされた電気炉
にて、摂氏８００度で３０分焼成し、プログラムにした
がって室温まで冷却した。この焼成体の断層観察を行っ
たところ、混合時間１時間のものは繊維状のものが多く
観察された。しかし、３日間混合したものについては繊
維量が減少しているものが観察された。

【００２２】焼成体は、本発明第一実施例と同様に、図
１（ａ）のベース１の部分および図１（ｂ）のカバー２
の部分の二種類を作成した。ベース１には金の蒸着によ
り、リード部分５を形成し、外部端子３０の部分は銀ペ
ーストを焼き付けることにより設けた。これに、水晶片
１０を組み込み、窒素雰囲気中でカバー２の部分をハン
ダガラスを用いて加熱封着した。また、リード部分５の
位置を変更して外部端子３０の代わりに外部端子３２を
用いることも試作した。

【００２３】〔第三実施例〕平均繊維長１００μｍの四
チタン酸カリウム繊維とシリカの１００メッシュアンダ
ー粉末を重量比で１：０．６になるように秤取り、少量
のバインダーを加え良く混合した。混合時間は、１時間
のものと３日間のものとを用いた。混合粉を金型にて加
圧成形し、圧粉体を得た。圧粉体を黒鉛板上に並べ、あ
らかじめプログラムされた電気炉にて摂氏９５０度で１
時間焼成し、プログラムにしたがって室温まで冷却し
た。焼成体を粉末Ｘ線回折分析により、調べたところ六
チタン酸カリウム、石英、ガラスであることが確認でき
た。さらに、この焼成体の断層観察を行ったところ、混
合時間１時間のものは繊維状のものが多く観察された。
しかし、３日間混合したものについては繊維量が減少し
ているものが観察された。

【００２４】焼成体は、本発明第一実施例と同じく図１
（ａ）のベース１の部分および図１（ｂ）のカバー２の
部分の二種類のものを作った。ベース１には金の蒸着に
よりリード部分５を形成し、外部端子３０の部分は銀ペ
ーストを焼き付けることにより作った。これに水晶片１
０を組み込み、窒素雰囲気中でカバー２をハンダガラス
を用いて加熱封着した。組み立てたものの気密試験およ
び発振試験などの評価を行ったところ良好な結果を得
た。また、リード部分５の位置を変更して外部端子３０
の代わりに外部端子３２を用いることも試作した。

【００２５】〔第四実施例〕本発明第三実施例と同じ原
料および配合比を用い、その混合原料粉に適当なバイン
ダー、溶媒を添加混合してスラリー状とし、これをドク
ターブレード法やカレンダーロール法によりグリーンシ
ート（生シート）を生成する。得られたグリーンシート
を所定の大きさに切断した後に、複数枚を積層加熱圧着
により積層加圧成形体とした。

【００２６】得られた積層加圧成形体を図１（ａ）のベ
ース１の部分および図１（ｂ）のカバー２の部分の形状
になるように打ち抜き金型と積層加熱圧着による加圧成
形により成形体を作成した。成形体を黒鉛板上に並べ、
あらかじめプログラムされた電気炉にて摂氏９５０度で
１時間焼成し、プログラムにしたがって室温まで冷却し
た。

【００２７】ベース１には金の蒸着によりリード部分５
を形成し、外部端子３０の部分は銀ペースとを焼き付け
ることにより作った。これに水晶片１０を組み込み、窒
素雰囲気中でカバー２をハンダガラスを用いて加熱封着
した。組み立てたものの気密試験および発振試験などの
評価を行ったところ良好な結果を得た。また、リード部
分５の位置を変更して外部端子３０の代わりに外部端子
３２を用いることも試作した。

【００２８】〔第五実施例〕平均繊維長８０μｍの六チ
タン酸カリウム繊維と鉄との反応性の良好なグラスライ
ニング用ガラスより開発した、それぞれの重量％がＳｉ
Ｏ₂が５１％、Ｒ₂Ｏが２１％（Ｒ＝Ｎａ、Ｋ、Ｌ
ｉ）、ＣａＯが５％、Ｂ₂Ｏが１０％、Ａｌ₂Ｏ₃が９
％、ＣｏＯ＋ＮｉＯが４％の遷移金属を含むガラスの１
００メッシュアンダー粉末を重量比で１：１になるよう
に秤取り、少量のバインダーを加え良く混合した。混合
時間は、１時間のものと３日間のものとを用いた。混合
粉を金型にて加圧成形し、圧粉体を得た。このとき、コ
バール製端子２０を粉体中に埋め込み一体成形した。圧
粉体を黒鉛板上に並べ、あらかじめプログラムされた電
気炉にて摂氏７００度で１５分焼成し、プログラムにし
たがって室温まで冷却した。この焼成体の断層観察を行
ったところ、混合時間１時間のものは繊維状のものが多
く観察された。しかし、３日間混合したものについては
繊維量が減少しているものが観察された。

【００２９】焼成体は、図２（ａ）に示すベース１の部
分および図２（ｂ）に示すカバー２の部分の二種類のも
のを作った。ベース１のコバール製端子２０と複合材料
との界面は、ガラスによりグラスライニングと同じよう
に反応し、密着していることを走査電子顕微鏡で確認す
ることができた。コバール製端子２０先端部分にさら
に、銀ペーストを焼き付けることにより外部端子３０を
作った。これに、水晶片１０を組み込み、窒素雰囲気中
で図２（ｂ）のカバー２の部分をハンダガラスを用いて
加熱封着した。また、コバール製端子２０の位置を変更
して外部端子３０の代わりに外部端子３２を用いること
も試作した。

【００３０】〔第六実施例〕本発明第五実施例と同じ原
料を用い、同じ方法で図２（ａ）に示すベース１の部分
を作った。また、本発明第二実施例と同じ原料を用い、
同じ方法で図２（ｂ）に示すカバー２の部分を作った。

【００３１】〔第七実施例〕本発明第五実施例と同じ原
料を用い、同じ方法で図３（ａ）に示す外周部に溝３を
設けた焼結体であるベース１を作った。コバール製端子
２０を埋め込み、銀ペーストを焼き付けることにより外
部端子３０を作った。これに、水晶片１０を組み込み、
図３（ｂ）に示すコバール製のカバー２を溝３にはめこ
み、窒素雰囲気中でハンダガラスを用いてこれを加熱封
着した。また、コバール製端子２０の位置を変更して外
部端子３０の代わりに外部端子３２を用いることも試作
した。

【００３２】〔第八実施例〕本発明第五実施例と同じ原
料および配合比を用い、その混合原料を適当なバインダ
ー、溶媒を添加混合してスラリー状とし、これをドクタ
ーブレード法やカレンダーロール法によりグリーンシー
トを作成した。得られたグリーンシートを所定の大きさ
に切断した後に、複数枚を積層加熱圧着により積層加圧
成形体とした。得られた積層加圧成形体を図２（ａ）の
ベース１の形状になるように打ち抜き金型と積層加熱圧
着による加圧成形により、成形体を製作した。このと
き、コバール製端子２０を成形体中に埋め込み一体成形
した。また、本発明第三実施例と同じ原料および方法に
て図２（ｂ）のカバー２を製作した。成形体を黒鉛上に
並べ、あらかじめプログラムされた電気炉にて、図２
（ａ）のベース１は摂氏７００度で１５分焼成し、図２
（ｂ）のカバー２は摂氏９５０度で１時間焼成し、プロ
グラムにしたがって室温まで冷却した。

【００３３】コバール製端子２０先端部分にさらに、銀
ペーストを焼き付けることにより外部端子３０を作っ
た。これに、水晶片１０を組み込み、窒素雰囲気中で図
２（ｂ）のカバー２の部分をハンダガラスを用いて加熱
封着した。組み立てたものの気密試験および発振試験な
どの評価を行ったところ良好な結果を得た。また、リー
ド部分５の位置を変更して外部端子３０の代わりに外部
端子３２を用いることも試作した。

【００３４】〔第九実施例〕本発明第三実施例と同じ原
料を用い、同じ方法にて図１（ａ）のベース１の部分お
よび図１（ｂ）のカバー２の部分の２種類のものを作っ
た。ベース１には金の蒸着によりリード部分５を形成
し、外部端子３０の部分は銀ペーストを焼き付けること
により作った。

【００３５】カバー２の上面には本発明の複合材料の特
徴の一つである直接メッキができる特徴を利用して、サ
ンドペーパーや化学エッチング法を用いて表面を粗した
後、無電界銅メッキを施工し更に、電気ニッケルメッキ
を行ったカバー２を作った。これに水晶片１０を組み込
み、窒素雰囲気中でカバー２をハンダガラスを用いて加
熱封着した。その後、カバー２上面とベース１底面とに
導通回路を設けて組立て試料とした。

【００３６】〔第十実施例〕本発明第五実施例と同じ原
料を用い、同じ方法にて図２（ａ）のベース１の部分お
よび図２（ｂ）のカバー２の部分の２種類のものを作っ
た。カバー２の全面に本発明の複合材料の特徴の一つで
ある直接メッキができる特徴を利用して、サンドペーパ
ーや化学エッチング法を用いて表面を粗した後、無電界
銅メッキを施工し更に、電気ニッケルメッキを行ったカ
バー２を作った。また、ベース１のカバー２と接する箇
所においても同様な処理を施した。

【００３７】これに水晶片１０を組み込み、窒素雰囲気
中で図２（ｂ）のカバー２を銀ロウを用いて封止した。
その後、カバー２とベース１底面とに導通回路を設けて
組立て試料とした。

【００３８】本発明第九および十実施例について、組立
試料の耐ノイズ評価テストを行ったところ、良好な結果
が得られた。

【００３９】本発明第一ないし第十実施例について、組
み立てた試料の気密性耐高温高湿加圧性耐衝撃性
の評価のために試験を行ったところ表１に示すように良
好な結果を得た。

【００４０】

【表１】気密性については、７ｋｇ／ｃｍ²に加圧したヘリウ
ムガス内に試料を非動作で４８時間放置した。この試験
を２０回繰り返し行なったところ、ΔＦ／Ｆが±１０ｐ
ｐｍを越えるものはなかった。また、ΔＣＩ／ＣＩが１
５％を越えるものはなかった。

【００４１】耐高温高湿加圧性については、２気圧、
摂氏１２１度、湿度１００％の圧力釜内に試料を非動作
で４８時間放置した。この試験を２０回繰り返し行った
ところ、ΔＦ／Ｆが±１０ｐｐｍを越えるものはなかっ
た。ΔＣＩ／ＣＩが１５％を越えるものはなかった。

【００４２】耐衝撃性については、高さ７５ｃｍから
３ｃｍの堅い板に試料を３回落下させる試験を５０回繰
り返し行なったところ、ΔＦ／Ｆが±１０ｐｐｍを越え
るものはなかった。また、ΔＣＩ／ＣＩが１５％を越え
るものはなかった。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明第一ないし第三実施例のパッケージ構成
を示す図。

【図２】本発明第四および第五実施例のパッケージ構成
を示す図。

【図３】本発明第六実施例のパッケージ構成を示す図。

【符号の説明】

１ベース２カバー３溝５リード部分１０水晶片２０コバール製端子３０、３２外部端子

フロントページの続き (72)発明者笠島敏之長野県小県郡東部町大字滋野乙1382番地１ミマキ電子部品株式会社内 (72)発明者清水紀夫東京都立川市柴崎町４丁目５番32号

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】パッケージの絶縁材料がチタン酸アルカ
リ繊維およびガラスの複合材料を主体とする水晶振動
子。
【請求項２】前記チタン酸アルカリ繊維の少なくとも
一部がチタン酸アルカリ粒子である請求項１記載の水晶
振動子。
【請求項３】チタン酸アルカリ繊維はチタン酸カリウ
ム繊維である請求項１記載の水晶振動子。
【請求項４】チタン酸アルカリ粒子はチタン酸カリウ
ム粒子である請求項２記載の水晶振動子。
【請求項５】前記絶縁材料に、二酸化ケイ素、酸化ア
ルミニウム、酸化ジルコニウム、酸化チタンの一以上を
含む請求項１または２記載の水晶振動子。
【請求項６】前記ガラスは、遷移金属を含む請求項１
記載の水晶振動子。
【請求項７】前記遷移金属は、コバルト、ニッケルの
少なくとも一方である請求項６記載の水晶振動子。
【請求項８】チタン酸アルカリ繊維と、ガラス粉と、
セラミック粉と、バインダとを混合する工程と、この混合された材料を加圧成形する工程と、加圧成形された材料を焼成する工程とを含むことを特徴
とする水晶振動子パッケージの製造方法。
【請求項９】チタン酸アルカリ繊維と、ガラス粉と、
セラミック粉と、バンイダと、溶媒とを混合しスラリー
を生成する工程と、このスラリーをシートに形成する工程と、このシートを複数枚積層加熱圧着して加圧成形する工程
と、加圧成形された材料を焼成する工程とを含むことを特徴
とする水晶振動子パッケージの製造方法。
【請求項１０】焼成する工程は、加圧しながら実行さ
れる請求項８または９記載の水晶振動子パッケージの製
造方法。
【請求項１１】前記パッケージは、その表面に金属メ
ッキが施された請求項１または２記載の水晶振動子。