JPH0777184A - 2段式油回転真空ポンプ - Google Patents
2段式油回転真空ポンプInfo
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- JPH0777184A JPH0777184A JP24755693A JP24755693A JPH0777184A JP H0777184 A JPH0777184 A JP H0777184A JP 24755693 A JP24755693 A JP 24755693A JP 24755693 A JP24755693 A JP 24755693A JP H0777184 A JPH0777184 A JP H0777184A
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Abstract
の油膜切れによる機械的焼き付きを防止し、かつ凝縮性
ガスを液化させない2段式油回転真空ポンプを提供する
こと。 [構成] 直列に接続された2段式油回転真空ポンプに
おいて、第1段のポンプ(高真空側)のシリンダ12を
直接空冷し、第2段のポンプ(低真空側)のシリンダ2
2を間接油冷する。
Description
プ、特に冷却方法の改良された2段式油回転真空ポンプ
に関するものである。
を保ちながらシリンダ内でロータを回転させて容積排気
を行ない、大気中へ放出し得る油回転真空ポンプは手軽
であり多用されているが、中でもポンプ2台を直列に接
続して2段式としたものは圧縮比が高く、到達真空度が
高いので各方面で常用されている。
図を図4に、縦断面図を図5に示した。図4に見られる
ように、容積の大きい第1段のポンプ10と、容積の小
さい第2段のポンプ20とが、前カバー2、中間板3、
後カバー4に挟まれ、主軸5を共通させて直列に接続さ
れ、ポンプケース21の内部において殆ど油の中に浸漬
され配置されている。また、前カバー3から出る主軸5
には冷却ファン7が取り付けられており、この主軸5は
カップリング8を介してモータ9に連結されている。
概してはシリンダ12と、その内部において偏心位置で
回転されるロータ14とからなっている。ロータ14は
内部のコイルスプリングによって2枚のベーン15を逆
方向に突出させており、図5においてロータ14を時計
方向に回転させた時に、コイルスプリングの力と遠心力
とによってベーン15がシリンダ12の内壁上を摺動し
て、吸気口11から気体を吸入し、圧縮し、排気口16
へ排出することによってポンプとして機能する。この排
気の原理は第2段のポンプ20についても同様で、ポン
プ20はベーン25を有するロータ24とシリンダ22
とから構成されており、かつ第1段のポンプ10の排気
口16が第2段のポンプ20の図示されていない吸気口
と接続されている。
滑とシールのためにポンプケース21内の油が供給、循
環されるが、この油は油送りポンプ、すなわち、後カバ
ー4内を貫通する主軸5の後端に設けられており、この
主軸5を駆動軸とする図示しない小さい油送りポンプに
よって、図示しない経路を経て、第2段のポンプ20の
シリンダ22から中央板3を経て第1段のポンプ10の
シリンダ12へ送られる。
あるが、周知のように、油回転真空ポンプの到達圧力は
使用している油の蒸気圧によって定まり、ポンプの作動
中に油の温度が上昇すると到達圧力が上昇するので、油
の冷却、特に到達圧力と直接に関連するシリンダ内の油
の冷却、すなわちシリンダの冷却は極めて重要な意味を
持っており、そのためにも上述したように冷却ファンが
取り付けられている。
の代表例の2段式油回転真空ポンプの組立て構造を第1
従来例として図2に示した。すなわちモータ9に接続さ
れている主軸5に冷却ファン7が取り付けられ、その主
軸5を共通させて第1段のポンプ10、第2段のポンプ
20が接続されており(ポンプ10、20としては図示
されていない)、それらのシリンダ12、22はケース
21内において油oに殆ど浸漬するように配置されてい
る。またポンプケース21の外周には多数のフィン26
が設けられている。
タ9が回転されると、主軸5に取り付けられた冷却ファ
ン7によって発生した風はポンプケース21のフィン2
6に沿って矢印のように流れてポンプケース12とその
内部に含まれる油を冷却し、その冷却された油によって
第1シリンダ12、第2シリンダ22が間接的に冷却さ
れる。
で、第1シリンダ12、第2シリンダ22は共に比較的
高温に保たれる。各シリンダ12、22の温度が高いと
いうことは、それらの内部に存在する潤滑、シールのた
めの油が蒸気圧の高い状態にあることを意味し、これに
よって到達圧力が制限される。特に第1シリンダ12内
の油の蒸気圧の高いことは被排気容器への油蒸気の逆流
(いわゆるベーパーバック)を生じて被排気容器を汚染
するほか、第1シリンダ12内は油送りポンプから最も
遠い位置にあって循環油量も少ないので、油膜切れを起
こし易く、時として第1段のポンプ10の焼き付きを発
生するという問題がある。中でも被排気容器の汚染は純
度の高いことが要求される半導体の製造ラインに使用す
る場合には致命的な欠陥となる。
直接空冷方式による2段式油回転真空ポンプがあり、そ
の組立て構造を図3に示した。モータ9に第1段のポン
プ10、第2段のポンプ20が共通の主軸5を直結させ
ており、その主軸5に冷却ファン7が取り付けられてい
ることは第1従来例と同様であるが、各段のポンプ1
0、20を構成する第1シリンダ12、第2シリンダ2
2は直接に大気と接しており、かつそれらの表面にはフ
ィン33が設けられている。また、これらの全周は間隙
(大気)をあけて構造体としての側面パネル34で覆わ
れている。そして側面パネル34の一部に一体的に油タ
ンク35が設けられており、ここに貯留される油oは油
送りポンプによって各シリンダ12、22へ供給循環さ
れる。
の回転により冷却ファン7で発生する風が第1シリンダ
12、第2シリンダ22の表面と側面パネル34との間
をフィン33に沿い、矢印のように流れることによっ
て、各シリンダ12、22が直接に冷却される。
ンダ12、第2シリンダ22は共に比較的低温に保た
れ、従って各シリンダ12、22内に存在する油は蒸気
圧が低い状態に保たれる。その点では第1従来例と異な
って、到達圧力が低くなるほか、ベーパーバック、潤滑
油の油膜切れも抑制されるのであるが、温度が低いため
に第1従来例では僅かであった凝縮性ガスの液化が大で
あるという欠点を持っている。すなわち、凝縮性ガス
(例えば水蒸気)が液化して油中に混入して来ると、到
達圧力や排気速度に代表されるポンプの排気性能が低下
し、油の潤滑性、防錆性も低下するので、短期間の中に
ポンプの分解整備が必要となる。
に鑑みてなされたものであり、ベーパーバックや油膜切
れによる機械的焼き付きを防ぎ、かつ凝縮性ガスの液化
をも防ぐことの出来る2段式油回転真空ポンプを提供す
ることを目的とする。
側である第1段のポンプのシリンダを直接空冷し、低真
空側である第2段のポンプのシリンダを間接油冷するよ
うにしたことを特徴とする2段式油回転真空ポンプ、に
よって達成される。
ンプのシリンダを直接空冷しているので低温に保たれ
て、ベーパーバックやシリンダの油膜切れを防ぐことが
出来、低真空側の第2段のポンプのシリンダを間接油冷
しているので高温に保たれて、凝縮性ガスの液化を防止
することが出来る。
空ポンプについて、特にシリンダの冷却という立場か
ら、図面を参照して説明する。
段式油回転真空ポンプの組立て構造を示す図である。第
1段のポンプ10と第2段のポンプ20は直列に接続さ
れてモータ9とは共通の主軸5によって直結されている
(ポンプ10、20としては図示されていない)。そし
て第1段のポンプ10のシリンダである第1シリンダ1
2は表面にフィン43を備えて大気に接しており、その
周囲は間隙(大気)をあけて構造体を兼ねる側面パネル
44に覆われている。第2段のポンプ20のシリンダで
ある第2シリンダ22はポンプケース41内に配置され
て、その殆どを油oに浸漬されており、ポンプケース4
1の外周には多数のフィン16が設けられている。第1
段のポンプ10と第2段のポンプ20とをモータ9に直
結する主軸5に冷却ファン7が取り付けられていること
は、第1従来例、第2従来例と同様である。
タ9が回転され、主軸5に取り付けられている冷却ファ
ン7によって発生する風は、図1の矢印で示すように、
先ず第1シリンダ12と側面パネル44との間をフィン
43に沿って流れて第1シリンダ12を直接的に空冷し
た後に、第2シリンダ22が油oに浸漬されているポン
プケース41の外周に設けられたフィン16に沿って流
れてポンプケース41及びその内部に貯留されている油
oを冷却し、そしてその冷却された油oによって第2シ
リンダ22が冷却される。すなわち、冷却ファン7から
の風は油oを介して第2シリンダ22を間接的に冷却す
るようになっている。
ば、被排気容器への油蒸気の逆流(ベーパーバック)を
防ぐために、また油膜切れを防ぐためにも、油の蒸気圧
を低く保ちたい、換言すれば油の温度を低く保ちたい第
1シリンダ12を比較的低温に保ち、かつ凝縮性ガスの
液化を防ぐために、温度を高く保ちたい第2シリンダ2
2を比較的高温に保つことが出来て、それらの温度差は
20℃〜30℃にも達する。そしてその効果は、例えば
第1シリンダ12における油の蒸気圧は第1従来例の場
合と比較して1桁〜2桁低下させ得る程でありながら、
凝縮性ガスの液化は第1従来例と同様に少ない。
が、勿論、本発明はこれに限定されることなく、本発明
の技術的思想に基いて種々の変形が可能である。
10と第2段のポンプ20とを直接に接続し、かつ共通
の主軸5をモータ9に直結して作動させるようにした
が、各段のポンプは夫々独立に設置して運転するものと
し、第1段のポンプ10の排気口を第2段のポンプ20
の吸気口へ接続してもよい。
5の端部に設けたが、他の場所であってもよい。その場
合には油送りポンプは主軸から駆動力を伝達される。
0、20を駆動する主軸5に対しモータ9をカップリン
グ8で直結したが、カップリング8の代わりにベルトで
伝達するようにしてもよい。
転真空ポンプを採り上げたが、本発明の技術的思想はカ
ム型および揺動ピストン型の2段式油回転真空ポンプに
も適用され得る。
転真空ポンプによれば、第1段のポンプのシリンダを低
温に保つことが出来、ベーパーバックやシリンダ内での
油膜切れを防止出来るので、被排気容器の汚染やポンプ
の機械的焼き付きを防止することが出来、かつ第2段の
ポンプのシリンダを高温に保つことが出来、凝縮性ガス
の液化を防止することが出来るので、ポンプの排気性能
の低下による分解整備の間隔を長期化し得る。また、油
を新しく補給する場合、新油に含まれている水分を除去
する効果もある。
の組立て構造を示す概略断面図である。
ポンプの組立て構造を示す概略断面図である。
ポンプの組立て構造を示す概略断面図である。
プの横断面図である。
[5]線方向の断面図である。
Claims (1)
- 【請求項1】 高真空側である第1段のポンプのシリン
ダを直接空冷し、低真空側である第2段のポンプのシリ
ンダを間接油冷するようにしたことを特徴とする2段式
油回転真空ポンプ。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24755693A JP3386202B2 (ja) | 1993-09-08 | 1993-09-08 | 2段式油回転真空ポンプ |
CN941151344A CN1065026C (zh) | 1993-09-08 | 1994-09-08 | 两级旋转真空泵 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24755693A JP3386202B2 (ja) | 1993-09-08 | 1993-09-08 | 2段式油回転真空ポンプ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JPH0777184A true JPH0777184A (ja) | 1995-03-20 |
JP3386202B2 JP3386202B2 (ja) | 2003-03-17 |
Family
ID=17165254
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Country Status (2)
Country | Link |
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CN (1) | CN1065026C (ja) |
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1993
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-
1994
- 1994-09-08 CN CN941151344A patent/CN1065026C/zh not_active Expired - Lifetime
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US10232073B2 (en) | 2014-06-27 | 2019-03-19 | Cmtech Co., Ltd. | Vacuum exhaust system of sterilizer |
US10617779B2 (en) | 2014-06-27 | 2020-04-14 | Cmtech Co. Ltd. | Vacuum exhaust system of sterilizer |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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JP3386202B2 (ja) | 2003-03-17 |
CN1105426A (zh) | 1995-07-19 |
CN1065026C (zh) | 2001-04-25 |
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