JPH0780472A - フッ素含有水からの水回収方法 - Google Patents
フッ素含有水からの水回収方法Info
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- JPH0780472A JPH0780472A JP23122693A JP23122693A JPH0780472A JP H0780472 A JPH0780472 A JP H0780472A JP 23122693 A JP23122693 A JP 23122693A JP 23122693 A JP23122693 A JP 23122693A JP H0780472 A JPH0780472 A JP H0780472A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 フッ素含有水から高い水回収率にて安価に水
を回収して再利用する。 【構成】 フッ素含有水を炭酸カルシウムと接触させた
後、脱塩処理する。 【効果】 ＣａＣＯ3 接触塔流出水のフッ素含有量は著
しく低く、炭酸イオンの若干の増加はあるものの、その
他の塩分増加は殆どなく、このため、この流出水を脱塩
処理することにより、純水として高い回収率で安価に水
回収することができる。
を回収して再利用する。 【構成】 フッ素含有水を炭酸カルシウムと接触させた
後、脱塩処理する。 【効果】 ＣａＣＯ3 接触塔流出水のフッ素含有量は著
しく低く、炭酸イオンの若干の増加はあるものの、その
他の塩分増加は殆どなく、このため、この流出水を脱塩
処理することにより、純水として高い回収率で安価に水
回収することができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はフッ素含有水からの水回
収方法に係り、特に、半導体工場等から排出されるフッ
素含有水からフッ素を除去した後の水を純水として高い
回収率にて安価に回収する方法に関する。
収方法に係り、特に、半導体工場等から排出されるフッ
素含有水からフッ素を除去した後の水を純水として高い
回収率にて安価に回収する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体工場等から排出されるフッ素含有
水は、一般に、塩化カルシウム（ＣａＣｌ2 ）や水酸化
カルシウム（Ｃａ（ＯＨ）2 ）等のカルシウム塩をフッ
素濃度の２〜１０倍当量添加し、生成するフッ化カルシ
ウム（ＣａＦ2 ）を固液分離して無害化処理されてい
る。
水は、一般に、塩化カルシウム（ＣａＣｌ2 ）や水酸化
カルシウム（Ｃａ（ＯＨ）2 ）等のカルシウム塩をフッ
素濃度の２〜１０倍当量添加し、生成するフッ化カルシ
ウム（ＣａＦ2 ）を固液分離して無害化処理されてい
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来のフッ素含有
水の処理方法では、水中に過剰のカルシウムイオンや塩
素イオン等が溶解するため、処理水の塩分量が極めて多
い。このためこの処理水をイオン交換処理で純水化する
には、イオン交換樹脂の再生頻度が極めて高いものとな
り、従って、再生剤を多く必要とすることから経済的に
不利である。
水の処理方法では、水中に過剰のカルシウムイオンや塩
素イオン等が溶解するため、処理水の塩分量が極めて多
い。このためこの処理水をイオン交換処理で純水化する
には、イオン交換樹脂の再生頻度が極めて高いものとな
り、従って、再生剤を多く必要とすることから経済的に
不利である。
【０００４】このため、従来のフッ素含有水の処理にお
いては、処理水、即ち、フッ素含有水をカルシウム塩を
添加し、フッ化カルシウムを固液分離した後の分離水
は、純水化のために回収再使用することなく、廃棄され
ていた。
いては、処理水、即ち、フッ素含有水をカルシウム塩を
添加し、フッ化カルシウムを固液分離した後の分離水
は、純水化のために回収再使用することなく、廃棄され
ていた。
【０００５】なお、フッ素含有水のうち、フッ素をフッ
酸として含むものについては、弱塩基性陰イオン交換樹
脂を用いたイオン交換処理により純水化する試みがなさ
れている。しかしながら、この処理においては、イオン
交換樹脂の再生廃液として高濃度にフッ化ナトリウムを
含有する廃液が発生する。このため、この再生廃液のフ
ッ素除去や脱塩処理に莫大な費用がかかるという欠点が
ある。
酸として含むものについては、弱塩基性陰イオン交換樹
脂を用いたイオン交換処理により純水化する試みがなさ
れている。しかしながら、この処理においては、イオン
交換樹脂の再生廃液として高濃度にフッ化ナトリウムを
含有する廃液が発生する。このため、この再生廃液のフ
ッ素除去や脱塩処理に莫大な費用がかかるという欠点が
ある。
【０００６】本発明は上記従来の問題点を解決し、フッ
素含有水から高い水回収率にて安価に水を回収して再利
用することを可能とするフッ素含有水からの水回収方法
を提供することを目的とする。
素含有水から高い水回収率にて安価に水を回収して再利
用することを可能とするフッ素含有水からの水回収方法
を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明のフッ素含有水か
らの水回収方法は、フッ素含有水を炭酸カルシウムと接
触させた後、脱塩処理することを特徴とする。
らの水回収方法は、フッ素含有水を炭酸カルシウムと接
触させた後、脱塩処理することを特徴とする。
【０００８】以下に本発明を図面を参照して詳細に説明
する。
する。
【０００９】図１は本発明のフッ素含有水からの水回収
方法の一実施例方法を示す系統図である。
方法の一実施例方法を示す系統図である。
【００１０】図１において、１は炭酸カルシウム（Ｃａ
ＣＯ3 ）充填塔、２はＨ形陽イオン交換樹脂充填塔、３
は脱炭酸（ＣＯ2 ）塔、４はＯＨ形陰イオン交換樹脂充
填塔、１１〜１６の各符号は配管である。
ＣＯ3 ）充填塔、２はＨ形陽イオン交換樹脂充填塔、３
は脱炭酸（ＣＯ2 ）塔、４はＯＨ形陰イオン交換樹脂充
填塔、１１〜１６の各符号は配管である。
【００１１】本実施例の方法においては、まず、原水で
あるフッ素含有水を配管１１よりＣａＣＯ3 充填塔１に
通水して含有されるフッ素をフッ化カルシウム（Ｃａ
Ｆ）として固定、除去する。
あるフッ素含有水を配管１１よりＣａＣＯ3 充填塔１に
通水して含有されるフッ素をフッ化カルシウム（Ｃａ
Ｆ）として固定、除去する。
【００１２】このＣａＣＯ3 充填塔１に充填するＣａＣ
Ｏ3 の粒径には特に制限はなく、フッ素との反応速度の
面からは小粒径であることが、また、取り扱い性の面か
らは大粒径であることが好ましく、これらの両特性の面
から通常の場合、粒径０．１５〜１．０ｍｍ程度のもの
が好ましい。
Ｏ3 の粒径には特に制限はなく、フッ素との反応速度の
面からは小粒径であることが、また、取り扱い性の面か
らは大粒径であることが好ましく、これらの両特性の面
から通常の場合、粒径０．１５〜１．０ｍｍ程度のもの
が好ましい。
【００１３】また、ＣａＣＯ3 充填塔による処理は１塔
方式であっても、複数の充填塔を直列に配置して通水す
る多段方式であっても、また、複数直列配置した充填塔
の通水順序を順次変えてゆくメリーゴーランド方式であ
っても良い。
方式であっても、複数の充填塔を直列に配置して通水す
る多段方式であっても、また、複数直列配置した充填塔
の通水順序を順次変えてゆくメリーゴーランド方式であ
っても良い。
【００１４】このＣａＣＯ3 充填塔の通水方式は、下向
流、上向流のいずれであっても良いが、ＣａＣＯ3 が反
応によりＣａＦ2 となる過程で、粒子の固着化現象が生
起する場合があるため、上向流通水とし、かつ、濾材
（ＣａＣＯ3 ）を流動させる流通速度とするのが望まし
い。
流、上向流のいずれであっても良いが、ＣａＣＯ3 が反
応によりＣａＦ2 となる過程で、粒子の固着化現象が生
起する場合があるため、上向流通水とし、かつ、濾材
（ＣａＣＯ3 ）を流動させる流通速度とするのが望まし
い。
【００１５】ＣａＣＯ3 との反応で、フッ素が除去され
たＣａＣＯ3 充填塔１の流出水は、必要に応じて配管１
３より工業用水等を混合した後、配管１２よりＨ形陽イ
オン交換樹脂充填塔２に通水する。次いで、配管１４よ
り脱炭酸塔３に導入して処理し、更に配管１５よりＯＨ
形陰イオン交換樹脂充填塔４に通水する。
たＣａＣＯ3 充填塔１の流出水は、必要に応じて配管１
３より工業用水等を混合した後、配管１２よりＨ形陽イ
オン交換樹脂充填塔２に通水する。次いで、配管１４よ
り脱炭酸塔３に導入して処理し、更に配管１５よりＯＨ
形陰イオン交換樹脂充填塔４に通水する。
【００１６】このようなイオン交換処理により、ＣａＣ
Ｏ3 充填塔１の流出水中の塩分は効率的に脱塩され、高
水質の純水が得られるため、このＯＨ形陰イオン交換樹
脂充填塔４の流出水は、配管１６より処理水として系外
に排出し、純水として、或いは超純水の製造工程の原水
として再利用することができる。
Ｏ3 充填塔１の流出水中の塩分は効率的に脱塩され、高
水質の純水が得られるため、このＯＨ形陰イオン交換樹
脂充填塔４の流出水は、配管１６より処理水として系外
に排出し、純水として、或いは超純水の製造工程の原水
として再利用することができる。
【００１７】Ｈ形陽イオン交換樹脂充填塔２に充填する
陽イオン交換樹脂は、強酸性、弱酸性、或いはこれらの
混合系のいずれであっても良く、また、ＯＨ形陽イオン
交換樹脂充填塔４に充填する陰イオン交換樹脂として
も、強塩基性、弱塩基性或いはこれらの混合系のいずれ
であっても良い。
陽イオン交換樹脂は、強酸性、弱酸性、或いはこれらの
混合系のいずれであっても良く、また、ＯＨ形陽イオン
交換樹脂充填塔４に充填する陰イオン交換樹脂として
も、強塩基性、弱塩基性或いはこれらの混合系のいずれ
であっても良い。
【００１８】脱炭酸塔３は必ずしも必要とされないが、
脱炭酸塔３をＨ形陽イオン交換樹脂充填塔２とＯＨ形陰
イオン交換樹脂充填塔４との間に設け、陽イオン交換樹
脂処理後の低ｐＨ水中の溶存ＣＯ2 ガスを放出処理した
後、陰イオン交換樹脂処理することにより、イオン交換
樹脂に対するイオン負荷を低減することができ、有利で
ある。この脱炭酸塔３としては、空気曝気塔、窒素曝気
塔又は真空脱気塔を用いることができる。
脱炭酸塔３をＨ形陽イオン交換樹脂充填塔２とＯＨ形陰
イオン交換樹脂充填塔４との間に設け、陽イオン交換樹
脂処理後の低ｐＨ水中の溶存ＣＯ2 ガスを放出処理した
後、陰イオン交換樹脂処理することにより、イオン交換
樹脂に対するイオン負荷を低減することができ、有利で
ある。この脱炭酸塔３としては、空気曝気塔、窒素曝気
塔又は真空脱気塔を用いることができる。
【００１９】なお、原水のフッ素含有水としては、高濃
度フッ素含有水と低濃度フッ素含有水とを分別して処理
しても、これらを混合して処理しても良い。また、Ｃａ
ＣＯ3 充填塔の流出水には、図示の如く、希薄系低濃度
排水や河川水等の工業用水を混合して処理することもで
き、この場合、工業用水は、通常行なわれる凝集処理や
濾過処理を施してから、あるいは工業用水を混合後、凝
集処理や濾過処理を施してもよい。
度フッ素含有水と低濃度フッ素含有水とを分別して処理
しても、これらを混合して処理しても良い。また、Ｃａ
ＣＯ3 充填塔の流出水には、図示の如く、希薄系低濃度
排水や河川水等の工業用水を混合して処理することもで
き、この場合、工業用水は、通常行なわれる凝集処理や
濾過処理を施してから、あるいは工業用水を混合後、凝
集処理や濾過処理を施してもよい。
【００２０】図示の方法は本発明の一実施例であって、
本発明はその要旨を超えない限り、何ら図示の実施例に
限定されるものではない。
本発明はその要旨を超えない限り、何ら図示の実施例に
限定されるものではない。
【００２１】例えば、図１に示す方法では、ＣａＣＯ3
充填塔の流出水の脱塩処理としてイオン交換法を採用し
ているが、脱塩処理としては、イオン交換樹脂によるも
のの他、逆浸透膜分離処理、又は逆浸透膜分離処理とイ
オン交換処理との組み合せ、更には、蒸発処理などを採
用することができる。蒸発処理は、高濃度フッ素含有水
を分別して処理する場合に有利である。
充填塔の流出水の脱塩処理としてイオン交換法を採用し
ているが、脱塩処理としては、イオン交換樹脂によるも
のの他、逆浸透膜分離処理、又は逆浸透膜分離処理とイ
オン交換処理との組み合せ、更には、蒸発処理などを採
用することができる。蒸発処理は、高濃度フッ素含有水
を分別して処理する場合に有利である。
【００２２】
【作用】本発明は従来法の欠点である処理水中の塩分増
加を防いで、フッ素をＣａＦ2として固定し、その処理
水をイオン交換処理等の脱塩処理によって純水化するも
のである。本発明によれば、原水中のフッ素イオンは次
の反応によって除去される。
加を防いで、フッ素をＣａＦ2として固定し、その処理
水をイオン交換処理等の脱塩処理によって純水化するも
のである。本発明によれば、原水中のフッ素イオンは次
の反応によって除去される。
【００２３】
【化１】
【００２４】フッ素とＣａＣＯ3 との反応は、固定床、
流動床のどちらでもよいが、ＣａＣＯ3 を反応槽に添加
し、フッ素と反応後に固液分離する流動床とすると、分
離された固形物はＣａＦ2 とＣａＣＯ3 の混合系とな
り、ＣａＣＯ3 の利用率が低く、ＣａＦ2 としての純度
が低く再利用する場合の価値が低い。また、脱水処理が
必要等の欠点がある。このため、本発明においては、濾
過タイプの充填塔方式を採用する方が好ましい。
流動床のどちらでもよいが、ＣａＣＯ3 を反応槽に添加
し、フッ素と反応後に固液分離する流動床とすると、分
離された固形物はＣａＦ2 とＣａＣＯ3 の混合系とな
り、ＣａＣＯ3 の利用率が低く、ＣａＦ2 としての純度
が低く再利用する場合の価値が低い。また、脱水処理が
必要等の欠点がある。このため、本発明においては、濾
過タイプの充填塔方式を採用する方が好ましい。
【００２５】ＣａＣＯ3 充填塔流出水のフッ素含有量は
著しく低く、炭酸イオンの若干の増加はあるものの、そ
の他の塩分増加は殆どなく、このため、この流出水を脱
塩処理することにより、純水として高い回収率で安価に
水回収することができる。
著しく低く、炭酸イオンの若干の増加はあるものの、そ
の他の塩分増加は殆どなく、このため、この流出水を脱
塩処理することにより、純水として高い回収率で安価に
水回収することができる。
【００２６】しかも、本発明方法では、ＣａＣＯ3 充填
塔流出水中の塩分増加がないことから、クローズド処理
における灰分量の低減が図れ、また、ＣａＣＯ3 充填塔
からフッ素含有汚泥を分別回収して再利用することもで
き、工業的に極めて有利である。
塔流出水中の塩分増加がないことから、クローズド処理
における灰分量の低減が図れ、また、ＣａＣＯ3 充填塔
からフッ素含有汚泥を分別回収して再利用することもで
き、工業的に極めて有利である。
【００２７】
【実施例】以下に実施例及び比較例を挙げて本発明をよ
り具体的に説明する。
り具体的に説明する。
【００２８】実施例１ 半導体工場から排出された、表１に示す水質のフッ素含
有水の処理を図１に示す方法に従って行なった。各充填
塔の仕様は下記の通りである。また、脱炭酸塔としては
散気管による空気曝気塔を設けた。
有水の処理を図１に示す方法に従って行なった。各充填
塔の仕様は下記の通りである。また、脱炭酸塔としては
散気管による空気曝気塔を設けた。
【００２９】ＣａＣＯ 3 充填塔 ＣａＣＯ3 粒径 ：直径０．３２ｍｍ ＣａＣＯ3 充填量：２００ｍｌ（充填高さ２８０ｍｍ） 通水流量 ：４００ｍｌ／ｈｒＨ形陽イオン交換樹脂充填塔 陽イオン交換樹脂：塩酸で再生、水洗したＨ形強酸性陽
イオン交換樹脂 樹脂充填量 ：５０ｍｌ 通水流量 ：４００ｍｌ／ｈｒＯＨ形陰イオン交換樹脂充填塔 陰イオン交換樹脂：苛性ソーダで再生、水洗したＯＨ形
強塩基性陰イオン交換樹脂 樹脂充填量 ：５０ｍｌ 通水流量 ：４００ｍｌ／ｈｒ ４８時間連続通水処理後のＣａＣＯ3 充填塔の流出水の
水質を表１に示す。
イオン交換樹脂 樹脂充填量 ：５０ｍｌ 通水流量 ：４００ｍｌ／ｈｒＯＨ形陰イオン交換樹脂充填塔 陰イオン交換樹脂：苛性ソーダで再生、水洗したＯＨ形
強塩基性陰イオン交換樹脂 樹脂充填量 ：５０ｍｌ 通水流量 ：４００ｍｌ／ｈｒ ４８時間連続通水処理後のＣａＣＯ3 充填塔の流出水の
水質を表１に示す。
【００３０】
【表１】
【００３１】また、処理水（ＯＨ形陰イオン交換樹脂充
填塔の流出水）の電気伝導度の経時変化（処理水量対
応）を表２に示す。
填塔の流出水）の電気伝導度の経時変化（処理水量対
応）を表２に示す。
【００３２】実施例２ 脱炭酸塔を設けなかったこと以外は実施例１と同様に行
なった。処理水の電気伝導度の経時変化を表２に示す。
なった。処理水の電気伝導度の経時変化を表２に示す。
【００３３】比較例１ ＣａＣＯ3 充填塔及び脱炭酸塔を設けなかったこと以外
は実施例１と同様に行なった。処理水の電気伝導度の経
時変化を表２に示す。
は実施例１と同様に行なった。処理水の電気伝導度の経
時変化を表２に示す。
【００３４】比較例２ 表１に示す水質の原水に水酸化カルシウム７６００ｍｇ
／ｌ，硫酸５５００ｍｇ／ｌを添加し、凝集沈澱処理に
より上澄水を得た。上澄水の濾過水はｐＨ７．０，フッ
素９．２ｍｇ／ｌ，電気伝導度１３０００μｓ／ｃｍで
あった。この濾過水を実施例１で用いたと同様のＨ形陽
イオン交換樹脂塔とＯＨ形陰イオン交換塔に同様の条件
で通水した。得られた処理水の電気伝導度の経時変化を
表２に示す。
／ｌ，硫酸５５００ｍｇ／ｌを添加し、凝集沈澱処理に
より上澄水を得た。上澄水の濾過水はｐＨ７．０，フッ
素９．２ｍｇ／ｌ，電気伝導度１３０００μｓ／ｃｍで
あった。この濾過水を実施例１で用いたと同様のＨ形陽
イオン交換樹脂塔とＯＨ形陰イオン交換塔に同様の条件
で通水した。得られた処理水の電気伝導度の経時変化を
表２に示す。
【００３５】
【表２】
【００３６】表２より、本発明の方法によれば、フッ素
含有水から、高純度の純水を長期にわたり高い回収率に
て安定に回収することができることがわかる。
含有水から、高純度の純水を長期にわたり高い回収率に
て安定に回収することができることがわかる。
【００３７】これに対して、ＣａＣＯ3 によるフッ素除
去処理を行なわない比較例１では、イオン交換による脱
塩が殆ど不可能である。
去処理を行なわない比較例１では、イオン交換による脱
塩が殆ど不可能である。
【００３８】
【発明の効果】以上詳述した通り、本発明のフッ素含有
水からの水回収方法によれば、半導体工場等から排出さ
れるフッ素含有水から、低コストで、容易に、しかも高
回収率で純度の良い水を回収することができる。このた
め、従来廃水として廃棄されていた水を有効に回収、再
利用することが可能とされ、水資源の有効活用が図れ
る。
水からの水回収方法によれば、半導体工場等から排出さ
れるフッ素含有水から、低コストで、容易に、しかも高
回収率で純度の良い水を回収することができる。このた
め、従来廃水として廃棄されていた水を有効に回収、再
利用することが可能とされ、水資源の有効活用が図れ
る。
【図１】本発明のフッ素含有水からの水回収方法の一実
施例方法を示す系統図である。
施例方法を示す系統図である。
１ ＣａＣＯ3 充填塔 ２ Ｈ形陽イオン交換樹脂充填塔 ３ 脱炭酸塔 ４ ＯＨ形陰イオン交換樹脂充填塔
Claims (1)
- 【請求項１】 フッ素含有水を炭酸カルシウムと接触さ
せた後、脱塩処理することを特徴とするフッ素含有水か
らの水回収方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23122693A JP3396919B2 (ja) | 1993-09-17 | 1993-09-17 | フッ素含有水からの水回収方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23122693A JP3396919B2 (ja) | 1993-09-17 | 1993-09-17 | フッ素含有水からの水回収方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0780472A true JPH0780472A (ja) | 1995-03-28 |
| JP3396919B2 JP3396919B2 (ja) | 2003-04-14 |
Family
ID=16920302
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23122693A Expired - Fee Related JP3396919B2 (ja) | 1993-09-17 | 1993-09-17 | フッ素含有水からの水回収方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3396919B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4543482B2 (ja) * | 2000-03-06 | 2010-09-15 | 栗田工業株式会社 | フッ素含有水の処理方法 |
-
1993
- 1993-09-17 JP JP23122693A patent/JP3396919B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4543482B2 (ja) * | 2000-03-06 | 2010-09-15 | 栗田工業株式会社 | フッ素含有水の処理方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3396919B2 (ja) | 2003-04-14 |
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