JPH0785446A - 磁気記録媒体 - Google Patents

磁気記録媒体

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JPH0785446A
JPH0785446A JP23197693A JP23197693A JPH0785446A JP H0785446 A JPH0785446 A JP H0785446A JP 23197693 A JP23197693 A JP 23197693A JP 23197693 A JP23197693 A JP 23197693A JP H0785446 A JPH0785446 A JP H0785446A
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JP
Japan
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layer
film
magnetic
stress
recording medium
Prior art date
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Pending
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JP23197693A
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English (en)
Inventor
Noriyuki Kitaori
典之 北折
Osamu Yoshida
修 吉田
Hirohide Mizunoya
博英 水野谷
Akira Shiga
章 志賀
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Kao Corp
Original Assignee
Kao Corp
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 磁気ヘッドとの当たりが良好で、再生出力に
ムラが起きない磁気記録媒体を提供することである。 【構成】 支持体上に第1の層が、この第1の層の上に
第2の層が設けられてなる磁気記録媒体であって、前記
第2の層が磁性層であり、かつ、この第2の層に現れる
応力の方向と第1の層に現れる応力の方向とが逆向きで
あるよう、かつ、その絶対値が実質的に異なるよう第1
の層と第2の層とが構成されてなり、その応力差によっ
てカール率が5〜15%であるよう第2の層の中央部側
が突出構成されてなる磁気記録媒体。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、特に金属薄膜型の磁気
記録媒体に関するものである。
【0002】
【発明の背景】磁気テープ等の磁気記録媒体には、非磁
性支持体であるフィルム上に磁性粉やバインダを溶剤中
に分散させた磁性塗料を塗布してなる塗布型のものと、
バインダを用いず、磁性金属粒子をフィルム上に堆積さ
せてなる金属薄膜型のものとがある。
【0003】これらの中、金属薄膜型の磁気記録媒体
は、磁性層にバインダを含まないことから、磁性材料の
充填密度が高く、高密度記録に適したものであると言わ
れている。ところで、現在発売又は開発されている金属
薄膜型の磁気記録媒体は、図2に示される構成のものと
なっている。尚、図2中、6はポリエチレンテレフタレ
ート(PET)フィルム、7は、例えば真空蒸着法を用
いて構成された厚さが1500ÅのCo−Ni合金磁性
膜、8は潤滑剤の膜、9はバックコート層である。
【0004】ところで、このような構造の金属薄膜型磁
気記録媒体は、磁性膜が金属膜であることから、反った
形状に変形(カール)している。この為、磁気ヘッドと
の当たりが悪く、特に磁気ヘッドとの距離が位置によっ
て変動し、再生出力にムラが起きてしまう。
【0005】
【発明の開示】本発明の目的は、磁気ヘッドとの当たり
が良好で、再生出力にムラが起きない磁気記録媒体を提
供することである。この本発明の目的は、支持体上に第
1の層が、この第1の層の上に第2の層が設けられてな
る磁気記録媒体であって、前記第2の層が磁性層であ
り、かつ、この第2の層に現れる応力の方向と第1の層
に現れる応力の方向とが逆向きであるよう第1の層と第
2の層とが構成されてなり、表面が平坦なことを特徴と
する磁気記録媒体によって達成される。
【0006】又、支持体上に第1の層が、この第1の層
の上に第2の層が設けられてなる磁気記録媒体であっ
て、前記第2の層が磁性層であり、かつ、この第2の層
に現れる応力の方向と第1の層に現れる応力の方向とが
逆向きであるよう、かつ、その絶対値が実質的に異なる
よう第1の層と第2の層とが構成されてなり、その応力
差によってカール率が5〜15%であるよう第2の層の
中央部側が突出構成されてなることを特徴とする磁気記
録媒体によって達成される。
【0007】尚、これらの磁気記録媒体において、第2
の層は磁性層であっても、磁性層でなくても良いが、磁
性層である方が好ましい。以下、本発明について詳述す
る。金属膜を蒸着やスパッタリングといった薄膜形成手
段で形成すると、金属膜の堆積によって基板には膜応力
による反りが現れる。
【0008】この反りの方向は、基板を内側にする方向
であったり、外側にする方向であったりし、金属膜の種
類や堆積時の条件によって決まる。例えば、Cr膜であ
っても、堆積時の雰囲気Ar圧力が0.2Paといった
場合には圧縮応力が現れるのに対して、堆積時の雰囲気
Ar圧力が0.5Paといった場合には引っ張り応力が
現れる。又、堆積させる金属の種類を選定することによ
って、圧縮応力が現れた膜の上に引っ張り応力が現れる
膜を構成することが出来る。
【0009】従って、堆積させる膜を複数にし、これら
の間に現れる応力が互いに反対方向であるように設計し
ておけば、基板の反りを修正でき、平坦なものとなる。
そして、このように磁気記録媒体を構成させておけば、
磁気ヘッドとの当たりが良好となり、再生出力にムラが
起きないであろうと考えたのである。そこで、支持体上
に第1の層を、この第1の層の上に第2の層を設け、第
1の層に現れる応力の方向と第2の層に現れる応力の方
向とが逆向きであるよう第1と第2の層とを構成すると
共に、第1の層の上の第2の層を少なくとも磁性層とし
たのである。つまり、複数の層に現れる応力の方向が逆
方向となるだけでなく、第1の層の上の第2の層を少な
くとも磁性層とすることによって、磁気ヘッドとの距離
をより短くし、再生出力が大きくなるようにしたのであ
る。
【0010】本発明の磁気記録媒体に用いられる非磁性
の支持体としては、例えばポリエチレンテレフタレート
(PET)等のポリエステル、ポリアミド、ポリイミ
ド、ポリスルフォン、ポリカーボネート、ポリプロピレ
ン等のオレフィン系の樹脂、セルロース系の樹脂、塩化
ビニル系の樹脂といった高分子材料などが用いられる。
そして、支持体面上には、必要に応じて密着性を向上さ
せる為のアンダーコート層が設けられている。すなわ
ち、表面の粗さを適度に粗すことにより、例えば斜め蒸
着法により構成される薄膜の密着性を向上させ、さらに
磁気記録媒体表面の表面粗さを適度なものとして走行性
を改善する為、例えばSiO2 等の粒子を含有させた厚
さが0.005〜0.1μmの塗膜を設けることによっ
てアンダーコート層が構成されている。
【0011】非磁性の支持体面上に第1の膜が設けられ
る。前述した如く、この第1の膜は磁性金属であって
も、非磁性の金属あるいは非金属であっても良い。尚、
第1の膜の厚さは厚くない方が好ましく、例えば800
〜5000Å程度であることが好ましい。この第1の膜
上に第2の膜(磁性金属膜)が設けられる。第2の膜の
材料としては、例えばFe,Co,Ni等の金属の他
に、Co−Ni合金、Co−Pt合金、Co−Ni−P
t合金、Fe−Co合金、Fe−Ni合金、Fe−Co
−Ni合金、Fe−Co−B合金、Co−Ni−Fe−
B合金、Co−Cr合金、あるいはこれらにAl等の金
属を含有させた磁性材料が用いられる。尚、この第2の
膜の厚さは、第1の膜の厚さによっても左右されるが、
例えば500〜5000Å程度であることが好ましい。
【0012】そして、例えば第1の膜として2000Å
厚さのシリコン膜を選ぶと、これは9.6 ×109 dyne/cm2
の圧縮応力が作用するようになる。これに対して、第2
の膜の磁性金属としてCo−Ni(90at%−10a
t%)を選び、1500Åに設計したとすると、これは
9.5 ×109 dyne/cm2の引っ張り応力が作用するようにな
る。従って、非磁性の支持体面上に、例えば2000Å
厚さのシリコン膜(第1の膜)を設け、この上に150
0Å厚さのCo−Ni磁性膜(第2の膜)を設けた場合
には、第1の膜の応力と第2の膜の応力との間にはバラ
ンスが取れたものとなるから、非磁性の支持体には反り
が現れないものとなる。
【0013】上記第1の膜や第2の膜は、蒸着法、直流
スパッタ法、交流スパッタ法、高周波スパッタ法、直流
マグネトロンスパッタ法、高周波マグネトロンスパッタ
法、イオンビームスパッタ法などの各種の乾式メッキ手
段を採用できる。尚、第2の膜(磁性金属膜)の形成時
に酸化性ガスを供給し、磁性金属膜の表層部分が酸化さ
れ、酸化膜による保護膜が形成されるようにすることが
好ましいものである。
【0014】そして、磁性金属膜(保護膜が設けられて
いる場合には、保護膜)の表面に、潤滑剤が塗布され
る。用いられる潤滑剤としてはパーフロオロポリエーテ
ル、例えば-(C(R)F-CF2-O)p - (但し、RはF,C
3 ,CH3 などの基)、特にHOOC-CF2(O-C2F4)p (OCF
2) q -OCF2-COOH ,F-(CF2CF2CF2O)n -CF2CF2COOH とい
ったようなカルボキシル基変性パーフロオロポリエーテ
ル、HOCH2-CF2(O-C2F4) p (OCF2) q -OCF2-CH2OH,HO-
(C2H4-O) m -CH2-(O-C2F4) p (OCF2) q -OCH2-(OCH2C
H 2)n -OH ,F-(CF2CF2CF2O)n -CF2CF2CH2OHといったよ
うなアルコール変性パーフロオロポリエーテル等が挙げ
られる。このような潤滑剤によって構成される層の厚さ
は10〜100Åであることが好ましい。
【0015】以下、具体的な実施例を挙げて本発明を説
明する。
【0016】
【実施例】
〔実施例1〕図1は、本発明に係る磁気記録媒体の概略
断面図である。同図中、1は6μm厚さのPETフィル
ム、2は酸素ガスを導入しながら真空蒸着法によりPE
Tフィルム1の上に設けられた3000Å厚さのシリコ
ン膜、3は酸素ガスを導入しながら真空蒸着法によりシ
リコン膜2の上に設けられた1500Å厚さのCo−N
i(80at%−20at%)膜、4は潤滑剤を所定の
溶剤に溶かしてCo−Ni膜3上に塗布して設けた潤滑
膜、5はバックコート層である。
【0017】尚、PETフィルム面上に設けられた30
00Å厚さのシリコン膜による応力(圧縮応力)は2
4.5×109 dyne/cm2 であり、1500Å厚
さのCo−Ni(80at%−20at%)膜による応
力(引っ張り応力)は9.5×109 dyne/cm2
であった。すなわち、PETフィルム1を真空蒸着装置
に配設し、装置内のルツボに入れられているシリコンを
蒸発させてシリコン膜2を堆積させ、この後Co−Ni
合金を蒸発させ、この蒸発粒子をシリコン膜2上に堆積
させたのである。尚、シリコン膜や磁性金属膜の形成時
には、酸素ガスが導入されている。
【0018】この後、PETフィルムを真空蒸着装置か
ら取り出し、ダイ塗工法によりパーフロオロポリエーテ
ル(日本モンテジソン社のFOMBLIN Z DO
L)を乾燥後の厚さが30Åとなるよう磁性金属膜3の
表面に塗布し、この後加熱乾燥させた。そして、このよ
うにして得られた原反から通常の工程を経て磁気テープ
を作製した。
【0019】〔実施例2〕実施例1において、シリコン
膜2の厚さを3500Åとし、磁気テープを作製した。 〔実施例3〕実施例1において、シリコン膜2の厚さを
4100Åとし、磁気テープを作製した。
【0020】〔実施例4〕6μm厚さのPETフィルム
を真空蒸着装置に配設し、装置内のルツボに入れられて
いるCo−Cr−Ni(70at%−20at%−10
at%)合金を蒸発させ、この蒸発粒子をPETフィル
ムの一面上に堆積させた後、Co−Ni(80at%−
20at%)合金を蒸発させ、この蒸発粒子を前記12
00Å厚のCo−Cr−Ni膜の上に1500Å厚さ堆
積(堆積時には、酸素イオンを電子銃で照射)させた。
【0021】尚、PETフィルム面上に設けられた12
00Å厚さのCo−Cr−Ni膜による応力(圧縮応
力)は23.8×109 dyne/cm2 であり、15
00Å厚さのCo−Ni(80at%−20at%)膜
による応力(引っ張り応力)は9.5×109 dyne
/cm2 であった。この後、PETフィルムを真空蒸着
装置から取り出し、ダイ塗工法によりパーフロオロポリ
エーテル(日本モンテジソン社のFOMBLIN Z
DOL)を乾燥後の厚さが30Åとなるよう磁性金属膜
の表面に塗布し、この後加熱乾燥させた。
【0022】そして、このようにして得られた原反から
通常の工程を経て磁気テープを作製した。 〔比較例1〕実施例1において、シリコン膜を設けなか
った他は同様に行った。 〔比較例2〕実施例1において、シリコン膜2の厚さを
5300Åとし、磁気テープを作製した。
【0023】〔特性〕上記各例で得られた磁気テープを
8mm幅にスリットし、市販の8mmVTRを改造した
装置に装着し、出力エンベロープを測定し、その減衰率
を求めたので、その結果を下記の表−1に示す。尚、各
磁気テープのカール率(カールによる変形高さ(磁性膜
の中央部が凸になる場合を+で表示)/横幅)も併せて
表示する。
【0024】 表−1 カール率(%) 出力エンベロープの減衰率(%) 実施例1 5 18 実施例2 10 16 実施例3 15 20 実施例4 5 15 比較例1 −10 38 比較例2 21 32 すなわち、実施例のものでは磁性金属膜による応力がシ
リコン膜による応力によって相殺されており、出力ムラ
の小さいことが窺える。
【0025】
【効果】本発明によれば、出力ムラの小さなものが得ら
れる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る磁気記録媒体の概略図
【図2】従来の磁気記録媒体の概略図
【符号の説明】
1 PETフィルム 2 3000Å厚さのシリコン膜 3 1500Å厚さのCo−Ni膜
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 志賀 章 栃木県芳賀郡市貝町大字赤羽2606 花王株 式会社情報科学研究所内

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 支持体上に第1の層が、この第1の層の
    上に第2の層が設けられてなる磁気記録媒体であって、
    前記第2の層が磁性層であり、かつ、この第2の層に現
    れる応力の方向と第1の層に現れる応力の方向とが逆向
    きであるよう、かつ、その絶対値が実質的に同じである
    よう第1の層と第2の層とが構成されてなり、表面が平
    坦なことを特徴とする磁気記録媒体。
  2. 【請求項2】 支持体上に第1の層が、この第1の層の
    上に第2の層が設けられてなる磁気記録媒体であって、
    前記第2の層が磁性層であり、かつ、この第2の層に現
    れる応力の方向と第1の層に現れる応力の方向とが逆向
    きであるよう、かつ、その絶対値が実質的に異なるよう
    第1の層と第2の層とが構成されてなり、その応力差に
    よってカール率が5〜15%であるよう第2の層の中央
    部側が突出構成されてなることを特徴とする磁気記録媒
    体。
JP23197693A 1993-09-17 1993-09-17 磁気記録媒体 Pending JPH0785446A (ja)

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