JPH06279431A - 多官能ビニルエーテル化合物 - Google Patents
多官能ビニルエーテル化合物Info
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- JPH06279431A JPH06279431A JP6540993A JP6540993A JPH06279431A JP H06279431 A JPH06279431 A JP H06279431A JP 6540993 A JP6540993 A JP 6540993A JP 6540993 A JP6540993 A JP 6540993A JP H06279431 A JPH06279431 A JP H06279431A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】従来のアクリレート樹脂に見られる速硬化性や
硬化物の物性バランスに優れた点を損なわずに、酸素に
よる重合阻害を回避し良好な表面硬化特性を有し、さら
に、分子中のフェノール性水酸基とビニルオキシアルキ
ル基のバランスを調整することにより、希アルカリ水へ
の溶解性をも付与し得る（後者は特にネガティブ型フォ
トレジストに使用する場合必要である。）多官能ビニル
エーテル化合物を提供すること。 【構成】一般式（Ｉ） 【化１】 〔式中、Ｑは、水素原子または一般式−ＲＯＣＨ＝ＣＨ
2 （式中、Ｒは１ないし１２の炭素原子を含むアルキレ
ン基を示す。）で表されるビニルオキシアルキル基を示
し、Ｒ1 は、水素原子、炭素数１０以下のアルキル基等
を示し、Ｒ2 は、水素原子、炭素数１０以下のアルキル
基等を示す。ｎ、ｍは、それぞれ０〜３、０〜１０の整
数を示す。〕で表される多官能ビニルエーテル化合物。
硬化物の物性バランスに優れた点を損なわずに、酸素に
よる重合阻害を回避し良好な表面硬化特性を有し、さら
に、分子中のフェノール性水酸基とビニルオキシアルキ
ル基のバランスを調整することにより、希アルカリ水へ
の溶解性をも付与し得る（後者は特にネガティブ型フォ
トレジストに使用する場合必要である。）多官能ビニル
エーテル化合物を提供すること。 【構成】一般式（Ｉ） 【化１】 〔式中、Ｑは、水素原子または一般式−ＲＯＣＨ＝ＣＨ
2 （式中、Ｒは１ないし１２の炭素原子を含むアルキレ
ン基を示す。）で表されるビニルオキシアルキル基を示
し、Ｒ1 は、水素原子、炭素数１０以下のアルキル基等
を示し、Ｒ2 は、水素原子、炭素数１０以下のアルキル
基等を示す。ｎ、ｍは、それぞれ０〜３、０〜１０の整
数を示す。〕で表される多官能ビニルエーテル化合物。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、新規な多官能ビニルエ
ーテル化合物に関するものである。本化合物は、ルイス
酸、プロトン酸等の光カチオン重合開始剤の添加により
光硬化が可能であり、産業上の利用分野としては、例え
ばネガティブ型フォトレジスト、塗料、インキ等の感光
性樹脂としての利用があげられる。
ーテル化合物に関するものである。本化合物は、ルイス
酸、プロトン酸等の光カチオン重合開始剤の添加により
光硬化が可能であり、産業上の利用分野としては、例え
ばネガティブ型フォトレジスト、塗料、インキ等の感光
性樹脂としての利用があげられる。
【０００２】
【従来の技術】光硬化性樹脂として、実用化されている
化合物としては、エポキシアクリレート、ウレタンアク
リレート等に代表されるアクリレート樹脂が公知であ
る。
化合物としては、エポキシアクリレート、ウレタンアク
リレート等に代表されるアクリレート樹脂が公知であ
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、これら従来の
アクリレート樹脂は、硬化時に酸素による重合阻害が避
けられず、硬化膜表面の硬化性が著しく悪いこと、ま
た、酸素による重合阻害の見られないエポキシ基の光カ
チオン重合を硬化反応に利用した感光性樹脂について
は、硬化速度が非常に遅いという別の問題点を有してお
り、いずれも感光性樹脂としての要求特性は十分に満足
されていない。本発明の目的は、従来のアクリレート樹
脂に見られる上記の欠点を改良した、すなわち、速硬化
性を有し、酸素による重合阻害を回避し良好な表面硬化
特性を有し、さらに、分子中のフェノール性水酸基とビ
ニルオキシアルキル基のバランスを調整することによ
り、希アルカリ水への溶解性をも付与し得る（後者は特
にネガティブ型フォトレジストに使用する場合必要であ
る）多官能ビニルエーテル化合物を提供することであ
る。
アクリレート樹脂は、硬化時に酸素による重合阻害が避
けられず、硬化膜表面の硬化性が著しく悪いこと、ま
た、酸素による重合阻害の見られないエポキシ基の光カ
チオン重合を硬化反応に利用した感光性樹脂について
は、硬化速度が非常に遅いという別の問題点を有してお
り、いずれも感光性樹脂としての要求特性は十分に満足
されていない。本発明の目的は、従来のアクリレート樹
脂に見られる上記の欠点を改良した、すなわち、速硬化
性を有し、酸素による重合阻害を回避し良好な表面硬化
特性を有し、さらに、分子中のフェノール性水酸基とビ
ニルオキシアルキル基のバランスを調整することによ
り、希アルカリ水への溶解性をも付与し得る（後者は特
にネガティブ型フォトレジストに使用する場合必要であ
る）多官能ビニルエーテル化合物を提供することであ
る。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記課題
を解決するために鋭意検討した結果、特定の構造を有す
る化合物が、上記目的を満足することを見いだし、本発
明を完成させるに至った。すなわち、本発明は次のとお
りである。一般式（Ｉ）
を解決するために鋭意検討した結果、特定の構造を有す
る化合物が、上記目的を満足することを見いだし、本発
明を完成させるに至った。すなわち、本発明は次のとお
りである。一般式（Ｉ）
【０００５】
【化２】 〔式中、Ｑは、水素原子または一般式−ＲＯＣＨ＝ＣＨ
2 （式中、Ｒは１ないし１２の炭素原子を含むアルキレ
ン基を示す。）で表されるビニルオキシアルキル基を示
し、Ｒ1 は、水素原子、炭素数１０以下のアルキル基及
びシクロアルキル基、炭素数１５以下のアリール基また
はハロゲン原子を示し、かつＲ1 は、同一環内で、また
異なる環内で互いに同一であっても異なっていてもよ
い。Ｒ2 は、水素原子、炭素数１０以下のアルキル基ま
たはハロゲン原子を示し、かつＲ2 は、同一環内で、ま
た異なる環内で互いに同一であっても異なっていてもよ
い。ｎ、ｍは、それぞれ０〜３、０〜１０の整数を示
す。またＱにおいて、水素原子／ビニルオキシアルキル
基の比は、分子全体の平均値として０／１００〜９０／
１０（モル比）の範囲の値である。〕で表される多官能
ビニルエーテル化合物。
2 （式中、Ｒは１ないし１２の炭素原子を含むアルキレ
ン基を示す。）で表されるビニルオキシアルキル基を示
し、Ｒ1 は、水素原子、炭素数１０以下のアルキル基及
びシクロアルキル基、炭素数１５以下のアリール基また
はハロゲン原子を示し、かつＲ1 は、同一環内で、また
異なる環内で互いに同一であっても異なっていてもよ
い。Ｒ2 は、水素原子、炭素数１０以下のアルキル基ま
たはハロゲン原子を示し、かつＲ2 は、同一環内で、ま
た異なる環内で互いに同一であっても異なっていてもよ
い。ｎ、ｍは、それぞれ０〜３、０〜１０の整数を示
す。またＱにおいて、水素原子／ビニルオキシアルキル
基の比は、分子全体の平均値として０／１００〜９０／
１０（モル比）の範囲の値である。〕で表される多官能
ビニルエーテル化合物。
【０００６】以下に本発明を詳細に説明する。一般式
（Ｉ）において、置換基Ｒ1 としては、水素原子；フッ
素、塩素及び臭素等のハロゲン原子；メチル基、エチル
基、プロピル基、ブチル基、アミル基、ヘキシル基、ヘ
プチル基、ノニル基及びデシル基等の炭素数１０以下の
直鎖または分岐鎖のアルキル基；フェニル基、トリル基
及びナフチル基等の炭素数１５以下のアリール基；シク
ロペンチル基、シクロヘキシル基等の炭素数１０以下の
シクロアルキル基等が例示される。置換基Ｒ2 として
は、水素原子；フッ素、塩素及び臭素等のハロゲン原
子；メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、アミ
ル基、ヘキシル基、ヘプチル基、ノニル基及びデシル基
等の炭素数１０以下の直鎖または分岐鎖のアルキル基等
が例示される。また、Ｒ1 、Ｒ2 は、それぞれ同一環内
で、また異なる環内で互いに同一であっても異なってい
てもよい。ｎ、ｍは、それぞれ０〜３、０〜１０の整数
を示す。Ｒ1 及びＲ2 の置換位置は特に限定されていな
い。
（Ｉ）において、置換基Ｒ1 としては、水素原子；フッ
素、塩素及び臭素等のハロゲン原子；メチル基、エチル
基、プロピル基、ブチル基、アミル基、ヘキシル基、ヘ
プチル基、ノニル基及びデシル基等の炭素数１０以下の
直鎖または分岐鎖のアルキル基；フェニル基、トリル基
及びナフチル基等の炭素数１５以下のアリール基；シク
ロペンチル基、シクロヘキシル基等の炭素数１０以下の
シクロアルキル基等が例示される。置換基Ｒ2 として
は、水素原子；フッ素、塩素及び臭素等のハロゲン原
子；メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、アミ
ル基、ヘキシル基、ヘプチル基、ノニル基及びデシル基
等の炭素数１０以下の直鎖または分岐鎖のアルキル基等
が例示される。また、Ｒ1 、Ｒ2 は、それぞれ同一環内
で、また異なる環内で互いに同一であっても異なってい
てもよい。ｎ、ｍは、それぞれ０〜３、０〜１０の整数
を示す。Ｒ1 及びＲ2 の置換位置は特に限定されていな
い。
【０００７】Ｑは、それぞれ独立に、水素原子または上
記の式で表されるビニルオキシアルキル基であり、同式
中のアルキレン基Ｒとしては、メチレン、ジメチレン、
トリメチレン、テトラメチレン、ヘキサメチレン、ヘプ
タメチレン、オクタメチレン、ノナメチレン、デカメチ
レン、ドデカメチレンまたはこれらの分岐を有する異性
体等が例示される。水素原子／ビニルオキシアルキル基
の比は、分子全体の平均値として０／１００〜９０／１
０（モル比）の範囲で任意に設定できる。一般式（Ｉ）
で表される化合物の一般的な合成方法としては、一般式
（ＩＩ）
記の式で表されるビニルオキシアルキル基であり、同式
中のアルキレン基Ｒとしては、メチレン、ジメチレン、
トリメチレン、テトラメチレン、ヘキサメチレン、ヘプ
タメチレン、オクタメチレン、ノナメチレン、デカメチ
レン、ドデカメチレンまたはこれらの分岐を有する異性
体等が例示される。水素原子／ビニルオキシアルキル基
の比は、分子全体の平均値として０／１００〜９０／１
０（モル比）の範囲で任意に設定できる。一般式（Ｉ）
で表される化合物の一般的な合成方法としては、一般式
（ＩＩ）
【０００８】
【化３】 （式中、Ｒ1 、Ｒ2 の定義は、一般式（Ｉ）のそれと同
じである。）で表される多価フェノール化合物（Ｓ）
と、一般式ＸＲＯＣＨ＝ＣＨ2 （式中、Ｘはハロゲン原
子、Ｒは１ないし１２の炭素原子を含むアルキレン基を
示す。）で表されるハロアルキルビニルエーテル（Ｔ）
を接触させて得ることができる。
じである。）で表される多価フェノール化合物（Ｓ）
と、一般式ＸＲＯＣＨ＝ＣＨ2 （式中、Ｘはハロゲン原
子、Ｒは１ないし１２の炭素原子を含むアルキレン基を
示す。）で表されるハロアルキルビニルエーテル（Ｔ）
を接触させて得ることができる。
【０００９】一般式（ＩＩ）で表される多価フェノール
化合物（Ｓ）は、レゾルシノール類と、シクロヘキサノ
ン類との酸触媒による脱水縮合反応により得ることがで
きる。レゾルシノール類の例としては、レゾルシノー
ル、メチルレゾルシノール、エチルレゾルシノール、ｎ
−プロピルレゾルシノール、イソプロピルレゾルシノー
ル、ｎ−ブチルレゾルシノール、イソブチルレゾルシノ
ール、ｔ−ブチルレゾルシノール、アミルレゾルシノー
ル、ヘキシルレゾルシノール、シクロヘキシルレゾルシ
ノール、メチル−シクロヘキシルレゾルシノール、メチ
ルブチルレゾルシノール、フェニルレゾルシノール、ナ
フチルレゾルシノール等があげられる。これらのレゾル
シノール類は、単独のみならず二種類以上の混合使用も
可能である。
化合物（Ｓ）は、レゾルシノール類と、シクロヘキサノ
ン類との酸触媒による脱水縮合反応により得ることがで
きる。レゾルシノール類の例としては、レゾルシノー
ル、メチルレゾルシノール、エチルレゾルシノール、ｎ
−プロピルレゾルシノール、イソプロピルレゾルシノー
ル、ｎ−ブチルレゾルシノール、イソブチルレゾルシノ
ール、ｔ−ブチルレゾルシノール、アミルレゾルシノー
ル、ヘキシルレゾルシノール、シクロヘキシルレゾルシ
ノール、メチル−シクロヘキシルレゾルシノール、メチ
ルブチルレゾルシノール、フェニルレゾルシノール、ナ
フチルレゾルシノール等があげられる。これらのレゾル
シノール類は、単独のみならず二種類以上の混合使用も
可能である。
【００１０】またもう一方の原料であるシクロヘキサノ
ン類の例としては、シクロヘキサノン、メチルシクロヘ
キサノン、エチルシクロヘキサノン、プロピルシクロヘ
キサノン、ブチルシクロヘキサノン、ジメチルシクロヘ
キサノン、メチルエチルシクロヘキサノン、メチルブチ
ルシクロヘキサノン、トリメチルシクロヘキサノン、テ
トラメチルシクロヘキサノン、フェニルシクロヘキサノ
ン、ナフチルシクロヘキサノン等があげられる。これら
のシクロヘキサノン類は、単独のみならず二種類以上の
混合使用も可能である。
ン類の例としては、シクロヘキサノン、メチルシクロヘ
キサノン、エチルシクロヘキサノン、プロピルシクロヘ
キサノン、ブチルシクロヘキサノン、ジメチルシクロヘ
キサノン、メチルエチルシクロヘキサノン、メチルブチ
ルシクロヘキサノン、トリメチルシクロヘキサノン、テ
トラメチルシクロヘキサノン、フェニルシクロヘキサノ
ン、ナフチルシクロヘキサノン等があげられる。これら
のシクロヘキサノン類は、単独のみならず二種類以上の
混合使用も可能である。
【００１１】多価フェノール化合物（Ｓ）とハロアルキ
ルビニルエーテル（Ｔ）との縮合反応に際しては、適当
な縮合促進剤、例えば，水酸化ナトリウム、水酸化カリ
ウム、水素化ナトリウム等のアルカリ金属化合物；金属
ナトリウム；ナトリウムメチラート等のアルカリ金属ア
ルコラート；トリエチルベンジルアンモニウムクロライ
ド、テトラエチルアンモニウムクロライド、トリブチル
ベンジルアンモニウムクロライド等の四級アンモニウム
塩；炭酸ナトリウム、炭酸カリウム等の金属塩等を添加
して反応を促進させることができる。
ルビニルエーテル（Ｔ）との縮合反応に際しては、適当
な縮合促進剤、例えば，水酸化ナトリウム、水酸化カリ
ウム、水素化ナトリウム等のアルカリ金属化合物；金属
ナトリウム；ナトリウムメチラート等のアルカリ金属ア
ルコラート；トリエチルベンジルアンモニウムクロライ
ド、テトラエチルアンモニウムクロライド、トリブチル
ベンジルアンモニウムクロライド等の四級アンモニウム
塩；炭酸ナトリウム、炭酸カリウム等の金属塩等を添加
して反応を促進させることができる。
【００１２】これらの縮合促進剤を使用する場合、塩基
の仕込比としては、化合物（Ｓ）のＯＨ基１．０モル当
量に対し、縮合促進剤を０．１〜１０．０モルの範囲、
好ましくは０．３〜２．０モルの範囲にすることで高い
反応促進効果が得られる。
の仕込比としては、化合物（Ｓ）のＯＨ基１．０モル当
量に対し、縮合促進剤を０．１〜１０．０モルの範囲、
好ましくは０．３〜２．０モルの範囲にすることで高い
反応促進効果が得られる。
【００１３】反応は、不活性溶媒、例えばエチルセロソ
ルブ、ジメチルスルホキシド、エチレングリコールモノ
メチルエーテル、ジメチルアセトアミドの様な溶媒中で
行なうことができる。また、反応温度に制限はないが、
室温から１００℃の範囲が好ましい。前記反応終了後の
目的物の単離精製法は、公知の方法を採用できる。例え
ば、反応液を室温まで冷却後、トルエン或いはメチルイ
ソブチルケトンで有機層を抽出し数回水洗することで、
未反応化合物（Ｓ）、無機塩を除き、有機層を無水硫酸
ナトリウム等の乾燥剤で乾燥した後、減圧濃縮すること
により目的物を取得する方法等があげられるが、この方
法に限定されるものではない。本発明により得られた多
官能ビニルエーテル化合物は、感光性樹脂として種々の
用途がある。
ルブ、ジメチルスルホキシド、エチレングリコールモノ
メチルエーテル、ジメチルアセトアミドの様な溶媒中で
行なうことができる。また、反応温度に制限はないが、
室温から１００℃の範囲が好ましい。前記反応終了後の
目的物の単離精製法は、公知の方法を採用できる。例え
ば、反応液を室温まで冷却後、トルエン或いはメチルイ
ソブチルケトンで有機層を抽出し数回水洗することで、
未反応化合物（Ｓ）、無機塩を除き、有機層を無水硫酸
ナトリウム等の乾燥剤で乾燥した後、減圧濃縮すること
により目的物を取得する方法等があげられるが、この方
法に限定されるものではない。本発明により得られた多
官能ビニルエーテル化合物は、感光性樹脂として種々の
用途がある。
【００１４】
【発明の効果】本発明の多官能ビニルエーテル化合物
は、それを感光性樹脂組成物として使用する場合、従来
のアクリレート樹脂を使用した感光性樹脂と同等以上の
硬化速度、硬化物の物性バランス、さらに、酸素による
重合阻害の全く無い良好な表面硬化性、更に、化合物中
のフェノール性水酸基とビニルオキシアルキル基のバラ
ンスの最適化により、それをネガティブ型フォトレジス
トとして使用する場合に必要な性質である希アルカリ水
への溶解性（現象特性）を付与できるといった非常に優
れた感光性樹脂特性を発現できる。
は、それを感光性樹脂組成物として使用する場合、従来
のアクリレート樹脂を使用した感光性樹脂と同等以上の
硬化速度、硬化物の物性バランス、さらに、酸素による
重合阻害の全く無い良好な表面硬化性、更に、化合物中
のフェノール性水酸基とビニルオキシアルキル基のバラ
ンスの最適化により、それをネガティブ型フォトレジス
トとして使用する場合に必要な性質である希アルカリ水
への溶解性（現象特性）を付与できるといった非常に優
れた感光性樹脂特性を発現できる。
【００１５】
【実施例】以下に本発明を実施例によって更に詳細に説
明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものでは
ない。
明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものでは
ない。
【００１６】実施例１ レゾルシノールとシクロヘキサノンの縮合反応により得
た３官能フェノール（ＯＨ当量：１２６）６３．０ｇ、
ジメチルスルホキシド１６１．８ｇを還流冷却器、温度
計、撹拌器、及び窒素導入装置を付した反応器に仕込み
溶解せしめた後、粉末状水酸化ナトリウム２５．０ｇを
加え、６０℃で３０分撹拌する。次に２−クロルエチル
ビニルエーテル８０．０ｇを反応器内温度を６０℃に保
持したまま９０分で滴下し、更に、７０℃で５時間保温
することにより反応を完結させた。
た３官能フェノール（ＯＨ当量：１２６）６３．０ｇ、
ジメチルスルホキシド１６１．８ｇを還流冷却器、温度
計、撹拌器、及び窒素導入装置を付した反応器に仕込み
溶解せしめた後、粉末状水酸化ナトリウム２５．０ｇを
加え、６０℃で３０分撹拌する。次に２−クロルエチル
ビニルエーテル８０．０ｇを反応器内温度を６０℃に保
持したまま９０分で滴下し、更に、７０℃で５時間保温
することにより反応を完結させた。
【００１７】８５％リン酸水溶液７．１ｇで過剰の水酸
化ナトリウムを中和した後、メチルイソブチルケトン２
５０ｇ、水４５０ｇを加え、有機層への目的物の抽出及
び無機塩の水層への溶解を行なった。この後、水４５０
ｇによる水洗を５回繰り返し、無水硫酸ナトリウムによ
り有機層を乾燥、濾過、更に、メチルイソブチルケトン
を減圧留去することにより目的物を９６．７ｇを得た。
化ナトリウムを中和した後、メチルイソブチルケトン２
５０ｇ、水４５０ｇを加え、有機層への目的物の抽出及
び無機塩の水層への溶解を行なった。この後、水４５０
ｇによる水洗を５回繰り返し、無水硫酸ナトリウムによ
り有機層を乾燥、濾過、更に、メチルイソブチルケトン
を減圧留去することにより目的物を９６．７ｇを得た。
【００１８】その赤外吸収スペクトルから、１６１０ｃ
ｍ-1と９７５ｃｍ-1にビニル基による吸収、１２００ｃ
ｍ-1にエーテル結合に基づく吸収が認められた。また、
３４００ｃｍ-1付近の水酸基による吸収が完全に消失
し、フェノール性水酸基の水素原子が完全にビニルオキ
シエチル基に置換されたことを確認した。得られた化合
物は、次式で表される多官能ビニルエーテル化合物〔以
下、化合物（１）という〕である。
ｍ-1と９７５ｃｍ-1にビニル基による吸収、１２００ｃ
ｍ-1にエーテル結合に基づく吸収が認められた。また、
３４００ｃｍ-1付近の水酸基による吸収が完全に消失
し、フェノール性水酸基の水素原子が完全にビニルオキ
シエチル基に置換されたことを確認した。得られた化合
物は、次式で表される多官能ビニルエーテル化合物〔以
下、化合物（１）という〕である。
【００１９】
【化４】 （式中、Ｑは全て−ＣＨ2 ＣＨ2 ＯＣＨ＝ＣＨ2 であ
る。）
る。）
【００２０】実施例２ レゾルシノールとシクロヘキサノンの縮合反応により得
た３官能フェノール（ＯＨ当量：１２６）６３．０ｇ、
ジメチルスルホキシド１４０．０ｇを還流冷却器、温度
計、撹拌器、及び窒素導入装置を付した反応器に仕込み
溶解せしめた後、粉末状水酸化ナトリウム１０．４ｇを
加え、６０℃で３０分撹拌する。次に２−クロルエチル
ビニルエーテル３２．０ｇを反応器内温度を６０℃に保
持したまま９０分で滴下し、更に、７０℃で５時間保温
することにより反応を完結させた。
た３官能フェノール（ＯＨ当量：１２６）６３．０ｇ、
ジメチルスルホキシド１４０．０ｇを還流冷却器、温度
計、撹拌器、及び窒素導入装置を付した反応器に仕込み
溶解せしめた後、粉末状水酸化ナトリウム１０．４ｇを
加え、６０℃で３０分撹拌する。次に２−クロルエチル
ビニルエーテル３２．０ｇを反応器内温度を６０℃に保
持したまま９０分で滴下し、更に、７０℃で５時間保温
することにより反応を完結させた。
【００２１】８５％リン酸水溶液３．５ｇで過剰の水酸
化ナトリウムを中和した後、メチルイソブチルケトン２
５０ｇ、水４５０ｇを加え、有機層への目的物の抽出及
び無機塩の水層への溶解を行なった。この後、水４５０
ｇによる水洗を５回繰り返し、無水硫酸ナトリウムによ
り有機層を乾燥、濾過、更に、メチルイソブチルケトン
を減圧留去することにより目的物７８．０ｇを得た。
化ナトリウムを中和した後、メチルイソブチルケトン２
５０ｇ、水４５０ｇを加え、有機層への目的物の抽出及
び無機塩の水層への溶解を行なった。この後、水４５０
ｇによる水洗を５回繰り返し、無水硫酸ナトリウムによ
り有機層を乾燥、濾過、更に、メチルイソブチルケトン
を減圧留去することにより目的物７８．０ｇを得た。
【００２２】その赤外吸収スペクトルから、１６１０ｃ
ｍ-1と９７５ｃｍ-1にビニル基による吸収、１２００ｃ
ｍ-1にエーテル結合に基づく吸収が認められた。また、
中和滴定法により残存フェノール性水酸基を定量し、ビ
ニルオキシエチル基置換率を算出した結果、置換率は５
０％であった。得られた化合物は、次式で表される多官
能ビニルエーテル化合物〔以下、化合物（２）という〕
である。
ｍ-1と９７５ｃｍ-1にビニル基による吸収、１２００ｃ
ｍ-1にエーテル結合に基づく吸収が認められた。また、
中和滴定法により残存フェノール性水酸基を定量し、ビ
ニルオキシエチル基置換率を算出した結果、置換率は５
０％であった。得られた化合物は、次式で表される多官
能ビニルエーテル化合物〔以下、化合物（２）という〕
である。
【００２３】
【化５】 （式中、Ｑは−Ｈまたは−ＣＨ2 ＣＨ2 ＯＣＨ＝ＣＨ2
であり、両者の比は５０／５０である。）
であり、両者の比は５０／５０である。）
【００２４】参考例１ 実施例１によって得た、化合物（１）を下記のような配
合により、感光性樹脂組成物とした。
合により、感光性樹脂組成物とした。
【００２５】
【表１】 本感光性樹脂組成物を、ガラス基盤上に１．２μｍ厚で
スピンコートし、６０℃、３０分プリベーク後、ＫＡＳ
ＰＥＲ ２００１Ｃ露光機（ＫＡＳＰＥＲ社製）を用い
大気中でパターニング露光を実施した結果、光量７０ｍ
Ｊ／ｃｍ2 でタック（ベタつき）の無い硬化フィルムを
得た。これは酸素による重合阻害が無いことを示してい
る。更に、メチルエチルケトンにて現象したところ、解
像度５μｍの良好なパターンを得た。
スピンコートし、６０℃、３０分プリベーク後、ＫＡＳ
ＰＥＲ ２００１Ｃ露光機（ＫＡＳＰＥＲ社製）を用い
大気中でパターニング露光を実施した結果、光量７０ｍ
Ｊ／ｃｍ2 でタック（ベタつき）の無い硬化フィルムを
得た。これは酸素による重合阻害が無いことを示してい
る。更に、メチルエチルケトンにて現象したところ、解
像度５μｍの良好なパターンを得た。
【００２６】参考例２ 実施例２によって得た、化合物（２）を下記のような配
合により、感光性樹脂組成物とした。
合により、感光性樹脂組成物とした。
【００２７】
【表２】 本感光性樹脂組成物を、ガラス基盤上に１．２μｍ厚で
スピンコートし、６０℃、５分プリべーク後、ＫＡＳＰ
ＥＲ ２００１Ｃ露光機（ＫＡＳＰＥＲ社製）を用い大
気中でパターニング露光を実施した結果、光量２００ｍ
Ｊ／ｃｍ2 でタックの無い硬化フィルムを得た。更に、
３％水酸化ナトリウム水溶液にて現象したところ、解像
度１０μｍの良好なパターンを得た。
スピンコートし、６０℃、５分プリべーク後、ＫＡＳＰ
ＥＲ ２００１Ｃ露光機（ＫＡＳＰＥＲ社製）を用い大
気中でパターニング露光を実施した結果、光量２００ｍ
Ｊ／ｃｍ2 でタックの無い硬化フィルムを得た。更に、
３％水酸化ナトリウム水溶液にて現象したところ、解像
度１０μｍの良好なパターンを得た。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｃ０９Ｄ 11/02 ＰＴＥ 7415−4Ｊ 129/10 ＰＦＰ 6904−4Ｊ Ｇ０３Ｆ 7/038 Ｈ０１Ｌ 21/027
Claims (1)
- 【請求項１】一般式（Ｉ） 【化１】 〔式中、Ｑは、水素原子または一般式−ＲＯＣＨ＝ＣＨ
2 （式中、Ｒは１ないし１２の炭素原子を含むアルキレ
ン基を示す。）で表されるビニルオキシアルキル基を示
し、Ｒ1 は、水素原子、炭素数１０以下のアルキル基及
びシクロアルキル基、炭素数１５以下のアリール基また
はハロゲン原子を示し、かつＲ1 は、同一環内で、また
異なる環内で互いに同一であっても異なっていてもよ
い。Ｒ2 は、水素原子、炭素数１０以下のアルキル基ま
たはハロゲン原子を示し、かつＲ2 は、同一環内で、ま
た異なる環内で互いに同一であっても異なっていてもよ
い。ｎ、ｍは、それぞれ０〜３、０〜１０の整数を示
す。またＱにおいて、水素原子／ビニルオキシアルキル
基の比は、分子全体の平均値として０／１００〜９０／
１０（モル比）の範囲の値である。〕で表される多官能
ビニルエーテル化合物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6540993A JPH06279431A (ja) | 1993-03-24 | 1993-03-24 | 多官能ビニルエーテル化合物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6540993A JPH06279431A (ja) | 1993-03-24 | 1993-03-24 | 多官能ビニルエーテル化合物 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06279431A true JPH06279431A (ja) | 1994-10-04 |
Family
ID=13286212
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6540993A Pending JPH06279431A (ja) | 1993-03-24 | 1993-03-24 | 多官能ビニルエーテル化合物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06279431A (ja) |
-
1993
- 1993-03-24 JP JP6540993A patent/JPH06279431A/ja active Pending
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