JPH0239584A - Ｃｏ↓２−工業用レーザー - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野〕 本発明は、ＣＯ，−工業用レーザー（Ｃｏ、　−Ｌｅｔ
ｓｔｕｎｇｓ　１ａｓｅｒ）に関する。

〔従来の技術〕

工業用レーザーの分野ではできる限りＴ　Ｅ　Ｍ　ｏ。

モードで放射する高エネルギー照射を作り出すことが望
ましい。また、高い出力を実現することも望ましい。

従来のレーザーでは例えば５００ワツトレーザーが１０
００ワツトレーザーと異なったサイズを持ち、また１０
００ワツトレーザーが例えば５０００ワツトレーザーと
は別のサイズを持つ場合には、必ず特別の設計が必要で
あった。すべてのこれらのレーザーは冷却、冷却水の流
量、ガスの流量１ポンプエネルギーの供給及び取り出し
に関しては、少なくとも何らかの相違を持つ設計が必要
であった。

一方、出願人はこの出願と同時に、ドイツ特許出願番号
３７３４５２０．２に基づいて優先櫓を主張して出願し
た別途特許願において、光線路が４角形であり、第１の
コーナ中間フランジおよび第１の方向変換ミラーを前記
光線路の第１のコーナ範囲に備え、第２のコーナ中間フ
ランジおよび第２の方向変換ミラーを前記光線路の第２
のコーナ範囲に備え、第３のコーナ中間フランジおよび
第３の方向変換ミラーを前記光線路の第３のコーナ範囲
に備え、エンドフランジ、射出ミラーおよび１８０＠全
反射ミラーを前記光線路の第４のコーナ範囲に備え、第
１のガスパイプラインを第１および第２のコーナ中間フ
ランジの間に備え、第２のガスパイプラインを第２およ
び第３のコーナ中間フランジの間に備え、第３のガスパ
イプラインを第３コーナ中間フランジとエンドフランジ
との間に備え、第４のガスパイプラインをエンドフラン
ジと第１のコーナ中間フランジとの間に備え、高周波ポ
ンプ電極をガスパイプラインに備え、冷却されたガスの
為のガス供給装置を備え、加熱されたガスの為のガス排
出装置を備え、ガスの為の熱交換装置を備え、循環回路
の中で作動し、ガス供給装置およびガス排出装置に接続
されるガスポンプを備え、且つコーナ中間フランジおよ
びエンドフランジを支持するベース装置を備え、且つ ｉ）第１から第４ガスハイブラインの各途中に、所属の
ガスパイプラインを夫々２つのガスパイプ部分ラインに
分割する一つの貫通フランジが夫々設けられ、 ｉｉ）コーナ範囲の対角線の交差範囲にガスポンプが設
けられ、 ｉｉｉ　）ガスポンプがターボラジアルブロワであり、
ｉｖ）ガス供給装置およびガス排出装置の少なくとも部
分区間が、ターボラジアルブロワとコーナ中間フランジ
間、ターボラジアルブロワと貫通フランジ間、およびタ
ーボラジアルブロワとエンドフランジ間に夫々位置する
ことで星状に配置され、■）ベース装置が中空のテーブ
ルボードであり、且つその中空スペースの中を部分区間
が走行し、ｖｉ）ターボラジアルブロワは少なくとも間
接的にテーブルボードにフランジ接続されていることを
特徴とする工業用レーザを提案している。

〔発明が解決しようとする課題〕

上述したように、出力の異なるレーザーがそれぞれ特別
の設計を必要とするということは、製造時においてそれ
ぞれ異なっているがための問題が発生するのに加え、且
つそれにも増してメンテナンスの困難さが大きな問題と
なる０例えば、５００ワツトレーザーを一旦設置した時
にはこれを後で１０００ワツトにすることは殆ど不可能
である。

発明の目的とするところは上述したｉ）〜ｖｉ）の特＠
査備えるレーザーを基礎として、事実上すべての構造エ
レメントを利用し、簡単且つ合理的な方法でレーザーエ
ネルギーを何倍かに高めることの出来る解決法を記載す
ることである。

〔課題を解決するための手段〕

本発明によるＣＯ２−工業用レーザーは、上記目的を達
成するために、ａ）コーナ中間フランジを有し、一つの
エンドフランジを有し、矩形の形でコーナ中間フランジ
とエンドフランジとの間に設けられたガスパイプライン
を有し、一つのテーブルを有し、一つのブロワを有し、
熱交換器を有し、且つブロワとの間のおよびガスパイプ
ラインとの間の往復の冷却ガス区間を有してなるＣＯ□
−工業用レーザーが、一つのモジュール（Ｍｏｄｕｌ）
を形成し、ｂ）夫々少なくとも２つの、少なくともほぼ
等しいモジュールが互いに接続されており、Ｃ）接続は
モジュールのコーナに於て前記コーナ中間フランジもし
くはエンドフランジに代えて設けた接続フランジにより
行われ、且つこのフランジはその内部をレーザー光線が
貫通することを可能にし、且つ夫々異なったモジュール
の２つのガスパイプラインを直線状に互いに接続するこ
とを特徴としている。

本発明によるＣＯ２−工業用レーザーはまた、上記主発
明のものにおいて、少なくとも３つのモジュールが階段
状に互いに接続されていることを特徴としている。

本発明によるＣＯ！　−工業用レーザーはまた、上記主
発明のものにおいて、少なくとも３つのモジュールが桂
馬の動きに倣って互いに接続されていることを特徴とし
ている。

本発明にによるＣＯ！−工業用レーザーはまた、上記主
発明のものにおいて、４つのモジュールの場合にその内
の３つが中央のモジュールの３つのコーナに接続されて
いることを特徴としている。

本発明によるＣ０ｔ−工業用レーザーはまた、上記主発
明のものにおいて、５つのモジュールの場合にその４つ
が中央のモジュールの４つのコーナに接続されているこ
とを特徴としている。

本発明によるＣｏｗ−工業用レーザーはさらに、上記主
発明のものにおいて、モジュール群が複数段が使用され
ていることを特徴としている。

〔作　用〕

上記主発明のＣＯ２−工業用レーザーは、例えば２つの
基礎構成ユニット（Ｇｒｕｎｄｂａｕｓｔｅｉｎｅ）を
発明に従って結合する時にはエネルギーを２倍に高める
ことができ、又、３つの基礎構造ユニットを用いる時に
はエネルギーを３倍に高めることができるとの認識の上
に立つ。つまり内燃機関に於て、１気筒５２気筒の如く
一つの′原単位′を何倍かにするのと同じ原理である。

この場合には新しい構造エレメントとしては、結合フラ
ンジが必要であるに過ぎないがこれは然し、実質的には
ダブルコーナ中間フランジ以外の何物でもなく、何れに
しろそれは方向変換ミラーを持たない。

モジュール（Ｍｏｄｕｌ）を互いに階段状に接続すると
、長さ方向に延びたレイアウトとなる。

モジュールを互いに桂馬の動きに倣って接続すると、長
さ方向及び幅方向にほぼ同じ拡がりを持つレイアウトと
なる。

３つのモジュールを中央に位置する他のもう一つのモジ
ュールの３つのコーナに接続するようにすると、４つの
構造ユニットを持つレーザーが形成され、しかもこれら
の内の２つがガスパイプラインの一部のみにおいて作動
することが回避される。また、中央のモジュールの空い
ているコーナにさらにもう一つのモジュールを接続する
ことにより、全てのガスパイプラインにおいて作動する
５つの構造ユニットを持つレーザーが形成される。

モジュール群を複数段使用すると、ベース面を拡大する
ことなく出力の増大したレーザーが得られる。

〔実施例〕

出力が５００ワツトの００８　レーザー１１がテーブル
１２の上に設けられ、且つこのテーブル１２と強固に結
合されている。テーブル１２の下にはターボラジアルブ
ロワ１３が設けられ、且つこれはテーブル１２の下にネ
ジ結合されている。このようにしたことにより、分解組
立ての容易なユニットが得られる。

防震装置も又省略することができるが、これはターボラ
ジアルブロア１３が橿めて高い回転数を持つことによる
ものである。ターボラジアルブロワ１３の軸心はうテー
ブル１２に垂直に交わっており、このようにすることに
より、震動の少ないスペースが確保され、ターボラジア
ルブロワ１３と同じ高さにテーブル１２を更に近づける
ことができる。第３図および第４図に示された装置は一
つのユニ７）である、ユニットは図に示されていない架
台の上に設けられている。レーザーは一点ｔ１Ｍ！で示
されたレーザー光線路１４を持つ、光線路１４は正方形
を為している。光線路１４の長さは２６５０　ｍである
。光線路１４の直径は１０鶴であり、放射モードはＴＥ
Ｍ。。である。

光線路１４は３つのコーナ中間フランジ１６．１７．１
８を中に持つが、これらは模式的に示された４５°のミ
ラーを内蔵するとと、もにガスパイプのサポート１９を
も備える。第４番目のコーナにはエンドフランジ２１が
設けられ、且つこれは全反射ミラー２２および射出可能
ミラー２３を持つ、エンドフランジ２１内では光線路１
４は９０°で交叉している。第１のコーナ中間フランジ
１６と第２のコーナ中°間フランジ１７との間の正確に
中央には第１ガスパイプライン２４の中に第１貫通フラ
ンジ２６が設けられ、且つこれはその両側に於てサポー
ト１９を持つ０貫通フランジ２６とコーナ中間フランジ
１６の間にガスパイプライン２７が走行し、且つこのパ
イプはその両端に於てガス密的にシールされ、且つ貫通
フランジ２６とコーナ中間フランジ１７との間にはガス
パイプ２８があり、且つこのパイプはサポート１９の中
でガス密的にシールされている。二つのガスパイプ２７
゜２８は高周波電極３０により取巻かれている。第２の
ガスパイプライン２９の中では正確に中央の位置に第２
の貫通フランジ３１が設けられている。第３のガスパイ
プライン３２に於ては、その正確に中央の位置に於て第
３の貫通フランジ３３があり、且つ第４のガスパイプラ
イン３４には同様にして第４の貫通フランジ３６が設け
られている。ガスパイプラインは夫々互いに直交し、交
叉点３７を越えて延びる光線路を無視する時には幾何学
的な正方形を形成する。ガスパイプライン２７．２８お
よび電極３０に関する条件は、各光線路に於て等しいか
らこれらの説明は省略する。

正方形のコーナを通過する対角線３８．３９は交点４１
を持つ。

テーブル１２は（コーナに認められる斜行部は別として
）同様に辺長が８５１である。テーブルは何れも一枚の
鋼板から成る平坦な上面壁４２と平坦な下面壁４３を備
える。Ｗ４板自身は規定に従って設けられた開口を除き
ガス密的である。テーブル１２はその全周を周壁４４に
より囲まれ、且つこの周壁４４は内部の中空部分４６を
外部に対してガス密的にシールし、且つ上面壁４２およ
び下面壁４３に熔接されている。下面壁４３は交点４１
と同軸の中央孔４７を有している。対角線の片側長の約
１７３の半径上に下面壁４３は４つの穴４８，４９．５
１．５２を持つ、このようにすれば、ガスの供給及び排
出のための部分区間の負荷は絶対的に等しく、且つ対称
性も完全となり、且つ冷却されたガスは最も迅速な回路
を経てコーナ中間フランジ１６．１７．１８に達するこ
とができる。穴４９．５２を通って対角線３９が走行し
、又穴４８゜５１の中央を対角線３８が走行する。下面
壁４３の下側では、ブロワ１３のケーシング５３がガス
密的にネジ固定されている。モータ５４は一つのステー
タ５６および一つのロータ５７を持ち、かつそのシャフ
ト５日は幾何学的長軸５９を持ち、且つこれは交点４Ｉ
を通過する。このようにすれば、対称の考え方を完全に
満足することができるが、このことはテーブル１２の９
Ｌ荷１ガスの運動に関し、且つモジュールタイプの明確
な構造の持つ長所を意味する。シャフト５日上にはター
ビンロータ６１が設けられ、且つこのロータ６１はその
上端面の上に負圧室である吸弓スペース６２を持ち、且
つこのスペース６２は中央の孔４７と連続している。す
なわち、ターボラジアルブロワ１３のケーシング５３は
、ロータ５７に同軸的に排出口を持ち、且つこれはガス
排出のための貫通路に連続している。したがって、ター
ボラジアルブロワ１３をテーブル１２−杯に近づけるこ
とができ、テーブル１２の下面壁４３には中央に唯一の
孔４７を開けるだけでよい、正王室である圧力室６３は
ケーシング５３の中におけるタービンロータ６１の下流
側に設けられる。このようにすれば、テーブル１２のみ
ならず、ターボラジアルブロワ１３からテーブル１２ま
での配管を省略すると同時にターボラジアルブロワ１３
をテーブル１２の近傍に極めて接近させることができる
。圧力室６３は上方に同う支流６４を備え、且つこれは
穴４８〜５２と連通している。これによりターボラジア
ルブロワ１３をテーブル１２に直結することが出来、且
つ光学的ベンチとガスデイストリビユータ−の二重の機
能を最適の形で利用することが出来る。第２図に示すよ
うに、穴４８からは第１の部分区間６６が延び、且つこ
の中ではガスは矢印６７に従って流れる。上面壁４２と
下面壁４３との間には互いに直交する隔壁６８．６９が
ガス密的に熔接されている。第２図によれば隔壁６８は
６時から１２時の方向に、又隔壁６９は９時から３時の
方向に延びている。それらは穴４８からは距離を距でて
いるので穴を通るガスは流出を阻害されることはない。

隔壁６８．６９から２つの互いに平行な隔壁７１．７２
が延び、且つこれらは互いに大きな距離を距でて対角１
３８に平行に走行する０部分区間６６には熱交換器７３
が設けられているが、その接続部は下面壁４３と直角に
交差していて図には示されていない、上面壁４２はコー
ナ中間フランジ１６の下に穴４８に対応して穴を持つが
図には示されていない、この図示されていない穴は、ガ
ス密約なコーナ中間フランジ１６の内部と直接連通して
いる。第２図に示すように、−点鎖線７４．７６に従い
、ガスは部分区間６６からコーナ中間フランジ１６に流
れ、且つここから外に向いガスパイプ２７、およびガス
パイプ７７の中に流れることができる０部分区間７８，
７９．８１は構造的に等しい為に、以下の説明は省略さ
れる０図から知ることのできる如く、部分区間７８．８
１は対角線３９の下に、又部分区間６６．７９は対角線
３８の下に位置する。又部分区間６６．７Ｂ、７９．８
１は対称性の星型に、且つ同じ形状で走行するとも表現
することが出来る。このような部分区間６６、７８．７
９．８１にそれぞれ熱交換器が位置することにより、熱
交換器を等しくテーブルのなかに内蔵することが出来る
為に補助機器を必要とせずに済む、また、最初から冷却
されたガスを使用することができ、高い出力を以て回転
するターボラジアルブロワ１３に高温ガスが供給されな
い、さらにテーブル１２もまた冷却される。流れの方向
は矢印を以て記入されている。

互いに平行に、互いに大きい距離を距で、且つ対角線３
８．３９の角度の２等分線に平行に２つの真っ直ぐな隔
壁８２．８３が、中央孔４７および第２図のその周辺領
域から垂直に上に向かって走行している。これによりガ
ス排出の為の部分区間８４が設けられる。ガスはガスパ
イプライン２７．２８から貫通フランジ２６に流れ、且
つこの貫通フランジ２６はその部分に於て中空である。

上面壁４２の方向に貫通フランジ２６は図示されていな
い孔を持つ、この孔は、同様に示されていない、直接そ
の下に在る上面壁４２の穴と連通している。ガスの流れ
を表す線７４は貫通フランジ２６の中で別のガスの流れ
を表す線８５と出会う、２つのガスの流れは同じ流量を
持つ、それらは図示されていない穴を通り部分区間８４
に達し、その位置で熱交換器８６を通過し、且つ中央孔
４７を通り、吸引スペース６２の中に吸引される。同様
に貫通フランジ３１からその中に熱交換器を持つ部分区
間８７が中央孔４７に続き、部分区間８日は貫通フラン
ジ３３から中央孔４７に続き、且つ同様に熱交換器を持
つ部分区間８９は貫通フランジ３６から中央孔４７に続
いている。このように、ガス供給の為の部分区間８４．
８７，８８．８９の中に熱交換器が位置すると、ガスが
放射区間に達する前に更に冷却されまたターボラジアル
ブロワ１３の中のガスの圧縮により上昇した温度も再び
引下げられることが出来る。更にこれら部分区間８４．
８７，８８．８９に加えて前述したガス排出のための部
分区間６６．７８，７９．８」にも熱交換器を備える時
には冷却面積は更に増大する。隔壁８２．８３は他の部
分区間８７．８８．８９を限定する隔壁と共に大きな十
字を形成し、且つそのコーナ９１は中央孔４７よりはる
が手前の位置に於て終わっている。これにより部分区間
８４．８７，８８．８９の流れの条件は良くなる。何故
ならば流れは対称的であり且つ同じ流量を持ち、阻害さ
れることなく、又真っ直ぐに導かれているからである。

真っ直ぐな流れを可能にするデザインは他の部分区間６
６．７Ｂ、７９．８１に対しても当てはまる。給源を示
す穴４８，４９，５１．５２の周りには多くのスペース
があり、又この事は座ぐりを持つ穴４７の周りにも当て
はまる。各部分区間の仕切り壁の距離は等しいので比流
体抵抗は等しい。

第３図に示された構成ユニットの高さは、約８０鶴であ
る。従って８Ｏｎの高さと、角辺の約８５ｃｌＩの持つ
体積を容れる空間が必要とされるに過ぎない。

尚、上述の実施例に示した各寸法に囚われない一般的な
ものの場合、ターボラジアルブロワの回転数を１ｏｏｏ
ｏから１５００００ｒ、ｐ、層、の範囲とし、且つガス
の供給量を１００から２００Ｏｎ？／ｈの間とすれば、
数百ワットから数キロワットの出力範囲のレーザをレー
ザ自体を変更することなく得ることが出来る、ターボラ
ジアルブロワの出力は当然それに応じて高められねばな
らない、この場合にレーザ放射の長さは２０００から３
０００ｍの範囲に達することが出来る。ガスパイプライ
ンが正方形の形態の場合にこの事は辺の長さは６０〜８
０１で済むことになり、スペースの節約に極めて役立つ
。

ターボラジアルブロワの回転数を４００００から１００
００Ｏｒ、ｐ、ｍ、の範囲とし、且つガスの供給量を５
００から１２００ｎ？／ｈの間とした場合は特に好まし
い作業範囲のレーザーを得ることができる。

５００ワツトレーザーの場合のターボラジアルブロワの
回転数を４００００ｒ、ｐ、ｍ±２０％の範囲とするこ
とにより、例えば２００ワツト又は１０００ワツトレー
ザーの必要とする値を容易に計算することができる。

２００ワツト〜数にワットのレーザー出力を得る為に必
要なテーブルは、厚みが数十日、特に５０〜１４０ｆｉ
であればよい、この数イ直はテーブルブレートが如何に
薄いものであるかを示している。

上記実施例、のように、装置を互いに固定且つ一体的に
結合された構成ユニットとすると、多数のホース１配管
等のない殆ど一枚の板の如きユニットを得ることが出来
る。

第５図によるレーザーは第１図によるレーザーの２基か
ら成り、且つこの場合に左下に示されたユニット（Ｂａ
ｎｅｉｎｈｅｉ　ｔ）は右上に示された同じユニットと
一つの接続フランジ２１’　により接続されている。左
下に示されたユニットには従って第１図に比してコーナ
中間フランジ１７が欠如し、又右上に示されたユニット
は全反射用のミラー２２の一つのみならず着脱ミラー２
３も又備えていない０代わりにその位置では光線路は正
確に９０″を以て直線的に接続フランジ２１’を貫通し
ている。接続フランジ２１１　の中央では光線は交差す
るが、然しこの事は構造的に又は熱的にも何等問題とな
るものではないことが知られている。

ブロワ、熱交換器および冷却ガス区間のガスパイプライ
ンの相対的な位置を知るには第２図を見るだけで充分で
あり、又−第５図から見ることの出来る如く−２つの図
をコーナで一つの接続フランジを用いることにより互い
に接合した場合も、これらの構造上の細部はこの第５図
に於て見ることができる。

第６図は第５図による２つのユニットと対比的に３つの
ユニットの連続を示す０図から判る如くこの場合には夫
々４５＠方向を変換する７つの方向変換ミラー、並びに
２つの同じ接続フランジが必要とされる。省略される方
向変換ミラーの数は容易に数えることができる。

第７図はユニットの接読が必ずしも対角的なコーナに於
て行わねばならぬことはなく、桂馬の動きに倣って（ｉ
ｓ　Ｒｏｓｓｅｌｓｐｒｕｎｇ　ｍ１ｔｅｉｎａｎｄｅ
ｒｒｅｒｂｕｎｄｅｎ　５ｉｎｄ）接続されていてもよ
いことを示している。すなわち、第１のユニットの２つ
の隣合うコーナにも接続することができる。

第８図による５つのユニットの接続形態は第６図による
形態から考案することができ、且つこの場合に中央のユ
ニットの空いているコーナに一つのユニットが接続され
ている０図から判る如く中央のユニットは４５°の方向
変換用ミラーを全く必要としない、４つの簡単な接続用
貫通フランジが必要であるに過ぎない、第８図に於ける
レーザー光線をたどるとすべてのガスパイプラインがレ
ーザーに用いられることが判る。

第９図はチェス盤パターン状に配置された１６ユニツト
を示している。射出されるレーザー光線は下向に配置さ
れた矢印により示されている。然しこの場合に他のいず
れの任意の外側のコーナにおいても射出されることが出
来るであろう、構成ユニットはハツチングにより明瞭に
示されている。

４ｘ４＝１６ユニツトが使用されているが必要な４５゜
方向変換ミラーの数は２０個に過ぎない、この数はユニ
ットの数に比して少な（、システムを空きコーナの生じ
ぬ様にデザインすればする程、方向変換ミラーをより多
く節約できる法則の存在することを知ることが出来る。

２１個の接続フランジが必要であるが然し一上に説明さ
れた如く一構造的に簡単である。この場合に他の結合パ
ターンに於ける如く、接続フランジの中でミラーは冷却
される必要はなく、従って発明はこの点でより簡単であ
る、勿論、必ず一つの位置では全反射ミラーおよび射出
ミラーが必要である。

第１１図に従って二段方式も利用することができ、従っ
て出力は第９図に比べてベース面を拡大することなく２
倍にされることが出来る。

この２段化は、勿論第５図〜第８図によるユニットの如
き簡単なユニットに於ても可能である。

この場合には破線で示された４５″ミラーを必要とする
に過ぎないし、且つこれらによって反射する光は第９図
の図面の平面内ではなく一つの段から他の段に１回垂直
に反射する。これらの２つの段を互いに連続する結合ミ
ラーは第１１図において９１および９２に示されており
、反射する光は９３に示されている０図から知ることの
できる如く下段のモーター５４１　は上方に突き出てい
る。基本構成ユニットの場合には空間の如何なる位置に
設けることも可能である。例えば第９図による装置は無
条件に水平に設置される必要はなく、むしろこれは垂直
方向に壁体として設けられることもでき、従って第１１
図による装置も垂直の二重壁を形成することができよう
。

第１０図は４つの構成エレメントは互いにこのようには
接続されるべきではないことを示すものである。この場
合にループ９４に従う放射回路をたどれば、破線により
示されたループ９６内に在るが如きガスパイプラインは
利用し得ぬことが判る。従ってこの場合に利用し得るエ
ネルギーは４倍以下であるに過ぎない、４つの構成ユニ
ットのガスパイプラインを全て利用するためには、第８
図のように接続した５つの構成ユニットの中から、中央
のユニットのコーナに接続された一つのユニットを外し
た形態とするのがよい。前記第１０図に示したような配
置は何れにしろ２つの互いに独立したレーザー光線を作
り出そうとする時にのみ有効なものであろう。この時に
は更に例えば破線により示された矢印９７に従って射出
せねばならず、勿論この位置では９０°ミラーを取外し
、且つ第１図に示される如く成されたエンドフランジ２
１をその位置に設けねばならぬであろう、この場合には
２つの等しいレーザー光線を立体的な配置で得ることが
できるであろう。

〔発明の効果〕

請求項１によれば構造ユニットを互いに結合する時には
一つの方向変換ミラー　一つの全反射ミラーおよび射出
ミラーを節約することができる。

上記から判る如くこの事自体モードの改善、更に冷却が
簡単となること、ガス流量の改善（接続ラインを通って
ガスは通直に流れ且つコーナを回ることはなくなるから
である）の如きコストに関して多（の長所をもたらすか
らである。ミラーの数が減少することにより調節は更に
簡単となる。ミラーは高価である為にミラーの減少によ
り多額のコストを引下げることが出来る。基本構成ユニ
ットを複数個組み合わせた場合にも構造は決して複雑に
なることはない、この事は例えば電力又はその他の供給
機構を極めてシステマテインクに、且つ整然と行うこと
の可能なことを意味する。原理は何倍にも出力を高める
場合には同じ方法を繰返すのみで良い、この場合には新
たな計算を必要とすることはない、何故ならばあらゆる
部材はタービンを含め同じであるからである。システム
全体の中で唯一の不定性因子を挙げるならば、それは全
反射ミラーおよび射出ミラーに過ぎない０個々の構造ユ
ニットは例えば５００ワツトの出力の場合には１ｍ以下
の長さに収まるが如き小型である。

請求項２によれば、長さ方向に延びた場所に好適なレー
ザーが得られる。

請求項３によれば長さ方向および幅方向にほぼ同じ拡が
りを持つ場所に好適なレーザーが得られる。

請求項４によれば、４つの構造ユニットを全てのガスパ
イプラインを使用し得るように接続することが出来る。

請求項５によれば、５つの構造ユニットを全てのガスパ
イプラインを使用し得るように接続することが出来る。

請求項６によれば、構造ユニットを多次元的に配置して
、ベース面を拡大することなく高出力を得るようにする
ことが出来る。

【図面の簡単な説明】

第１図は水平に設置されたレーザーの平面図を模式的に
示したものであり、第２図は第１図の平面図をテーブル
ボードの内部を示す為に拡大したものであり、第３図は
第１図の矢視を示す図であり、第４図は第３図の矢視図
であるが拡大し、且つ一部を切開することにより、モー
ターケーシング、ブロワフランジの内部を示し、且つ部
分区間を破線で示した図であり、第５図は第１図をほぼ
２つ併せて成る２つのユニットの結合を示す模式平面図
であり、第６図は３つのユニットの配置のための模式図
であり、第７図は３つのユニットの別の配置を示す模式
図であり、第８図は５つのユニットの配置のための模式
図であり、第９図は４×４の結合−１６ユニノトの模式
図であり、第１０図は４つのユニットの結合が不可能で
あることを示す模式図であり、第１１図は第９図の配置
を側面から見たものであり、更にユニットの列が上下２
段に重ねられていることを示す模式図である。 １２・−テーブル Ｉ３・−ターボラジアルブロワ（ブロワ）１６、１７．
１８−・・コーナ中間フランジ２１−　エンドフランジ ２１’　・・・接続フランジ ７３．８６−・−熱交換器

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. （１）ａ）コーナ中間フランジを有し、一つのエンドフ
   ランジを有し、矩形の形でコーナ中間フランジとエンド
   フランジとの間に設けられたガスパイプラインを有し、
   一つのテーブルを有し、一つのブロワを有し、熱交換器
   を有し、且つブロワとの間のおよびガスパイプラインと
   の間の往復の冷却ガス区間を有してなるＣＯ＿２−工業
   用レーザーが、一つのモジュール（Ｍｏｄｕｌ）を形成
   し、ｂ）夫々少なくとも２つの、少なくともほぼ等しい
   モジュールが互いに接続されており、ｃ）接続はモジュ
   ールのコーナに於て前記コーナ中間フランジもしくはエ
   ンドフランジに代えて設けた接続フランジにより行われ
   、且つこのフランジはその内部をレーザー光線が貫通す
   ることを可能にし、且つ夫々異なったモジュールの２つ
   のガスパイプラインを直線状に互いに接続することを特
   徴とするＣＯ＿２−工業用レーザー。
2. （２）少なくとも３つのモジュールが階段状に互いに接
   続されていることを特徴とする請求項１に記載のＣＯ＿
   ２−工業用レーザー。
3. （３）少なくとも３つのモジュールが桂馬の動きに倣っ
   て互いに接続されていることを特徴とする請求項１に記
   載のＣＯ＿２−工業用レーザー。
4. （４）４つのモジュールの場合にその内の３つが中央の
   モジュールの３つのコーナに接続されていることを特徴
   とする請求項１に記載のＣＯ＿２−工業用レーザー。
5. （５）５つのモジュールの場合にその４つが中央のモジ
   ュールの４つのコーナに接続されていることを特徴とす
   る請求項１に記載のＣＯ＿２−工業用レーザー。
6. （６）モジュール群が複数段が使用されていることを特
   徴とする請求項１に記載のＣＯ＿２−工業用レーザー。