JPH0766100A - エア−ナイフおよびエア−ナイフを用いた処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】この発明は処理液が処理室から流出したり、他
の処理室に持ち込まれるのを防止するために、被処理物
に圧縮空気を吹き付けるために用いられるエア−ナイフ
設置スペ−スを小さくできるようにすることにある。 【構成】 基板２８に圧縮空気を吹き付けるためのエア
−ナイフ３２において、上記圧縮空気が供給される導入
路３４が形成されたナイフ本体３３を有し、上記導入路
の先端部３４ａは上記ナイフ本体の厚さ方向一方側に向
かって屈曲し、その先端は上記ナイフ本体の先端面に開
口してなることを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は被処理物に付着した処
理液を除去するためのエア−ナイフおよびそのエア−ナ
イフを用いた処理装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】たとえば液晶表示装置や半導体装置の製
造工程においては、被処理物としての液晶用ガラス基板
や半導体ウエハなどの基板に回路パタ−ンを形成する成
膜プロセスやフォトプロセスがある。これらのプロセス
においては、上記基板をそれぞれの処理室で順次異なる
処理液で処理することがある。

【０００３】そのような場合、最初の処理室で用いられ
た処理液が、上記基板に付着してつぎの処理室に持ち込
まれたり、その持ち込まれた処理液が他の処理液に混合
するのを防止するために、基板が最初の処理室からつぎ
の処理室に搬送される際、上記基板にエア−ナイフによ
って圧縮空気を吹き付け、上記処理液が他の処理室に持
ち込まれたり、他の処理液と混合するのを防止するよう
にしている。圧縮空気を基板に吹き付ける際、上記基板
に付着した処理液を確実に処理するため、上記エア−ナ
イフを所定の角度で傾斜させて配設するようにしてい
る。

【０００４】図４に従来のエア−ナイフ１を示す。エア
−ナイフ１はナイフ本体２を備えている。このナイフ本
体２には導入路３がその本体２の高さ方向ほぼ全長にわ
たって真っ直ぐに形成されている。この導入路３の一端
には圧縮空気の供給管４が接続され、先端は上記ナイフ
本体２の先端面に開口して噴出口５を形成している。

【０００５】図５に上記エア−ナイフ１が用いられる処
理装置６を示す。この処理装置６は装置本体７を有す
る。この装置本体７の内部は仕切板８によって複数、こ
の場合は３つの処理室９と、各処理室９の両側に形成さ
れた液切り室１１とに区画されている。

【０００６】各処理室９を隔別した仕切板８には、搬送
ロ−ラ１２によって搬送される基板１３を導入する入口
１４および導出する出口１５とが形成され、装置本体７
の両端面には上記入口１４および出口１５と同じレベル
で開口７ａが形成されている。また、各処理室９の上方
には上記搬送ロ−ラ１２によって搬送されてくる基板１
３にそれぞれ異なる処理液を散布するシャワ−ノズル１
６が配設されている。各シャワ−ノズル１６はポンプ１
７を介して処理液のタンク１８に配管接続されている。

【０００７】上記エア−ナイフ１は、搬送されてくる基
板１３の上下面に対向するよう、各処理室９の両側に形
成された液切り室１１に配設されている。圧縮空気を基
板１３に吹き付ける際、上記基板に付着した処理液を確
実に処理できるようにするためには、圧縮空気を上記基
板１３に所定の角度で傾斜させて吹き付けなければなら
ない。そのため、上記エア−ナイフ１を、搬送されてく
る上記基板１３の上下面に対して所定の角度、たとえば
６０度で傾斜させて設けるようにしている。

【０００８】つまり、エア−ナイフ１は、基板１３に付
着した処理液が、その基板１３を伝わって処理室９の入
口１４や出口１５から流出しないよう、処理室９の内方
に向かって傾斜させられている。

【０００９】液切り室１１におけるエア−ナイフ１の傾
斜角度を図２に示すようにθ、ナイフ本体２の高さ寸法
をＨとすると、このエア−ナイフ１を配設するために、
その傾斜方向に沿って（Ｈ・ｃｏｓθ）の長さのスペ−
スを確保する必要がある。

【００１０】したがって、従来は上記エア−ナイフ１の
設置スペ−スを確保するのに、上記処理室９の両端に液
切り室１１を形成している。そのため、装置本体７の長
さ寸法が長くなるから、装置の大型化を招くということ
があり、さらには基板１３の搬送距離が長くなること
で、処理時間も長くなるということがある。

【００１１】上記装置本体７に液切り室１１を形成せ
ず、上記エア−ナイフ１を処理室９の内部の入口１４と
出口１５の近くに配置することが考えられている。しか
しながら、その場合であっても、上記エア−ナイフ１を
傾斜させて配置しなければならないから、そのナイフ本
体２を配置できるようにするためには、その分、処理室
９の長さ寸法を長くしなければならない。つまり、結果
的には液切り室１１を設けた場合と同じように装置の大
型化を招くことになる。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】このように、従来は、
圧縮空気を被処理物に対して所定の角度で噴出するため
に、エア−ナイフを上記被処理物に対して傾斜させて配
置しなければならなかったので、大きな設置スペ−スが
必要になるということがあった。

【００１３】また、そのようなエア−ナイフを用いた処
理装置においては、そのエア−ナイフを設置するスペ−
スを確保するために、装置が大型化するということがあ
る。この発明の第１の目的は、被処理物の板面に対して
ほぼ垂直に設置しても、圧縮空気を上記被処理物に対し
て所定の傾斜角度で噴出させることができるようにした
エア−ナイフを提供するこにある。この発明の第２の目
的は、エア−ナイフによって装置が大型化することがな
いようにした処理装置を提供することにある。

【００１４】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
にこの発明の第１の手段は、被処理物に圧縮空気を吹き
付けるためのエア−ナイフにおいて、上記圧縮空気が供
給される導入路が形成されたナイフ本体を有し、上記導
入路の先端部は上記ナイフ本体の厚さ方向一方側に向か
って屈曲し、その先端は上記ナイフ本体の先端面に開口
してなることを特徴とするエア−ナイフにある。

【００１５】この発明の第２の手段は、被処理物が順次
搬入される複数の処理室が連設された装置本体と、各処
理室内部の入口側と出口側とに配設され各処理室で処理
液による処理が行われた上記被処理物に圧縮空気を吹き
付けるエア−ナイフとを具備し、上記エア−ナイフは、
上記圧縮空気が供給される導入路が形成されたナイフ本
体を有し、上記導入路の先端部は上記ナイフ本体の厚さ
方向一方側に向かって屈曲し、その先端は上記ナイフ本
体の先端面に開口してなることを特徴とするエア−ナイ
フを用いた処理装置にある。

【００１６】

【作用】上記第１の手段によれば、ナイフ本体に形成さ
れた導入路の先端部を屈曲させたことで、上記ナイフ本
体を傾斜させなくとも、圧縮空気を所定の傾斜角度で噴
出させることができる。第２の手段によれば、被処理物
の搬送方向に沿うエア−ナイフの設置スペ−スを小さく
できるから、装置本体を小型化することができる。

【００１７】

【実施例】以下、この発明の一実施例を図１乃至図３を
参照して説明する。図１に示す処理装置は装置本体２１
を備えている。この装置本体２１は上面が開口した箱型
状をなしていて、その内部は２枚の仕切板２２によって
第１乃至第３の処理室２３ａ〜２３ｃに隔別されてい
る。

【００１８】上記装置本体２１の一端面には第１の処理
室２３ａへの入口２４が形成され、他端面には第３の処
理室２３ｃからの出口２５が形成されている。隣り合う
２つの処理室を隔別した２枚の仕切板２２には、一方の
処理室の出口と、他方の処理室の入口を兼ねる開口２６
が形成されている。上記入口２４、出口２５および開口
２６は同じレベルで形成されている。

【００１９】装置本体２１の内部および両端側には、上
記入口２４、出口２５および開口２６と同じレベルの搬
送路を形成する複数の搬送ロ−ラ２７が配設されてい
る。上記入口２４から第１の処理室２３ａへは被処理物
としての基板２８が搬入される。第１の処理室２３ａへ
搬入された基板２８は第２、第３の処理室２３ｂ、２３
ｃを通過して出口２５から搬出されるようになってい
る。

【００２０】上記各処理室２３ａ〜２３ｃの搬送ロ−ラ
２７の上方にはそれぞれ第１乃至第３のシャワ−ノズル
２９ａ〜２９ｃが配設されている。各シャワ−ノズル２
９ａ〜２９ｃはポンプ３０を介して処理液のタンク３１
に配管接続されている。したがって、上記搬送ロ−ラ２
７によって搬送される基板２８は各シャワ−ノズル２９
ａ〜２９ｃから噴射される処理液によって所定の処理が
行われるようになっている。

【００２１】各処理室２３ａ〜２３ｃの内部両側、つま
り基板２８の搬入側と搬出側とには、それぞれ上下一対
のエア−ナイフ３２が配設されている。このエア−ナイ
フ３２は図２と図３に示すようにナイフ本体３３を有す
る。このナイフ本体３３は接合された第１の板体３３ａ
と第２の板体３３ｂとからなるとともに、各処理室２３
ａ〜２３ｃの幅方向に沿う幅寸法は、上記基板２８の幅
寸法よりもわずかに大きく設定されている。

【００２２】上記第１の板体３３ａの、上記第２の板体
３３ｂと接合する一側面には、圧縮空気が供給される、
凹部からなる導入路３４が高さ方向に沿って形成されて
いる。この導入路３４の先端部３４ａは上記第２の板体
３３ｂの方向へ所定の角度θ₂ 、たとえば６０度で屈曲
し、その先端は上記ナイフ本体３３の先端面３３ａに開
口している。つまり、上記先端面３３ａに開口した上記
導入路３４の先端部３４ａは、圧縮空気の噴出口３５と
なっている。上記先端部３４ａは、導入路３４の他の部
分に比べて浅い凹部となっている。それによって、先端
部３４ａおよびそれに連通する噴出口３５の断面積は導
入路３４の他の部分よりもも小さくなっているから、圧
縮空気は圧力を増して上記噴出口３５から噴出される。

【００２３】上記第１の板体３３ａと第２の板体３３ｂ
とは、その高さ方向において２本のねじ３６、３７で固
定されている。高さ方向下方のねじ３７は段付きねじか
らなり、そのねじ３７を締め込み、その段部３７ａを第
２の板体３３ｂの側面に当接させることで、第１の板体
３３ａと第２の板体３３ｂとの先端部分の接合間隔、つ
まり導入路３４の先端部３４ａの間隔を変えることがで
きる。つまり、噴出口３５の断面積を調節できるように
なっている。

【００２４】上記ナイフ本体３３の第２の板体３３ｂに
は、上記導入路３４の基端部（高さ方向上部）に連通す
る圧縮空気の供給管３８が一対のブロック３９を介して
接続されている。上記供給管３８は図示しない圧縮空気
の供給ポンプに連通している。したがって、供給ポンプ
から供給された圧縮空気は上記エア−ナイフ３２の噴出
口３５から噴出するようになっている。

【００２５】上記エア−ナイフ３２は、ナイフ本体３３
の供給管３８が接続された第２の板体３３ｂを各処理室
の内方側に向けるとともに、そのナイフ本体３３を上記
基板２８の搬送方向に対してほぼ垂直にして配設されて
いる。つまり、ナイフ本体３３はその高さ方向を、搬送
される基板２８に対してほぼ直交させている。それによ
って、ナイフ本体３３が基板２８の搬送方向に対して占
有するスペ−スがその厚さ寸法分だけとなり、しかも導
入路３４の先端部３４ａが角度θ₂ で屈曲しているか
ら、その先端面３３ａの噴出口３５からは、基板２８の
上下面に対して角度θ₂ の傾斜角度で圧縮空気を噴出す
ることができる。

【００２６】上記構成の処理装置によれば、搬送ロ−ラ
２７によって第１の処理室２３ａに基板２８が搬入され
ると、その処理室２３ａの上方に設けられたシャワ−ノ
ズル２８ａから散布される処理液によって上記基板２８
が処理される。その際、上記第１の処理室２３ａの内部
両側に設けられた各エア−ナイフ３２から圧縮空気が上
記基板２８の上下両面の幅方向全長にわたってθ₂ の傾
斜角度で噴出されることで、基板２８に散布された処理
液が入口２４から流出したり、搬送される基板２８とと
もに第２の処理室２３ｂに入り込み、この第２の処理室
２３ｂのシャワ−ノズル２８ｂから散布される他の処理
液に混合するなどのことが防止される。

【００２７】上記基板２８が第１の処理室２３ａから第
２の処理室２３ｂ、第３の処理室２３ｃに搬送され、各
処理室でそれぞれ異なる種類の処理液が散布された場合
にも、各処理室に設けられたエア−ナイフ３２によって
それぞれの処理室で散布された処理液が他の処理室に持
ち込まれるなどのことが防止される。

【００２８】ところで、上記構成のエア−ナイフ３２に
よれば、そのナイフ本体３３に形成された導入路３４の
先端部３４ａをθ₂ の傾斜角度で屈曲させたから、その
ナイフ本体３３を基板２８の板面に対して垂直に配置し
ても、圧縮空気を上記基板２８に対してθ₂ の角度で噴
出させることができる。そのため、エア−ナイフ３２を
設置するに必要な、上記基板２８の搬送方向に沿うスペ
−スは、そのナイフ本体３３の厚さ寸法だけですむ。

【００２９】エア−ナイフ３２の設置スペ−スを小さく
できれば、各処理室２３ａ〜２３ｃの長さ寸法をあまり
大きくせずに、その内部両側に配置することができる。
つまり、装置本体２１を大型化せずに、エア−ナイフ３
２を設置することが可能となり、しかも、従来のように
隣り合う処理室の間に、エア−ナイフ３２を設置するた
めの専用の液切り室を形成する必要もない。

【００３０】

【発明の効果】以上述べたように請求項１に記載された
この発明は、ナイフ本体に形成された圧縮空気が供給さ
れる導入路の先端部を、上記ナイフ本体の厚さ方向一方
側に向かって屈曲させた。

【００３１】そのため、ナイフ本体を圧縮空気を吹き付
ける被処理物に対してほぼ垂直に設置しても、圧縮空気
を上記被処理物に対して所定の傾斜角度で噴出させるこ
とができるから、上記ナイフ本体を設置するに必要なス
ペ−スを小さくすることができる。

【００３２】請求項２に記載されたこの発明によれば、
上記構成のエア−ナイフを処理室内部の入口側と出口側
とに配設し、上記エア−ナイフから噴出される圧縮空気
によって、各処理室で散布される処理液が他の処理室に
持ち込まれたり、処理室から外部に流出するなどのこと
を防止するようにした。

【００３３】上記エア−ナイフは被処理物の板面に対し
てほぼ垂直に配置しても、圧縮空気を上記板面に対して
所定の傾斜角度で噴出し、処理液の持ち込みや流出を防
止できる。そのため、エア−ナイフを設置するのに、あ
まり大きなスペ−スを要しないから、処理装置の大型化
およびその大型化による処理時間の増大などを招くこと
がない。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施例の全体構成を示す概略図。

【図２】同じく上下一対のエア−ナイフの配置状態を示
す側面図。

【図３】同じくエア−ナイフの断面図。

【図４】従来のエア−ナイフの断面図。

【図５】同じく処理装置の概略的構成図。

【符号の説明】

２１…装置本体、２３ａ〜２３ｃ…処理室、２８…基板
（被処理物）、３２…エア−ナイフ、３３…ナイフ本
体、３４…導入路、３４ａ…導入路の先端部。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被処理物に圧縮空気を吹き付けるための
   エア−ナイフにおいて、上記圧縮空気が供給される導入
   路が形成されたナイフ本体を有し、上記導入路の先端部
   は上記ナイフ本体の厚さ方向一方側に向かって屈曲し、
   その先端は上記ナイフ本体の先端面に開口してなること
   を特徴とするエア−ナイフ。
2. 【請求項２】 被処理物が順次搬入される複数の処理室
   が連設された装置本体と、各処理室内部の入口側と出口
   側とに配設され各処理室で処理液による処理が行われる
   上記被処理物に圧縮空気を吹き付けるエア−ナイフとを
   具備し、上記エア−ナイフは、上記圧縮空気が供給され
   る導入路が形成されたナイフ本体を有し、上記導入路の
   先端部は上記ナイフ本体の厚さ方向一方側に向かって屈
   曲し、その先端は上記ナイフ本体の先端面に開口してな
   ることを特徴とするエア−ナイフを用いた処理装置。