JPH01114087A - 工業用レーザーのための装置 - Google Patents

工業用レーザーのための装置

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JPH01114087A
JPH01114087A JP63173628A JP17362888A JPH01114087A JP H01114087 A JPH01114087 A JP H01114087A JP 63173628 A JP63173628 A JP 63173628A JP 17362888 A JP17362888 A JP 17362888A JP H01114087 A JPH01114087 A JP H01114087A
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    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
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    • H01S3/073—Gas lasers comprising separate discharge sections in one cavity, e.g. hybrid lasers
    • H01S3/076—Folded-path lasers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は工業用レーザー（Ｌｅｉｓｔｕｎｇｓｌａｓｅ
ｒ）のための装置に関する。
〔従来の技術〕
Ｃ　−　Ｅ　Ｔｎｄｕｓｔｒｉａｌ　Ｌａｓｅｒｓ＋Ｉ
ｎｃ＋３２　Ｃｏｂｂｅｌ　Ｈｉｌｌ　Ｒｏａｄ＋Ｓｏ
ｍｅｒｖｉｌｌｅ＋Ｍａｓｓａｃｈｕｓｅｔｔｓ　０２
１４３＋ＵＳＡ，のカタログから出願人には以下のＣＯ
，一工業用レーザーのための装置が公知である．すなわ
ち、光線路が４角形であり、第１のコーナ中間フランジ
および第１の方向変換ミラーを前記光線路の第１のコー
ナ範囲に備え、第２のコーナ中間フランジおよび第２の
方向変換ミラーを前記光線路の第２のコーナ範囲に備え
、第３のコーナ中間フランジおよび第３の方向変換ミラ
ーを前記光線路の第３のコーナ範囲に備え、エンドフラ
ンジ２射出ミラーおよび１８０”全反射ミラーを前記光
線路の第４のコーナ範囲に備え、第１のガスパイプライ
ンを第１および第２のコーナ中間フランジの間に備え、
第２のガスパイプラインを第２および第３のコーナ中間
フランジの間に備え、第３のガスパイプラインを第３コ
ーナ中間フランジとエンドフランジとの間に備え、第４
のガスパイプラインをエンドフランジと第１のコーナ中
間フランジとの間に備え、高量′波ポンプ電極をガスパ
イプラインに備え、冷却されたガスの為のガス供給装置
を備え、加熱されたガスの為のガス排出装置を備え、ガ
スの為の熱交換装置を備え、循環回粋の中で作動し、ガ
ス供給装置およびガス排出装置に接続されるガスポンプ
を備え、且つコーナ中間フランジおよびエンドフランジ
を支持するベース装置を備えたＣＯ。
一工業用レーザーのための装置である。
〔発明が解決しようとする課題〕
前記カタログからは、上述した従来の技術に示す工業用
レーザーのための装置の仕様が判明するのみであり、ガ
ス供給装置，ガス排出装置，熱交換器，ガスポンプおよ
びベース装置は判明しない。
然しこれらの装置は何れにしろ補足せねばならないであ
ろう．何故ならば例えばレーザーがガスポンプなしで使
用し得る訳がないからである。
発明の目的は簡単な構造の、出力の小さい、細いガス配
管で済ますことの出来る工業用レーザーのための装置を
提供することにある。
〔課題を解決するための手段〕
本発明による工業用レーザーのための装置は上記目的を
達成するために、主請求項に示す如く、ａ》第１から第
４ガスハイブラインの各途中に、所属のガスパイプライ
ンを夫々２つのガスパイプ部分ラインに分割する一つの
貫通フランジが夫々設けられ、 ｂ〉コーナ範囲の対角線の交差範囲にガスポンプが設け
られ、 Ｃ）ガスポンプがターボラジアルブロワであり、ｄ》ガ
ス供給装置およびガス排出装置の少なくとも部分区間が
、ターボラジアルブロワとコーナ中間フランジ間，ター
ボラジアルブロワと貫通フランジ間．およびターボラジ
アルブロワとエンドフランジ間に夫々位置することで星
状に配置され、ｅ）ベース装置が中空のテーブルボード
であり、且つその中空スペースの中を部分区間が走行し
、ｆ）ターボラジアルブロワは少なくとも間接的るテー
ブルボードにフランジ接続されていることを特徴として
いる。
本発明による工業用レーザーのための装置はまた、上記
主発明のものにおいて、ガスパイプラインが直角四辺形
、好ましくは正方形をなすことを特徴としている。
本発明による工業用レーザーのための装置はまた、上記
主発明のものにおいて、４つの部分区間がガスの供給の
為に、又４つの部分区間がガスの排出の為に設けられて
おり、且つ一方の部分区間群がコーナ中間フランジおよ
びエンドフランジに続くのに対し他方の部分区間群が貫
通フランジに続くことを特徴としている。この場合、ガ
ス供給の為の部分区間をコーナ中間フランジおよびエン
ドフランジに接続し、ガス排出の為の部分区間を貫通フ
ランジに接続することができる。
本発明による工業用レーザーのための装置はさらに、上
記主発明のものにおいて、部分区間が中空のテーブルの
上面壁および下面壁により限定されており、且つこの場
合に上面壁と下面壁との間にガス密的な隔壁が走行する
ことを特徴としている。
本発明による工業用レーザーのための装置の他の敗ある
特徴は、後述する発明の詳細な説明において明らかにさ
れるであろう。
〔作　用〕　　・ 上記した主発明の工業用レーザーのための装置は、項目
ａ）のように構成したことにより、コーナ中間フランジ
およびエンドフランジに限定されることなくガスが供給
されることが可能である。
それどころかガスの供給および排出に用いることの出来
る個所がこの外に更に４つ設けられている。
従って、レーザーの光線路に対し、よく冷却されたガス
を供給することが可能である。
また、項目ｂ）のようにしたことによっても、光線路か
らガスポンプ塩およびその戻りのガスの流路が最短距離
を選び、よく冷却されたガスを光線路に供給することが
できる。
さらにＣ）のようにしたことによっても、より冷却され
たガスが光線路に供給される。すなわち、ターボラジア
ルブロワは極めて高い出力を持ち且つ小型である為に光
線路の近傍に設けることが出来る上、ガスの排出および
供給回路の長くなることを不可避にする機械的な射出機
構を必要としない、また、ターボラジアルブロワはサー
キュラプランジ中ポンプと異なり対称型にも対応する。
項目ｄ）のように構成したことにより、星状の接続が最
短の接続であり、更に光線路の何れの部分もシステマテ
イックな優劣を生じることがなくなる。また、項目ｅ）
のようにしたことによってもテーブルボードには断面の
比較的大きく、保障された、流れにとって宥和な部分区
間を設けることが出来る。こうした光学ベンチはいわゆ
る二重機能を発揮する。すなわちベンチはガスの誘導を
も兼ねる６以上のように項目ｄ）、ｅ）も光線路により
冷却されたガスを供給する目的に沿うものである。
項目ｆ）によれば部分区間は最適の短さに定められ、且
つ別個にホースを必要とされることはない。
上記ａ）〜ｆ〉の如き特徴を備えるものにおいて、請求
項２の如くガスパイプラインが直角四辺形をなすものに
あっては、加工ステーシツンとしての生産ラインに適し
た形の構成ユニットが得られる。
さらに、この直角四辺形が請求項３の如く正方形をなす
ものにあっては、構成ユニットの構想が更に完全なもの
にされる。各ガスパイプラインは等しくレーザ出力に寄
与し、コーナ中間フランジは同じデザインを持ち、かつ
要部は対角線の交点から等しい距離に位置する。
請求項４の如くすれば、数は少ないが断面が大きく、且
つ流体抵抗の少ない部分区間を設けることができ、且つ
この区間は判り易く負荷を等しくされることの出来るフ
ローシートを持つ、また、フランジはフレッシェガスに
対してはディストリビニ−ターとして用いられると同時
に使用済みの。
ガスに対してマニホールドとして用いられ、しかも一つ
のフランジでは配分されるが他のフランジでは収集され
、三番目のフランジでは再び配分されるが如き方法で用
いることができる。
請求項５の如くすれば、−コーナ中間フランジに在るミ
ラーは高い冷却度が得られるのに対し貫通フランジには
高温ガスが流れる。
請求項６−の如くすれば、すべての部分区間を収納する
のに直接光学ベンチを用いることができる。
テーブルは特、に全体を溶接構造が用いられる時には隔
壁により補剛される。
〔実施例〕
出力が５００ワツトのＣＯｔ　−レーザー１１がテーブ
ル１２の上に設けられ、且つこのテーブル１２と強固に
結合されている。テーブル１２の下にはターボラジアル
ブロワ１３が設けられ、且つこれはテーブル１２の下に
ネジ結合されている。このようにしたことにより、分解
組立ての容易なユニットが得られる。防震装置も又省略
することが出来るがこれはターボラジアルブロワ１３が
極めて高い回転数を持つことり因るものである。ターボ
ラジアルブロワ１３の軸心はテーブル１２に垂直に交わ
っており、このようにすることにより、震動の少ないス
ペースが確保され、ターボラジアルブロワ１３と同じ高
さにテーブル１２を更に近づけることが出来る。第３図
および第４図に示された装置は一つのユニットである。
ユニットは図に示されていない架台の上に設けられてい
る。レーザーは一点鎖線で示されたレーザー光線路１４
を持つ、光線路１４は正方形を為している。光線！１４
の長さは２６５０ｍｍである。光線路１４の直径は１０
ｍｍであり、放射モードはＴＥＭ・ゆである。
光線路１４は３つのコーナ中間フランジ１６．１７．１
８を中に持つが、これらは模式的に示された４５°のミ
ラーを内蔵するとともにガスパイプのサポート１９をも
備える。第４番目のコーナにはエンドフランジ２１が設
けられ、且つこれは全反射ミラー２２および射出可能ミ
ラー２３を持つ、エンドフランジ２１内では光線路１４
は９０°で交叉している。第１のコーナ中間フランジ１
６と第２のコーナ中間フランジ１７との間の正確に中央
には第１ガスパイプライン２４の中に第１貫通フランジ
２６が設けられ、且つこれはその両側に於てサポート１
９を持つ０貫通フランジ２６とコーナ中間フランジ１６
の間にガスパイプライン２７が走行し、且つこのパイプ
はその両端に於てガス密的にシールされ、且つ貫通フラ
ンジ２６とコーナ中間フランジ１７との間にはガスパイ
プ２８があり、且つこの共イブはサポート１９の中でガ
ス密的にシールされている。二つのガスパイプ２７２８
は高周波電極３０により取巻かれている。第２のガスパ
イプライン２９の中では正確に中央の位置に第２の貫通
フランジ３１が設けられている。第３のガスパイプライ
ン３２に於ては、その正確に中央の位置に於て第３の貫
通フランジ３３があり、且つ第４のガスパイプライン３
４には同様にして第４の貫通フランジ３６が設けられて
いる。ガスパイプラインは夫々互いに直交し、交叉点３
７を越えて延びる光線路を無視する時には幾何学的な正
方形を形成する。ガスパイプライン２７．２８および電
極３０に関する条件は、各光線路に於て等しいからこれ
らの説明は省略する。
正方形のコーナを通過する対角線３８．３９は交点４１
を持つ。
テーブル１２は（ｂ−すに認められる斜行部は別として
）同様に辺長が８５ｃｍである。テーブルは何れも一枚
の鋼板から成る平坦な上面壁４２と平坦な下面壁４３を
備える。鋼板自身は規定に従って設けられた開口を除き
ガス密的である。テーブル１２はその全周を周壁４４に
より囲まれ、且つこの周壁４４は内部の中空部分４６を
外部に対してガス密的にシールし、且つ上面壁４２およ
び下面壁４３に溶接されている。下面壁４３は交点４１
と同軸の中央孔４７を有している。対角線の片側長の約
１７３の半径上に下面壁４３は４つの穴４Ｂ、４９，５
１．５２を持つ、このようにすれば、ガス供給および排
出の為の部分区間の負荷は絶対的に等しく、且つ対称性
も完全となり、且つ冷却されたガスは最も迅速な回路を
経てコーナ中間フランジ１６．１７．１８に達すること
が出来る。
大４９．５２を通って対角線３９が走行し、又穴４８．
５１の中央を対角＆ｊ１３Ｂが走行する。下面壁４３の
下側では、ブロワ１３のケーシング５３がガス密的にネ
ジ固定されている。モーター５４が一つのステーター５
６および一つのロータ５７を持ち、且つそのシャフト５
８は幾何学的長軸５９を持ち、且つこれは交点４１を通
過する。このようにすれば対称の考え方を完全に満足す
ることが出来るが、この事はテーブル１２の負荷、ガス
の運動に関し、且つモジュールタイプの明確な構造の持
つ長所を意味する。シャフト５８上にはタービンロータ
６１が設けられ、且つこのロータ６１はその上端面の上
に負圧室である吸引スペース６２を持ち、且つこのスペ
ース６２は中央の孔４７と連続している。すなわち、タ
ーボラジアルブロワ１３のケーシング５３は、ロータ５
７に同軸的に排出口を持ち、且つこれはガス排出のため
の貫通路に連続している。したがって、ターボラジアル
ブロワ１３をテーブル１２−杯に近づけることができ、
テーブル１２の下面壁４３には中央に唯一の孔４７をあ
けるだけで良い、正圧室である圧力室６３はケーシング
５３の中におけるタービンロータ６１の下流側に設けら
れる。このようにすれば、テーブル１２の中のみならず
ターボラジアルブロワ１３からテーブル１２迄の配管を
省略すると同時にターボラジアルブロワ１３をテーブル
１２の近傍に極めて接近させることが出来る。圧力室６
３は上方に向う支流６４を備え、且つこれは穴４８〜５
２と連通している。これによりターボラジアルブロワ１
３をテーブル！２に直結することが出来、且つ光学的ベ
ンチとガスディストリビニ−ターの二重の機能を最適の
形で利用することができる。第２図に示すように、穴４
８からは第１の部分区間６６が延び、且つこの中ではガ
スは矢印６７に従って流れる。上面壁４２と下面壁４３
との間には互いに直交する隔壁６８．６９がガス密的に
溶接されている。第２図によれば隔壁６８は６時から１
２時の方向に、又隔壁６９は９時から３時の方向に延び
ている。それらは穴４８からは距離を距てているので穴
を通るガスは流出を阻害されることはない。
隔壁６８．６９から２つの互いに平行な隔壁７１．７２
が延び、且つこれらは互いに大きな距離を距でて対角線
３８に平行に走行する０部分区間６６には熱交換器７３
が設けられているが、その接続部は下面壁４３と直角に
交差していて図には示されていない、上面壁４２はコー
ナ中間フランジ１６の下に穴４８に対応して穴を持つが
図には示されていない、この図示されていない穴は、ガ
ス密的なコーナ中間フランジ１６の内部と直接連通して
いる。第２図に示すように、−点鎖線７４．７６に従い
、ガスは部分区間６６からコーナ中間フランジ１６に流
れ、且つここから外に向いガスパイプ２７、およびガス
パイプ７７の中に流れることが出来る６部分区間７ｇ、
７９．８１は構造的に等しい為に、以下の説明は省略さ
れる０図から知ることのできる如く、部分区間７８．８
１は対角線３９の下に、文部分区間６６．７９は対角線
３８の下に位置する。又部分区間６６、７Ｂ、　７９．
８１は対称性の星型に、且つ同じ形状で走行するとも表
現することが出来る。このような部分区間６６．７８．
７９．８１にそれぞれ熱交換器が位置することにより、
熱交換器を等しくテーブルの中に内蔵することが出来る
為に補助機器を必要とせずに済む、また最初から冷却さ
れたガスを使用することができ、高い出力を以て回転す
るターボラジアルブロワ１３に高温ガスが供給されない
、さらにテーブル１２もまた冷却される。流れの方向は
矢印を以て記入されている。
互いに平行に、互いに大きい距離を距で、且つ対角線３
８．３９の角度の２等分線に平行に２つの真つ直ぐな隔
壁８２．８３が、中央孔４７および第２図のその周辺領
域から垂直に上に向かって走行している。
これによりガス排出の為の部分区間８４が設けられる。
ガスはガスパイプライン２７．２８から貫通フランジ２
６に流れ、且つこの貫通フランジ２６はその部分に於て
中空である。上面壁４２の方向に貫通フランジ２６は図
示されていない孔を持つ、この孔は、同様に示されてい
ない、直接その下に在る上面壁４２の穴と連通している
。ガスの流れを表す１７４はう貫通フランジ２６の中で
別のガスの流れを表す線８５と出会う、２つのガスの流
れは同じ流量を持つ。
それらは図示されていない穴を通り部分区間８４に達し
、その位置で熱交換器８６を通過し、且つ中央孔４７を
通り、吸引スペース６２の中に吸引される。
同様に貫通フランジ３１からその中に熱交換器を持つ部
分区間８７が中央孔４７に続き、同じ熱交換器を持つ部
分区間８８は貫通フランジ３３から中央孔４７に続き、
且つ同様に熱交換器を持つ部分区間８９は貫通フランジ
３６から中央孔４７に続いている。このように、ガス供
給の為の部分区間８４．８７．８８．８９の中に熱交換
器が位置すると、ガスが放射区間に達する前に更に冷却
され、又ターボラジアルブロワ１３の中のガスの圧縮に
より上昇した温度も再び引下げられることが出来る。更
にこれら部分区間８４，８７　、８８　、８９に加えて
前述したガス排出のための部分区間６６．７８．７９．
８１にも熱交換器を備える時には冷却面積は更に増大す
る。隔壁８２．８３は他の部分区間８７．８８．８９を
限定する隔壁と共に大きな十字を形成し、且つそのコー
ナ９１は中央孔４７よりはるか手前の位置に於て終わっ
ている。これにより部分区間８４　、８７　、８８　、
８９の流れの条件は良くなる。何故ならば流れは対称的
であり且つ同じ流量を持ち、阻害されることなく、又真
っ直ぐに導かれているからである。この真っ直ぐな流れ
を可能にするデザインは他の部分区間６６．７８．７９
．８１に対しても当てはまる。給源を示す穴４８，４９
．５１．５２の周りには多くのスペースがあり、又この
事は座ぐりを持つ穴４７の周りにも当てはまる。各部分
区間の仕切り壁の距離は等しいので比流体抵抗は等しい
。
第３図に示された構成ユニットの高さは、約８０鶴であ
る。従って８０ｍｍの高さと、角辺の約８５Ｃ１１の持
つ体積を容れる空間が必要とされるに過ぎない。
尚、上述の実施例に示した各寸法に囚われない一般的な
ものの場合、ターボラジアルブロワの回転数を１０００
０から１５００００ｒ、ｐ、ｍ、の範囲とし、且つガス
の供給量を１００から２０００　ｄ　／ｈの間とすれば
、数百ワットから数キロワットの出力範囲のレーザをレ
ーザ自体を変更することなく得ることが出来る。ターボ
ラジアルブロワの出力は当然それに応じて高められねば
ならない。この場合にレーザ放射の長さは２０００から
３０００　ｍの範囲に達することが出来る。ガスパイプ
ラインが正方形の形態の場合にこの事は辺の長さは６０
〜８０ｃ１１で済むことになり、スペースの節約に極め
て役立つ。
ターボラジアルブロワの回転数を４００００から１００
０００ｒ、ｐ、ｍ、の範囲とし、且つガスの供給量を５
００から１２００ｒｄ／ｈの間とした場合は特に好まし
い作業範囲のレーザーを得ることができる。
５００ワットレーザーの場合のターボラジアルブロワの
回転数を４００００ｒ．ｐ、ｓ±２０％の範囲とするこ
とにより、例えば２００ワツト又は１０００ワソ士レー
ザーの必要とする値を容易に計算することができる。
２００ワツト〜数にワットのレーザー出力を得る為に必
要なテーブルは、厚みが数十鶴、特に５０〜１４０　ｔ
ｍであればよい、この数値はテーブルプレートが如何に
薄いものであるかを示している。
上記実施例のように、装置を互いに固定且つ一体的に結
合された構成ユニットとすると、多数のホース、配管等
のない殆ど一枚の板の如きユニットを得ることが出来る
。
〔発明の効果〕
請求項１によれば、光線路に対しきわめてよく冷却され
たガスを供給することができるから、レーザーの出力を
効率良く向上させることができる。
請求項２によれば、各ガスパイプラインは等しくレーザ
ー出力に寄与することができる。
請求項４によれば、ガスの流れの条件をより良（し、レ
ーザー出力の向上に寄与することができる。
請求項５によれば、コーナ中間フランジにあるミラーを
高温から保護することができる。
請求項６によれば、通常配管敷設に必要とされる極めて
大きなスペースを節約することができ、且つテーブルの
強度が向上する。
請求項７の特徴によれば、すべてのガス供給位置でのガ
ス流量は等しくなる。
請求項８の特徴によれば、すべてのガスの排出位置での
ガス流量は等しくなる。
請求項９によれば、ターボラジアルブロワとテーブルを
より接近させることができ、冷却されたガスを光線路に
供給するのに寄与することができる。
請求項１０によれば、分解組立ての容易なユニットを得
ることができ、又防震装置も省略することができる。
請求項１１によれば、ガスの流れの回路は更に負荷が等
しくされる。
請求項１２によれば、テーブルの負荷、ガスの運動に関
し、こうしたモジュールタイプの構造の持つ長所がより
明確化される。
請求項１３によれば、冷却されたガスは最も迅速な回路
を経てコーナ中間フランジに達することができる。
請求項１４によれば、ターボラジアルブロワに最初から
冷却されたガスが供給されるから、このターボラジアル
ブロワの寿命にとって有利に作用することができる。
請求項１５によれば、ガスは放射区間に達する前に更に
冷却され、レーザーの出力向上に寄与することができる
。
請求項１６によれば、中間ホース又はコストのかかるバ
ッキングを不要とすることができる。
請求項１７によれば、数百ワラトル数キロワットのレー
ザー出力範囲をレーザー自体を変更することなく得るこ
とができる。
請求項１９は、請求項１８においてより好ましい作業範
囲を示している。
請求項２０により、５００ワットレーザーのみならず、
２００ワツト又は１０００ワンドレーザーの必要とする
ターボラジアルブロワの回転数を計算することができる
。
請求項２１によれば、かかる構成ユニットは調整。
設置、修理を容易にし、且つ特にそれを使用する作業を
容易にすることが出来る。又それは種々な位置、例えば
、縦、横、ｉ上等の各位置に設置することが出来る。
請求項２２によれば、約２００ワツトから数にワットの
レーザー出力が得られるレーザーのテーブルが提供でき
る。
【図面の簡単な説明】
第１図は水平に設置されたレーザーの平面図を模式的に
示したものであり、第２図は第１図の平面図をテーブル
ボードの内部を示す為に拡大したものであり、第３図は
第１図の矢視を示す図であり、第４図は第３図の矢視図
であるが拡大し、且つ一部を切開することにより、モー
ターケーシング、プロワフランジの内部を示し、且つ部
分区間を破線で示したものである。 １２・・・テーブル（ベース装置） １３−・ターボラジアルブロワ（ガスポンプ）１４・・
・光線路 １６〜１８・・・コーナ中間フランジ ２１−・・エンドフランジ ２２・−・全反射ミラー ２３・・・・射出ミラー ２４・・〜第１のガスパイプライン ２９・・・第２のガスパイプライン ３０−・・電極（高周波ポンプ電極） ３２・−・第３のガスパイプライン ３４−・・第４のガスパイプライン ２６．３１，３３．３６−貫通フランシフ３．８６−熱
交換器 ６６．７Ｂ、７９，８１．８６〜８９・・・部分区間特
許比ｍ人　　トルンプフ・ゲーエムベーハー・ラント・
コンパニー

Claims (22)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）光線路が４角形であり、第１のコーナ中間フラン
    ジおよび第１の方向変換ミラーを前記光線路の第１のコ
    ーナ範囲に備え、第２のコーナ中間フランジおよび第２
    の方向変換ミラーを前記光線路の第２のコーナ範囲に備
    え、第３のコーナ中間フランジおよび第３の方向変換ミ
    ラーを前記光線路の第３のコーナ範囲に備え、エンドフ
    ランジ、射出ミラーおよび１８０°全反射ミラーを前記
    光線路の第４のコーナ範囲に備え、第１のガスパイプラ
    インを第１および第２のコーナ中間フランジの間に備え
    、第２のガスパイプラインを第２および第３のコーナ中
    間フランジの間に備え、第３のガスパイプラインを第３
    コーナ中間フランジとエンドフランジとの間に備え、第
    ４のガスパイプラインをエンドフランジと第１のコーナ
    中間フランジとの間に備え、高周波ポンプ電極をガスパ
    イプラインに備え、冷却されたガスの為のガス供給装置
    を備え、加熱されたガスの為のガス排出装置を備え、ガ
    スの為の熱交換装置を備え、循環回路の中で作動し、ガ
    ス供給装置およびガス排出装置に接続されるガスポンプ
    を備え、且つコーナ中間フランジおよびエンドフランジ
    を支持するベース装置を備え、且つ ａ）第１から第４ガスハイプラインの各途中に、所属の
    ガスパイプラインを夫々２つのガスパイプ部分ラインに
    分割する一つの貫通フランジが夫々設けられ、 ｂ）コーナ範囲の対角線の交差範囲にガスポンプが設け
    られ、 ｃ）ガスポンプがターボラジアルブロワであり、 ｄ）ガス供給装置およびガス排出装置の少なくとも部分
    区間が、ターボラジアルブロワとコーナ中間フランジ間
    、ターボラジアルブロワと貫通フランジ間、およびター
    ボラジアルブロワとエンドフランジ間に夫々位置するこ
    とで星状に配置され、 ｅ）ベース装置が中空のテーブルボードであり、且つそ
    の中空スペースの中を部分区間が走行し、 ｆ）ターボラジアルブロワは少なくとも間接的にテーブ
    ルボードにフランジ接続されていることを特徴とする工
    業用レーザのための装置。
  2. （２）ガスパイプラインが直角四辺形を為すことを特徴
    とする請求項１に記載の工業用レーザーのための装置。
  3. （３）ガスパイプラインが正方形を為すことを特徴とす
    る請求項２に記載の工業用レーザーのための装置。
  4. （４）４つの部分区間がガスの供給の為に、又４つの部
    分区間がガスの排出の為に設けられており、且つ一方の
    部分区間がコーナ中間フランジおよびエンドフランジに
    続くのに対し他方の部分区間は貫通フランジに読くこと
    を特徴とする請求項１に記載の工業用レーザーのための
    装置。
  5. （５）ガス供給の為の部分区間がコーナ中間フランジお
    よびエンドフランジに続き、且つガス排出の為の部分区
    間は貫通フランジに続くことを特徴とする請求項４に記
    載の工業用レーザーのための装置。
  6. （６）部分区間が中空のテーブルの上面壁および下面壁
    により限定されており、且つこの場合に上面壁と下面壁
    との間にガス密的な隔壁が走行することを特徴とする請
    求項１に記載の工業用レーザーのための装置。
  7. （７）ガス供給の為の部分区間の流体抵抗が等しいこと
    を特徴とする上記請求項の内の一つ又は複数に記載の工
    業用レーザーのための装置。
  8. （８）ガス排出の為の部分区間の流体抵抗の等しいこと
    を特徴とする上記請求項の内の一つ又は複数に記載の工
    業用レーザーのための装置。
  9. （９）上面壁又は下面壁が貫通路を持ち、且つこれは一
    方では部分区間に開口し、且つ他方ではターボラジアル
    ブロワの正圧室又は負圧室に接続していることを特徴と
    する上記請求項の内の一つ又は複数に記載の工業用レー
    ザーのための装置。
  10. （１０）ターボラジアルブロワがテーブルの下にフラン
    ジ接続されていることを特徴とする上記請求項の内の一
    つ又は複数に記載の工業用レーザーのための装置。
  11. （１１）ターボラジアルブロワの軸心がテーブルに垂直
    に交わることを特徴とする上記請求項の内の一つ又は複
    数に記載の工業用レーザーのための装置。
  12. （１２）軸心が対角線のほぼ交点を貫くことを特徴とす
    る上記請求項の内の一つ又は複数に記載の工業用レーザ
    ーのための装置。
  13. （１３）ガス供給の為の部分区間に対する貫通路は半径
    上に位置し、かつガス排出の為の貫通路は対角線の交点
    の範囲に在ることを特徴とする請求項９に記載の工業用
    レーザーのための装置。
  14. （１４）テーブル内でガス排出の為の部分区間の中に第
    １の熱交換器が位置することを特徴とする上記請求項の
    内の一つ又は複数に記載の工業用レーザーのための装置
    。
  15. （１５）テーブル内でのガス供給の為の部分区間の中に
    第２の熱交換器が位置することを特徴とする上記請求項
    の内の一つ又は複数に記載の工業用レーーザのための装
    置。
  16. （１６）ターボラジアルブロワのケーシングはロータに
    同軸的に排出口を持ち、かつこれはガス排出の為の貫通
    路に連続していることを特徴とする上記請求項の内の一
    つ又は複数に記載の工業用レーザーのための装置。
  17. （１７）ターボラジアルブロワのケーシングは過圧室を
    ロータに同軸的に備え、且つこの室は直接ガス供給の為
    の貫通路と連続していることを特徴とする上記請求項の
    内の一つ又は複数に記載の工業用レーザのための装置。
  18. （１８）ターボラジアルブロワの回転数が１００００か
    ら１５００００ｒ．ｐ．ｍ．の範囲に在り、且つガスの
    供給量は１００から２０００ｍ＾３／ｈの間に在ること
    を特徴とする上記請求項の内の一つ又は複数に記載の工
    業用レーザーのための装置。
  19. （１９）ターボラジアルブロワの回転数が４００００か
    ら１０００００ｒ．ｐ．ｍ．の範囲に在り、且つガスの
    供給量が５００から１２００ｍ＾３／ｈの間に在ること
    を特徴とする請求項１８に記載の工業用レーザーのため
    の装置。
  20. （２０）５００ワットレーザーの場合にターボラジアル
    ブロアの回転数が４００００ｒ．ｐ．ｍ．±２０％の範
    囲内に在ることを特徴とする請求項１８に記載の工業用
    レーザーのための装置。
  21. （２１）装置が互いに固定かつ一体的に結合された構成
    ユニットであることを特徴とする上記請求項の内の一つ
    又は複数に記載の工業用レーザーのための装置。
  22. （２２）テーブルの厚みが数十ｍｍ、特に５０から１４
    ０ｍｍであることを特徴とする上記請求項の内の一つ又
    は複数に記載の工業用レーザーのための装置。
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