JPH0778483B2 - 酸素検出素子 - Google Patents

酸素検出素子

Info

Publication number
JPH0778483B2
JPH0778483B2 JP62311278A JP31127887A JPH0778483B2 JP H0778483 B2 JPH0778483 B2 JP H0778483B2 JP 62311278 A JP62311278 A JP 62311278A JP 31127887 A JP31127887 A JP 31127887A JP H0778483 B2 JPH0778483 B2 JP H0778483B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
oxygen
catalyst
gas
titania
detection
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP62311278A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0197855A (ja
Inventor
孝夫 小島
稔明 近藤
雅彦 山田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NGK Spark Plug Co Ltd
Original Assignee
NGK Spark Plug Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NGK Spark Plug Co Ltd filed Critical NGK Spark Plug Co Ltd
Priority to JP62311278A priority Critical patent/JPH0778483B2/ja
Publication of JPH0197855A publication Critical patent/JPH0197855A/ja
Priority to US07/837,088 priority patent/US5538612A/en
Priority claimed from US07/837,088 external-priority patent/US5538612A/en
Publication of JPH0778483B2 publication Critical patent/JPH0778483B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/26Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
    • G01N27/403Cells and electrode assemblies
    • G01N27/406Cells and probes with solid electrolytes
    • G01N27/407Cells and probes with solid electrolytes for investigating or analysing gases
    • G01N27/4075Composition or fabrication of the electrodes and coatings thereon, e.g. catalysts

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Molecular Biology (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Measuring Oxygen Concentration In Cells (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、例えば内燃機関や各種燃焼機器の排ガスの浄
化等を行うために、排ガス中の酸素濃度の測定する酸素
センサに用いられる酸素検出素子に関する。
[従来の技術] 従来より、内燃機関や各種燃焼機器等の空燃比を制御し
て排ガスを浄化するために、排ガス中の酸素濃度を検出
する酸素センサが用いられていた。
この酸素センサは、排ガス等の検出ガス中の酸素濃度
と、基準ガス中の酸素濃度との差に応じて起電力を生じ
る。この起電力は理論空燃比点で急激に変化するので、
起電力を測定することにより検出ガスの空燃比を求める
ことができる。
上記酸素センサに用いられる酸素検出素子としては、例
えば、ジルコニアから成る酸素イオン伝導性の固体電解
質体の両面に電極を備えたものがあり、この電極の一方
は検出ガス側に晒され、他方の電極は基準ガス側に晒さ
れている。
そして、上記酸素検出素子の検出ガス側の電極を保護す
るとともに、この電極で行われるCO,HC,H2等のガス成分
の酸化反応を促進して、空燃比を精度良く検出する技術
が開発されている。例えば、検出ガス側電極の表面に、
Al2O3を用いて多孔質の第1のコート層を形成し、更
に、その第1のコート層の表面に、酸化反応を促進する
Pt触媒を担持したAl2O3を用いて、第2のコート層を形
成した酸素センサが提案されている。(特公昭57−3490
00号公報参照) [発明が解決しようとする問題点] しかしながら、Pt触媒を担持したAl2O3を用いて、第2
のコート層を形成した場合には、触媒性の高いPtに検出
ガスのガス成分が過度に吸着することや、或はコート層
の微細な孔にPt微粒が入り込んで目づまりを生じること
等の原因により、酸素センサの応答性が低下するという
問題点があった。また上記問題点の対策として、担持す
るPt触媒の量を少なくすると、使用中にPtが飛散して、
触媒としての効果が減少するという新たな問題点が生ず
る。
[問題点を解決するための手段] かかる問題点を解決するための本発明の構成は、 酸素イオン伝導性を有する固体電解質体の一方の面に基
準ガス側電極を、他方の面に検出ガス側電極を形成し、
この検出ガス側の電極表面に、多孔質の耐熱性金属酸化
物から成るコート層を形成した酸素検出素子において、 上記コート層の少なくとも一部が、検出ガスのガス成分
を平衡化する触媒を担持したチタニアを主体とした層で
被覆されていることを特徴とする酸素検出素子を要旨と
する。
上記チタニアに担持される触媒としてはPtを用いること
ができ、特にPtの担持量がチタニアに対し、0.2mol%以
上5mol%以下の場合には、触媒の効果も十分であり、か
つ応答性にも優れているので好適である。
上記コート層の触媒は、チタニアに担持されるととも
に、コート層の他の部分に担持されていることが好まし
い。また、上記チタニアが、上記コート層の表層全体に
形成されていてもよい。コート層の全体がチタニアから
形成されていてもよい。
更に、上記両電極としては、例えばPt,Pt−Rh合金,Rh等
が用いられ、コート層のチタニア以外の部分の素材とし
ては、例えばスピネル、Al2O3等が用いられる。
尚、特に低温時における検出ガスの平衡化を促進するた
めに、検出ガス側電極の表面に形成したスピネルやAl2O
3等の層を、酸素検出素子の先端部分で厚くし、その先
端部分に厚くした以外の部分に触媒を担持したチタニア
を主体とする層を形成してもよい。また、厚くした先端
部分に触媒を担持させてもよい。また、上記スピネルの
表面に他の酸化金属保護層(例えばAl2O3層)を形成し
て、先端部分を厚くしてもよい。
[作用] 本発明の酸素検出素子は、酸素イオン伝導性の固体電解
質体の両側に電極が形成され、その検出ガス側の電極の
表面には、多孔質の耐熱性金属酸化物から成るコート層
が形成されている。
そして、上記コート層の少なくとも一部がチタニアを主
体とする層から成るとともに、検出ガスのガス成分を平
衡化する触媒を担持しているので、ガス成分の酸化反応
の平衡化が促進される。
更に、遷移金属酸化物の非化学量論的化合物であるチタ
ニアには、酸素量に応じて電子やホール等が変化するこ
とにより、ガス中の過剰の酸素を除去したり、ガス中に
酸素を放出する性質があるので、酸化反応を補うととも
に、担持した触媒にガス成分が過度に吸着することを防
止することができる。
これによって、酸化反応は確実に行われ、かつ応答性も
向上する。尚、本発明で層の主体とするチタニアは、酸
素の吸蔵及び放出の能力が過大ではなく適度であるの
で、リーンガスとリッチガスとが急速に切り換わるガス
においても、センサからの出力信号は、ガス中の酸素量
の変化に十分に対応した信号となり、その点からも優れ
た応答性を有している。
[実施例] 以下本発明の一実施例を図面従って説明する。
第1図は第1実施例の酸素検出素子1を備えた酸素セン
サ2を示し、第2図は酸素検出素子1の先端の部分拡大
図である。
この酸素検出素子1の固体電解質体3は、第1図の如
く、酸素イオン伝導性を有する安定化及び部分安定化ジ
ルコニアを素材として、試験管状に形成されており、そ
の内側(基準ガス側)及び外側(検出ガス側)に、白金
(Pt)電極4,6を備えている。
そして、第2図の如く、検出ガス側の電極6の表面に
は、スピネル(Al2O3+MgO)から成る第1のコート層8
が形成され、更に、その表面には、Pt触媒を担持したチ
タニアから成る第2のコート層10が形成されている。
上記酸素検出素子1は、第1図の如く、リング12及びカ
ーボンの充填材14によって、ステンレス製のハウジング
16に固定される。また、酸素検出素子1の先端には保護
管18がかぶせられている。
次に、酸素検出素子1の製造法について説明する。
まず純度99%のZrO2の原料に、純度99.9%のY2O3を4mol
%添加し、湿式にて粉砕混合し、1300℃にて2時間仮焼
する。
次に、粒子の80%が2.5μm以下の粒径になるまで湿式
にて粉砕する。この粉砕した材料に、水溶性バインダを
加え、スプレードライヤにて粒径約70μmの球状の2次
粒子を形成する。そして、第1図の如き、所定の試験管
状に形成し、約1500℃で焼成して、固体電解質体3を形
成する。
次に、その固体電解質体3の表面に、Ptを化学メッキし
た後に熱処理し、検出ガス側の電極6及び基準ガス側の
電極4を形成する。
次に、第2図に示す如く、上記検出ガス側の電極6の表
面に、スピネルをプラズマ溶射し、多数の微孔(1μm
以下)を有する厚さ約100μmの第1のコート層8を形
成する。
次に、遷移金属酸化物の非化学量論的化合物であるチタ
ニアの粉末を、Ptが0.2mol%以上5mol%以下のH2PtCl6
液又はPtブラックに含浸した後に乾燥する。
次に、N2雰囲気にて、乾燥したチタニアの粉末を熱処理
し、ブチルカルビドールと有機バインダを加えてペース
トとする。そして、このペーストを第1のコート層8の
表面に塗布し焼付けすることにより、細孔(約10μm)
を有する厚さ約25μmの第2のコート層10を形成する。
これらの操作によって、固体電解質体3上に、順次、検
出ガス側の電極6,第1のコート層8,及び第2のコート層
10が積層された酸素検出素子1が形成される。
次に、本実施例の酸素検出素子1の効果のうち、応答性
の改善を確認するために、第3図の測定装置を用いて行
った実験例について説明する。
実験例 測定装置としては、第3図に示すように、メインバーナ
ー30で、空気とC3H8とを、空気:C3H8=22:1の重量比
(燃料リッチの状態)で混合し、排気管32内で燃焼させ
るものを用いる。そして排気管32の途中に電磁弁34で開
閉される空気導入管36を設け、空気の導入と導入の停止
を行う。そして空気導入管36の30cm下流側に、本酸素検
出素子1を備えた酸素センサ2を設置し、排ガスの流速
10m/sにて、酸素センサ2の出力を測定する。
そして、第4図に示すように、電磁弁34をオン,或はオ
フして空気の導入又は導入の停止を行い、電磁弁34のオ
ン,或はオフから、酸素センサ2の出力が500mVになる
までの、立ち上がり応答時間Tup(ms),或は立ち下が
り応答時間Tdw(ms)を測定した。
更に耐久試験として、燃焼温度900℃にて100時間燃焼さ
せた後に、再び上記測定装置で、立ち上がり応答時間Tu
p,或は立ち下がり応答時間Tdwを測定した。
実験に用いる酸素センサ2は、使用するH2PtCl6やPtブ
ラックのPt量、更に熱処理の有無も変更して実験を行っ
た。上記実験条件及び実験結果を表1に示す。
表1において、No.1〜No.8は、第2のコート層10として
チタニアを用いた実験例である。また、比較例No.9とN
o.10は、第2のコート層10を形成しないものであり、比
較例No.11〜No.14は、チタニアの代わりに、粒子の50%
が粒径7μm以下のAl2O3を使用したものである。ま
た、表1における倍率とは、比較例No.9の立ち上がり応
答時間Tup又は立ち下がり応答時間Tdwをそれぞれ1とし
て、比較したものである。尚、比較例No.9の応答性がよ
いのは、Pt触媒を担持していないからであり、酸化反応
を十分に行うことができない。
この表1の第1回目の測定及び100時間後の測定におけ
る倍率から明らかなように、実験例No.1〜No.8では、立
ち上がり応答時間Tupが1.10以下、かつ立ち下がり応答
時間Tdwが0.88以下であり、非常に良好な応答性を示し
ている。また、Pt触媒の担持量が、0.2mol%以上5mol%
以下のときに良好な応答性を示している。
従って、上記実験から以下のことがわかった。
チタニアに担持されているPt触媒が、0.2mol%以上5mol
%以下のときには、Pt触媒へのガス成分の吸着が少な
く、応答性に優れている。
更に、Pt触媒が上記範囲内では、Pt触媒による目づまり
が起き難く、また飛散によってPtが減少して触媒の効果
がなくなることもない。
即ち、チタニアを主体とする層を用いることにより、従
来の酸素センサと比較して、担持する触媒の量を減ずる
ことができ、それによって、触媒による目づまりを起こ
すこともない。更に、チタニアを主体とする層を用いる
ことにより、応答性も向上しているので、応答性の改善
のために、担持する触媒の量を過度に減らす必要もな
く、触媒の飛散による酸素センサの酸化反応の低下をも
たらすこともない。
次に、本発明の第2実施例について説明する。第5図は
第2実施例の酸素検出素子50を備えた酸素センサ52を示
し、第6図は酸素検出素子50の先端の部分拡大図であ
る。
この酸素検出素子50は、第1実施例と同様に、酸素イオ
ン伝導性の固体電解質層54の両側に、各々基準ガス側及
び検出ガス側のPt電極56,58を備えている。そして、検
出ガス側の電極58の表面には、スピネルから成る第1の
コート層60が形成されている。第1のコート層60は、電
極58側の薄層部62とその表面に積層された表層部64とか
ら形成されている。
この表層部64は、第6図の如く、厚さwが50μm以上15
0μm以下の範囲内で、かつ長さlが酸素検出素子50の
先端から、第1のコート層60の1/5以上1/2以下の範囲内
で、薄層部62の表面の一部に積層されている。更に、こ
の表層部64の表面近傍には、Pt触媒が担持されている。
一方、表層部64が積層されていない薄層部62の表面に
は、Pt触媒を担持したチタニアから成る第2のコート層
66が形成されている。
次に、本実施例の酸素検出素子50の製造法について説明
する。
まず第1実施例と同様にして、固体電解質体54及び両電
極56,58を製造する。
次に、検出ガス側の電極58の表面に、スピネルをプラズ
マ溶射し、厚さ約100μmの薄層部62を形成する。更に
同様にして、この薄層部62の表面に、上述した厚さw及
び長さlの範囲内で表層部64を形成する。
次に、この表層部64をPt濃度が5g/のH2PtCl6水溶液の
中に浸し、300mm Hg程度に真空引きしながら、約5分間
含浸させる。
次に、表層部64を形成していない薄層部62の表面に、第
1実施例と同様にして、Pt触媒を担持させた遷移金属酸
化物の非化学量論的化合物である厚さ25μmのチタニア
の層を形成する。
次に、本実施例の酸素検出素子50の効果のうち、出力
巾,空燃比のずれ及び制御Hzの改善を確認するために行
った実験例について説明する。
実験例 図示しない多気筒エンジンの排気管に、酸素検出素子50
を備えた酸素センサ52を取り付け、その出力に基づい
て、上記エンジンの空燃比を制御する。
そして、上記エンジンを800rpmに設定して、排ガス温度
が低いときの酸素センサ52の出力巾(mV)を測定した。
また、エンジンの高回転時として、80km/Hrの走行時で
の制御空燃比を測定した。更に、その状態での制御振動
数(Hz)を測定した。
実験に用いる酸素センサ52としては、表2に示す様な、
各種の酸素センサを用いた。ここで、No.1〜No.10は第
2実施例の酸素センサ52であり、表層部64の厚さw及び
長さlを、上述した範囲内で変更したものである。No.1
〜No.16は表層部64の厚さwや長さlを上記範囲外で変
更した比較例である。更に、No.17はPt触媒を担持した
表層部64を有するが、チタニアの第2のコート層66を有
しないもの(第7図(a))であり、No.18は表層部64
もチタニアの第2のコート層66も有しない従来例(第7
図(b))である。
この実験の結果を表2に示す。
表2から明かなように、表層部64が上記実施例の範囲内
の酸素検出素子50を用いることにより、排ガスの低温時
における酸素センサ52の出力巾も大きくなる。また、エ
ンジンの高回転時における制御空燃比のずれも小さく、
更に、制御Hzの遅れも少なく好適である。これは以下の
理由によると思われる。
即ち、自動車等の多気筒のエンジンの低回転時、即ち排
ガスの低温時には、気筒の燃焼バラつきによって、排ガ
ス中の検出ガスの濃度がバラついて、いわゆる乱流(ケ
ミカルノイズ)が生ずることがある。そして、通常、排
ガスの低温時には、この乱流は排気管の中央部を流れる
ので、排ガス中の検出ガスは酸素検出素子50の先端部分
の厚い部分、即ち、表層部64及び表層部62に到達し、そ
の層中で十分混合されて濃度が均一化され、平衡化が促
進される。それによって、乱流によるノイズも拾い難く
なり、更に、濃度のバラつきによる出力低下も少ないの
で酸素センサ52の出力巾が大きくなる。従って、酸素セ
ンサ52の出力に基づく空燃比の制御を的確に行うことが
できる。一方、エンジンの高回転時には、Pt触媒を担持
したチタニアによって上述したような作用効果があるの
で、空燃比のずれも少なく好適に制御でき、空燃比を制
御する振動数(制御Hz)も遅れることがない。
尚、第1のコート層60が酸素検出素子50の先端部で厚く
なっている他の実施例としては、表層部64の触媒と第2
のコート層66の触媒の種類や濃度が異なるものでもよ
い。また、排ガスの低温時における触媒反応を促進する
ために、表層部64に反応性の高いRh触媒を用いてもよ
い。
更に、第8図に示す様に、薄層部70に加えて表層部72の
上にも、Pt触媒を担持したチタニアの層74を形成しても
よい。更に、その表層部72や薄層部70にもPt触媒を担持
してもよい。
尚、上記各実施例では、第1のコート層8,60としてスピ
ネルを用いたが、他の素材としてAl2O3等を用いてもよ
い。
[発明の効果] 以上説明したように、本発明によれば、酸素センサは、
酸素イオン伝導性の固体電解質の少なくとも検出ガス側
の電極表面に、多孔質の耐熱性金属酸化物から成るコー
ト層が形成されているので、カーボンの付着や剥離等に
よる障害から電極が保護されている。更に、そのコート
層が触媒を担持したチタニアを主体とする層を備えてい
るので、検出ガス中のガス成分の酸化反応を、十分に行
うことができ、かつ応答性も向上することができる。
尚、本発明で層の主体とするチタニアは、酸素の吸蔵及
び放出の能力が過大ではなく適度であるので、リーンガ
スとリッチガスとが急速に切り換わるガスにおいても、
センサからの出力信号は、ガス中の酸素量の変化に十分
に対応した信号となり、その点からも優れた応答性を有
している。また触媒による目づまりを起こすこともな
く、触媒の飛散による酸素センサの酸化反応の低下や、
ガス吸着等による耐久性の低下をもたらすこともない。
【図面の簡単な説明】
第1図は第1実施例の酸素センサを示す断面図、第2図
はその酸素検出素子の先端の断面を示す部分拡大図、第
3図はその酸素センサの性能の実験装置を示す概略構成
図、第4図はその酸素センサの出力を示す説明図、第5
図は第2実施例の酸素センサを示す断面図、第6図はそ
の酸素検出素子の先端の断面を示す部分拡大図、第7図
は第2実験例に比較のために用いた酸素検出素子の断面
図、第8図はその他の実施例の断面図である。 1,50……酸素検出素子 2,52……酸素センサ 3,54……固体電解質体 4,56……基準ガス側電極 6,58……検出ガス側電極 8,60……第1のコート層 10,66……第2のコート層 64……表面層

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】酸素イオン伝導性を有する固体電解質体の
    一方の面に基準ガス側電極を、他方の面に検出ガス側電
    極を形成し、この検出ガス側の電極表面に、多孔質の耐
    熱性金属酸化物から成るコート層を形成した酸素検出素
    子において、 上記コート層の少なくとも一部が、検出ガスのガス成分
    を平衡化する触媒を担持したチタニアを主体とした層で
    被覆されていることを特徴とする酸素検出素子。
  2. 【請求項2】上記チタニアを主体とした層に担持された
    触媒が白金であり、該白金の担持量が上記チタニアに対
    し、0.2mol%以上5mol%以下である特許請求の範囲第1
    項記載の酸素検出素子。
  3. 【請求項3】素子先端部を厚くするとともに、該素子先
    端部以外の部分が、上記検出ガスのガス成分を平衡化す
    る触媒を担持したチタニアを主体とした層で被覆されて
    いる特許請求の範囲第1項又は第2項記載の酸素検出素
    子。
JP62311278A 1987-07-31 1987-12-09 酸素検出素子 Expired - Fee Related JPH0778483B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP62311278A JPH0778483B2 (ja) 1987-07-31 1987-12-09 酸素検出素子
US07/837,088 US5538612A (en) 1987-12-09 1992-03-12 Oxygen sensor element

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP19310687 1987-07-31
JP62-193106 1987-07-31
JP62311278A JPH0778483B2 (ja) 1987-07-31 1987-12-09 酸素検出素子
US07/837,088 US5538612A (en) 1987-12-09 1992-03-12 Oxygen sensor element

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0197855A JPH0197855A (ja) 1989-07-28
JPH0778483B2 true JPH0778483B2 (ja) 1995-08-23

Family

ID=27326717

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP62311278A Expired - Fee Related JPH0778483B2 (ja) 1987-07-31 1987-12-09 酸素検出素子

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0778483B2 (ja)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0369238B1 (en) * 1988-11-01 1996-09-04 Ngk Spark Plug Co., Ltd Oxygen sensor and method for producing same
JP5051660B2 (ja) * 2008-01-08 2012-10-17 日本特殊陶業株式会社 ガスセンサ素子及びガスセンサ
JP4831164B2 (ja) * 2008-12-25 2011-12-07 株式会社デンソー ガスセンサ素子、及びこれを内蔵したガスセンサ
JP5182321B2 (ja) * 2010-05-13 2013-04-17 株式会社デンソー ガスセンサ素子、及び、これを内蔵したガスセンサ
CA3092989A1 (en) * 2018-03-12 2019-09-19 Omega Energy Systems, Llc Solid-state energy harvester of transition metal suboxides

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61241657A (ja) * 1985-04-19 1986-10-27 Nissan Motor Co Ltd 酸素センサ素子

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0197855A (ja) 1989-07-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2514701B2 (ja) 酸素センサ
JP4595264B2 (ja) 酸素センサ素子及びその製造方法
JP4923948B2 (ja) ガスセンサ素子
US4272349A (en) Catalyst supported oxygen sensor with sensor element having catalyst and protective layers and a method of manufacturing same
US4297192A (en) Catalyst supported oxygen sensor element and a method of manufacturing same
JP5182321B2 (ja) ガスセンサ素子、及び、これを内蔵したガスセンサ
JPH06510854A (ja) 排ガスセンサおよびその製造法
JP3443962B2 (ja) 酸素濃度検出器およびその製造方法
JP3488818B2 (ja) 酸素センサ
JP2011089796A (ja) ガスセンサ素子及びその製造方法、並びにガスセンサ
US4265930A (en) Process for producing oxygen sensing element
EP0610884B1 (en) Oxygen concentration sensor
US5538612A (en) Oxygen sensor element
JPS6179155A (ja) 酸素センサ素子
JPH0778483B2 (ja) 酸素検出素子
JPH01203963A (ja) 酸素センサ素子及びその製造方法
JPH01232253A (ja) 酸素センサ素子
JPH05322844A (ja) 炭化水素濃度測定方法及び炭化水素濃度測定装置
JPH09113480A (ja) 酸素センサ素子
JPS62245148A (ja) 酸素濃度センサ
JPS5910616Y2 (ja) 触媒担持酸素センサ素子
JPH0151775B2 (ja)
JPH04291143A (ja) 酸素センサ及びその製造方法
JPH09236575A (ja) 空燃比検出素子及びその製造方法、並びに空燃比検出素子の安定化方法
JP2748031B2 (ja) Si被毒防止用酸素センサ

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees