JPH077271A - プリント配線板の検査方法およびテストパターン - Google Patents
プリント配線板の検査方法およびテストパターンInfo
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- JPH077271A JPH077271A JP14607893A JP14607893A JPH077271A JP H077271 A JPH077271 A JP H077271A JP 14607893 A JP14607893 A JP 14607893A JP 14607893 A JP14607893 A JP 14607893A JP H077271 A JPH077271 A JP H077271A
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- Japan
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- test pattern
- printed wiring
- wiring board
- pattern
- patterns
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- Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
- Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 プリント配線板の配線パターンの精度を検出
するためのプリント配線板の検査方法およびテストパタ
ーンにおいて、配線パターンの幅の寸法精度を容易にか
つ正確に検出できるようにする。 【構成】 パターン１１および１２は幅が大きく異なる
が、その寸法精度がほぼ同じと見なすことができるくら
いに近接して設けられている。スルーホール１１ａ，１
１ｂ間、スルーホール１２ａ，１２ｂ間の各抵抗を測る
ことにより、パターン１１および１２の各抵抗値Ｒ１，
Ｒ２を検知することができる。また、これら抵抗値Ｒ
１，Ｒ２は、予め分かっている設計寸法と幅の誤差値か
らそれぞれ理論式を求めることができる。ここで、パタ
ーン１１および１２は近接しているので、幅の誤差値は
ほぼ同じと見なすことができる。したがって、幅の誤差
値を同一の変数にし、その誤差値について連立方程式を
とくことにより、パターンの寸法精度が求められる。
するためのプリント配線板の検査方法およびテストパタ
ーンにおいて、配線パターンの幅の寸法精度を容易にか
つ正確に検出できるようにする。 【構成】 パターン１１および１２は幅が大きく異なる
が、その寸法精度がほぼ同じと見なすことができるくら
いに近接して設けられている。スルーホール１１ａ，１
１ｂ間、スルーホール１２ａ，１２ｂ間の各抵抗を測る
ことにより、パターン１１および１２の各抵抗値Ｒ１，
Ｒ２を検知することができる。また、これら抵抗値Ｒ
１，Ｒ２は、予め分かっている設計寸法と幅の誤差値か
らそれぞれ理論式を求めることができる。ここで、パタ
ーン１１および１２は近接しているので、幅の誤差値は
ほぼ同じと見なすことができる。したがって、幅の誤差
値を同一の変数にし、その誤差値について連立方程式を
とくことにより、パターンの寸法精度が求められる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はプリント配線板のエッチ
ング処理後の配線パターンの精度を検出するためのプリ
ント配線板の検査方法およびテストパターンに関し、特
にパターンの幅寸法精度を検出するためのプリント配線
板の検査方法およびテストパターンに関する。
ング処理後の配線パターンの精度を検出するためのプリ
ント配線板の検査方法およびテストパターンに関し、特
にパターンの幅寸法精度を検出するためのプリント配線
板の検査方法およびテストパターンに関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、電子回路の高密度化に伴い、部品
を搭載するプリント配線板の配線パターンも複雑化して
いる。このため、配線パターンのエッチングの精度が悪
いと、パターン同士のショートや導電性の低下等を招く
ことになる。
を搭載するプリント配線板の配線パターンも複雑化して
いる。このため、配線パターンのエッチングの精度が悪
いと、パターン同士のショートや導電性の低下等を招く
ことになる。
【０００３】そこで、従来は、エッチングの精度を検出
するため、出来上がったプリント配線板を切断してその
断面を研磨し、光学顕微鏡等を使用して配線パターンの
幅寸法を直接計測するようにしていた。
するため、出来上がったプリント配線板を切断してその
断面を研磨し、光学顕微鏡等を使用して配線パターンの
幅寸法を直接計測するようにしていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、このような方
法では、切断した部分の寸法は正確に計測できるが、パ
ターンの極一部しか見ていないため、ある程度以上の範
囲での精度のバラツキを検出することができなかった。
また、切断や研磨に手間がかかるため、作業の効率が悪
かった。
法では、切断した部分の寸法は正確に計測できるが、パ
ターンの極一部しか見ていないため、ある程度以上の範
囲での精度のバラツキを検出することができなかった。
また、切断や研磨に手間がかかるため、作業の効率が悪
かった。
【０００５】本発明はこのような点に鑑みてなされたも
のであり、パターンの幅の寸法精度を容易にかつ正確に
検出することのできるプリント配線板の検査方法および
テストパターンを提供することを目的とする。
のであり、パターンの幅の寸法精度を容易にかつ正確に
検出することのできるプリント配線板の検査方法および
テストパターンを提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明では上記課題を解
決するために、プリント配線板のエッチング処理後の配
線パターンの幅寸法精度を検出するためのプリント配線
板の検査方法において、同一のプリント配線板上で互い
に近接しかつ幅が充分に異なる第１のテストパターンお
よび第２のテストパターンを形成し、前記第１のテスト
パターンおよび第２のテストパターン上の任意の２点間
の抵抗値および距離をそれぞれ検出し、前記計測した２
つの抵抗値および距離を比較して寸法精度を検出する、
ことを特徴とする多層プリント配線板の検査方法が提供
される。
決するために、プリント配線板のエッチング処理後の配
線パターンの幅寸法精度を検出するためのプリント配線
板の検査方法において、同一のプリント配線板上で互い
に近接しかつ幅が充分に異なる第１のテストパターンお
よび第２のテストパターンを形成し、前記第１のテスト
パターンおよび第２のテストパターン上の任意の２点間
の抵抗値および距離をそれぞれ検出し、前記計測した２
つの抵抗値および距離を比較して寸法精度を検出する、
ことを特徴とする多層プリント配線板の検査方法が提供
される。
【０００７】
【作用】同一のプリント配線板上で互いに近接しかつ幅
が充分に異なる第１のテストパターンおよび第２のテス
トパターンを形成し、第１のテストパターンおよび第２
のテストパターン上の任意の２点間の抵抗値および距離
をそれぞれ検出する。各抵抗値は、任意の２点間の距離
や予め分かっている設計寸法、および製造後の幅の誤差
値からそれぞれ理論式を立てることができる。このと
き、第１のテストパターンと第２のテストパターンは近
接しているので、その幅の誤差値はほぼ同じと考えるこ
とができる。したがって、両者の理論式における幅の誤
差値を同一の変数にすることにより、誤差値について連
立方程式を解くことができる。これにより、容易にかつ
正確にパターンの幅の寸法精度を検出することができ
る。
が充分に異なる第１のテストパターンおよび第２のテス
トパターンを形成し、第１のテストパターンおよび第２
のテストパターン上の任意の２点間の抵抗値および距離
をそれぞれ検出する。各抵抗値は、任意の２点間の距離
や予め分かっている設計寸法、および製造後の幅の誤差
値からそれぞれ理論式を立てることができる。このと
き、第１のテストパターンと第２のテストパターンは近
接しているので、その幅の誤差値はほぼ同じと考えるこ
とができる。したがって、両者の理論式における幅の誤
差値を同一の変数にすることにより、誤差値について連
立方程式を解くことができる。これにより、容易にかつ
正確にパターンの幅の寸法精度を検出することができ
る。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説
明する。図２は本実施例の多層プリント配線板の概略構
成を示す平面図である。多層プリント配線板１は、両面
にパターン配線のなされたガラスエポキシ系の基板をプ
リプレグを介して複数枚積層したものである。多層プリ
ント配線板１は、このパターン配線が積層された回路パ
ターン部２によって大部分が占められている。また、多
層プリント配線板１の縁端部付近には、テストパターン
部３が設けられている。このテストパターン部３には、
各層に一組以上のテストパターンが形成されている。
明する。図２は本実施例の多層プリント配線板の概略構
成を示す平面図である。多層プリント配線板１は、両面
にパターン配線のなされたガラスエポキシ系の基板をプ
リプレグを介して複数枚積層したものである。多層プリ
ント配線板１は、このパターン配線が積層された回路パ
ターン部２によって大部分が占められている。また、多
層プリント配線板１の縁端部付近には、テストパターン
部３が設けられている。このテストパターン部３には、
各層に一組以上のテストパターンが形成されている。
【０００９】図１は最も基本的な構成のテストパターン
の例を示す図である。テストパターン１０は、２本のパ
ターン１１および１２から構成される。パターン１１お
よび１２は、その寸法精度がほぼ同じと見なすことがで
きるくらいに近接して設けられている。パターン１１は
０．１ｍｍ程度の細い直線パターンであり、パターン１
２は１ｃｍ程度の太い直線パターンである。
の例を示す図である。テストパターン１０は、２本のパ
ターン１１および１２から構成される。パターン１１お
よび１２は、その寸法精度がほぼ同じと見なすことがで
きるくらいに近接して設けられている。パターン１１は
０．１ｍｍ程度の細い直線パターンであり、パターン１
２は１ｃｍ程度の太い直線パターンである。
【００１０】パターン１１の両端部はそれぞれスルーホ
ール１１ａ，１１ｂと接続されており、多層プリント配
線板１の表面と電気的に連通している。一方、パターン
１２の両端部はそれぞれスルーホール１２ａ，１２ｂと
接続されており、パターン１１と同様に多層プリント配
線板１の表面と電気的に連通している。これにより、ス
ルーホール１１ａ，１１ｂ間、スルーホール１２ａ，１
２ｂ間の各抵抗を測ることにより、パターン１１および
１２の各抵抗値Ｒ１，Ｒ２を検知することができる。
ール１１ａ，１１ｂと接続されており、多層プリント配
線板１の表面と電気的に連通している。一方、パターン
１２の両端部はそれぞれスルーホール１２ａ，１２ｂと
接続されており、パターン１１と同様に多層プリント配
線板１の表面と電気的に連通している。これにより、ス
ルーホール１１ａ，１１ｂ間、スルーホール１２ａ，１
２ｂ間の各抵抗を測ることにより、パターン１１および
１２の各抵抗値Ｒ１，Ｒ２を検知することができる。
【００１１】ここで、パターン１１の幅および長さの設
計値をそれぞれＷ１，Ｌ１、パターン１２の幅および長
さの設計値をそれぞれＷ２，Ｌ２、パターン１１および
１２の各幅の設計値との誤差値、厚さ、および体積導電
率をそれぞれΔＷ、ｔ、ρとすると、各パターンの抵抗
値Ｒ１およびＲ２は、 Ｒ１＝ρＬ１／ｔ（Ｗ１＋ΔＷ）・・・（１） Ｒ２＝ρＬ２／ｔ（Ｗ２＋ΔＷ）・・・（２） と表すことができる。なお、パターン１１および１２は
寸法精度がほぼ同じと見なすことができるくらいに近接
しているので、ΔＷおよびｔはともに同じと見なすこと
ができる。また、パターンに使用する導電材料が均一で
あれば、その体積導電率ρも同一とすることができる。
計値をそれぞれＷ１，Ｌ１、パターン１２の幅および長
さの設計値をそれぞれＷ２，Ｌ２、パターン１１および
１２の各幅の設計値との誤差値、厚さ、および体積導電
率をそれぞれΔＷ、ｔ、ρとすると、各パターンの抵抗
値Ｒ１およびＲ２は、 Ｒ１＝ρＬ１／ｔ（Ｗ１＋ΔＷ）・・・（１） Ｒ２＝ρＬ２／ｔ（Ｗ２＋ΔＷ）・・・（２） と表すことができる。なお、パターン１１および１２は
寸法精度がほぼ同じと見なすことができるくらいに近接
しているので、ΔＷおよびｔはともに同じと見なすこと
ができる。また、パターンに使用する導電材料が均一で
あれば、その体積導電率ρも同一とすることができる。
【００１２】式（１），（２）からρとｔを消去してΔ
Ｗを求めると、 ΔＷ＝（Ｒ２Ｌ１Ｗ２−Ｒ１Ｌ２Ｗ１）／ （Ｒ１Ｌ２−Ｒ２Ｌ１） ・・・（３） となり、予め分かっている寸法値Ｌ１，Ｌ２、Ｗ１，Ｗ
２と、実測した抵抗値Ｒ１，Ｒ２から容易に計算するこ
とができる。なお、抵抗値Ｒ１，Ｒ２は、ケルビンクリ
ップ等の４端子抵抗測定器等を使用することにより、ミ
リオーム単位で簡単にかつ正確に計測することができ
る。
Ｗを求めると、 ΔＷ＝（Ｒ２Ｌ１Ｗ２−Ｒ１Ｌ２Ｗ１）／ （Ｒ１Ｌ２−Ｒ２Ｌ１） ・・・（３） となり、予め分かっている寸法値Ｌ１，Ｌ２、Ｗ１，Ｗ
２と、実測した抵抗値Ｒ１，Ｒ２から容易に計算するこ
とができる。なお、抵抗値Ｒ１，Ｒ２は、ケルビンクリ
ップ等の４端子抵抗測定器等を使用することにより、ミ
リオーム単位で簡単にかつ正確に計測することができ
る。
【００１３】また、ここで、パターン１１および１２の
長さＬ１，Ｌ２を同一に設計すれば、幅の誤差値ΔＷ
は、 ΔＷ＝（Ｒ２Ｗ２−Ｒ１Ｗ１）／（Ｒ１−Ｒ２） ・・・（４） となり、抵抗値Ｒ１，Ｒ、および幅の設計値Ｗ１，Ｗ２
のみから求めることができ、より計算が簡単となる。
長さＬ１，Ｌ２を同一に設計すれば、幅の誤差値ΔＷ
は、 ΔＷ＝（Ｒ２Ｗ２−Ｒ１Ｗ１）／（Ｒ１−Ｒ２） ・・・（４） となり、抵抗値Ｒ１，Ｒ、および幅の設計値Ｗ１，Ｗ２
のみから求めることができ、より計算が簡単となる。
【００１４】このように、本実施例では、近接した幅の
異なる２本のパターン１１，１２を形成し、スルーホー
ル１１ａ，１１ｂ，１２ａ，１２ｂを介して抵抗値Ｒ
１，Ｒ２を計測するようにしたので、各層の配線パター
ンの幅の誤差値ΔＷを簡単にかつ正確に求めることがで
きる。
異なる２本のパターン１１，１２を形成し、スルーホー
ル１１ａ，１１ｂ，１２ａ，１２ｂを介して抵抗値Ｒ
１，Ｒ２を計測するようにしたので、各層の配線パター
ンの幅の誤差値ΔＷを簡単にかつ正確に求めることがで
きる。
【００１５】なお、本実施例では、テストパターン部３
を多層プリント配線板１の一部に設けるようにしたが、
検査精度を上げるため、回路パターン部２等に多数設け
るようにしてもよい。
を多層プリント配線板１の一部に設けるようにしたが、
検査精度を上げるため、回路パターン部２等に多数設け
るようにしてもよい。
【００１６】また、本実施例では、パターン１１，１２
の形状を直線にしたが、円弧等の他の形状にしてもよ
い。さらに、テストパターン１０は、多層プリント配線
板に限らず１枚のみのプリント配線板にも適用すること
ができる。ただし、この場合には、スルーホール１１
ａ，１１ｂ，１２ａ，１２ｂの代わりにパッドが使用さ
れる。あるいは測定点を見分けることができるのであれ
ば何も設ける必要はない。
の形状を直線にしたが、円弧等の他の形状にしてもよ
い。さらに、テストパターン１０は、多層プリント配線
板に限らず１枚のみのプリント配線板にも適用すること
ができる。ただし、この場合には、スルーホール１１
ａ，１１ｂ，１２ａ，１２ｂの代わりにパッドが使用さ
れる。あるいは測定点を見分けることができるのであれ
ば何も設ける必要はない。
【００１７】図３はテストパターンの第２の実施例を示
す図である。テストパターン２０は、図１のテストパタ
ーン１０と同様に近接した大小２つのパターン２１，２
２から構成される。ただし、パターン２１，２２には、
それぞれ４つのスルーホール２１ａ〜２１ｄ，２２ａ〜
２２ｄが設けられている。また、パターン２１は、この
スルーホール２１ａ〜２１ｄよりも幅が大きく形成され
ている。
す図である。テストパターン２０は、図１のテストパタ
ーン１０と同様に近接した大小２つのパターン２１，２
２から構成される。ただし、パターン２１，２２には、
それぞれ４つのスルーホール２１ａ〜２１ｄ，２２ａ〜
２２ｄが設けられている。また、パターン２１は、この
スルーホール２１ａ〜２１ｄよりも幅が大きく形成され
ている。
【００１８】このような構成のテストパターン２０で
は、４端子抵抗測定器によって各スルーホール２１ｂ，
２１ｃ間、２２ｂ，２２ｃ間の抵抗値Ｒ21，Ｒ22が検出
される。すなわち、各パターン２１，２２において、外
側のスルーホール２１ａ，２１ｄ間、２２ａ，２２ｄ間
にそれぞれ測定用電流Ｉ21，Ｉ22を流し、内側のスルー
ホール２１ｂ，２１ｃ間、２２ｂ，２２ｃ間の電圧
Ｖ21，Ｖ22を計測する。これらの値を計測できれば、オ
ームの法則を利用してスルーホール２１ｂ，２１ｃ間、
２２ｂ，２２ｃ間の各抵抗値Ｒ21，Ｒ22が求められる。
は、４端子抵抗測定器によって各スルーホール２１ｂ，
２１ｃ間、２２ｂ，２２ｃ間の抵抗値Ｒ21，Ｒ22が検出
される。すなわち、各パターン２１，２２において、外
側のスルーホール２１ａ，２１ｄ間、２２ａ，２２ｄ間
にそれぞれ測定用電流Ｉ21，Ｉ22を流し、内側のスルー
ホール２１ｂ，２１ｃ間、２２ｂ，２２ｃ間の電圧
Ｖ21，Ｖ22を計測する。これらの値を計測できれば、オ
ームの法則を利用してスルーホール２１ｂ，２１ｃ間、
２２ｂ，２２ｃ間の各抵抗値Ｒ21，Ｒ22が求められる。
【００１９】この求められた抵抗値Ｒ21，Ｒ22をそれぞ
れＲ１，Ｒ２とし、内側のスルーホール２１ｂ，２１ｃ
間、２２ｂ，２２ｃ間の各距離Ｌ21, Ｌ22をそれぞれＬ
１，Ｌ２とし、また、パターン２１，２２の各幅Ｗ21、
Ｗ22をそれぞれＷ１，Ｗ２として前述の式（３）に代入
することにより、テストパターン２０部分での配線パタ
ーンの幅寸法誤差ΔＷが求められる。
れＲ１，Ｒ２とし、内側のスルーホール２１ｂ，２１ｃ
間、２２ｂ，２２ｃ間の各距離Ｌ21, Ｌ22をそれぞれＬ
１，Ｌ２とし、また、パターン２１，２２の各幅Ｗ21、
Ｗ22をそれぞれＷ１，Ｗ２として前述の式（３）に代入
することにより、テストパターン２０部分での配線パタ
ーンの幅寸法誤差ΔＷが求められる。
【００２０】このように、各パターン２１，２２に、外
側のスルーホール２１ａ，２１ｄ、２２ａ，２２ｄと、
内側のスルーホール２１ｂ，２１ｃ、２２ｂ，２２ｃと
を設け、測定用電流Ｉ21，Ｉ22の供給点と電圧Ｖ21，Ｖ
22の計測点とを分けることにより、４端子抵抗測定器の
測定子同士の接触抵抗の発生を防止することができ、よ
り正確な抵抗値の測定を行うことができる。
側のスルーホール２１ａ，２１ｄ、２２ａ，２２ｄと、
内側のスルーホール２１ｂ，２１ｃ、２２ｂ，２２ｃと
を設け、測定用電流Ｉ21，Ｉ22の供給点と電圧Ｖ21，Ｖ
22の計測点とを分けることにより、４端子抵抗測定器の
測定子同士の接触抵抗の発生を防止することができ、よ
り正確な抵抗値の測定を行うことができる。
【００２１】図４はテストパターンの第３の実施例を示
す図である。このテストパターン３０は、主に１枚のみ
のプリント配線板または多層プリント配線板の最上面に
適用される。テストパターン３０の各パターン３１、３
２の抵抗値（電流値）の測定点３１ｂ，３１ｃ，３２
ｂ，３２ｃからは、それぞれ枝パターン３１ｅ，３１
ｆ，３２ｅ，３２ｆが出ている。
す図である。このテストパターン３０は、主に１枚のみ
のプリント配線板または多層プリント配線板の最上面に
適用される。テストパターン３０の各パターン３１、３
２の抵抗値（電流値）の測定点３１ｂ，３１ｃ，３２
ｂ，３２ｃからは、それぞれ枝パターン３１ｅ，３１
ｆ，３２ｅ，３２ｆが出ている。
【００２２】このような構成のテストパターン３０で
は、図３の例と同様に各パターン３１，３２の各両端部
３１ａ，３１ｂ間、および３２ａ，３２ｂ間に測定用電
流Ｉ31，Ｉ32を流し、端子３１ｇ，３１ｈ間、および３
２ｇ，３２ｈ間を介してそれぞれ測定点３１ｂ，３１ｃ
間、３２ｂ，３２ｃ間の電圧Ｖ31，Ｖ32を計測する。こ
れにより、上述と同様の手段により測定点３１ｂ，３１
ｃ間、３２ｂ，３２ｃ間の各抵抗値Ｒ31，Ｒ32が求めら
れる。そして、この求められた抵抗値Ｒ31，Ｒ32をそれ
ぞれＲ１，Ｒ２とし、点３１ｂ，３１ｃ間、３２ｂ，３
２ｃ間の各距離Ｌ 31, Ｌ32をそれぞれＬ１，Ｌ２とし、
また、パターン３１，３２の各幅Ｗ31、Ｗ 32をそれぞれ
Ｗ１，Ｗ２として前述の式（３）に代入することによ
り、テストパターン３０部分での配線パターンの幅寸法
誤差ΔＷが求められる。
は、図３の例と同様に各パターン３１，３２の各両端部
３１ａ，３１ｂ間、および３２ａ，３２ｂ間に測定用電
流Ｉ31，Ｉ32を流し、端子３１ｇ，３１ｈ間、および３
２ｇ，３２ｈ間を介してそれぞれ測定点３１ｂ，３１ｃ
間、３２ｂ，３２ｃ間の電圧Ｖ31，Ｖ32を計測する。こ
れにより、上述と同様の手段により測定点３１ｂ，３１
ｃ間、３２ｂ，３２ｃ間の各抵抗値Ｒ31，Ｒ32が求めら
れる。そして、この求められた抵抗値Ｒ31，Ｒ32をそれ
ぞれＲ１，Ｒ２とし、点３１ｂ，３１ｃ間、３２ｂ，３
２ｃ間の各距離Ｌ 31, Ｌ32をそれぞれＬ１，Ｌ２とし、
また、パターン３１，３２の各幅Ｗ31、Ｗ 32をそれぞれ
Ｗ１，Ｗ２として前述の式（３）に代入することによ
り、テストパターン３０部分での配線パターンの幅寸法
誤差ΔＷが求められる。
【００２３】このように、パターン３１，３２にそれぞ
れ枝パターン３１ｅ，３１ｆ，３２ｅ，３２ｆを設ける
ことにより、抵抗値の測定点を容易に確認することがで
きる。
れ枝パターン３１ｅ，３１ｆ，３２ｅ，３２ｆを設ける
ことにより、抵抗値の測定点を容易に確認することがで
きる。
【００２４】なお、各端子３１ａ，３１ｄ，３１ｇ，３
１ｈ、および３２ａ，３２ｄ，３２ｇ，３２ｈには、パ
ターン配線面が多層プリント配線板の一部であればスル
ーホールを、多層プリント配線板の最上面あるいは１枚
のみのプリント配線板であればパッドを設ければよい。
１ｈ、および３２ａ，３２ｄ，３２ｇ，３２ｈには、パ
ターン配線面が多層プリント配線板の一部であればスル
ーホールを、多層プリント配線板の最上面あるいは１枚
のみのプリント配線板であればパッドを設ければよい。
【００２５】
【発明の効果】以上説明したように本発明では、同一の
プリント配線板上で互いに近接しかつ幅が充分に異なる
２本のテストパターンを形成し、各テストパターンの任
意の２点間の抵抗値および距離をそれぞれ検出し、２つ
の抵抗値を比較するようにしたので、配線パターンの幅
の寸法精度を容易にかつ正確に検出することができる。
したがって、作業効率が向上する。
プリント配線板上で互いに近接しかつ幅が充分に異なる
２本のテストパターンを形成し、各テストパターンの任
意の２点間の抵抗値および距離をそれぞれ検出し、２つ
の抵抗値を比較するようにしたので、配線パターンの幅
の寸法精度を容易にかつ正確に検出することができる。
したがって、作業効率が向上する。
【図１】基本的なテストパターンの例を示す図である。
【図２】本実施例の多層プリント配線板の概略構成を示
す平面図である。
す平面図である。
【図３】テストパターンの第２の実施例を示す図であ
る。
る。
【図４】テストパターンの第３の実施例を示す図であ
る。
る。
１ 多層プリント配線板 ２ 回路パターン部 ３ テストパターン部 １０ テストパターン １１，１２ パターン １１ａ，１１ｂ，１２ａ，１２ｂ スルーホール
Claims (7)
- 【請求項１】 プリント配線板のエッチング処理後の配
線パターンの幅寸法精度を検出するためのプリント配線
板の検査方法において、 同一のプリント配線板上で互いに近接しかつ幅が充分に
異なる第１のテストパターンおよび第２のテストパター
ンを形成し、 前記第１のテストパターンおよび第２のテストパターン
上の任意の２点間の抵抗値および距離をそれぞれ検出
し、 前記計測した２つの抵抗値および距離を比較して寸法精
度を検出する、 ことを特徴とする多層プリント配線板の検査方法。 - 【請求項２】 前記抵抗値の計測は、４端子抵抗測定器
を使用することを特徴とする請求項１記載のプリント配
線板の検査方法。 - 【請求項３】 プリント配線板のエッチング処理後の配
線パターンの幅寸法精度を検出するためのプリント配線
板のテストパターンにおいて、 同一のプリント配線板上で互いに近接しかつ幅が充分に
異なる第１のテストパターンおよび第２のテストパター
ンを有することを特徴とするプリント配線板のテストパ
ターン。 - 【請求項４】 前記第１のテストパターンおよび前記第
２のテストパターン上には、それぞれ前記抵抗値の測定
点を示す測定点指示マークが形成されていることを特徴
とする請求項３記載のプリント配線板のテストパター
ン。 - 【請求項５】 前記測定点指示マークは、前記測定点か
ら引き出された配線パターンであることを特徴とする請
求項４記載のプリント配線板のテストパターン。 - 【請求項６】 前記第１のテストパターンおよび前記第
２のテストパターンは、多層プリント配線板の各層に形
成されていることを特徴とする請求項３記載のプリント
配線板のテストパターン。 - 【請求項７】 前記各層の第１のテストパターンおよび
前記第２のテストパターンには、それぞれ前記抵抗値の
測定点にスルーホールが形成されていることを特徴とす
る請求項７記載のプリント配線板のテストパターン。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14607893A JPH077271A (ja) | 1993-06-17 | 1993-06-17 | プリント配線板の検査方法およびテストパターン |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14607893A JPH077271A (ja) | 1993-06-17 | 1993-06-17 | プリント配線板の検査方法およびテストパターン |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH077271A true JPH077271A (ja) | 1995-01-10 |
Family
ID=15399619
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14607893A Pending JPH077271A (ja) | 1993-06-17 | 1993-06-17 | プリント配線板の検査方法およびテストパターン |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH077271A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007048957A (ja) * | 2005-08-10 | 2007-02-22 | Cabin Industrial Co Ltd | プリント基板の品質検査方法、プリント基板検査用マスタ基板の選定方法、及びそれらのいずれかを用いたプリント基板の製造方法、並びに、プリント基板の品質検査システム、プリント基板検査用マスタ基板の選定システム、及びそれらのいずれかを備えたプリント基板の製造システム。 |
| CN111505059A (zh) * | 2020-03-25 | 2020-08-07 | 上海玖银电子科技有限公司 | 一种银浆的检测方法 |
-
1993
- 1993-06-17 JP JP14607893A patent/JPH077271A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007048957A (ja) * | 2005-08-10 | 2007-02-22 | Cabin Industrial Co Ltd | プリント基板の品質検査方法、プリント基板検査用マスタ基板の選定方法、及びそれらのいずれかを用いたプリント基板の製造方法、並びに、プリント基板の品質検査システム、プリント基板検査用マスタ基板の選定システム、及びそれらのいずれかを備えたプリント基板の製造システム。 |
| JP4574488B2 (ja) * | 2005-08-10 | 2010-11-04 | ハインズテック株式会社 | プリント基板の基準抵抗値の算出方法、プリント基板の品質検査方法、プリント基板検査用マスタ基板の選定方法、及びそれらのいずれかを用いたプリント基板の製造方法、並びに、プリント基板の基準抵抗値の算出システム、プリント基板の品質検査システム、プリント基板検査用マスタ基板の選定システム、及びそれらのいずれかを備えたプリント基板の製造システム。 |
| CN111505059A (zh) * | 2020-03-25 | 2020-08-07 | 上海玖银电子科技有限公司 | 一种银浆的检测方法 |
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