JPS60120581A - レ−ザ発振装置 - Google Patents
レ−ザ発振装置Info
- Publication number
- JPS60120581A JPS60120581A JP22931183A JP22931183A JPS60120581A JP S60120581 A JPS60120581 A JP S60120581A JP 22931183 A JP22931183 A JP 22931183A JP 22931183 A JP22931183 A JP 22931183A JP S60120581 A JPS60120581 A JP S60120581A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge
- stages
- power source
- tubes
- vacuum tube
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/06—Construction or shape of active medium
- H01S3/07—Construction or shape of active medium consisting of a plurality of parts, e.g. segments
- H01S3/073—Gas lasers comprising separate discharge sections in one cavity, e.g. hybrid lasers
- H01S3/076—Folded-path lasers
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、小型、低価格の電源装置を用いたパルス発振
Ｃ０２レーザ発振器に関する。
Ｃ０２レーザ発振器に関する。
従来例の構成とその問題点
従来、Ｃ０２レーザ発振器の定格出力を太きぐするには
、例えば拡散冷却方式では、単位放電長当りＳＯＷ〜８
０―程度の出力が限度であるので、定格ｓｏｏｗの出力
を得るためには、複数本のレーザ管を用いて多重に折り
返す必要があるＯ第１図は、複数本のレーザ管を用いて
１段からｎ段目まで配置した構成を示す概略図である０
現在レーザを用いた応用技術も急速に発展し、特に加工
への応用でパルス加工が注目されて来ている。
、例えば拡散冷却方式では、単位放電長当りＳＯＷ〜８
０―程度の出力が限度であるので、定格ｓｏｏｗの出力
を得るためには、複数本のレーザ管を用いて多重に折り
返す必要があるＯ第１図は、複数本のレーザ管を用いて
１段からｎ段目まで配置した構成を示す概略図である０
現在レーザを用いた応用技術も急速に発展し、特に加工
への応用でパルス加工が注目されて来ている。
従来、第１図に示した様な多重に折り返した放電管では
、パルス発振器として動作させるために各放電管の、駆
動電源に周波数応答性の早い能動素子を用いる必要がら
る０特にＣ０２レーザでは電気的耐圧に強く、周波数応
答性が早い真空管７を用いてパルス発振させることが多
い。
、パルス発振器として動作させるために各放電管の、駆
動電源に周波数応答性の早い能動素子を用いる必要がら
る０特にＣ０２レーザでは電気的耐圧に強く、周波数応
答性が早い真空管７を用いてパルス発振させることが多
い。
第１図において、レーザ放電管Ｉ″ｉ１〜ｎ段まで全反
射鏡５１．５２，６３．・・・及び６により各放電管１
，２，３．・・・ｎは多段に結合されたコの字折返しレ
ーザ発振器を示す。レーザ放電管１〜ｎ内にはレーザ媒
質ガスが封入ないしは流入する０説明を簡単化するため
１段のみ動作を述べる０し−ザ放電管１には励起用高電
圧電極１２Ｌと１ｂが配置され、１ａはアノード電極で
あり常時放電を開始するにたりる電圧が印加される。又
、１ｂはカソード電極であり真空管７１及び電流制御用
トランジスタ８１を介してアース接地となる。真空管７
１のプレート側、あるいはレーザ放電管１のカソード側
１ｂには放電ＯＦＦの場合、アース電位に対して図示さ
れていない分割抵抗により数℃程度の高電圧゛が印加さ
れている。その時は真空管７１のインピーダンスは高抵
抗となる。放電を開始する場合はトランジスタ８１のベ
ースパルス又は連続信号を与えると真空管７１のインピ
ータ“ンスが低抵抗となり真空管７１のプレート電位が
０となり放電管１の放電が開始される。他の放電管２．
３．・・・、ｎも同様にして放電が開始される。
射鏡５１．５２，６３．・・・及び６により各放電管１
，２，３．・・・ｎは多段に結合されたコの字折返しレ
ーザ発振器を示す。レーザ放電管１〜ｎ内にはレーザ媒
質ガスが封入ないしは流入する０説明を簡単化するため
１段のみ動作を述べる０し−ザ放電管１には励起用高電
圧電極１２Ｌと１ｂが配置され、１ａはアノード電極で
あり常時放電を開始するにたりる電圧が印加される。又
、１ｂはカソード電極であり真空管７１及び電流制御用
トランジスタ８１を介してアース接地となる。真空管７
１のプレート側、あるいはレーザ放電管１のカソード側
１ｂには放電ＯＦＦの場合、アース電位に対して図示さ
れていない分割抵抗により数℃程度の高電圧゛が印加さ
れている。その時は真空管７１のインピーダンスは高抵
抗となる。放電を開始する場合はトランジスタ８１のベ
ースパルス又は連続信号を与えると真空管７１のインピ
ータ“ンスが低抵抗となり真空管７１のプレート電位が
０となり放電管１の放電が開始される。他の放電管２．
３．・・・、ｎも同様にして放電が開始される。
以」二の放電開始動作によりレーザ発振され各々配置さ
れた全反射鏡５１．６２，５３１・・及び６により１バ
スの光が増幅され部分透過鏡９よりレーザ光４は取出さ
れる。
れた全反射鏡５１．６２，５３１・・及び６により１バ
スの光が増幅され部分透過鏡９よりレーザ光４は取出さ
れる。
以上の構成の従来の高出力レーザ発振器は複数本のレー
ザ放電管１．２，３．・・・ｎに各々真空管７１．７２
、・・・を配置することになり、かつ真空管７１，７
２．・・・を動作させる電流制御トランジスタ８１ 、
８２．＋・・・も各々必要となる。したがってレーザ電
源そのものが大型化され、真空管の単価が非常に高く、
コストアップとなるので実用上パルス発振器として動作
させることが困難であった。
ザ放電管１．２，３．・・・ｎに各々真空管７１．７２
、・・・を配置することになり、かつ真空管７１，７
２．・・・を動作させる電流制御トランジスタ８１ 、
８２．＋・・・も各々必要となる。したがってレーザ電
源そのものが大型化され、真空管の単価が非常に高く、
コストアップとなるので実用上パルス発振器として動作
させることが困難であった。
発明の目的
本発明は以上のような欠点を解消させるためになされた
もので、レーザ発振装置の駆動電源を小型、低価格なも
のとすることを目的とする。
もので、レーザ発振装置の駆動電源を小型、低価格なも
のとすることを目的とする。
発明の構成
上記目的を達成するために、本発明はレーザにて１段の
み真空管を用いたパルス励起用能なパルス発振器として
構成し、それ以降の放電管は簡単な抵抗垂下による連続
励起電源を用いた光増幅器として構成したレーザ発振装
置を提供するものである。
み真空管を用いたパルス励起用能なパルス発振器として
構成し、それ以降の放電管は簡単な抵抗垂下による連続
励起電源を用いた光増幅器として構成したレーザ発振装
置を提供するものである。
実施例の説明
以下本発明の実施例について図面とともに詳細に説明す
る。
る。
第２図は本発明の多段型レーザ発振装置の概略図を示す
。第１図と異なる点はｎ段目である１段のみ真空管制御
を用いたレーザ発振器となる様な構成とし、他の段の放
電管１〜３は全透過鏡１０を配置した光増幅器とする点
である。ｎ段の放電管１〜ｎにはそれぞれアノード電極
１ａ−１’ｌＬ。
。第１図と異なる点はｎ段目である１段のみ真空管制御
を用いたレーザ発振器となる様な構成とし、他の段の放
電管１〜３は全透過鏡１０を配置した光増幅器とする点
である。ｎ段の放電管１〜ｎにはそれぞれアノード電極
１ａ−１’ｌＬ。
カソード電極’Ｉｂ−ｎｔ）ｆ：構成し、アノード電極
１２Ｌ、ｎｌＬには放電開始できるにたりる高電圧が常
時印加され、又、カソード電極ｎｂは真空管７と電流制
御用トランジスタ８を介してアース接地される。他の段
の放電管１〜３のカソード電極１ｂ、２ｂ、・・〜は抵
抗１１，１２．・・・を介して接地される。トランジス
タ８０ベースにパルス又は連続信号を与えることにより
真空管７のインピーダンスはその信号に応じて低抵抗と
なり放電が開始され、周波数応答性の早い真空管を用い
ているためパルス放電又は連続放電が可能な発振器とな
る。発振器を構成するためには部分透過鏡９と全反射鏡
６を用いることにより連続発振及びパルス発振ができる
様になり更に発振されたレーザビ−ムは多段に折返され
た光増幅器にて増幅されて全透過鏡１ｏにてレーザビー
ム４は取出される。この時光増幅器での放電管１〜３の
励起用電源は各々簡単な垂下抵抗１１．１２．・・・を
用いた連続励起電源回路で良い。但し全透過鏡１０は全
段での発振器とならない様なミラーの傾きをもって配置
されることが望ましい。
１２Ｌ、ｎｌＬには放電開始できるにたりる高電圧が常
時印加され、又、カソード電極ｎｂは真空管７と電流制
御用トランジスタ８を介してアース接地される。他の段
の放電管１〜３のカソード電極１ｂ、２ｂ、・・〜は抵
抗１１，１２．・・・を介して接地される。トランジス
タ８０ベースにパルス又は連続信号を与えることにより
真空管７のインピーダンスはその信号に応じて低抵抗と
なり放電が開始され、周波数応答性の早い真空管を用い
ているためパルス放電又は連続放電が可能な発振器とな
る。発振器を構成するためには部分透過鏡９と全反射鏡
６を用いることにより連続発振及びパルス発振ができる
様になり更に発振されたレーザビ−ムは多段に折返され
た光増幅器にて増幅されて全透過鏡１ｏにてレーザビー
ム４は取出される。この時光増幅器での放電管１〜３の
励起用電源は各々簡単な垂下抵抗１１．１２．・・・を
用いた連続励起電源回路で良い。但し全透過鏡１０は全
段での発振器とならない様なミラーの傾きをもって配置
されることが望ましい。
発明の効果
以上のように、本発明は多段方式レーザ発振装置の１段
の放電管に真空管励起電源を接続し、他の段の放電管に
は抵抗による連続励起電源を接続したレーザ発振装置で
、多段方式レーザ発振装置のパルス励起用電源が真空管
を用いる電源としては１段のみで良くその他の電源は簡
単な抵抗垂下のみで良く、小型で低価格のレーザ電源で
パルス発振および連続発振も可能なレーザ発振装置を提
供することができる。又、発振装置としては１段の発振
器の安定性を確保し、他の段での光増幅器は１バスの光
の通過に使用しているため、多段型発振器を構成した従
来の装置よりも発振の安定性がとりやすい。
の放電管に真空管励起電源を接続し、他の段の放電管に
は抵抗による連続励起電源を接続したレーザ発振装置で
、多段方式レーザ発振装置のパルス励起用電源が真空管
を用いる電源としては１段のみで良くその他の電源は簡
単な抵抗垂下のみで良く、小型で低価格のレーザ電源で
パルス発振および連続発振も可能なレーザ発振装置を提
供することができる。又、発振装置としては１段の発振
器の安定性を確保し、他の段での光増幅器は１バスの光
の通過に使用しているため、多段型発振器を構成した従
来の装置よりも発振の安定性がとりやすい。
第１図は従来の多段式レーザ発振装置の一例を示す概略
図、第２図は本発明によるレーザ発振装置の実施例を示
す概略図である。 １〜ｎ・・・・・・放電管、１ａ−ｎａ ・・・アノー
ド電極、１ｂ、ｎｂ・・・・・カソード電極、４・旧・
・レーザビーム、６，５１，５２・・・・・・全反射鏡
、７・・・・・・真空管、８ トランジスタ、９・・・
・・・部分透過鏡、１Ｑ・・・・・・全透過鏡、１１，
１２・・・・・・抵抗。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図
図、第２図は本発明によるレーザ発振装置の実施例を示
す概略図である。 １〜ｎ・・・・・・放電管、１ａ−ｎａ ・・・アノー
ド電極、１ｂ、ｎｂ・・・・・カソード電極、４・旧・
・レーザビーム、６，５１，５２・・・・・・全反射鏡
、７・・・・・・真空管、８ トランジスタ、９・・・
・・・部分透過鏡、１Ｑ・・・・・・全透過鏡、１１，
１２・・・・・・抵抗。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図
Claims (2)
- （１）複数本の放電管を全反射鏡を介して多段に配し、
前記多段放電管の１段に真空管励起電源を接続し、他の
段の放電管には抵抗による連続励起電源を接続したこと
を特徴とするレーザ発振装置。 - （２）真空管励起電源が真空管および電流制御用トラン
ジスタの直列回路より成り、前記トランジスタにパルス
又は連続信号を印加する特許請求の範囲第１項記載のレ
ーザ発振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22931183A JPS60120581A (ja) | 1983-12-05 | 1983-12-05 | レ−ザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22931183A JPS60120581A (ja) | 1983-12-05 | 1983-12-05 | レ−ザ発振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60120581A true JPS60120581A (ja) | 1985-06-28 |
Family
ID=16890147
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22931183A Pending JPS60120581A (ja) | 1983-12-05 | 1983-12-05 | レ−ザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60120581A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4912718A (en) * | 1987-10-13 | 1990-03-27 | Hans Klingel | Device for a power laser |
-
1983
- 1983-12-05 JP JP22931183A patent/JPS60120581A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4912718A (en) * | 1987-10-13 | 1990-03-27 | Hans Klingel | Device for a power laser |
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