JPH0769954A - 多官能ビニルエーテル化合物 - Google Patents

多官能ビニルエーテル化合物

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JPH0769954A
JPH0769954A JP21426593A JP21426593A JPH0769954A JP H0769954 A JPH0769954 A JP H0769954A JP 21426593 A JP21426593 A JP 21426593A JP 21426593 A JP21426593 A JP 21426593A JP H0769954 A JPH0769954 A JP H0769954A
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JP
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group
compound
vinyl ether
formula
alkyl
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JP21426593A
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Hiroya Nakagawa
弘也 中川
Shinichiro Kitayama
慎一郎 北山
Shigeo Hozumi
滋郎 穂積
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Sumitomo Chemical Co Ltd
Original Assignee
Sumitomo Chemical Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【目的】速硬化性を有し、酸素による重合阻害を回避し
良好な表面硬化特性を有する多官能ビニルエーテル化合
物を提供する。 【構成】 〔R1 はハロゲン原子、アルキル基、アリール基、アラ
ルキル基、アルコキシ基、アリーロキシ基、或いは、シ
クロアルキル基を示し、R2 は水素原子または炭素数1
0以下のアルキル基或いはシクロアルキル基を示し、R
3 は炭素数10以下のアルキル基またはハロゲン原子を
示す。Qは、それぞれ独立に、−OHまたは、一般式
(II)−OROCH=CH2 (式中、Rは、1ないし
12の炭素原子を含むアルキレン基を示す。)で表され
る基を示し、(−OH)/(−OROCH=CH2 )=
0/100〜90/10(モル比)である。n、mはそ
れぞれ0〜4、0〜9の整数を示す。〕で表される多官
能ビニルエーテル化合物。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、新規な多官能ビニルエ
ーテル化合物に関するものである。本化合物は、ルイス
酸、プロトン酸等の光カチオン重合開始剤の添加により
光硬化が可能であり、産業上の利用分野としては、例え
ばネガティブ型フォトレジスト、塗料、インキ等の感光
性樹脂としての利用があげられる。
【0002】
【従来の技術】光硬化性樹脂として、実用化されている
化合物としては、エポキシアクリレート、ウレタンアク
リレート等に代表されるアクリレート樹脂が公知であ
る。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかし、これら従来の
アクリレート樹脂は、硬化時に酸素による重合阻害が避
けられず、硬化膜表面の硬化性が著しく悪いこと、ま
た、酸素による重合阻害の見られないエポキシ基の光カ
チオン重合を硬化反応に利用した感光性樹脂について
は、硬化速度が非常に遅いという別の問題点を有してお
り、いずれも感光性樹脂としての要求特性は十分に満足
されていない。本発明の目的は、従来のアクリレート樹
脂に見られる上記の欠点を改良した、すなわち、速硬化
性を有し、酸素による重合阻害を回避し良好な表面硬化
特性を有し、さらに、分子中のフェノール性水酸基とビ
ニルオキシアルキル基のバランスを調整することによ
り、希アルカリ水への溶解性をも付与し得る(後者は特
にネガティブ型フォトレジストに使用する場合必要であ
る)多官能ビニルエーテル化合物を提供することであ
る。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記課題
を解決するために鋭意検討した結果、特定の構造を有す
る化合物が、上記目的を満足することを見いだし、本発
明を完成させるに至った。すなわち、本発明は次のとお
りである。一般式(I)
【0005】
【化2】 〔R1 はハロゲン原子、アルキル基、アリール基、アラ
ルキル基、アルコキシ基、アリーロキシ基、或いは、シ
クロアルキル基を示し、かつR1 は同一環内でまたは異
なる環内で複数存在する場合は、互いに同一であっても
異なっていてもよい。R2 は水素原子または炭素数10
以下のアルキル基或いはシクロアルキル基を示し、かつ
2つのR2 は同一であっても異なっていてもよい。R3
は炭素数10以下のアルキル基またはハロゲン原子を示
し、かつR3 は、同一環内でまたは異なる環内で複数存
在する場合は互いに同一であっても異なっていてもよ
い。Qは、それぞれ独立に、−OHまたは、一般式(I
I)−OROCH=CH2 (式中、Rは、1ないし12
の炭素原子を含むアルキレン基を示す。)で表される基
を示し、(−OH)/(−OROCH=CH2 )=0/
100〜90/10(モル比)である。n、mはそれぞ
れ0〜4、0〜9の整数を示す。〕で表される多官能ビ
ニルエーテル化合物。
【0006】以下に本発明を詳細に説明する。一般式
(I)において、置換基R1 としては、フッ素、塩素及
び臭素等のハロゲン原子;メチル基、エチル基、プロピ
ル基、ブチル基、アミル基、ヘキシル基、ヘプチル基、
ノニル基及びデシル基等の炭素数10以下の直鎖または
分岐鎖のアルキル基;フェニル基、トリル基及びナフチ
ル基等の炭素数15以下のアリール基;ベンジル基、フ
ェネチル基及びベンズヒドリル基等のアラルキル基;メ
トキシ基、エトキシ基及びプロポキシ基等のアルコキシ
基;フェノキシ基、ナフトキシ基及びアンスロキシ基等
のアリーロキシ基;シクロペンチル基、シクロヘキシル
基等の炭素数10以下のシクロアルキル基等が例示され
る。置換基R2 の炭素数10以下のアルキル基またはシ
クロアルキル基としては、前記R1 と同じものが例示さ
れる。置換基R3 の炭素数10以下のアルキル基及びハ
ロゲン原子としては、前記R1 と同じものが例示され
る。
【0007】Qは、それぞれ独立に、水酸基または上記
の式で表されるビニルオキシアルコキシル基であり、同
式中のアルキレン基Rとしては、メチレン、ジメチレ
ン、トリメチレン、テトラメチレン、ヘキサメチレン、
ヘプタメチレン、オクタメチレン、ノナメチレン、デカ
メチレン、ドデカメチレンまたはこれらの分岐を有する
異性体等が例示される。水酸基/ビニルオキシアルコキ
シル基の比は、分子全体の平均値として0/100〜9
0/10(モル比)の範囲で任意に設定できる。一般式
(I)で表される化合物の一般的な合成方法としては、
一般式(III)
【0008】
【化3】 (式中、R1 、R2 、R3 、n及びmの定義は、一般式
(I)のそれと同じである。)で表される多価フェノー
ル化合物(S)と、一般式:XROCH=CH2(式
中、Xはハロゲン原子、Rは1ないし12の炭素原子を
含むアルキレン基を示す。)で表されるハロアルキルビ
ニルエーテル(T)を接触させて得ることができる。
【0009】一般式(III)で表される多価フェノー
ル化合物(S)は、フェノール類と、2,2−ビス(4
−オキソシクロヘキシル)プロパンに代表されるビスシ
クロヘキサノン類との酸触媒による脱水縮合反応により
得ることができる。
【0010】フェノール類の例としては、フェノールま
たは、クレゾール、エチルフェノール、n−プロピルフ
ェノール、イソプロピルフェノール、n−ブチルフェノ
ール、イソブチルフェノール、t−ブチルフェノール、
オクチルフェノール、ノニルフェノール、キシレノー
ル、メチルブチルフェノール、ジ−t−ブチルフェノー
ル、ジ−t−アミルフェノール等を代表とするアルキル
フェノールの各種o−、m−、p−異性体、または、メ
トキシフェノール、エトキシフェノール、プロピロキシ
フェノール等を代表とするアルコキシフェノールの各種
o−、m−、p−異性体、または、シクロぺンチルフェ
ノール、シクロヘキシルフェノール、シクロヘキシルク
レゾール等を代表とするシクロアルキルフェノール、ま
たは、クロロフェノール、ジクロロフェノール、ブロモ
フェノール、ジブロモフェノールに代表されるハロゲン
置換フェノール、あるいはアリールフェノール、アラル
キルフェノール等の置換フェノールが挙げられる。これ
らのフェノール類は、単独のみならず二種類以上の混合
使用も可能である。
【0011】また多価フェノール化合物(S)のもう一
方の原料であるビスシクロヘキサノン類の例としては、
2,2−ビス(4−オキソシクロヘキシル)プロパン、
または、2,2−ビス(3,5−ジメチル−4−オキソ
シクロヘキシル)プロパン、2,2−ビス(3,5−ジ
ブロモ−4−オキソシクロヘキシル)プロパン、ビス
(4−オキソシクロヘキシル)メタン、ビス(3,5−
ジメチル−4−オキソシクロヘキシル)メタン、1,1
−ビス(4−オキソシクロヘキシル)エタン、1,1−
ビス(4−オキソシクロヘキシル)シクロヘキサンが挙
げられる。
【0012】多価フェノール化合物(S)とハロアルキ
ルビニルエーテル(T)との縮合反応に際しては、適当
な縮合促進剤、例えば,水酸化ナトリウム、水酸化カリ
ウム、水素化ナトリウム等のアルカリ金属化合物;金属
ナトリウム;ナトリウムメチラート等のアルカリ金属ア
ルコラート;トリエチルベンジルアンモニウムクロライ
ド、テトラエチルアンモニウムクロライド、トリブチル
ベンジルアンモニウムクロライド等の四級アンモニウム
塩;炭酸ナトリウム、炭酸カリウム等の金属塩等を添加
して反応を促進させることができる。
【0013】これらの縮合促進剤を使用する場合、塩基
の仕込比としては、化合物(S)のOH基1.0モル当
量に対し、縮合促進剤を0.1〜10.0モルの範囲、
好ましくは0.3〜2.0モルの範囲にすることで高い
反応促進効果が得られる。
【0014】反応は、不活性溶媒、例えばエチルセロソ
ルブ、ジメチルスルホキシド、エチレングリコールモノ
メチルエーテル、ジメチルアセトアミドの様な溶媒中で
行なうことができる。また、反応温度に制限はないが、
室温から100℃の範囲が好ましい。
【0015】前記反応終了後の目的物の単離精製法は、
公知の方法を採用できる。例えば、反応液を室温まで冷
却後、トルエン或いはメチルイソブチルケトンで有機層
を抽出し数回水洗することで、未反応化合物(S)、無
機塩を除き、有機層を無水硫酸ナトリウム等の乾燥剤で
乾燥した後、減圧濃縮することにより目的物を取得する
方法等があげられるが、この方法に限定されるものでは
ない。本発明により得られた多官能ビニルエーテル化合
物は、感光性樹脂として種々の用途がある。
【0016】
【発明の効果】本発明の多官能ビニルエーテル化合物
は、それを感光性樹脂組成物として使用する場合、従来
のアクリレート樹脂を使用した感光性樹脂と同等の速硬
化性や硬化物物性を維持しつつ、酸素による重合阻害の
全く無い良好な表面硬化性を付与することができる。更
に、化合物中のフェノール性水酸基とビニルオキシアル
キル基のバランスの最適化により、それをネガティブ型
フォトレジストとして使用する場合に必要な性質である
希アルカリ水への溶解性(現象特性)を付与できるとい
った非常に優れた感光性樹脂特性を発現できる。
【0017】
【実施例】以下に本発明を実施例によって更に詳細に説
明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものでは
ない。
【0018】参考例1 2,2−ビス(4−オキソシクロヘキシル)プロパン
(新日本化学株式会社製)49.1g、オルソクレゾー
ル432.0g、メルカプトプロピオン酸3.98gと
濃塩酸205.5gを、還流冷却器、温度計、撹拌器、
及び窒素導入装置を付した反応器に仕込み、60℃で
1.5時間反応させた。中和及び水洗の後にトルエンを
加え沈澱を濾取し、2,2−ビス[4,4−ビス(3−
メチル−4−ヒドロキシフェニル)シクロヘキシル]プ
ロパン195.5gを得た。
【0019】実施例1 参考例1で得た、2,2−ビス[4,4−ビス(3−メ
チル−4−ヒドロキシフェニル)シクロヘキシル]プロ
パン(OH当量:158)79.1g、ジメチルスルホ
キシド170gを還流冷却器、温度計、撹拌器、及び窒
素導入装置を付した反応器に仕込み溶解せしめた後、粉
末状水酸化ナトリウム25.0gを加え、60℃で30
分撹拌する。次に2−クロルエチルビニルエーテル8
0.0gを反応器内温度を60℃に保持したまま30分
で滴下し、更に、70℃で7.5時間保温することによ
り反応を完結させた。
【0020】85%リン酸水溶液10.4gで過剰の水
酸化ナトリウムを中和した後、メチルイソブチルケトン
230g、水400gを加え、有機層への目的物の抽出
及び無機塩の水層への溶解を行なった。この後、水40
0gによる水洗を5回繰り返し、無水硫酸ナトリウムに
より有機層を乾燥、濾過、更に、メチルイソブチルケト
ンを減圧留去することにより目的物を81.7gを得
た。
【0021】その赤外吸収スペクトルから、1610c
-1と975cm-1にビニル基による吸収、1200c
-1にエーテル結合に基づく吸収が認められた。また、
3400cm-1付近の水酸基による吸収が完全に消失
し、フェノール性水酸基の水素原子が完全にビニルオキ
シエチル基に置換されたことを確認した。得られた化合
物は、次式で表される多官能ビニルエーテル化合物〔以
下、化合物(1)という〕である。
【0022】
【化4】 (式中、Qは全て−OCH2 CH2 OCH=CH2 であ
る。)
【0023】実施例2 参考例1で得た、2,2−ビス[4,4−ビス(3−メ
チル−4−ヒドロキシフェニル)シクロヘキシル]プロ
パン(OH当量:158)79.1g、ジメチルスルホ
キシド170gを還流冷却器、温度計、撹拌器、及び窒
素導入装置を付した反応器に仕込み溶解せしめた後、粉
末状水酸化ナトリウム10.4gを加え、60℃で30
分撹拌する。次に2−クロルエチルビニルエーテル3
2.0gを反応器内温度を60℃に保持したまま30分
で滴下し、更に、70℃で8時間保温することにより反
応を完結させた。
【0024】85%リン酸水溶液3.5gで過剰の水酸
化ナトリウムを中和した後、メチルイソブチルケトン2
50g、水450gを加え、有機層への目的物の抽出及
び無機塩の水層への溶解を行なった。この後、水450
gによる水洗を5回繰り返し、無水硫酸ナトリウムによ
り有機層を乾燥、濾過、更に、メチルイソブチルケトン
を減圧留去することにより目的物66.4gを得た。
【0025】その赤外吸収スペクトルから、1610c
-1と975cm-1にビニル基による吸収、1200c
-1にエーテル結合に基づく吸収が認められた。また、
中和滴定法により残存フェノール性水酸基を定量し、ビ
ニルオキシエチル基置換率を算出した結果、置換率は5
0%であった。得られた化合物は、次式で表される多官
能ビニルエーテル化合物〔以下、化合物(2)という〕
である。
【0026】
【化5】 (式中、Qは−OHまたは−OCH2 CH2 OCH=C
2 であり、両者の比は50/50である。)
【0027】参考例2 実施例1によって得た、化合物(1)を下記のような配
合により、感光性樹脂組成物とした。
【0028】
【表1】 本感光性樹脂組成物を、ガラス基盤上に1.2μm厚で
スピンコートし、60℃、30分プリベーク後、KAS
PER 2001C露光機(KASPER社製)を用い
大気中でパターニング露光を実施した結果、光量40m
J/cm2 でタック(ベタつき)の無い硬化フィルムを
得た。これは酸素による重合阻害が無いことを示してい
る。更に、ブチルセロソルブにて現象したところ、解像
度10μmの良好なパターンを得た。「解像度」は数本
の線が線幅に等しい間隔で並んでいる図形(line
&space)を用い測定する。線幅を少しずつ変えた
line & spaceの組をマスクとし、そのパタ
ーンを基板上に焼き付け、その解像限界を示したもので
ある。
【0029】参考例3 実施例2によって得た、化合物(2)を下記のような配
合により、感光性樹脂組成物とした。
【0030】
【表2】 本感光性樹脂組成物を、ガラス基盤上に1.2μm厚で
スピンコートし、60℃、5分プリべーク後、KASP
ER 2001C露光機(KASPER社製)を用い大
気中でパターニング露光を実施した結果、光量80mJ
/cm2 でタックの無い硬化フィルムを得た。更に、3
%水酸化ナトリウム水溶液にて現象したところ、解像度
10μmの良好なパターンを得た。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】一般式(I) 【化1】 〔R1 はハロゲン原子、アルキル基、アリール基、アラ
    ルキル基、アルコキシ基、アリーロキシ基、或いは、シ
    クロアルキル基を示し、かつR1 は同一環内でまたは異
    なる環内で複数存在する場合は、互いに同一であっても
    異なっていてもよい。R2 は水素原子または炭素数10
    以下のアルキル基或いはシクロアルキル基を示し、かつ
    2つのR2 は同一であっても異なっていてもよい。R3
    は炭素数10以下のアルキル基またはハロゲン原子を示
    し、かつR3 は、同一環内でまたは異なる環内で複数存
    在する場合は互いに同一であっても異なっていてもよ
    い。Qは、それぞれ独立に、−OHまたは、一般式(I
    I)−OROCH=CH2 (式中、Rは、1ないし12
    の炭素原子を含むアルキレン基を示す。)で表される基
    を示し、(−OH)/(−OROCH=CH2 )=0/
    100〜90/10(モル比)である。n、mはそれぞ
    れ0〜4、0〜9の整数を示す。〕で表される多官能ビ
    ニルエーテル化合物。
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