JPH0766101A - スピンコータ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ウェーハ上面へのワックスの再付着を防止す
るとともに、生産効率を向上させたスピンコータを提供
すること。 【構成】 ウェーハ１を吸着支持するとともにモータ３
により回転されるスピンチャックの上方に、ワックスを
ウェーハ１の上面に滴下あるいは吐出するノズル４が設
けられ、これらの回りにワックスの飛散を防止するカバ
５ーを備えたスピンコータにおいて、カバー５の内面に
配設された飛散したワックスを捕獲する無塵クロス７
と、捕獲された前記ワックスを溶解する界面活性剤液９
を前記無塵クロス７に供給するプール８とを設けた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、たとえば半導体ウェー
ハを研磨加工する前工程において使用されるウェーハに
接着剤を塗布するスピンコータに関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体ウェーハの製造過程において、平
坦度の高いウェーハを得るために、ウェーハを貼付板に
接着して研磨加工することが行われている。従来、この
ウェーハをセラミックスあるいはガラス等からなる貼付
板に接着する場合にあっては、図２に示すようなスピン
コータ２０によりウェーハ上に塗布剤としての接着用の
ワックスを塗布している。この従来のスピンコータ２０
は、ウェハ１を吸着支持するスピンチャック２を有して
おり、このスピンチャック２は、ウェハ１とともにモー
タ３により回転駆動される。このように回転するウェハ
１の上面に向けてノズル４からワックスを吐出すること
により、ウェハ１の上面にワックスが均一に塗布される
ようになっている（以下、スピンコートという）。一
方、ウェハ１の上面に塗布されるワックスのうちの余分
なワックスがスピンコートにより周囲に飛散するのを防
止するためのカバー５が設けられている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上記のよう
な従来のスピンコータ２０を使用する場合にあっては、
飛散したワックスが飛散防止用のカバー５の内面に付着
した後に、これが剥離してウェーハ１の上面に異物とし
て再付着するという問題があった。このため、カバー５
の内面を頻繁に清掃する必要が生じ、生産効率の低下を
招いていた。これに対し、従来から様々な対策がなされ
てきている。たとえば、飛散防止用のカバー５を上述し
たような再付着の問題が生じない程度に十分大きくする
ことも考えられる。しかしながら、この場合は、スピン
コータ自体の設備が大きくなるばかりでなく、これに伴
なってウェーハの搬送装置等の周辺装置全体が大型化し
てしまうこととなる。

【０００４】また、特開平１−９０５３０号公報には、
塗布剤をウェハの上面に向けて吐出する前に、塗布剤の
溶剤をウェハの上面に吐出してウェハを回転させること
により飛散防止用のカバーの内面にあらかじめ前記塗布
剤の溶剤を付着させておく技術が開示されている。この
ようにすれば、塗布剤をウェハの上面にスピンコートす
る際に飛散した余分な塗布剤は、カバーの内面にあらか
じめ付着された溶剤により薄められ、塗布剤のカバーへ
の付着性を低下させることができる。しかしながら、こ
の場合、塗布剤の溶剤は、有機溶剤または可燃性アルコ
ール等であり、したがって、作業環境保全のための対策
あるいは溶剤の飛散防止用のカバー外への漏洩防止のた
めの対策を施す必要が生じる。また、前記溶剤がカバー
の内面に均一に付着されなかったり、付着した溶剤がす
ぐに蒸発してしまったりすることもある。このように部
分的に溶剤が存在しないところに塗布剤が飛散してしま
うと、これが剥離してウェーハ上面に再付着することを
防止することができなくなる。

【０００５】本発明は、このような従来技術の問題点に
鑑みてなされたものであり、本発明の目的は、ウェーハ
上面へのワックスの再付着を防止するとともに、生産効
率を向上させたスピンコータを提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明は、ウェーハを吸着支持するとともに駆動手段
により回転されるスピンチャックの上方に、塗布剤をウ
ェーハの上面に滴下あるいは吐出するノズルが設けら
れ、これらの回りに塗布剤の飛散を防止するカバーを備
えたスピンコータにおいて、前記カバーの内面に配設さ
れた飛散した塗布剤を捕獲する布と、捕獲された前記塗
布剤を溶解する洗浄用液を前記布に供給する洗浄用液供
給部とを有することを特徴とするスピンコータである。

【０００７】

【作用】このように構成した本発明にあっては、ウェー
ハは、スピンチャックの上面の所定の位置に載置される
と、このスピンチャック２の上面に吸着支持される。次
いで、ウェーハは、モータ３により所定の回転数で回転
駆動され、このウェーハの上面に向けてノズルから所定
量の塗布剤が吐出される。こうして、ウェーハの上面に
所定の均一な厚さの塗布膜が形成される。一方、ウェー
ハの回転に伴なう遠心力の作用により飛散した余分な塗
布剤は、カバーの内面に沿って張り付けられている布に
より捕獲されることになる。捕獲されたワックスは、前
記布に保持される洗浄用液に溶解し、自重によりこの布
をつたって落下する。これにより、カバーの内部は、常
に清浄な状態が保たれ、ウェーハの上面への塗布剤の再
付着を防止することができる。

【０００８】

【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説
明する。図１は、本発明の一実施例に係るスピンコータ
の概略縦断面図であり、図２に示した部材と同一部材に
は同一符号を付し、その説明は一部省略する。図１に示
すように、本実施例のスピンコータ１０は、中央部に、
ウェハ１を吸着支持するスピンチャック２が配置されて
いる。スピンチャック２の上面には、図示しない吸着口
が設けられ、この吸着口に連通する図示しない真空ポン
プの作動を制御することにより、スピンチャック２の上
面に載置されるウェーハ１を吸着支持するようになって
いる。

【０００９】スピンチャック２の下方には、駆動手段と
してのモータ３が設けられており、このモータ３の図示
しない出力軸と前記スピンチャック２とが連結されてい
る。そして、モータ３を回転させることにより、スピン
チャック２とともにこの上面に吸着支持されたウェハ１
を所定の回転数で高速回転させることができる。

【００１０】また、スピンチャック２の上方には、回転
するウェハ１の上面に向けてワックスを吐出するノズル
４が設けられている。この場合のワックスの吐出量は、
ウェハ１の回転数とともに、ワックスの種類や要求され
る塗布厚さ等に基づいて所定の値に設定される。本実施
例の場合、たとえば約２ｃｃのワックスを吐出すること
により２〜３μｍの均一な塗布膜が形成することができ
る。なお、ウェハ１の上面へのワックスの塗布は、ノズ
ルによる吐出に限られるものではなく、上方から滴下さ
せるようにしてもよい。また、本実施例のノズル４は、
図示しない移動手段により、水平方向に移動自在となっ
ている。ウェーハ１のスピンチャック２上への脱着時
は、ノズル４は前記移動手段により図中右方向に移動せ
られ、カバー５の内面に近接した位置に退避するように
なっている。

【００１１】前記スピンチャック２およびノズル４を包
囲するようにして、円筒状を呈したワックス飛散防止用
のカバー５が設けられている。このカバー５の下部に
は、傾斜面５ａが形成されている。回転するウェーハ１
の上面に吐出されたワックスは、ウェーハ１上に均一な
塗布膜を形成するが、その約９割は余剰分として遠心力
により周囲に飛散する。この飛散するワックスの大部分
は、ウェーハ１の上面と同一水平面方向に勢いよく飛散
し、前記傾斜面５ａの位置に衝突するようになってい
る。こうして、スピンコートにより飛散したワックスが
カバー内面で反射してウェーハ１に戻ることのないよう
に配慮されている。ただし、本発明にあっては、この傾
斜面５ａは、必ずしも形成されている必要はなく、円筒
形状のままであってもよい。

【００１２】本実施例のスピンコータ１０は、図１に示
したように、特に、前記カバー５の内面に沿って無塵ク
ロス７（布に相当する）が張り付けられている。無塵ク
ロス７の張り付けは、前記カバー５に設けられた図示し
ない複数の係合突起に無塵クロス７に形成された図示し
ない係合部を引っ掛けるようにして行い、交換等が容易
にできるようになっている。なお、無塵クロス７の張り
付けはこの方法に限定されるものではない。この無塵ク
ロス７は、長繊維を編んだものであり、後述する洗浄用
液を保持することができるようになっている。

【００１３】また、前記カバー５の上端部には、図示の
ように、カバー５の外周面に沿ってドーナツ状を呈した
洗浄用液供給部としてのプール８が設けられ、このプー
ル８の内部には、ワックスを溶解する洗浄用液としての
界面活性剤液９が収納されている。この界面活性剤液９
は、非揮発性の弱アルカリ性のものを使用しており、特
別な作業環境保全の対策も不要である。前記無塵クロス
７の上端部は、プール８の内側の堰つまりカバー５の外
周面を越えて、プール８内の界面活性剤液９に浸した状
態に保たれている。したがって、無塵クロス７は、常に
前記プール８から界面活性剤液９が供給され、これを保
持した状態となる。なお、プール８内の界面活性剤液９
の補充は、適宜チェックして手動により補充するように
すれば十分であるが、生産量が一定しておればタイマー
を設けて定期的に自動供給するように構成してもよい。
また、レベルセンサを設け、界面活性剤液９の残存量に
応じて自動供給するように構成してもよい。

【００１４】前記カバー５の下端部には、図示のよう
に、ワックス溜まり部５ｂが形成されている。スピンコ
ートにより飛散した余分なワックスは、前記無塵クロス
７に捕獲された後この無塵クロス７内をつたって落下
し、前記ワックス溜まり部５ｂに溜まるようになってい
る。また、このワックス溜まり部５ｂの下方には、廃液
管６が連設されており、余分なワックスがこの廃液管６
から回収されることになる。なお、廃液管６は、図中１
本しか示されていないが、ワックス溜まり部５ｂの下方
に円周方向複数箇所設けるようにしてもよい。

【００１５】次に、本実施例の作用を説明する。まず、
ノズル４がカバー５の内面に近接した位置に退避した状
態で、ウェーハ１がスピンチャック２の上面の所定の位
置に載置されると、ウェーハ１は、図示しない真空ポン
プの作動によりスピンチャック２の上面に真空吸着され
て支持される。この後、ノズル４は、図示しない移動手
段によりウェーハ１の中心の上方まで移動させられる。
次いで、モータ３により所定の回転数で回転駆動される
ウェーハ１の上面に向けてノズル４から所定量のワック
スが吐出されると、ウェーハ１の上面に所定の均一な厚
さの塗布膜が形成される。

【００１６】一方、ウェーハ１の回転に伴なう遠心力の
作用により飛散した余分なワックスは、カバー５の内面
に沿って張り付けられている無塵クロス７により捕獲さ
れることになる。この際、飛散するワックスは無塵クロ
ス７に衝突するが、そのクッション作用により衝撃が和
らげられ、ウェーハ１の方に反射して付着することはな
い。捕獲されたワックスは、無塵クロス７内に保持され
る界面活性剤液９に溶解し、自重によりこの無塵クロス
７内をつたって落下する。この落下してきた界面活性剤
液９に溶解したワックスは、ワックス溜まり部５ｂに一
時的に溜められ、廃液管６を通って回収されるようにな
っている。

【００１７】このように、本実施例によれば、カバー５
の内面に配設された飛散したワックスを捕獲する無塵ク
ロス７と、捕獲された前記ワックスを溶解する界面活性
剤液９を前記無塵クロス７に供給するプール８とを有す
るので、飛散した余分なワックスは、前記無塵クロス７
に捕獲された後この無塵クロス７内をつたって落下す
る。これにより、カバー５の内部は、常に清浄な状態が
保たれ、ウェーハ１の上面へのワックスの再付着を防止
することができる。このため、従来のようにカバー５の
内面を頻繁に清掃するたびに作業休止となることがな
く、生産効率の大幅な向上が図られる。

【００１８】また、無塵クロス７内をつたって落下した
ワックスは、界面活性剤液９に溶解した状態でワックス
溜まり部５ｂから廃液管６を通って回収されるようにな
っているので、廃液管６を含む廃液ラインにおけるワッ
クスの固着がなくなり、ワックスの廃棄作業および廃液
ラインの整備作業がきわめて容易となる。

【００１９】尚、上述したものは本発明の一実施例であ
り、本発明は特許請求の範囲に記載の要旨を逸脱するこ
となく、種々変更することができる。例えば、前記実施
例は、ウェーハを研磨加工する前工程において使用され
るウェーハにワックスを塗布する装置に関するものであ
るが、これに限定されるものではなく、ウェーハにレジ
ストを塗布する装置等にも適用できる。

【００２０】

【発明の効果】以上説明したように本発明のスピンコー
タは、カバーの内面に配設された飛散した塗布剤を捕獲
する布と、捕獲された前記塗布剤を溶解する洗浄用液を
前記布に供給する洗浄用液供給部とを有するので、飛散
した余分な塗布剤は、前記布に捕獲された後この布をつ
たって落下する。これにより、カバーの内部は、常に清
浄な状態が保たれ、ウェーハの上面への塗布剤の再付着
を防止することができる。このため、従来のようにカバ
ーの内面を頻繁に清掃するたびに作業休止となることが
なく、生産効率が大幅に向上するという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の一実施例に係るスピンコータの概略
縦断面図である。

【図２】 従来のスピンコータの概略縦断面図である。

【符号の説明】

１…ウェーハ ２…スピンチャ
ック ３…モータ（駆動手段） ４…ノズル ５…カバー ６…廃液管 ７…無塵クロス（布） ８…プール（洗
浄用液供給部） ９…界面活性剤液（洗浄用液） １０，２０…ス
ピンコータ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ウェーハ(1) を吸着支持するとともに駆動
   手段(3) により回転されるスピンチャック(2) の上方
   に、塗布剤をウェーハ(1) の上面に滴下あるいは吐出す
   るノズル(4) が設けられ、これらの回りに塗布剤の飛散
   を防止するカバー(5) を備えたスピンコータにおいて、 前記カバー(5) の内面に配設された飛散した塗布剤を捕
   獲する布(7) と、 捕獲された前記塗布剤を溶解する洗浄用液(9) を前記布
   (7) に供給する洗浄用液供給部(8) とを有することを特
   徴とするスピンコータ。