JPH077856B2 - 工業用レーザーのための装置 - Google Patents
工業用レーザーのための装置Info
- Publication number
- JPH077856B2 JPH077856B2 JP63173628A JP17362888A JPH077856B2 JP H077856 B2 JPH077856 B2 JP H077856B2 JP 63173628 A JP63173628 A JP 63173628A JP 17362888 A JP17362888 A JP 17362888A JP H077856 B2 JPH077856 B2 JP H077856B2
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- Japan
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- gas
- flange
- corner
- industrial
- radial blower
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/06—Construction or shape of active medium
- H01S3/07—Construction or shape of active medium consisting of a plurality of parts, e.g. segments
- H01S3/073—Gas lasers comprising separate discharge sections in one cavity, e.g. hybrid lasers
- H01S3/076—Folded-path lasers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
- Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は工業用レーザー（Leistungslaser）のための装
置に関する。
置に関する。
Ｃ−E Industrial Lasers,Inc,32 Cobbel Hill Road,So
merville,Massachusetts 02143,USA,のカタログから出
願人には以下のCO2−工業用レーザーのための装置が公
知である。すなわち、光線路が４角形であり、第１のコ
ーナ中間フランジおよび第１の方向変換ミラーを前記光
線路の第１のコーナ範囲に備え、第２のコーナ中間フラ
ンジおよび第２の方向変換ミラーを前記光線路の第２の
コーナ範囲に備え、第３のコーナ中間フランジおよび第
３の方向変換ミラーを前記光線路の第３のコーナ範囲に
備え、エンドフランジ，射出ミラーおよび180°全反射
ミラーを前記光線路の第４のコーナ範囲に備え、第１の
ガスパイプラインを第１および第２のコーナ中間フラン
ジの間に備え、第２のガスパイプラインを第２および第
３のコーナ中間フランジの間に備え、第３のガスパイプ
ラインを第３コーナ中間フランジとエンドフランジとの
間に備え、第４のガスパイプラインをエンドフランジと
第１のコーナ中間フランジとの間に備え、ガスパイプラ
イン中を流れる励起された（エキサイティング）ガスの
ためにガスパイプラインに接続される高周波ポンプ電極
を備え、ガスパイプラインに冷却されたガスを運ぶ為の
ガス供給装置を備え、ガスパイプラインから加熱された
ガスを運ぶ為のガス排出装置を備え、ガスパイプライン
中を流れる冷却ガスの為の熱交換装置を備え、ガスパイ
プライン中を通る流入ガスのためにガス供給装置および
ガス排出装置に接続されるガスポンプを備え、且つコー
ナ中間フランジおよびエンドフランジを支持するベース
装置を備えたCO2−工業用レーザーのための装置であ
る。
merville,Massachusetts 02143,USA,のカタログから出
願人には以下のCO2−工業用レーザーのための装置が公
知である。すなわち、光線路が４角形であり、第１のコ
ーナ中間フランジおよび第１の方向変換ミラーを前記光
線路の第１のコーナ範囲に備え、第２のコーナ中間フラ
ンジおよび第２の方向変換ミラーを前記光線路の第２の
コーナ範囲に備え、第３のコーナ中間フランジおよび第
３の方向変換ミラーを前記光線路の第３のコーナ範囲に
備え、エンドフランジ，射出ミラーおよび180°全反射
ミラーを前記光線路の第４のコーナ範囲に備え、第１の
ガスパイプラインを第１および第２のコーナ中間フラン
ジの間に備え、第２のガスパイプラインを第２および第
３のコーナ中間フランジの間に備え、第３のガスパイプ
ラインを第３コーナ中間フランジとエンドフランジとの
間に備え、第４のガスパイプラインをエンドフランジと
第１のコーナ中間フランジとの間に備え、ガスパイプラ
イン中を流れる励起された（エキサイティング）ガスの
ためにガスパイプラインに接続される高周波ポンプ電極
を備え、ガスパイプラインに冷却されたガスを運ぶ為の
ガス供給装置を備え、ガスパイプラインから加熱された
ガスを運ぶ為のガス排出装置を備え、ガスパイプライン
中を流れる冷却ガスの為の熱交換装置を備え、ガスパイ
プライン中を通る流入ガスのためにガス供給装置および
ガス排出装置に接続されるガスポンプを備え、且つコー
ナ中間フランジおよびエンドフランジを支持するベース
装置を備えたCO2−工業用レーザーのための装置であ
る。
前記カタログからは、上述した従来の技術に示す工業用
レーザーのための装置の仕様が判明するのみであり、ガ
ス供給装置，ガス排出装置，熱交換器，ガスポンプおよ
びベース装置は判明しない。然しこれらの装置は何れに
しろ補足せねばならないであろう。何故ならば例えばレ
ーザーがガスポンプなしで使用し得る訳がないからであ
る。
レーザーのための装置の仕様が判明するのみであり、ガ
ス供給装置，ガス排出装置，熱交換器，ガスポンプおよ
びベース装置は判明しない。然しこれらの装置は何れに
しろ補足せねばならないであろう。何故ならば例えばレ
ーザーがガスポンプなしで使用し得る訳がないからであ
る。
発明の目的は簡単な構造の、出力の小さい、細いガス配
管で済ますことの出来る工業用レーザーのための装置を
提供することにある。
管で済ますことの出来る工業用レーザーのための装置を
提供することにある。
本発明による工業用レーザーのための装置は上記目的を
達成するために、主請求項に示す如く、 ａ）第１から第４ガスパイプラインの各途中に貫通フラ
ンジが夫々接続され、且つこの貫通フランジは接続され
ているガスパイプラインを夫々２つのガスパイプ部分ラ
インに分割し、 ｂ）ガスパイプラインは直角四辺をなし、 ｃ）コーナ範囲を横切る対角線の略交差部付近にガスポ
ンプが設けられ、 ｄ）前記ガスポンプがターボラジアルブロワであり、ガ
ス供給装置およびガス排出装置のそれぞれの少なくとも
部分区間が、ターボラジアルブロワとコーナ中間フラン
ジ間、ターボラジアルブロワと貫通フランジ間、および
ターボラジアルブロワとエンドフランジ間で星形装置と
して配置され、 ｅ）ターボラジアルブロワは前記星形装置に直交する軸
心を有し、且つこの軸心は前記対角線の交差領域を実質
的に横切り、 ｆ）前記星形装置は、前記ガス供給装置とガス排出装置
の部分区間が走行する中空を備え、 ｇ）４つの部分区間がガス供給のために、また４つの部
分区間がガス排出のために設けられており、一方の部分
区間はコーナ中間フランジおよびエンドフランジに続く
のに対し、他方の部分区間は貫通フランジに続き、 ｈ）ターボラジアルブロワは、少なくとも間接的に前記
星形装置にフランジ接続されている ことを特徴としている。
達成するために、主請求項に示す如く、 ａ）第１から第４ガスパイプラインの各途中に貫通フラ
ンジが夫々接続され、且つこの貫通フランジは接続され
ているガスパイプラインを夫々２つのガスパイプ部分ラ
インに分割し、 ｂ）ガスパイプラインは直角四辺をなし、 ｃ）コーナ範囲を横切る対角線の略交差部付近にガスポ
ンプが設けられ、 ｄ）前記ガスポンプがターボラジアルブロワであり、ガ
ス供給装置およびガス排出装置のそれぞれの少なくとも
部分区間が、ターボラジアルブロワとコーナ中間フラン
ジ間、ターボラジアルブロワと貫通フランジ間、および
ターボラジアルブロワとエンドフランジ間で星形装置と
して配置され、 ｅ）ターボラジアルブロワは前記星形装置に直交する軸
心を有し、且つこの軸心は前記対角線の交差領域を実質
的に横切り、 ｆ）前記星形装置は、前記ガス供給装置とガス排出装置
の部分区間が走行する中空を備え、 ｇ）４つの部分区間がガス供給のために、また４つの部
分区間がガス排出のために設けられており、一方の部分
区間はコーナ中間フランジおよびエンドフランジに続く
のに対し、他方の部分区間は貫通フランジに続き、 ｈ）ターボラジアルブロワは、少なくとも間接的に前記
星形装置にフランジ接続されている ことを特徴としている。
上記の如き工業用レーザーのための装置においては、ガ
スパイプラインを正方形にすることが好ましい。
スパイプラインを正方形にすることが好ましい。
また、上記の如き工業用レーザーのための装置において
は、ガス供給のための部分区間をコーナ中間フランジお
よびエンドフランジに接続し、ガス排出の為の部分区間
を貫通フランジに接続することができる。
は、ガス供給のための部分区間をコーナ中間フランジお
よびエンドフランジに接続し、ガス排出の為の部分区間
を貫通フランジに接続することができる。
本発明による他の工業用レーザーのための装置は、上記
主発明のものにおいて、各中空が部分区間を限定する上
壁面および下壁面により形成され、且つ上壁面と下壁面
の間にガス密的な隔壁が走行することを特徴としてい
る。
主発明のものにおいて、各中空が部分区間を限定する上
壁面および下壁面により形成され、且つ上壁面と下壁面
の間にガス密的な隔壁が走行することを特徴としてい
る。
本発明による工業用レーザーのための装置の他の数ある
特徴は、後述する発明の詳細な説明において明らかにさ
れるであろう。
特徴は、後述する発明の詳細な説明において明らかにさ
れるであろう。
上記した主発明の工業用レーザーのための装置は、項目
ａ）のように構成したことにより、コーナ中間フランジ
およびエンドフランジに限定されることなくガスが供給
されることが可能である。それどころかガスの供給およ
び排出に用いることの出来る個所がこの外に更に４つ設
けられている。従って、レーザーの光線路に対し、よく
冷却されたガスを供給することが可能である。
ａ）のように構成したことにより、コーナ中間フランジ
およびエンドフランジに限定されることなくガスが供給
されることが可能である。それどころかガスの供給およ
び排出に用いることの出来る個所がこの外に更に４つ設
けられている。従って、レーザーの光線路に対し、よく
冷却されたガスを供給することが可能である。
また、項目ｂ）のようにしたことにより、加工ステーシ
ョンとしての生産ラインに適した形の構成ユニットが得
られる。
ョンとしての生産ラインに適した形の構成ユニットが得
られる。
項目ｃ）のようにしたことによって、光線路からガスポ
ンプ迄およびその戻りのガスの流路が最短距離を選び、
よく冷却されたガスを光線路に供給することができる。
ンプ迄およびその戻りのガスの流路が最短距離を選び、
よく冷却されたガスを光線路に供給することができる。
さらに項目ｄ）のようにしたことにより、より冷却され
たガスが光線路に供給される。すなわち、ターボラジア
ルブロワは極めて高い出力を持ち且つ小型であるために
光線路の近傍に設けることができる上、ガスの排出およ
び供給回路の長くなることを不可避にする機械的な射出
機構を必要としない。また、ターボダジアルブロワはサ
ーキュラプランジャポンプと異なり対称型にも対応す
る。しかも、星状の接続は最短の接続であり、更に光線
路の何れの部分もシステマティックな優劣を生じること
がなくなる。
たガスが光線路に供給される。すなわち、ターボラジア
ルブロワは極めて高い出力を持ち且つ小型であるために
光線路の近傍に設けることができる上、ガスの排出およ
び供給回路の長くなることを不可避にする機械的な射出
機構を必要としない。また、ターボダジアルブロワはサ
ーキュラプランジャポンプと異なり対称型にも対応す
る。しかも、星状の接続は最短の接続であり、更に光線
路の何れの部分もシステマティックな優劣を生じること
がなくなる。
項目ｅ）のようにしたことにより、対称の考え方が完全
に満足され、ガスの流れの回路は更に負荷が等しくされ
る。
に満足され、ガスの流れの回路は更に負荷が等しくされ
る。
項目ｆ）のようにしたことで、星形装置に、断面が比較
的大きく、保障され、流れにとって有利な部分区間を設
けることができる。こうした星形装置はガスの誘導とと
もにベンチの役割も兼ねる。
的大きく、保障され、流れにとって有利な部分区間を設
けることができる。こうした星形装置はガスの誘導とと
もにベンチの役割も兼ねる。
項目ｇ）のようにすれば、数は少ないが断面が大きく、
且つ流体抵抗の少ない部分区間を設けることができ、且
つこの区間は判り易く負荷を等しくされることのできる
フローシートを持つ。また、フランジはフレッシュガス
に対してはディストリビュータとして用いられると同時
に使用済みのガスに対してマニホールドとして用いら
れ、しかも一つのフランジで配分されるが他のフランジ
では収集され、三番目のフランジでは再び配分されるが
如き方法を用いることができる。
且つ流体抵抗の少ない部分区間を設けることができ、且
つこの区間は判り易く負荷を等しくされることのできる
フローシートを持つ。また、フランジはフレッシュガス
に対してはディストリビュータとして用いられると同時
に使用済みのガスに対してマニホールドとして用いら
れ、しかも一つのフランジで配分されるが他のフランジ
では収集され、三番目のフランジでは再び配分されるが
如き方法を用いることができる。
項目ｈ）によれば、部分区間は最適の短さに定められ、
且つ別個にホースを必要とされることはない。
且つ別個にホースを必要とされることはない。
上記ａ）〜ｈ）の如き特徴を備えるものにおいて、請求
項２の如く直角四辺形であるガスパイプラインを正方形
としたものにあっては、構成ユニットの構想が更に完全
なものにされる。各ガスパイプラインは等しくレーザ出
力に寄与し、コーナ中間フランジは同じデザインを持
ち、かつ要部は対角線の交点から等しい距離に位置す
る。
項２の如く直角四辺形であるガスパイプラインを正方形
としたものにあっては、構成ユニットの構想が更に完全
なものにされる。各ガスパイプラインは等しくレーザ出
力に寄与し、コーナ中間フランジは同じデザインを持
ち、かつ要部は対角線の交点から等しい距離に位置す
る。
請求項３の如くすれば、コーナ中間フランジに在るミラ
ーは高い冷却度が得られるのに対し貫通フランジには高
温ガスが流れる。
ーは高い冷却度が得られるのに対し貫通フランジには高
温ガスが流れる。
請求項４の如くすれば、すべての部分区間を収納するの
に直接光学ベンチを用いることができる。星形装置は特
に全体を熔接構造が用いられる時には隔壁により補剛さ
れる。
に直接光学ベンチを用いることができる。星形装置は特
に全体を熔接構造が用いられる時には隔壁により補剛さ
れる。
出力が500ワットのCO2−レーザー11がテーブル12の上に
設けられ、且つこのテーブル12と強固に結合されてい
る。テーブル12の下にはターボラジアルブロワ13が設け
られ、且つこれはテーブル12の下にネジ結合されてい
る。このようにしたことにより、分解組立ての容易なユ
ニットが得られる。防震装置も又省略することが出来る
がこれはターボラジアルブロワ13が極めて高い回転数を
持つことり因るものである。ターボラジアルブロワ13の
軸心はテーブル12に垂直に交わっており、このようにす
ることにより、震動の少ないスペースが確保され、ター
ボラジアルブロワ13と同じ高さにテーブル12を更に近づ
けることが出来る。第３図および第４図に示される装置
は一つのユニットである。ユニットは図に示されていな
い架台の上に設けられている。レーザーは一点鎖線で示
されたレーザー光線路14を持つ。光線路14は正方形を為
している。光線路14の長さは2650mmである。光線路14の
直径は10mmであり、放射モードはTEM00である。
設けられ、且つこのテーブル12と強固に結合されてい
る。テーブル12の下にはターボラジアルブロワ13が設け
られ、且つこれはテーブル12の下にネジ結合されてい
る。このようにしたことにより、分解組立ての容易なユ
ニットが得られる。防震装置も又省略することが出来る
がこれはターボラジアルブロワ13が極めて高い回転数を
持つことり因るものである。ターボラジアルブロワ13の
軸心はテーブル12に垂直に交わっており、このようにす
ることにより、震動の少ないスペースが確保され、ター
ボラジアルブロワ13と同じ高さにテーブル12を更に近づ
けることが出来る。第３図および第４図に示される装置
は一つのユニットである。ユニットは図に示されていな
い架台の上に設けられている。レーザーは一点鎖線で示
されたレーザー光線路14を持つ。光線路14は正方形を為
している。光線路14の長さは2650mmである。光線路14の
直径は10mmであり、放射モードはTEM00である。
光線路14は３つのコーナ中間フランジ16,17,18を中に持
つが、これらは模式的に示された45°のミラーを内蔵す
るとともにガスパイプのサポート19をも備える。第４番
目のコーナにはエンドフランジ21が設けられ、且つこれ
は全反射ミラー22および射出可能ミラー23を持つ。エン
ドフランジ21内では光線路14は90°で交叉している。第
１のコーナ中間フランジ16と第２のコーナ中間フランジ
17との間の正確に中央には第１ガスパイプライン24の中
に第１貫通フランジ26が設けられ、且つこれはその両側
に於てサポート19を持つ。貫通フランジ26とコーナ中間
フランジ16の間にガスパイプライン27が走行し、且つこ
のパイプはその両端に於てガス密的にシールされ、且つ
貫通フランジ26とコーナ中間フランジ17との間にはガス
パイプ28があり、且つこのパイプはサポート19の中でガ
ス密的にシールされている。二つのガスパイプ2728は高
周波電極30により取巻かれている。第２のガスパイプラ
イン29の中では正確に中央の位置に第２の貫通フランジ
31が設けられている。第３のガスパイプライン32に於て
は、その正確に中央の位置に於て第３の貫通フランジ33
があり、且つ第４のガスパイプライン34には同様にして
第４の貫通フランジ36が設けられている。ガスパイプラ
インは夫々互いに直交し、交叉点37を越えて延びる光線
路を無視する時には幾何学的な正方形を形成する。ガス
パイプライン27,28および電極30に関する条件は、各光
線路に於て等しいからこれらの説明は省略する。
つが、これらは模式的に示された45°のミラーを内蔵す
るとともにガスパイプのサポート19をも備える。第４番
目のコーナにはエンドフランジ21が設けられ、且つこれ
は全反射ミラー22および射出可能ミラー23を持つ。エン
ドフランジ21内では光線路14は90°で交叉している。第
１のコーナ中間フランジ16と第２のコーナ中間フランジ
17との間の正確に中央には第１ガスパイプライン24の中
に第１貫通フランジ26が設けられ、且つこれはその両側
に於てサポート19を持つ。貫通フランジ26とコーナ中間
フランジ16の間にガスパイプライン27が走行し、且つこ
のパイプはその両端に於てガス密的にシールされ、且つ
貫通フランジ26とコーナ中間フランジ17との間にはガス
パイプ28があり、且つこのパイプはサポート19の中でガ
ス密的にシールされている。二つのガスパイプ2728は高
周波電極30により取巻かれている。第２のガスパイプラ
イン29の中では正確に中央の位置に第２の貫通フランジ
31が設けられている。第３のガスパイプライン32に於て
は、その正確に中央の位置に於て第３の貫通フランジ33
があり、且つ第４のガスパイプライン34には同様にして
第４の貫通フランジ36が設けられている。ガスパイプラ
インは夫々互いに直交し、交叉点37を越えて延びる光線
路を無視する時には幾何学的な正方形を形成する。ガス
パイプライン27,28および電極30に関する条件は、各光
線路に於て等しいからこれらの説明は省略する。
正方形のコーナを通過する対角線38,39は交点41を持
つ。
つ。
テーブル12は（コーナに認められる斜行部は別として）
同様に辺長が85cmである。テーブルは何れも一枚の鋼板
から成る平坦な上面壁42と平坦な下面壁43を備える。鋼
板自身は規定に従って設けられた開口を除きガス密的で
ある。テーブル12はその全周を周壁44により囲まれ、且
つこの周壁44は内部の中空部分46を外部に対してガス密
的にシールし、且つ上面壁42および下面壁43に熔接され
ている。下面壁43は交点41と同軸の中央孔47を有してい
る。対角線の片側長の約1/3の半径上に下面壁43は４つ
の穴48,49,51,52を持つ。このようにすれば、ガス供給
および排出の為の部分区間の負荷は絶対的に等しく、且
つ対称性も完全となり、且つ冷却されたガスは最も迅速
な回路を経てコーナ中間フランジ16,17,18に達すること
が出来る。穴49,52を通って対角線39が走行し、又穴48,
51の中央を対角線38が走行する。下面壁43の下側では、
ブロワ13のケーシング53がガス密的にネジ固定されてい
る。モーター54が一つのステーター56および一つのロー
タ57を持ち、且つそのシャフト58は幾何学的長軸59を持
ち、且つこれは交点41を通過する。このようにすれば対
称の考え方を完全に満足することが出来るが、この事は
テーブル12の負荷、ガスの運動に関し、且つモジュール
タイプの明確な構造の持つ長所を意味する。シャフト58
上にはタービンロータ61が設けられ、且つこのロータ61
はその上端面の上に負圧室である吸引スペース62を持
ち、且つこのスペース62は中央の孔47と連続している。
すなわち、ターボラジアルブロワ13のケーシング53は、
ロータ57に同軸的に排出口を持ち、且つこれはガス排出
のための貫通路に連続している。したがって、ターボラ
ジアルブロワ13をテーブル12一杯に近づけることがで
き、テーブル12の下面壁43には中央に唯一の孔47をあけ
るだけで良い。正圧室である圧力室63はケーシング53の
中におけるタービンロータ61の下流側に設けられる。こ
のようにすれば、テーブル12の中のみならずターボラジ
アルブロワ13からテーブル12迄の配管を省略すると同時
にターボラジアルブロワ13をテーブル12の近傍に極めて
接近させることが出来る。圧力室63は上方に向う支流64
を備え、且つこれは穴48〜52と連通している。これによ
りターボラジアルブロワ13をテーブル12に直結すること
が出来、且つ光学的ベンチとガスディストリビューター
の二重の機能を最適の形で利用することができる。第２
図に示すように、穴48からは第１の部分区間66が延び、
且つこの中ではガスは矢印67に従って流れる。上面壁42
と下面壁43との間いは互いに直交する隔壁68,69がガス
密的に熔接されている。第２図によれば隔壁68は６時か
ら12時の方向に、又隔壁69は９時から３時の方向に延び
ている。それらは穴48からは距離を距てているので穴を
通るガスは流出を阻害されることはない。隔壁68,69か
ら２つの互いに平行な隔壁71,72が延び、且つこれらは
互いに大きな距離を距てて対角線38に平行に走行する。
部分区間66には熱交換器73が設けられているが、その接
続部は下面壁43と直角に交差していて図には示されてい
ない。上面壁42はコーナ中間フランジ16の下に穴48に対
応して穴を持つが図には示されていない。この図示され
ていない穴は、ガス密的なコーナ中間フランジ16の内部
と直接連通している。第２図に示すように、一点鎖線7
4,76に従い、ガスは部分区間66からコーナ中間フランジ
16に流れ、且つここから外に向いガスパイプ27、および
ガスパイプ77の中に流れることが出来る。部分区間78,7
9,81は構造的に等しい為に、以下の説明は省略される。
図から知ることのできる如く、部分区間78,81は対角線3
9の下に、又部分区間66,79は対角線38の下に位置する。
又部分区間66,78,79,81は対称性の星型に、且つ同じ形
状で走行する星形装置を構成しているとも表現すること
が出来る。このような部分区間66,78,79,81にそれぞれ
熱交換器が位置することにより、熱交換器を等しくテー
ブルの中に内蔵することが出来る為に補助機器を必要と
せずに済む。また最初から冷却されたガスを使用するこ
とができ、高い出力を以て回転するターボラジアルブロ
ワ13に高温ガスが供給されない。さらにテーブル12もま
た冷却される。流れの方向は矢印を以て記入されてい
る。互いに平行に、互いに大きい距離を距て、且つ対角
線38,39の角度の２等分線に平行に２つの真っ直ぐな隔
壁82,83が、中央孔47および第２図のその周辺領域から
垂直に上に向かって走行している。これによりガス排出
の為の部分区間84が設けられる。ガスはガスパイプライ
ン27,28から貫通フランジ26に流れ、且つこの貫通フラ
ンジ26はその部分に於て中空である。上面壁42の方向に
貫通フランジ26は図示されていない孔を持つ。この孔
は、同様に示されていない、直接その下に在る上面壁42
の穴と連通している。ガスの流れを表す線74はう貫通フ
ランジ26の中で別のガスの流れを表す線85と出会う。２
つのガスの流れは同じ流量を持つ。それらは図示されて
いない穴を通り部分区間84に達し、その位置で熱交換器
86を通過し、且つ中央孔47を通り、吸引スペース62の中
に吸引される。同様に貫通フランジ31からその中に熱交
換器を持つ部分区間87が中央孔47に続き、同じ熱交換器
を持つ部分区間88は貫通フランジ33から中央孔47に続
き、且つ同様に熱交換器を持つ部分区間89は貫通フラン
ジ36から中央孔47に続いている。このように、ガス供給
の為の部分区間84,87,88,89の中に熱交換器が位置する
と、ガスが放射区間に達する前に更に冷却され、又ター
ボラジアルブロワ13の中のガスの圧縮により上昇した温
度も再び引下げられることが出来る。更にこれらの部分
区間84,87,88,89に加えて前述したガス排出のための部
分区間66,78,79,81にも熱交換器を備える時には冷却面
積は更に増大する。隔壁82,83は他の部分区間87,88,89
を限定する隔壁と共に大きな十字を形成し、且つそのコ
ーナ91は中央孔47よりはるか手前の位置に於て終わって
いる。これにより部分区間84,87,88,89の流れの条件は
良くなる。何故ならば流れは対称的であり且つ同じ流量
を持ち、阻害されることなく、又真っ直ぐに導かれてい
るからである。この真っ直ぐな流れを可能にするデザイ
ンは他の部分区間66,78,79,81に対しても当てはまる。
給源を示す穴48,49,51,52の周りには多くのスペースが
あり、又この事は座ぐりを持つ穴47の周りにも当てはま
る。各部分区間の仕切り壁の距離は等しいので比流体抵
抗は等しい。
同様に辺長が85cmである。テーブルは何れも一枚の鋼板
から成る平坦な上面壁42と平坦な下面壁43を備える。鋼
板自身は規定に従って設けられた開口を除きガス密的で
ある。テーブル12はその全周を周壁44により囲まれ、且
つこの周壁44は内部の中空部分46を外部に対してガス密
的にシールし、且つ上面壁42および下面壁43に熔接され
ている。下面壁43は交点41と同軸の中央孔47を有してい
る。対角線の片側長の約1/3の半径上に下面壁43は４つ
の穴48,49,51,52を持つ。このようにすれば、ガス供給
および排出の為の部分区間の負荷は絶対的に等しく、且
つ対称性も完全となり、且つ冷却されたガスは最も迅速
な回路を経てコーナ中間フランジ16,17,18に達すること
が出来る。穴49,52を通って対角線39が走行し、又穴48,
51の中央を対角線38が走行する。下面壁43の下側では、
ブロワ13のケーシング53がガス密的にネジ固定されてい
る。モーター54が一つのステーター56および一つのロー
タ57を持ち、且つそのシャフト58は幾何学的長軸59を持
ち、且つこれは交点41を通過する。このようにすれば対
称の考え方を完全に満足することが出来るが、この事は
テーブル12の負荷、ガスの運動に関し、且つモジュール
タイプの明確な構造の持つ長所を意味する。シャフト58
上にはタービンロータ61が設けられ、且つこのロータ61
はその上端面の上に負圧室である吸引スペース62を持
ち、且つこのスペース62は中央の孔47と連続している。
すなわち、ターボラジアルブロワ13のケーシング53は、
ロータ57に同軸的に排出口を持ち、且つこれはガス排出
のための貫通路に連続している。したがって、ターボラ
ジアルブロワ13をテーブル12一杯に近づけることがで
き、テーブル12の下面壁43には中央に唯一の孔47をあけ
るだけで良い。正圧室である圧力室63はケーシング53の
中におけるタービンロータ61の下流側に設けられる。こ
のようにすれば、テーブル12の中のみならずターボラジ
アルブロワ13からテーブル12迄の配管を省略すると同時
にターボラジアルブロワ13をテーブル12の近傍に極めて
接近させることが出来る。圧力室63は上方に向う支流64
を備え、且つこれは穴48〜52と連通している。これによ
りターボラジアルブロワ13をテーブル12に直結すること
が出来、且つ光学的ベンチとガスディストリビューター
の二重の機能を最適の形で利用することができる。第２
図に示すように、穴48からは第１の部分区間66が延び、
且つこの中ではガスは矢印67に従って流れる。上面壁42
と下面壁43との間いは互いに直交する隔壁68,69がガス
密的に熔接されている。第２図によれば隔壁68は６時か
ら12時の方向に、又隔壁69は９時から３時の方向に延び
ている。それらは穴48からは距離を距てているので穴を
通るガスは流出を阻害されることはない。隔壁68,69か
ら２つの互いに平行な隔壁71,72が延び、且つこれらは
互いに大きな距離を距てて対角線38に平行に走行する。
部分区間66には熱交換器73が設けられているが、その接
続部は下面壁43と直角に交差していて図には示されてい
ない。上面壁42はコーナ中間フランジ16の下に穴48に対
応して穴を持つが図には示されていない。この図示され
ていない穴は、ガス密的なコーナ中間フランジ16の内部
と直接連通している。第２図に示すように、一点鎖線7
4,76に従い、ガスは部分区間66からコーナ中間フランジ
16に流れ、且つここから外に向いガスパイプ27、および
ガスパイプ77の中に流れることが出来る。部分区間78,7
9,81は構造的に等しい為に、以下の説明は省略される。
図から知ることのできる如く、部分区間78,81は対角線3
9の下に、又部分区間66,79は対角線38の下に位置する。
又部分区間66,78,79,81は対称性の星型に、且つ同じ形
状で走行する星形装置を構成しているとも表現すること
が出来る。このような部分区間66,78,79,81にそれぞれ
熱交換器が位置することにより、熱交換器を等しくテー
ブルの中に内蔵することが出来る為に補助機器を必要と
せずに済む。また最初から冷却されたガスを使用するこ
とができ、高い出力を以て回転するターボラジアルブロ
ワ13に高温ガスが供給されない。さらにテーブル12もま
た冷却される。流れの方向は矢印を以て記入されてい
る。互いに平行に、互いに大きい距離を距て、且つ対角
線38,39の角度の２等分線に平行に２つの真っ直ぐな隔
壁82,83が、中央孔47および第２図のその周辺領域から
垂直に上に向かって走行している。これによりガス排出
の為の部分区間84が設けられる。ガスはガスパイプライ
ン27,28から貫通フランジ26に流れ、且つこの貫通フラ
ンジ26はその部分に於て中空である。上面壁42の方向に
貫通フランジ26は図示されていない孔を持つ。この孔
は、同様に示されていない、直接その下に在る上面壁42
の穴と連通している。ガスの流れを表す線74はう貫通フ
ランジ26の中で別のガスの流れを表す線85と出会う。２
つのガスの流れは同じ流量を持つ。それらは図示されて
いない穴を通り部分区間84に達し、その位置で熱交換器
86を通過し、且つ中央孔47を通り、吸引スペース62の中
に吸引される。同様に貫通フランジ31からその中に熱交
換器を持つ部分区間87が中央孔47に続き、同じ熱交換器
を持つ部分区間88は貫通フランジ33から中央孔47に続
き、且つ同様に熱交換器を持つ部分区間89は貫通フラン
ジ36から中央孔47に続いている。このように、ガス供給
の為の部分区間84,87,88,89の中に熱交換器が位置する
と、ガスが放射区間に達する前に更に冷却され、又ター
ボラジアルブロワ13の中のガスの圧縮により上昇した温
度も再び引下げられることが出来る。更にこれらの部分
区間84,87,88,89に加えて前述したガス排出のための部
分区間66,78,79,81にも熱交換器を備える時には冷却面
積は更に増大する。隔壁82,83は他の部分区間87,88,89
を限定する隔壁と共に大きな十字を形成し、且つそのコ
ーナ91は中央孔47よりはるか手前の位置に於て終わって
いる。これにより部分区間84,87,88,89の流れの条件は
良くなる。何故ならば流れは対称的であり且つ同じ流量
を持ち、阻害されることなく、又真っ直ぐに導かれてい
るからである。この真っ直ぐな流れを可能にするデザイ
ンは他の部分区間66,78,79,81に対しても当てはまる。
給源を示す穴48,49,51,52の周りには多くのスペースが
あり、又この事は座ぐりを持つ穴47の周りにも当てはま
る。各部分区間の仕切り壁の距離は等しいので比流体抵
抗は等しい。
第３図に示された構成ユニットの高さは、約80mmであ
る。従って80mmの高さと、角辺の約85cmの持つ体積を容
れる空間が必要とされるに過ぎない。
る。従って80mmの高さと、角辺の約85cmの持つ体積を容
れる空間が必要とされるに過ぎない。
尚、上述の実施例に示した各寸法に因われない一般的な
ものの場合、ターボラジアルブロワの回転数を10000か
ら150000r.p.m.の範囲とし、且つガスの供給量を100か
ら2000m3/hの間とすれば、数百ワットから数キロワット
の出力範囲のレーザをレーザ自体を変更することなく得
ることが出来る。ターボラジアルブロワの出力は当然そ
れに応じて高められねばならない。この場合にレーザ放
射の長さは2000から3000mmの範囲に達することが出来
る。ガスパイプラインが正方形の形態の場合にこの事は
辺の長さは60〜80cmで済むことになり、スペースの節約
に極めて役立つ。
ものの場合、ターボラジアルブロワの回転数を10000か
ら150000r.p.m.の範囲とし、且つガスの供給量を100か
ら2000m3/hの間とすれば、数百ワットから数キロワット
の出力範囲のレーザをレーザ自体を変更することなく得
ることが出来る。ターボラジアルブロワの出力は当然そ
れに応じて高められねばならない。この場合にレーザ放
射の長さは2000から3000mmの範囲に達することが出来
る。ガスパイプラインが正方形の形態の場合にこの事は
辺の長さは60〜80cmで済むことになり、スペースの節約
に極めて役立つ。
ターボラジアルブロワの回転数を40000から100000r.p.
m.の範囲とし、且つガスの供給量を500から1200m3/hの
間とした場合は特に好ましい作業範囲のレーザーを得る
ことができる。
m.の範囲とし、且つガスの供給量を500から1200m3/hの
間とした場合は特に好ましい作業範囲のレーザーを得る
ことができる。
500ワットレーザーの場合のターボラジアルブロワの回
転数を40000r.p.m±20％の範囲とすることにより、例え
ば200ワット又は1000ワットレーザーの必要とする値を
容易に計算することができる。
転数を40000r.p.m±20％の範囲とすることにより、例え
ば200ワット又は1000ワットレーザーの必要とする値を
容易に計算することができる。
200ワット〜数Ｋワットのレーザー出力を得る為に必要
な星形装置は、厚みが数十mm、特に50〜140mmであれば
よい。この数値は星形装置の厚みが如何に薄いものであ
るかを示している。
な星形装置は、厚みが数十mm、特に50〜140mmであれば
よい。この数値は星形装置の厚みが如何に薄いものであ
るかを示している。
上記実施例のように、装置を互いに固定且つ一体的に結
合された構成ユニットとすると、多数のホース，配管等
のない殆ど一枚の板の如きユニットを得ることが出来
る。
合された構成ユニットとすると、多数のホース，配管等
のない殆ど一枚の板の如きユニットを得ることが出来
る。
請求項１によれば、光線路に対し、良好なガスの流れの
もとできわめてよく冷却されたガスを供給することがで
きるから、レーザーの出力を効率良く向上させることが
できる。
もとできわめてよく冷却されたガスを供給することがで
きるから、レーザーの出力を効率良く向上させることが
できる。
請求項２によれば、各ガスパイプラインは等しくレーザ
ーの出力に寄与することができる。
ーの出力に寄与することができる。
請求項３によれば、コーナ中間フランジにあるミラーを
高温から保護することができる。
高温から保護することができる。
請求項４によれば、通常配管敷設に必要とされる極めて
大きなスペースを節約することができ、且つ星形装置の
強度が向上する。
大きなスペースを節約することができ、且つ星形装置の
強度が向上する。
請求項５の特徴によれば、すべてのガス供給位置でのガ
ス流量は等しくなる。
ス流量は等しくなる。
請求項６の特徴によれば、すべてのガス排出位置でのガ
ス流量が等しくなる。
ス流量が等しくなる。
請求項７によれば、ターボラジアルブロワと星形装置を
より接近させることができ、冷却されたガスを光線路に
供給するのに寄与することができる。
より接近させることができ、冷却されたガスを光線路に
供給するのに寄与することができる。
請求項８によれば、分解組立ての容易なユニットを得る
ことができ、また防震装置も省略することができる。
ことができ、また防震装置も省略することができる。
請求項９によれば、冷却されたガスは最も迅速な回路を
経てコーナ中間フランジに達することができる。
経てコーナ中間フランジに達することができる。
請求項10によれば、ターボダジアルブロワに最初から冷
却されたガスが供給されるから、このターボラジアルブ
ロワの寿命にとって有利に作用することができる。
却されたガスが供給されるから、このターボラジアルブ
ロワの寿命にとって有利に作用することができる。
請求項11によれば、ガスは放射区間に達する前に更に冷
却され、レーザーの出力向上に寄与することができる。
却され、レーザーの出力向上に寄与することができる。
請求項12によれば、中間ホースまたはコストかかるパッ
キングを不要とすることができる。
キングを不要とすることができる。
請求項13によれば、数百ワット〜数キロワットのレーザ
ー出力範囲をレーザー自体を変更することなく得ること
ができる。
ー出力範囲をレーザー自体を変更することなく得ること
ができる。
請求項14により好ましい作業範囲が、また請求項15によ
り更に好ましい作業範囲が得られる。
り更に好ましい作業範囲が得られる。
請求項16により、500ワットレーザーのみならず、200ワ
ットまたは1000ワットレーザーが必要とするターボラジ
アルブロワの回転数を計算することができる。
ットまたは1000ワットレーザーが必要とするターボラジ
アルブロワの回転数を計算することができる。
請求項17によれば、かかる構成ユニットは調整，設備，
修理を容易にし、且つ特にそれを使用する作業を容易に
することができる。また、それは種々な位置、例えば
縦，横，頭上等の各位置に設置することができる。
修理を容易にし、且つ特にそれを使用する作業を容易に
することができる。また、それは種々な位置、例えば
縦，横，頭上等の各位置に設置することができる。
請求項18によれば、約200ワットから数キロワットのレ
ーザー出力が得られるレーザーの星形装置が得られる。
ーザー出力が得られるレーザーの星形装置が得られる。
第１図は水平に設置されたレーザーの平面図を模式的に
示したものであり、第２図は第１図の平面図をテーブル
ボードの内部を示す為に拡大したものであり、第３図は
第１図の矢視を示す図であり、第４図は第３図の矢視図
であるが拡大し、且つ一部を切開することにより、モー
ターケーシング、ブロワフランジの内部を示し、且つ部
分区間を破線で示したものである。 13……ターボラジアルブロワ（ガスポンプ） 14……光線路 16〜18……コーナ中間フランジ 21……エンドフランジ 22……全反射ミラー 23……射出ミラー 24……第１のガスパイプライン 29……第２のガスパイプライン 30……電極（高周波ポンプ電極） 32……第３のガスパイプライン 34……第４のガスパイプライン 26,31,33,36……貫通フランジ 73,86……熱交換器 66,78,79,81,86〜89……部分区間（星形装置）
示したものであり、第２図は第１図の平面図をテーブル
ボードの内部を示す為に拡大したものであり、第３図は
第１図の矢視を示す図であり、第４図は第３図の矢視図
であるが拡大し、且つ一部を切開することにより、モー
ターケーシング、ブロワフランジの内部を示し、且つ部
分区間を破線で示したものである。 13……ターボラジアルブロワ（ガスポンプ） 14……光線路 16〜18……コーナ中間フランジ 21……エンドフランジ 22……全反射ミラー 23……射出ミラー 24……第１のガスパイプライン 29……第２のガスパイプライン 30……電極（高周波ポンプ電極） 32……第３のガスパイプライン 34……第４のガスパイプライン 26,31,33,36……貫通フランジ 73,86……熱交換器 66,78,79,81,86〜89……部分区間（星形装置）
Claims (18)
- 【請求項１】光線路が４角形であり、第１のコーナ中間
フランジおよび第１の方向変換ミラーを前記光線路の第
１のコーナ範囲に備え、第２のコーナ中間フランジおよ
び第２の方向変換ミラーを前記光線路の第２のコーナ範
囲に備え、第３のコーナ中間フランジおよび第３の方向
変換ミラーを前記光線路の第３のコーナ範囲に備え、エ
ンドフランジ，射出ミラーおよび180°全反射ミラーを
前記光線路の第４のコーナ範囲に備え、第１のガスパイ
プラインを第１および第２のコーナ中間フランジの間に
備え、第２のガスパイプラインを第２および第３のコー
ナ中間フランジの間に備え、第３のガスパイプラインを
第３コーナ中間フランジとエンドフランジとの間に備
え、第４のガスパイプラインをエンドフランジと第１の
コーナ中間フランジとの間に備え、ガスパイプライン中
を流れる励起された（エキサイティング）ガスのために
ガスパイプラインに接続される高周波ポンプ電極を備
え、ガスパイプラインに冷却されたガスを運ぶ為のガス
供給装置を備え、ガスパイプラインから加熱されたガス
を運ぶ為のガス排出装置を備え、ガスパイプライン中を
流れる冷却ガスの為の熱交換装置を備え、ガスパイプラ
イン中を通る流入ガスのためにガス供給装置およびガス
排出装置に接続されるガスポンプを備え、コーナ中間フ
ランジおよびエンドフランジを支持するベース装置を備
え、且つ ａ）第１から第４ガスパイプラインの各途中に貫通フラ
ンジが夫々接続され、且つこの貫通フランジは接続され
ているガスパイプラインを夫々２つのガスパイプ部分ラ
インに分割し、 ｂ）ガスパイプラインは直角四辺をなし、 ｃ）コーナ範囲を横切る対角線の略交差部付近にガスポ
ンプが設けられ、 ｄ）前記ガスポンプがターボラジアルブロワであり、ガ
ス供給装置およびガス排出装置のそれぞれの少なくとも
部分区間が、ターボラジアルブロワとコーナ中間フラン
ジ間、ターボラジアルブロワと貫通フランジ間、および
ターボラジアルブロワとエンドフランジ間で星形装置と
して配置され、 ｅ）ターボラジアルブロワは前記星形装置に直交する軸
心を有し、且つこの軸心は前記対角線の交差領域を実質
的に横切り、 ｆ）前記星形装置は、前記ガス供給装置とガス排出装置
の部分区間が走行する中空を備え、 ｇ）４つの部分区間がガス供給のために、また４つの部
分区間がガス排出のために設けられており、一方の部分
区間はコーナ中間フランジおよびエンドフランジに続く
のに対し、他方の部分区間は貫通フランジに続き、 ｈ）ターボラジアルブロワは、少なくとも間接的に前記
星形装置にフランジ接続されている ことを特徴とする工業用レーザーのための装置。 - 【請求項２】ガスパイプラインが正方形をなすことを特
徴とする請求項１に記載の工業用レーザーのための装
置。 - 【請求項３】ガス供給のための部分区間がコーナ中間フ
ランジおよびエンドフランジに続き、且つガス排出のた
めの部分区間は貫通フランジに続くことを特徴とする請
求項１に記載の工業用レーザーのための装置。 - 【請求項４】各中空は部分区間を限定する上面壁および
下面壁により形成され、且つこの場合に上面壁と下面壁
との間にガス密的な隔壁が走行することを特徴とする請
求項１に記載の工業用レーザーのための装置。 - 【請求項５】ガス供給のための部分区間の流体抵抗が等
しいことを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の
工業用レーザーのための装置。 - 【請求項６】ガス排出のための部分区間の流体抵抗が等
しいことを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の
工業用レーザーのための装置。 - 【請求項７】上面壁又は下面壁が貫通路を持ち、且つこ
れは一方では部分区間に開口し、且つ他方ではターボラ
ジアルブロワの正圧室又は負圧室に接続していることを
特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の工業用レー
ザーのための装置。 - 【請求項８】ターボラジアルブロワは、軸心が対角線の
交差領域を実質的に横切る星形装置にフランジ接続され
ていることを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載
の工業用レーザーのための装置。 - 【請求項９】ガス供給のための部分区間に対する貫通路
は半径上に位置し、且つガス排出のための貫通路は対角
線の交点の範囲にあることを特徴とする請求項７に記載
の工業用レーザーのための装置。 - 【請求項１０】前記星形装置内でガス排出のための部分
区間の中に位置している第１の熱交換器を含む熱交換器
を備えることを特徴とする請求項１〜９のいずれかに記
載の工業用レーザーのための装置。 - 【請求項１１】前記星形装置内でガス供給のための部分
区間の中に位置している第２の熱交換器を含む熱交換器
を備えることを特徴とする請求項１〜10のいずれかに記
載の工業用レーザーのための装置。 - 【請求項１２】ターボラジアルブロワのケーシングはロ
ータに同軸的に排出口を持ち、且つこれはガス排出のた
めの貫通路に連続していることを特徴とする請求項１〜
11のうちのいずれか一つに記載の工業用レーザーのため
の装置。 - 【請求項１３】ターボラジアルブロワのケーシングは過
圧室をロータに同軸的に備え、且つこの室は直接ガス供
給のための貫通路と連続していることを特徴とする請求
項１〜12のうちのいずれかに記載の工業用レーザーのた
めの装置。 - 【請求項１４】ターボラジアルブロワの回転数が10000
から150000r.p.mの範囲に在り、且つガスの供給量は100
から2000m3/hの間に在ることを特徴とする請求項１〜13
のうちのいずれかに記載の工業用レーザーのための装
置。 - 【請求項１５】ターボラジアルブロワの回転数が40000
から100000r.p.mの範囲に在り、且つガスの供給量が500
から1200m3/hの間にあることを特徴とする請求項14に記
載の工業用レーザーのための装置。 - 【請求項１６】500ワットレーザーの場合にターボラジ
アルブロワの回転数が40000r.p.m±20％の範囲内の在る
ことを特徴とする請求項14に記載の工業用レーザーのた
めの装置。 - 【請求項１７】装置が互いに固定且つ一体的に結合され
た構成ユニットであることを特徴とする請求項１〜16の
うちのいずれかに記載の工業用レーザーのための装置。 - 【請求項１８】星形装置の厚みが数十mm,特に50から140
mmであることを特徴とする請求項１〜17のうちのいずれ
かに記載の工業用レーザーのための装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19873734570 DE3734570C2 (de) | 1987-10-13 | 1987-10-13 | Vorrichtung für einen längsgeströmten CO¶2¶-Leistungslaser |
| DE3734570.2 | 1987-10-13 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01114087A JPH01114087A (ja) | 1989-05-02 |
| JPH077856B2 true JPH077856B2 (ja) | 1995-01-30 |
Family
ID=6338212
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63173628A Expired - Fee Related JPH077856B2 (ja) | 1987-10-13 | 1988-07-11 | 工業用レーザーのための装置 |
Country Status (13)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US4907240A (ja) |
| JP (1) | JPH077856B2 (ja) |
| AT (1) | AT393051B (ja) |
| AU (2) | AU605610B2 (ja) |
| CA (2) | CA1284684C (ja) |
| CH (1) | CH676299A5 (ja) |
| DK (1) | DK169933B1 (ja) |
| ES (2) | ES2007529A6 (ja) |
| FR (1) | FR2621747B1 (ja) |
| GB (2) | GB2220788B (ja) |
| IL (1) | IL87166A (ja) |
| IT (1) | IT1225978B (ja) |
| SE (2) | SE461758B (ja) |
Families Citing this family (21)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH022695A (ja) * | 1988-06-16 | 1990-01-08 | Fanuc Ltd | レーザ発振装置 |
| AT394645B (de) * | 1988-07-04 | 1992-05-25 | Trumpf Gmbh & Co | Laengsgestroemter co2-leistungslaser |
| JPH02174281A (ja) * | 1988-12-27 | 1990-07-05 | Fanuc Ltd | ガスレーザ発振装置 |
| JPH03120882A (ja) * | 1989-10-04 | 1991-05-23 | Fanuc Ltd | レーザ用ターボブロア及びそれを用いたレーザ発振装置 |
| FR2666938B1 (fr) * | 1990-09-19 | 1997-12-05 | Trumpf Lasertechnik Gmbh | Dispositif pour un laser de puissance. |
| JPH0590661A (ja) * | 1991-04-26 | 1993-04-09 | Fanuc Ltd | ガスレーザ装置用ブロアの軸受異常検出方式 |
| US5771260A (en) * | 1996-10-04 | 1998-06-23 | Excimer Laser Systems, Inc. | Enclosure system for laser optical systems and devices |
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