JPH0779576A - ハーフ・ブリッジ装置 - Google Patents

ハーフ・ブリッジ装置

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JPH0779576A
JPH0779576A JP5226126A JP22612693A JPH0779576A JP H0779576 A JPH0779576 A JP H0779576A JP 5226126 A JP5226126 A JP 5226126A JP 22612693 A JP22612693 A JP 22612693A JP H0779576 A JPH0779576 A JP H0779576A
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 電力を切り替えるためのハーフ・ブリッジ装
置を提供する。 【構成】 ハーフ・ブリッジ(12a〜12d)を形成
する少なくとも2つの半導体スイッチ(14〜21)を
直列に接続し、少なくとも1つのコンデンサ・アセンブ
リ(30)をVSS−間に配置し、コンデンサ・アセンブ
リ(30)を半導体スイッチ(14〜21)を設けた印
刷回路基板(33)の少なくとも1つのシート・コンデ
ンサ(30a)および/または中空コイル(40)とし
て構成された少なくとも1つのラップ・コンデンサ(3
0b)によって構成し、半導体スイッチ(14〜21)
を中空コイル(40)内に配置し、中空コイル(40)
内で流体冷却を行う。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、ハーフ・ブリッジを形
成する少なくとも2つの半導体スイッチを直列に接続
し、各半導体スイッチは駆動手段に接続された制御入力
端子を備え、各第1の半導体スイッチのソース端子が高
電位にあり、各第2の半導体スイッチのドレイン端子が
低電位にあり、各第1の半導体スイッチのドレイン端子
を各第2の半導体スイッチのソース端子に接続して出力
端子を構成し、少なくとも1つのコンデンサ・アセンブ
リを高および低電位の間に配置して、電力をスイッチン
グするためのハーフ・ブリッジ装置に関する。
【0002】なお、本明細書の記述は本件出願の優先権
の基礎たるドイツ国特許出願第DE42 30 51
0.1号の明細書の記載に基づくものであって、当該ド
イツ国特許出願の番号を参照することによって当該ドイ
ツ国特許出願の明細書の記載内容が本明細書の一部分を
構成するものとする。
【0003】
【従来の技術】このようなハーフ・ブリッジ装置は、D
E−4 027 069 C1に開示され、各種用途、
たとえば回転磁界モータ、永久磁石モータ等への電源供
給用のインバータの構成に用いられてきた。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、これに
関連して、電力密度、すなわち装置の容積に対する出力
電力が従来の装置においては比較的小さいという問題が
ある。さらに加えて、従来の装置の重量は比較的大き
い。
【0005】コンデンサおよび半導体スイッチを接続す
るのに用いる導体の分布インダクタンスの影響を低減す
るために、大面積の板状供給ラインを用いたインバータ
装置がUS−PS5,132,896から知られてい
る。これによって、ライン・インダクタンスを補償する
ための大型のスナッバー(Snubber)コンデンサ
の必要が無くなる。さらに、大面積の板状供給ラインは
放熱性を改善することができる。さらに、この板状供給
ラインは、板状供給ラインを流れる電流の大きさと方向
は、分布インダクタンスの影響を最小にするように設計
されている。
【0006】しかしながら、このインバータ装置の場
合、大面積の供給ラインは、干渉インダクタンスの低減
の目的のみに役立ち、大型の電解コンデンサの供給ライ
ンとして用いられている。
【0007】
【課題を解決するための手段】これらの欠点を克服する
ため、上述したハーフ・ブリッジ装置は、前記駆動手段
により上記半導体スイッチを20kHzより高いスイッ
チング周波数を有する制御信号によって駆動し;前記コ
ンデンサ・アセンブリを半導体スイッチを搭載した印刷
回路基板の少なくとも1つのシート・コンデンサおよび
/または中空コイルとして構成された少なくとも1つの
ラップ・コンデンサによって構成し;前記半導体スイッ
チを、中空コイルとして構成された前記ラップ・コンデ
ンサ内に配置し;および中空コイル内に液体冷媒を設け
たことを特徴とする。
【0008】
【作用】本発明では、高いスイッチング周波数に起因し
て、従来のハーフ・ブリッジの場合よりも低いコンデン
サ・アセンブリのキャパシタンスによって制御すること
が可能である。本発明の装置において、コンデンサ・ア
センブリは、従来のハーフ・ブリッジ装置で必要とされ
る容積の約3%を占めるのみである。従来のハーフ・ブ
リッジ装置のコンデンサが全容積の約40%を占めるこ
とを考えると、これは大幅な容積低減となる。さらに、
従来のハーフ・ブリッジ装置のコンデンサは電解コンデ
ンサとして形成され、これは一方において寿命の低下に
つながり、他方において苛酷な条件下での使用が不可能
となる。
【0009】さらに、その高いスイッチング周波数−ス
イッチング周波数は好ましくは100kHz−によっ
て、電流ドレインの曲線形状をさらに正確に選択するこ
とが可能となり、フィルタ費用を低減することができ
る。
【0010】高いスイッチング周波数によって、平滑コ
ンデンサとして所要のキャパシタンス値を得るためには
キャパシタンス保持部品として電源供給ラインを印刷回
路基板およびシュラウド内に形成することで十分である
から、所要のキャパシタンスを半導体スイッチに極めて
近く位置させることができ、以て最適な構成が確保され
る。
【0011】加えて、コンデンサ・アセンブリの一部分
である中空コイルあるいは印刷回路基板上のコンパクト
な構造によって、スイッチング・プロセスの間の過電圧
に関連する問題が実質的に取除かれる。したがって、そ
れらの部品をその絶縁耐力(electric str
ength)の限界まで作動させることが可能となる。
【0012】スイッチング部品を取り囲むコンデンサ・
アセンブリの一部としてシュラウドを形成することによ
り、漂遊電界の放射を最小にすると共に、放射干渉に対
する抵抗力が最大となる。
【0013】容積の減少によって、多数の小型半導体ス
イッチを使用することが可能となり、少ない個数の大型
部品の場合と比較して個別の半導体スイッチの冷却が容
易となる。
【0014】さらに、多数の小型部品の使用によって、
非同期スイッチングが可能となり、それによって、実現
できるキャパシタンスのより有効な利用が可能となる。
【0015】高いスイッチング周波数のために、ライン
に関連する干渉をさらに容易に瀘波して除去することが
できるので、干渉保護対策が従来技術の構成の場合より
簡単である。
【0016】コンパクトな構造は高い電力密度とそれに
対応する冷却対策を必要とするので、選択的な液体冷却
を必要とする一方で、これによって装置のハーメチッ
ク、すなわち液密封止を可能とし、これは最も厳しい安
全条件に準拠している。この点から、小さい容積は、従
来技術の装置のような大容量の場合に比較して封入がさ
らに容易になるのに役立つことがわかる。
【0017】好ましい実施例において、半導体スイッチ
は高速、低損失の電界効果トランジスタ(FET)ある
いは絶縁ゲート端子を有する高速、低損失のバイポーラ
・トランジスタ(IGBT)で形成される。特に、集積
化されたフリーホイール・ダイオードあるいは(付加的
な)外部フリーホイール・ダイオードを有するMOS−
FETが用いることができる。
【0018】第一に、実効電流に関して所要の電力取扱
い容量を達成するために、これらの部品を並列接続する
ことが容易であり、第二に、駆動電力が小さいので、駆
動用電子回路が大きい最終段を必要としない。
【0019】各々が小さいスイッチング容量を持つが容
易に並列接続可能な多数の半導体スイッチング素子を用
いることにより、多数の個別部品が冷媒に容易に接触す
ることができるので、十分な冷却を達成することができ
る。
【0020】簡単に縦続可能なモジュラー構造で、特に
コンパクトな設計を可能とするには、駆動手段を中空コ
イル内に配置するのが有利である。
【0021】可及的最小の誘導性および容量性の供給ラ
インおよび配線形状を得るために、および印刷回路基板
アセンブリ内でできるだけ大きい容量を得るために、好
適実施例における印刷回路基板は、少なくとも第1の導
電層が高電位を伝え、第2の導電層が低電位を伝え、第
1および第2の導電層の間に絶縁層を配置した多層基板
で形成されている。
【0022】このように、実質的に電流供給ライン全体
によってコンデンサが構成され、ここで、絶縁耐力およ
び誘電率を適切に選定することにより、印刷回路基板の
あらかじめ定めた領域の容量特性を確立できる。
【0023】所要に応じて、平滑コンデンサとして動作
するコンデンサ・アセンブリを高容量とするためには、
中空コイルをさらに形成して複数層を構成し、少なくと
も1つの第1の導電層が高電位を伝え、少なくとも1つ
の第2の導電層が低電位を伝え、第1および第2の導電
層の間に絶縁層を配置する。その容量に関しては、ここ
で印刷回路基板の場合と同様のことが適用される。しか
しながら、個々の層を数回ラッピングすることによっ
て、容量を意のままに増加することができる。
【0024】多相動作用のハーフ・ブリッジ装置あるい
はいくつかの並列接続装置において、個々の印刷回路基
板上のアセンブリをたがいに適切に減結合するために
は、中空コイルが、第1および第2の層および絶縁層よ
りなるいくつかのアセンブリを含み、個々のアセンブリ
を、円周方向にずらせた状態で中空コイルの内側に延在
させて、個々の第1および第2の導電層の領域および絶
縁された導電ストリップが露出するようにする。
【0025】このように、個々の同一構造の印刷回路基
板を積み重ねた形態で中空コイル内に挿入し、中空コイ
ルの内側のそれぞれの絶縁された導電ストリップを、た
がいに僅かに回転させて、印刷回路基板の端子点を介し
て接触させる。個々のコンデンサ・アセンブリ間の電圧
破壊を防ぎ、個々のコンデンサをたがいに減結合するた
めに、第1および第2の層ならびに絶縁層からなる個々
のアセンブリを、一のアセンブリの第1または第2の導
電層の各々が他のアセンブリの第1または第2の導電層
にそれぞれ近接して配置され、および個々のアセンブリ
間に薄い絶縁層が配置されるようにサンドイッチするの
が好適である。これにより、個々のアセンブリ間には電
位差が存在しないので、絶縁層はひかえめの条件のみを
満たせばよいことになる。
【0026】好ましくは、第1の導電層が少なくとも3
5〜70μmの厚みを有する銅の層であり、第2の導電
層が少なくとも35〜70μmの厚みを有する銅の層で
あり、絶縁層がポリイミド樹脂の一種であるカプトン
(Kapton;商品名)製の少なくとも10〜20μ
mの厚みを有するプラスチック層である。しかしなが
ら、所要の容量および絶縁耐力に応じて、他の寸法およ
び材料も可能である。
【0027】ハーフ・ブリッジ装置または他の回路配置
を構成し、あるいは特に高いスイッチング容量を有する
ハーフ・ブリッジ装置を提供するためには、中空コイル
の内部に軸方向に間隔を置いた関係でハーフ・ブリッジ
を有するいくつかの印刷回路基板を配置し、その上に、
高電位および低電位用、また各コンデンサ・アセンブリ
用、または制御端子および出力端子用の個々の印刷の回
路基板の端子を、個々の印刷回路基板の周囲に配置し
て、個々の第1および第2の導電層の露出した領域また
は絶縁された導体ストリップとそれぞれ接触させるのが
有利である。
【0028】この構成によって、個々の印刷回路基板の
モジュラー化が可能となり、中空コイルの外部での接続
のみによって、スイッチング容量あるいは回路配置全体
を決定できる。
【0029】たとえば鉱山での操作または他の危険な分
野で有効な安全条件に従うためには、中空コイルにシュ
ラウドを設けて、構造全体が約15バールまでの圧力に
耐えるようにするのが有利である。このようにすること
よって、中空コイルの内部に発生した損傷が外部に伝わ
らないようにすることができる。
【0030】これは、特に、液体冷却を液体フルオロカ
ーボンによる沸騰浴冷却とし、中空コイル内の圧力を5
0ミリバールから3バールまでとし、および半導体スイ
ッチと中空コイルのまわりの雰囲気との温度差を約10
℃とした場合にあてはまる。これに関連して、半導体ス
イッチのまわりの液体フルオロカーボンは、環境に対す
る半導体スイッチの封止部材として作用し、単にプラス
チックで覆われただけの従来の部品が、ハーメチック封
止されたMIL部品と同等の寿命を持つようになる。
【0031】冷却剤としてのフルオロカーボンは環境に
は比較的適合するが、高価であるために殆ど使われてい
ない。本発明によれば装置がコンパクトなので、僅かな
量のフルオロカーボンしか必要としないため、フルオロ
カーボンの価格はもはや決定的な重要性を持たない。
【0032】中空コイルを耐圧封止しているので、沸騰
冷却はフルオロカーボンの蒸気圧曲線に沿って行なわれ
る。その結果、半導体スイッチにおける僅かな温度上昇
があっても冷却が直ちに始まる。
【0033】半導体スイッチをできるだけ低い温度に保
つために、沸騰浴冷却は、中空コイルの外側表面に配設
した対流冷却手段を介して中空コイル内部からの熱を除
去する流下冷却熱交換器(down−cooling
heat exchanger)を備える。
【0034】
【実施例】本発明ハーフ・ブリッジ装置の一応用例とし
て、図1は、同一構造の二つのハーフ・ブリッジ装置1
0,10′を有する単相インバータを示す。したがっ
て、以下では、両ハーフ・ブリッジ装置の一方のみを詳
細に説明し、他方のハーフ・ブリッジ装置は同一参照番
号にアポストロフィを付して示す。
【0035】ハーフ・ブリッジ装置10は、並列に接続
されて半導体スイッチとして動作する4組のn−チャン
ネルMOSFET対12a,12b,12c,12dを
有する。各対を形成するそれぞれ2つのn−チャンネル
MOSFET14,21;15,20;16,19;1
7,18は直列に接続されて、各対の第1のn−チャン
ネルMOSFET14;15;16;17のソース端子
は高電位VSSにあり、各対の第2のn−チャンネルMO
SFET21;20;19;18のドレイン端子は低電
位VDDにある。出力端子Aを形成する目的で、第1のn
−チャンネルMOSFET14;15;16;17のそ
れぞれのドレイン端子を第2のn−チャンネルMOSF
ET21;20;19;18のそれぞれのソース端子に
接続する。第1のn−チャンネルMOSFET14;1
5;16;17の群あるいは第2のn−チャンネルMO
SFET21;20;19;18の群のそれぞれに対す
る駆動手段23,24を、第1および第2のn−チャン
ネルMOSFETのそれぞれの群の並列に接続された制
御入力端子に接続する。n−チャンネルMOSFETの
ソースあるいはドレイン端子への高および低電位(VSS
およびVDD)用の供給ラインは、それぞれヒューズ2
6,27で個別に保護されている。
【0036】高および低電位VSSおよびVDDの間には、
平滑コンデンサとして動作するコンデンサ30が配設さ
れている。コンデンサ30の実際の設計については後述
する。各駆動手段23,24は、20kHz以上のスイ
ッチング周波数の制御信号でn−チャンネルMOSFE
Tの各群を駆動する。スイッチング周波数は、100k
Hz以下であることが好ましい。
【0037】図2に示すように、コンデンサ・アセンブ
リ30はMOSFETを有する印刷回路基板33におけ
る少なくとも1つのシート・コンデンサ30aによって
形成されている。2枚の70μm厚さの銅層34,35
を、カプトン(Kapton;商品名)製の10〜20
μm厚さの絶縁層で互に分離する。銅層34,35に
は、高および低電位VSSおよびVDDを印加する。
【0038】第2に、図3および図4に示すように、コ
ンデンサ・アセンブリ30を、中空コイル40として設
計されたラップ・コンデンサ30bによって形成する。
わかりやすくするために、各コンデンサ・アセンブリ3
0bに対して、1つの層のみを示し、全体として2つの
層のみを示す。しかしながら、実際には、各コンデンサ
・アセンブリにいくつかの層を設け、および各印刷回路
基板に別個のコンデンサ・アセンブリ30bを設けるも
のとする。
【0039】上述の中空コイル40は実質的に円筒形状
のものであり、それぞれ1つの絶縁層36を有する数層
の銅層34,35を有する。個々のコンデンサ・アセン
ブリ間の絶縁耐力を改善し、良好な減結合を得るため
に、銅層34,35および1つの絶縁層36を有する個
々のアセンブリを、一のアセンブリの第1または第2の
銅層34,35のそれぞれが、他方のアセンブリ3
4′,35′,36′の第1または第2の銅層34′,
35′のそれぞれに近接して配置されるようにサンドイ
ッチする。個々のアセンブリ34,35,36と3
4′,35′,36との間には、薄い絶縁層39を配置
する。換言すると、隣接するコンデンサ・アセンブリ3
0b,30b′を互に隣接して反対方向に配置する。
【0040】中空コイル40として形成されたラップ・
コンデンサ30bの内部には、個々の半導体アセンブリ
を有するいくつかの印刷回路基板33が互に積み重ねら
れている。
【0041】中空コイル40の一端を凸状エンド・キャ
ップ42によって液密に封止する一方、同他端にびん状
にテーパーを付けて、接続片43にまで延在させ、そこ
から供給電圧用端子44、出力ライン、および制御ライ
ンを外側に突出させる。
【0042】積み重ねられた印刷回路基板33の各々に
別個のコンデンサ30b、別個の出力端子A、ならびに
端子44と簡単に接続可能な対応する制御端子を設ける
ことができるようにするために、中空コイル40の構造
は、個々の銅層が中空コイル40の内面に円周方向にず
れた状態で延在して、個々の第1および第2の銅層3
4,35,34′,35′の領域34a,35a,3
4′a,35′aならびに絶縁された導電ストリップ4
5が出力端子Aに対して露出するように工夫されてい
る。
【0043】高および低電位用、それぞれのコンデンサ
・アセンブリ用あるいは制御端子および出力端子用の端
子を、外径が中空コイル40の内径とほぼ対応する円形
ディスク形状の印刷回路基板33の周囲に沿って配置し
て、これら端子が個々の第1および第2の銅層の露出し
た領域34a,35a,34′a,35′aあるいは絶
縁された導電ストリップ45にそれぞれ接触するように
する。
【0044】中空コイルは、装置全体が約15バールま
での圧力に耐えるようにシュラウドを備えている。
【0045】中空コイルの内部には液体フルオロカーボ
ンを充填して、この液体が半導体スイッチを覆うように
する。フルオロカーボンの気相が液相から逃げられるよ
うに、液面とキャップ42との間には空所が設けられて
いる。中空コイル40内のガス圧は、フルオロカーボン
の蒸気圧曲線にしたがって50ミリバールから3バール
までの間に設定されて、動作状態において、MOSFE
Tに僅かな温度上昇があっても、フルオロカーボンの液
相が直ちに沸騰を開始するようにする。したがって、半
導体スイッチと中空コイルのまわりの雰囲気との温度差
は、僅かに約10℃となる。
【0046】中空コイル40は、(模式的にのみ示され
ている)ファン冷却装置50による対流冷却によって外
部冷却されるので、フルオロカーボンの気相は外部冷却
された中空コイルの内壁において凝縮し、液状態でMO
SFETのまわりの液体フルオロカーボンへポンプ手段
(図示せず)を介して戻される。この構造は、中空コイ
ル40の外側表面に配設された対流冷却手段55を介し
て、中空コイル40の内部から放熱する熱を除去する流
下冷却用熱交換器として機能する。
【0047】図4において、中空コイル40が垂直に示
され、液体フルオロカーボン上方の自由空間は気相に対
して比較的小さく、凝縮が起こる内壁の面積もまた比較
的小さい。したがって、中空コイルを水平に配置し、そ
れに応じて、印刷回路基板を設計して取り付けて、充填
高さおよび中空コイル40の長さおよび直径のある比に
対して大きい凝縮面積を作り出すようにするのが有利で
ある。
【0048】
【発明の効果】本発明によれば、スイッチング周波数を
高くできるので、コンデンサ・アセンブリの容積を従来
の場合よりも大幅に低減させることができ、しかも所要
のキャパシタンスを半導体スイッチに極めて近く位置さ
せることができることによってハーフ・ブリッジ装置と
して最適な構成を確保できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】2つのハーフ・ブリッジ装置を有する単相イン
バータの回路図である。
【図2】ハーフ・ブリッジ装置を搭載した印刷回路基板
の部分断面図である。
【図3】中空コイルの縦方向部分断面図である。
【図4】中空コイル内にいくつかの印刷回路基板を有す
るハーフ・ブリッジ装置の縦方向部分断面図である。
【符号の説明】
10,10′ 単相インバータ 12a〜12d n−チャンネルMOSFET対 14,21;15,20;16,19;17,18 n
−チャンネルMOSFET 23,24 駆動手段 26,27 ヒューズ 30 コンデンサ・アセンブリ 30a シート・コンデンサ 30b ラップ・コンデンサ 33 印刷回路基板 34,34′,35,35′ 銅層 34a,34´a,35a,35´a 領域 36 絶縁層 39 絶縁層 40 中空コイル 42 凸状エンド・キャップ 43 接続片 44 供給電圧用端子 50 ファン冷却装置 52 シュラウド 55 対流冷却手段 A 出力端子
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ベルンハルト ホフマン ドイツ連邦共和国 ディー−8130 シュタ ーンベルグ ペータースブルンネル シュ トラーセ 4

Claims (15)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ハーフ・ブリッジ(12a;12b;1
    2c;12d)を形成する少なくとも2つの半導体スイ
    ッチ(14,21;15,20;16,19;17,1
    8)を直列に接続し;それぞれの半導体スイッチ(1
    4,21;15,20;16,19;17,18)は駆
    動手段(23,24)に接続された制御入力端子(G)
    を備え;各第1の半導体スイッチ(14,15;16,
    17)のソース端子(S)が高電位(VSS)にあり;各
    第2の半導体スイッチ(18;19;20;21)のド
    レイン端子(D)が低電位(VDD)にあり;各第1の半
    導体スイッチ(14;15;16;17)のドレイン端
    子(D)を各第2の半導体スイッチ(18;19;2
    0;21)のソース端子(S)に接続して出力端子
    (A)を構成し;少なくとも1つのコンデンサ・アセン
    ブリ(30)を高および低電位(VSS,VDD)の間に配
    置して、電力を切り替えるためのハーフ・ブリッジ装置
    において、 前記駆動手段(23,24)により前記半導体スイッチ
    (14,21;15,20;16,19;16,17)
    を20kHzより高いスイッチング周波数を有する制御
    信号によって駆動し;前記コンデンサ・アセンブリ(3
    0)を、半導体スイッチ(14,21;15,20;1
    6,19;17,18)を搭載した印刷回路基板(3
    3)の少なくとも1つのシート・コンデンサ(30a)
    および/または中空コイル(40)として構成された少
    なくとも1つのラップ・コンデンサ(30b)によって
    構成し;前記半導体スイッチ(14,21;15,2
    0;16,19;17,18)を、中空コイル(40)
    として構成された前記ラップ・コンデンサ(30b)内
    に配置し;および前記中空コイル(40)内に流体冷媒
    を設けたことを特徴とするハーフ・ブリッジ装置。
  2. 【請求項2】 前記中空コイル(40)を液密の形態で
    封止したことを特徴とする請求項1記載のハーフ・ブリ
    ッジ装置。
  3. 【請求項3】 前記半導体スイッチ(14,21;1
    5,20;16,19;17,18)を高速低損失の電
    界効果トランジスタ(FET)または絶縁ゲート端子付
    きの高速低損失の電界効果トランジスタ(IGBT)に
    よって形成したことを特徴とする請求項1記載のハーフ
    ・ブリッジ装置。
  4. 【請求項4】 前記直列に接続された半導体スイッチ
    (14,21;15,20;16,19;17,18)
    のいくつかの組を並列に接続したことを特徴とする請求
    項1ないし3のいずれかに記載のハーフ・ブリッジ装
    置。
  5. 【請求項5】 前記半導体スイッチ(14,21;1
    5,20;16,19;17,18)を、それぞれが小
    さいスイッチング容量を有する多数の個別半導体スイッ
    チング素子で構成したことを特徴とする請求項1ないし
    4のいずれかに記載のハーフ・ブリッジ装置。
  6. 【請求項6】 前記駆動手段(23,24)の各々を前
    記中空コイル(40)内に配置したことを特徴とする請
    求項1ないし5のいずれかに記載のハーフ・ブリッジ装
    置。
  7. 【請求項7】 前記印刷回路板(33)を、 高電位を伝える第1の導電層(34);低電位を伝える
    第2の導電層(35);および第1および第2の導電層
    (34,35)の間に配置された絶縁層(36)を少な
    くとも有する多層板として形成したことを特徴とする請
    求項1ないし6のいずれかに記載のハーフ・ブリッジ装
    置。
  8. 【請求項8】 前記中空コイル(40)を、 高電位を伝える少なくとも第1の導電層(34);低電
    位を伝える少なくとも第2の導電層(35);および前
    記第1および第2の導電層(34,35)の間に配置さ
    れた絶縁層(36)を有する複数の層で形成したことを
    特徴とする請求項1ないし7のいずれかに記載のハーフ
    ・ブリッジ装置。
  9. 【請求項9】 前記中空コイル(40)は、第1および
    第2の層(34,35;34′,35′)ならびに絶縁
    層(36,36′)を有する複数のアセンブリを備え;
    個々のアセンブリを円周方向にずらせた状態で前記中空
    コイル(40)の内側に延在させて、個々の第1および
    第2の導電層(34,35;34′,35′)の領域
    (34a,35a;34′a,35′a)ならびに絶縁
    された導電ストリップ(45)が露出するようにしたこ
    とを特徴とする請求項1ないし8のいずれかに記載のハ
    ーフ・ブリッジ装置。
  10. 【請求項10】 一のアセンブリの第1または第2の導
    電層(35)を、それぞれ、他のアセンブリの第1また
    は第2の導電層(35′)に近接して配置し、および個
    々のアセンブリの間に薄い絶縁層(39)を配置して、
    第1および第2の層(34,35;34′,35′)な
    らびに絶縁層(36,36′)からなる個々のアセンブ
    リがサンドイッチされるようにしたことを特徴とする請
    求項1ないし9のいずれかに記載のハーフ・ブリッジ装
    置。
  11. 【請求項11】 前記第1の導電層(34;34′)が
    少なくとも70μmの厚みを有する銅の層であり;前記
    第2の導電層(35;35′)が少なくとも70μmの
    厚みを有する銅の層であり;前記絶縁層(36;3
    6′)がカプトンで作られた少なくとも10−20μm
    の厚みを有するプラスチック層であることを特徴とする
    請求項1ないし10のいずれかに記載のハーフ・ブリッ
    ジ装置。
  12. 【請求項12】 ハーフ・ブリッジ(12,12′)を
    有する複数の印刷回路基板(33)を前記中空コイル
    (40)の内部に軸方向に間隔を置いて配置し;高およ
    び低電位用または関連するコンデンサ・アセンブリ(3
    0)用または制御端子および出力端子(A)用のそれぞ
    れの印刷回路基板の端子を、それらが前記個々の第1お
    よび第2の導電層(34,35;34′,35′)の露
    出領域あるいは前記絶縁された導電ストリップ(45)
    と接触するように、個々の印刷回路基板(33)の周囲
    に配置したことを特徴とする請求項1ないし11のいず
    れかに記載のハーフ・ブリッジ装置。
  13. 【請求項13】 前記中空コイル(40)はシュラウド
    (52)を備えて、全体の装置が約15バールまでの圧
    力に耐えるようにしたことを特徴とする請求項1ないし
    12のいずれかに記載のハーフ・ブリッジ装置。
  14. 【請求項14】 流体冷却を、中空コイル(40)内の
    圧力が50ミリバールから3バールまでで、および半導
    体スイッチ(14,21;15,20;16,19;1
    7,18)と中空コイル(40)のまわりの雰囲気との
    間の温度差が約10℃である液体フルオロカーボンの沸
    騰浴冷却として行うことを特徴とする請求項1ないし1
    3のいずれかに記載のハーフ・ブリッジ装置。
  15. 【請求項15】 前記沸騰浴冷却は、中空コイル(4
    0)の外側表面に配設された対流冷却手段(55)を介
    して中空コイル(40)内部からの放散熱を除去する流
    下冷却熱交換器を含むことを特徴とする請求項1ないし
    14のいずれかに記載のハーフ・ブリッジ装置。
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