JPH0763712A - 蛍光ｘ線分析におけるバイアス修正方法とその装置 - Google Patents
蛍光ｘ線分析におけるバイアス修正方法とその装置Info
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- JPH0763712A JPH0763712A JP23902593A JP23902593A JPH0763712A JP H0763712 A JPH0763712 A JP H0763712A JP 23902593 A JP23902593 A JP 23902593A JP 23902593 A JP23902593 A JP 23902593A JP H0763712 A JPH0763712 A JP H0763712A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 測定対象試料の元素含有量を簡単かつ正確に
行えるバイアス修正方法と装置とを提供する。 【構成】 組成が既知の標準試料について検量線を作成
する。また、測定対象である分析試料の１つ又は複数か
らなる基準試料について化学分析のような蛍光Ｘ線分析
以外の分析方法によって元素含有量Ｗｃ1 ，Ｗｃ2 を求
める。他方、基準試料について蛍光Ｘ線強度を測定する
とともに、この蛍光Ｘ線強度から検量線に基づき元素含
有量Ｗ1 ，Ｗ2 を求め、求めた含有量Ｗ1 ，Ｗ2 と、化
学分析によって求めた元素含有量Ｗｃ1 ，Ｗｃ2 との差
によりバイアス修正量ΔＷを算出する。そして、分析試
料について蛍光Ｘ線強度Ｉを測定し、その蛍光Ｘ線強度
Ｉから検量線に基づき得られた元素含有量Ｗを、バイア
ス修正量ΔＷによって修正して、修正済元素含有量Ｗｃ
を得る。
行えるバイアス修正方法と装置とを提供する。 【構成】 組成が既知の標準試料について検量線を作成
する。また、測定対象である分析試料の１つ又は複数か
らなる基準試料について化学分析のような蛍光Ｘ線分析
以外の分析方法によって元素含有量Ｗｃ1 ，Ｗｃ2 を求
める。他方、基準試料について蛍光Ｘ線強度を測定する
とともに、この蛍光Ｘ線強度から検量線に基づき元素含
有量Ｗ1 ，Ｗ2 を求め、求めた含有量Ｗ1 ，Ｗ2 と、化
学分析によって求めた元素含有量Ｗｃ1 ，Ｗｃ2 との差
によりバイアス修正量ΔＷを算出する。そして、分析試
料について蛍光Ｘ線強度Ｉを測定し、その蛍光Ｘ線強度
Ｉから検量線に基づき得られた元素含有量Ｗを、バイア
ス修正量ΔＷによって修正して、修正済元素含有量Ｗｃ
を得る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、たとえば鉄鋼試料や
窯業板試料などに含まれている特定の元素の含有量を分
析するために使用される蛍光Ｘ線分析におけるバイアス
修正方法とその装置に関するものである。
窯業板試料などに含まれている特定の元素の含有量を分
析するために使用される蛍光Ｘ線分析におけるバイアス
修正方法とその装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、蛍光Ｘ線分析においては、組成
が既知で、かつ、測定対象である分析試料に近い組成を
もつ標準試料について蛍光Ｘ線分析を行なって、蛍光Ｘ
線の強度と含有量の関係を示す検量線を求めておき、測
定対象である分析試料の蛍光Ｘ線強度を測定して、上記
検量線に基づいて元素の含有量を求めていた。
が既知で、かつ、測定対象である分析試料に近い組成を
もつ標準試料について蛍光Ｘ線分析を行なって、蛍光Ｘ
線の強度と含有量の関係を示す検量線を求めておき、測
定対象である分析試料の蛍光Ｘ線強度を測定して、上記
検量線に基づいて元素の含有量を求めていた。
【０００３】ところが、測定対象試料がたとえ同一化学
組成であっても、この試料に含まれる各成分の場所的な
不均一性により、計測される蛍光Ｘ線強度が一定になら
ないことがある。特に、金属試料においては、成形時に
溶解状態から冷却されるとき、各金属粒子の大きさが異
なるものとなったり、各粒子の偏析が生じたりして、上
記不均一性をもたらす。また、金属試料の表面状態も蛍
光Ｘ線分析強度に影響を与える。
組成であっても、この試料に含まれる各成分の場所的な
不均一性により、計測される蛍光Ｘ線強度が一定になら
ないことがある。特に、金属試料においては、成形時に
溶解状態から冷却されるとき、各金属粒子の大きさが異
なるものとなったり、各粒子の偏析が生じたりして、上
記不均一性をもたらす。また、金属試料の表面状態も蛍
光Ｘ線分析強度に影響を与える。
【０００４】そこで、従来では、蛍光Ｘ線分析による分
析値に系統的な分析誤差が生じたとき、これを偏差とし
て手入力で装置に設定しておき、分析値に偏差を加えて
バイアス修正することが行われていた。
析値に系統的な分析誤差が生じたとき、これを偏差とし
て手入力で装置に設定しておき、分析値に偏差を加えて
バイアス修正することが行われていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところが、従来のバイ
アス修正方法では、測定対象試料の分析値の誤差が一定
でなく、たとえば分析値の大きさに対応した比率で誤差
を生じるような場合に対応することができなかった。
アス修正方法では、測定対象試料の分析値の誤差が一定
でなく、たとえば分析値の大きさに対応した比率で誤差
を生じるような場合に対応することができなかった。
【０００６】この発明は、以上のような問題に鑑みてな
されたもので、その目的は、測定対象試料の分析結果に
適切なバイアス修正を加えて、正確な分析結果が得られ
る蛍光Ｘ線分析におけるバイアス修正方法とその装置を
提供することにある。
されたもので、その目的は、測定対象試料の分析結果に
適切なバイアス修正を加えて、正確な分析結果が得られ
る蛍光Ｘ線分析におけるバイアス修正方法とその装置を
提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、第１発明にかかるバイアス修正方法は、特定の元素
の含有量が既知の基準試料について蛍光Ｘ線の強度を測
定し、この測定した強度から、標準試料の測定データに
よって得られた検量線に基づいて元素の含有量を求め、
求めた含有量と上記既知の含有量との差に基づいてバイ
アス修正量を算出し、測定対象である分析試料について
測定した蛍光Ｘ線の強度から上記検量線に基づいて得た
元素の含有量を、上記修正量によって修正する。
め、第１発明にかかるバイアス修正方法は、特定の元素
の含有量が既知の基準試料について蛍光Ｘ線の強度を測
定し、この測定した強度から、標準試料の測定データに
よって得られた検量線に基づいて元素の含有量を求め、
求めた含有量と上記既知の含有量との差に基づいてバイ
アス修正量を算出し、測定対象である分析試料について
測定した蛍光Ｘ線の強度から上記検量線に基づいて得た
元素の含有量を、上記修正量によって修正する。
【０００８】また、第２発明にかかるバイアス修正装置
は、未知試料分析モードと修正量更新モードとを選択す
る選択手段と、組成が既知の標準試料の分析結果から得
られた検量線を記憶する第１記憶手段と、バイアス修正
量の演算式を記憶する第２記憶手段と、修正量更新モー
ドが選択されたとき、測定対象である多数の分析試料か
ら選ばれた１つ又は複数の分析試料よりなる基準試料に
ついて、測定された蛍光Ｘ線強度と蛍光Ｘ線分析以外の
分析方法によって得られた元素含有量とを記憶する第３
記憶手段と、記憶された基準試料についての蛍光Ｘ線強
度および元素含有量と、この蛍光Ｘ線強度から上記検量
線に基づいて得た元素含有量との差よりバイアス修正量
の演算式を算出するバイアス演算手段と、求めたバイア
ス修正量の演算式によって、第２記憶手段で記憶された
バイアス修正量の演算式を更新する修正量更新手段と、
未知試料分析モードが選択されたとき、分析試料につい
て測定された蛍光Ｘ線強度から検量線に基づいて得られ
た元素含有量に、上記更新されたバイアス修正量の演算
式より求められたバイアス修正量を加えて修正済元素含
有量を算出するバイアス修正手段とを備えている。
は、未知試料分析モードと修正量更新モードとを選択す
る選択手段と、組成が既知の標準試料の分析結果から得
られた検量線を記憶する第１記憶手段と、バイアス修正
量の演算式を記憶する第２記憶手段と、修正量更新モー
ドが選択されたとき、測定対象である多数の分析試料か
ら選ばれた１つ又は複数の分析試料よりなる基準試料に
ついて、測定された蛍光Ｘ線強度と蛍光Ｘ線分析以外の
分析方法によって得られた元素含有量とを記憶する第３
記憶手段と、記憶された基準試料についての蛍光Ｘ線強
度および元素含有量と、この蛍光Ｘ線強度から上記検量
線に基づいて得た元素含有量との差よりバイアス修正量
の演算式を算出するバイアス演算手段と、求めたバイア
ス修正量の演算式によって、第２記憶手段で記憶された
バイアス修正量の演算式を更新する修正量更新手段と、
未知試料分析モードが選択されたとき、分析試料につい
て測定された蛍光Ｘ線強度から検量線に基づいて得られ
た元素含有量に、上記更新されたバイアス修正量の演算
式より求められたバイアス修正量を加えて修正済元素含
有量を算出するバイアス修正手段とを備えている。
【０００９】
【作用】上記第１発明では、先ず、組成が既知の標準試
料について蛍光Ｘ線強度を測定して、その特定の元素の
含有量と蛍光Ｘ線強度との関係を示す検量線が作成され
る。つぎに、多数の分析試料（測定対象試料）から選ば
れた１つ又は複数の分析試料よりなる基準試料について
化学分析などにより元素含有量を得ておく。さらに、こ
れら基準試料について蛍光Ｘ線強度が測定され、この測
定された蛍光Ｘ線強度から上記検量線に基づき基準試料
の元素含有量が求められる。求められた元素含有量と、
上記化学分析などにより予め得られた元素含有量との差
から、バイアス修正量が算出される。そして、分析試料
について蛍光Ｘ線強度が測定され、この蛍光Ｘ線強度か
ら上記検量線に基づき得られた元素含有量が、上記バイ
アス修正量によって修正される。このため、上記測定対
象試料の元素含有量を正確にしかも簡単に得ることがで
きる。
料について蛍光Ｘ線強度を測定して、その特定の元素の
含有量と蛍光Ｘ線強度との関係を示す検量線が作成され
る。つぎに、多数の分析試料（測定対象試料）から選ば
れた１つ又は複数の分析試料よりなる基準試料について
化学分析などにより元素含有量を得ておく。さらに、こ
れら基準試料について蛍光Ｘ線強度が測定され、この測
定された蛍光Ｘ線強度から上記検量線に基づき基準試料
の元素含有量が求められる。求められた元素含有量と、
上記化学分析などにより予め得られた元素含有量との差
から、バイアス修正量が算出される。そして、分析試料
について蛍光Ｘ線強度が測定され、この蛍光Ｘ線強度か
ら上記検量線に基づき得られた元素含有量が、上記バイ
アス修正量によって修正される。このため、上記測定対
象試料の元素含有量を正確にしかも簡単に得ることがで
きる。
【００１０】第２発明では、第１記憶手段により組成が
既知の標準試料についての検量線が記憶され、第２記憶
手段によりバイアス修正量を求める演算式が記憶され
る。そして、修正量更新モードが選択されたとき、多数
の分析試料から選ばれた１つ又は複数からなる基準試料
について蛍光Ｘ線分析以外の分析方法、たとえば化学分
析が行われ、この結果得られた元素含有量と、測定した
蛍光Ｘ線強度とが第３記憶手段により記憶される。さら
に、バイアス演算手段によって、上記記憶された基準試
料の蛍光Ｘ線強度から前記検量線に基づく元素含有量が
求められ、この検量線による元素含有量と上記化学分析
結果による元素含有量との差からバイアス修正量の演算
式が算出され、この演算式が修正量更新手段によって、
古い演算式を更新して第２記憶手段に記憶される。
既知の標準試料についての検量線が記憶され、第２記憶
手段によりバイアス修正量を求める演算式が記憶され
る。そして、修正量更新モードが選択されたとき、多数
の分析試料から選ばれた１つ又は複数からなる基準試料
について蛍光Ｘ線分析以外の分析方法、たとえば化学分
析が行われ、この結果得られた元素含有量と、測定した
蛍光Ｘ線強度とが第３記憶手段により記憶される。さら
に、バイアス演算手段によって、上記記憶された基準試
料の蛍光Ｘ線強度から前記検量線に基づく元素含有量が
求められ、この検量線による元素含有量と上記化学分析
結果による元素含有量との差からバイアス修正量の演算
式が算出され、この演算式が修正量更新手段によって、
古い演算式を更新して第２記憶手段に記憶される。
【００１１】また、未知試料分析モードが選択されたと
きには、分析試料について測定された蛍光Ｘ線強度から
上記検量線に基づき得られた元素含有量に上記更新され
たバイアス修正量の演算式により求めたバイアス修正量
が加えられて修正済元素含有量がバイアス修正手段によ
り算出される。
きには、分析試料について測定された蛍光Ｘ線強度から
上記検量線に基づき得られた元素含有量に上記更新され
たバイアス修正量の演算式により求めたバイアス修正量
が加えられて修正済元素含有量がバイアス修正手段によ
り算出される。
【００１２】従って、上記バイアス修正量に基づき上記
分析試料の元素含有量を簡単かつ正確に得ることができ
る。また、上記選択手段で修正量更新モードと未知試料
分析モードとを選択することにより、組成が標準試料と
は若干異なる分析試料の場合は勿論のこと、製造ロット
が異なるような場合にも適宜修正量を更新して対応する
ことができる。
分析試料の元素含有量を簡単かつ正確に得ることができ
る。また、上記選択手段で修正量更新モードと未知試料
分析モードとを選択することにより、組成が標準試料と
は若干異なる分析試料の場合は勿論のこと、製造ロット
が異なるような場合にも適宜修正量を更新して対応する
ことができる。
【００１３】
【実施例】以下、第１発明の蛍光Ｘ線分析におけるバイ
アス修正方法の一実施例について説明する。測定対象で
ある分析試料の元素含有量を測定するに際しては、先
ず、組成（元素の種類とその含有量）が分析試料に近
く、かつ既知である標準試料について、蛍光Ｘ線強度を
測定し、その測定データから、図１に示すように、蛍光
Ｘ線強度Ｉを縦軸に元素含有量Ｗを横軸にして、検量線
を作成する。
アス修正方法の一実施例について説明する。測定対象で
ある分析試料の元素含有量を測定するに際しては、先
ず、組成（元素の種類とその含有量）が分析試料に近
く、かつ既知である標準試料について、蛍光Ｘ線強度を
測定し、その測定データから、図１に示すように、蛍光
Ｘ線強度Ｉを縦軸に元素含有量Ｗを横軸にして、検量線
を作成する。
【００１４】この検量線は、たとえば標準試料の６〜１
２個を用い、各標準試料の蛍光Ｘ線強度から次式によっ
て求められる。 Ｗｓ＝ａＩ2 ＋ｂＩ＋ｃ ……（１） なお、上式において、ａ，ｂ，ｃはそれぞれ定数であ
り、６〜１２個の標準試料について測定された蛍光Ｘ線
強度を（１）式のＩに、その試料の既知の元素含有量を
（１）式のＷｓに代入し、最小二乗法を用いて、未知の
定数ａ，ｂ，ｃを求めることにより、検量線を求める。
２個を用い、各標準試料の蛍光Ｘ線強度から次式によっ
て求められる。 Ｗｓ＝ａＩ2 ＋ｂＩ＋ｃ ……（１） なお、上式において、ａ，ｂ，ｃはそれぞれ定数であ
り、６〜１２個の標準試料について測定された蛍光Ｘ線
強度を（１）式のＩに、その試料の既知の元素含有量を
（１）式のＷｓに代入し、最小二乗法を用いて、未知の
定数ａ，ｂ，ｃを求めることにより、検量線を求める。
【００１５】また、多数の分析試料から任意に１つ又は
複数の試料を選んで、これを基準試料とする。そしてこ
の基準試料について、蛍光Ｘ線強度を測定し、さらに元
素含有量を蛍光Ｘ線分析法以外の分析方法、たとえば化
学分析により測定する。そして、この蛍光Ｘ線強度から
上記（１）式で求められた検量線に基づいて元素含有量
を求め、この含有量と上記化学分析による元素含有量と
の差によりバイアス修正量を算出する。
複数の試料を選んで、これを基準試料とする。そしてこ
の基準試料について、蛍光Ｘ線強度を測定し、さらに元
素含有量を蛍光Ｘ線分析法以外の分析方法、たとえば化
学分析により測定する。そして、この蛍光Ｘ線強度から
上記（１）式で求められた検量線に基づいて元素含有量
を求め、この含有量と上記化学分析による元素含有量と
の差によりバイアス修正量を算出する。
【００１６】このバイアス修正量は、たとえば次式によ
って求められる。 Ｗｃ＝Ｗ＋（ＡＷ＋Ｂ） ……（２） なお、上式において、Ｗｃは修正後の元素含有量、Ｗは
修正前に検量線から求められた元素含有量、Ａ，Ｂは修
正係数であって、上記式中、ＡＷ＋Ｂがバイアス修正量
ΔＷである。
って求められる。 Ｗｃ＝Ｗ＋（ＡＷ＋Ｂ） ……（２） なお、上式において、Ｗｃは修正後の元素含有量、Ｗは
修正前に検量線から求められた元素含有量、Ａ，Ｂは修
正係数であって、上記式中、ＡＷ＋Ｂがバイアス修正量
ΔＷである。
【００１７】ここで、上記基準試料の元素含有量に上記
検量線から得た元素含有量Ｗに比例した一定比率誤差、
つまり、分析値の大きさに対応した比率の誤差があると
きには上記係数Ａが、また、一定偏差があるときには上
記係数Ｂが使用され、具体的には次式となる。つまり、
係数Ｂだけを用いる場合には、 Ｗｃ＝Ｗ＋Ｂ ……（３） また、係数Ａだけを用いる場合には、 Ｗｃ＝Ｗ＋ＡＷ ……（４） となる。さらに、一定比率誤差と一定偏差との両方があ
るときには、（２）式で示したように、上記係数Ａ，Ｂ
の両者が使用される。
検量線から得た元素含有量Ｗに比例した一定比率誤差、
つまり、分析値の大きさに対応した比率の誤差があると
きには上記係数Ａが、また、一定偏差があるときには上
記係数Ｂが使用され、具体的には次式となる。つまり、
係数Ｂだけを用いる場合には、 Ｗｃ＝Ｗ＋Ｂ ……（３） また、係数Ａだけを用いる場合には、 Ｗｃ＝Ｗ＋ＡＷ ……（４） となる。さらに、一定比率誤差と一定偏差との両方があ
るときには、（２）式で示したように、上記係数Ａ，Ｂ
の両者が使用される。
【００１８】一定比率誤差ＡＷと一定偏差Ｂの両方があ
って上記係数Ａ，Ｂの両者を使用する場合は、上記分析
試料から選ばれた複数、たとえば２つからなる基準試料
について、その特定の元素の蛍光Ｘ線強度Ｉ1 ，Ｉ
2 と、化学分析による元素含有量Ｗｃ1 ，Ｗｃ2 とを測
定し、上記蛍光Ｘ線強度Ｉ1 ，Ｉ2 から（１）式で求め
た検量線に基づいて元素含有量Ｗ1 ，Ｗ2 を求め、求め
た含有量Ｗ1 ，Ｗ2 と上記化学分析による元素含有量Ｗ
ｃ1 ，Ｗｃ2 との差により、バイアス修正量ΔＷ＝Ｗｃ
−Ｗを算出する。
って上記係数Ａ，Ｂの両者を使用する場合は、上記分析
試料から選ばれた複数、たとえば２つからなる基準試料
について、その特定の元素の蛍光Ｘ線強度Ｉ1 ，Ｉ
2 と、化学分析による元素含有量Ｗｃ1 ，Ｗｃ2 とを測
定し、上記蛍光Ｘ線強度Ｉ1 ，Ｉ2 から（１）式で求め
た検量線に基づいて元素含有量Ｗ1 ，Ｗ2 を求め、求め
た含有量Ｗ1 ，Ｗ2 と上記化学分析による元素含有量Ｗ
ｃ1 ，Ｗｃ2 との差により、バイアス修正量ΔＷ＝Ｗｃ
−Ｗを算出する。
【００１９】つまり、検量線から求めた含有量Ｗ1 ，Ｗ
2 と、化学分析から求めた含有量Ｗｃ1 ，Ｗｃ2 とを上
記（１）式に代入して、その係数Ａ，Ｂを求めると、次
式のようになる。 Ａ＝（Ｗｃ1 −Ｗｃ2 ）／（Ｗ1 −Ｗ2 ）−１ ……（５） Ｂ＝（Ｗ1 ・Ｗｃ2 −Ｗ2 ・Ｗｃ1 ）／（Ｗ1 −Ｗ2 ） ……（６） 上記（５），（６）式によって各係数Ａ，Ｂを求め、こ
の各係数Ａ，Ｂによって上記（１）式からバイアス修正
量ΔＷ＝ＡＷ＋Ｂが得られる。
2 と、化学分析から求めた含有量Ｗｃ1 ，Ｗｃ2 とを上
記（１）式に代入して、その係数Ａ，Ｂを求めると、次
式のようになる。 Ａ＝（Ｗｃ1 −Ｗｃ2 ）／（Ｗ1 −Ｗ2 ）−１ ……（５） Ｂ＝（Ｗ1 ・Ｗｃ2 −Ｗ2 ・Ｗｃ1 ）／（Ｗ1 −Ｗ2 ） ……（６） 上記（５），（６）式によって各係数Ａ，Ｂを求め、こ
の各係数Ａ，Ｂによって上記（１）式からバイアス修正
量ΔＷ＝ＡＷ＋Ｂが得られる。
【００２０】また、バイアス修正量ΔＷとして、一定比
率誤差ＡＷのみ、または一定偏差Ｂのみを用いるとき
は、分析試料から少くとも１つを選んで基準試料とし、
上記（３）式または（４）式から、係数ＡまたはＢを求
める。たとえば、基準試料を１つ選んだとき、検量線か
ら得た含有量Ｗ3 と化学分析から得た含有量Ｗｃ3 とか
ら、 Ａ＝Ｗｃ3 ／Ｗ3 −１ または、 Ｂ＝Ｗｃ4 −Ｗ4 として、ＡまたはＢを求める。なお、上記Ｗ1 〜Ｗ4 お
よびＷｃ1 〜Ｗｃ4 は、その数をさらに多くし、最小二
乗法を用いて各係数を算出するようにしてもよい。
率誤差ＡＷのみ、または一定偏差Ｂのみを用いるとき
は、分析試料から少くとも１つを選んで基準試料とし、
上記（３）式または（４）式から、係数ＡまたはＢを求
める。たとえば、基準試料を１つ選んだとき、検量線か
ら得た含有量Ｗ3 と化学分析から得た含有量Ｗｃ3 とか
ら、 Ａ＝Ｗｃ3 ／Ｗ3 −１ または、 Ｂ＝Ｗｃ4 −Ｗ4 として、ＡまたはＢを求める。なお、上記Ｗ1 〜Ｗ4 お
よびＷｃ1 〜Ｗｃ4 は、その数をさらに多くし、最小二
乗法を用いて各係数を算出するようにしてもよい。
【００２１】そして、上記分析試料について蛍光Ｘ線強
度を測定し、この蛍光Ｘ線強度から上記検量線に基づき
得られた元素含有量Ｗを、上記バイアス修正量ΔＷ＝Ａ
Ｗ＋Ｂによって修正することにより、上記分析試料の修
正後の元素含有量Ｗｃが正確かつ簡単に得られる。
度を測定し、この蛍光Ｘ線強度から上記検量線に基づき
得られた元素含有量Ｗを、上記バイアス修正量ΔＷ＝Ａ
Ｗ＋Ｂによって修正することにより、上記分析試料の修
正後の元素含有量Ｗｃが正確かつ簡単に得られる。
【００２２】図２は、蛍光Ｘ線分析のバイアス修正装置
を示しており、この装置は、コントローラ１に、未知試
料分析モードと修正量更新モードおよび検量線作成モー
ドの何れかを選択する選択手段２と、検量線を記憶する
第１記憶手段３と、バイアス修正量ΔＷの演算式ＡＷ＋
Ｂを記憶する第２記憶手段４と、修正量更新モードが選
択されたとき複数、たとえば２つの分析試料からなる基
準試料について測定した蛍光Ｘ線強度Ｉ1 ，Ｉ2 を化学
分析した結果得られた元素含有量Ｗｃ1 ，Ｗｃ2 とを記
憶する第３記憶手段５とを備えている。
を示しており、この装置は、コントローラ１に、未知試
料分析モードと修正量更新モードおよび検量線作成モー
ドの何れかを選択する選択手段２と、検量線を記憶する
第１記憶手段３と、バイアス修正量ΔＷの演算式ＡＷ＋
Ｂを記憶する第２記憶手段４と、修正量更新モードが選
択されたとき複数、たとえば２つの分析試料からなる基
準試料について測定した蛍光Ｘ線強度Ｉ1 ，Ｉ2 を化学
分析した結果得られた元素含有量Ｗｃ1 ，Ｗｃ2 とを記
憶する第３記憶手段５とを備えている。
【００２３】また、このコントローラ１には、検量線作
成モードが選択されたとき、標準試料の既知の元素含有
量Ｗｓ（標準値）とＸ線強度Ｉとに基づき上記（１）式
によって検量線を作成する検量線作成手段６と、上記第
２記憶手段４で記憶されたバイアス修正量ΔＷの演算式
ＡＷ＋Ｂを更新する修正量更新手段７と、記憶された基
準試料についての蛍光Ｘ線強度Ｉ1 ，Ｉ2 および元素含
有量Ｗｃ1 ，Ｗｃ2 と、この蛍光Ｘ線強度Ｉ1 ，Ｉ2 か
ら上記検量線に基づいて得た元素含有量Ｗ1 ，Ｗ2 との
差よりバイアス修正量ΔＷの演算式ＡＷ＋Ｂを算出する
バイアス演算手段８と、上記更新手段７によって更新さ
れた演算式ＡＷ＋Ｂにより求めたバイアス修正量ΔＷ
を、第１記憶手段３に記憶された検量線を用いて求めた
分析試料の含有量Ｗに加えて、修正済元素含有量Ｗｃを
算出するバイアス修正手段９とを備えている。
成モードが選択されたとき、標準試料の既知の元素含有
量Ｗｓ（標準値）とＸ線強度Ｉとに基づき上記（１）式
によって検量線を作成する検量線作成手段６と、上記第
２記憶手段４で記憶されたバイアス修正量ΔＷの演算式
ＡＷ＋Ｂを更新する修正量更新手段７と、記憶された基
準試料についての蛍光Ｘ線強度Ｉ1 ，Ｉ2 および元素含
有量Ｗｃ1 ，Ｗｃ2 と、この蛍光Ｘ線強度Ｉ1 ，Ｉ2 か
ら上記検量線に基づいて得た元素含有量Ｗ1 ，Ｗ2 との
差よりバイアス修正量ΔＷの演算式ＡＷ＋Ｂを算出する
バイアス演算手段８と、上記更新手段７によって更新さ
れた演算式ＡＷ＋Ｂにより求めたバイアス修正量ΔＷ
を、第１記憶手段３に記憶された検量線を用いて求めた
分析試料の含有量Ｗに加えて、修正済元素含有量Ｗｃを
算出するバイアス修正手段９とを備えている。
【００２４】また、上記コントローラ１の入力側には、
上記検量線作成手段６と修正量更新手段７とに蛍光Ｘ線
強度の測定データを送る蛍光Ｘ線分析装置１１と、上記
第３記憶手段５に元素含有量Ｗｃ1 ，Ｗｃ2 を出力して
記憶させるキーボード（図示せず）とを接続する。一
方、上記コントローラ１の出力側には、上記バイアス修
正手段９からの出力信号を処理する画像処理装置（ＣＲ
Ｔ）やプリンタ（ＰＴ）などからなる表示装置１２を接
続する。
上記検量線作成手段６と修正量更新手段７とに蛍光Ｘ線
強度の測定データを送る蛍光Ｘ線分析装置１１と、上記
第３記憶手段５に元素含有量Ｗｃ1 ，Ｗｃ2 を出力して
記憶させるキーボード（図示せず）とを接続する。一
方、上記コントローラ１の出力側には、上記バイアス修
正手段９からの出力信号を処理する画像処理装置（ＣＲ
Ｔ）やプリンタ（ＰＴ）などからなる表示装置１２を接
続する。
【００２５】そして、上記選択手段２により検量線作成
モードが選択されたときには、上記蛍光Ｘ線分析装置１
１により標準試料についての分析が行われ、その分析結
果が上記検量線作成手段６に出力されて検量線が作成さ
れ、この検量線が上記第１記憶手段３で記憶される。ま
た、多数の分析試料から選ばれた２つの基準試料につい
て、蛍光Ｘ線強度の測定と化学分析とが行われ、この結
果得られた蛍光Ｘ線強度Ｉ1 ，Ｉ2 と、上記元素含有量
Ｗｃ1 ，Ｗｃ2 とが第３記憶手段５に入力されて記憶さ
れる。他方、バイアス演算手段８によって、第３記憶手
段５に記憶された蛍光Ｘ線強度Ｉ1 ，Ｉ2 から検量線に
基づいて元素含有量Ｗ1 ，Ｗ2 が求められ、この含有量
Ｗ1 ，Ｗ2 と上記化学分析による元素含有量Ｗｃ1 ，Ｗ
ｃ2 との差により、バイアス修正量ΔＷの演算式ＡＷ＋
Ｂが算出され、この演算式ＡＷ＋Ｂが、修正量更新手段
７によって上記第２記憶手段４に書き込まれる。
モードが選択されたときには、上記蛍光Ｘ線分析装置１
１により標準試料についての分析が行われ、その分析結
果が上記検量線作成手段６に出力されて検量線が作成さ
れ、この検量線が上記第１記憶手段３で記憶される。ま
た、多数の分析試料から選ばれた２つの基準試料につい
て、蛍光Ｘ線強度の測定と化学分析とが行われ、この結
果得られた蛍光Ｘ線強度Ｉ1 ，Ｉ2 と、上記元素含有量
Ｗｃ1 ，Ｗｃ2 とが第３記憶手段５に入力されて記憶さ
れる。他方、バイアス演算手段８によって、第３記憶手
段５に記憶された蛍光Ｘ線強度Ｉ1 ，Ｉ2 から検量線に
基づいて元素含有量Ｗ1 ，Ｗ2 が求められ、この含有量
Ｗ1 ，Ｗ2 と上記化学分析による元素含有量Ｗｃ1 ，Ｗ
ｃ2 との差により、バイアス修正量ΔＷの演算式ＡＷ＋
Ｂが算出され、この演算式ＡＷ＋Ｂが、修正量更新手段
７によって上記第２記憶手段４に書き込まれる。
【００２６】また、上記選択手段２で修正量更新モード
が選択されたとき、上述したようにして基準試料につい
てのバイアス修正量ΔＷの演算式ＡＷ＋Ｂがバイアス演
算手段８により算出され、上記第２記憶手段４で記憶さ
れた演算式が、上記修正量更新手段７により更新され
る。
が選択されたとき、上述したようにして基準試料につい
てのバイアス修正量ΔＷの演算式ＡＷ＋Ｂがバイアス演
算手段８により算出され、上記第２記憶手段４で記憶さ
れた演算式が、上記修正量更新手段７により更新され
る。
【００２７】さらに、上記選択手段２により未知試料分
析モードが選択されたときには、上記バイアス修正手段
９により、分析試料について測定された蛍光Ｘ線強度Ｉ
から上記検量線に基づき得られた元素含有量Ｗに、上記
修正量更新手段７で更新された演算式によって求めたバ
イアス修正量ΔＷが加えられて、修正済元素含有量Ｗｃ
が算出される。そして、この修正済元素含有量Ｗｃは上
記表示手段１２に出力される。
析モードが選択されたときには、上記バイアス修正手段
９により、分析試料について測定された蛍光Ｘ線強度Ｉ
から上記検量線に基づき得られた元素含有量Ｗに、上記
修正量更新手段７で更新された演算式によって求めたバ
イアス修正量ΔＷが加えられて、修正済元素含有量Ｗｃ
が算出される。そして、この修正済元素含有量Ｗｃは上
記表示手段１２に出力される。
【００２８】したがって、上記バイアス修正量ΔＷに基
づき上記分析試料の元素含有量Ｗｃが簡単かつ正確に得
られる。また、上記選択手段２で修正量更新モードと未
知試料分析モードとを選択することにより、組成が標準
試料とは若干異なる分析試料の場合は勿論のこと、製造
ロットが異なる場合、または、分析試料の分析手段とし
て点滴法を採用するとき、濾紙のロットが異なるような
場合にも、即座に対応できて正確な元素含有量Ｗｃが得
られる。
づき上記分析試料の元素含有量Ｗｃが簡単かつ正確に得
られる。また、上記選択手段２で修正量更新モードと未
知試料分析モードとを選択することにより、組成が標準
試料とは若干異なる分析試料の場合は勿論のこと、製造
ロットが異なる場合、または、分析試料の分析手段とし
て点滴法を採用するとき、濾紙のロットが異なるような
場合にも、即座に対応できて正確な元素含有量Ｗｃが得
られる。
【００２９】
【発明の効果】以上のように、第１発明にかかるバイア
ス修正方法によれば、測定対象である分析試料の元素含
有量を簡単かつ正確に得ることができ、しかも、分析試
料の分析値の大きさに対応した比率で誤差が発生したよ
うな場合にも対応できる。
ス修正方法によれば、測定対象である分析試料の元素含
有量を簡単かつ正確に得ることができ、しかも、分析試
料の分析値の大きさに対応した比率で誤差が発生したよ
うな場合にも対応できる。
【００３０】また、第２発明にかかるバイアス修正装置
によれば、分析試料の元素含有量を簡単な操作で修正し
て、正確な元素含有量を得ることができる。
によれば、分析試料の元素含有量を簡単な操作で修正し
て、正確な元素含有量を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明に使用される検量線を示す図面であ
る。
る。
【図２】第２発明のバイアス修正装置を示すブロック図
である。
である。
２…選択手段、３…第１記憶手段、４…第２記憶手段、
５…第３記憶手段、７…修正量更新手段、８…バイアス
演算手段、９…バイアス修正手段、Ｗｓ…検量線。
５…第３記憶手段、７…修正量更新手段、８…バイアス
演算手段、９…バイアス修正手段、Ｗｓ…検量線。
Claims (2)
- 【請求項１】 特定の元素の含有量が既知の基準試料に
ついて蛍光Ｘ線の強度を測定し、 この測定した強度から、標準試料の測定データによって
得られた検量線に基づいて元素の含有量を求め、 求めた含有量と上記既知の含有量との差に基づいてバイ
アス修正量を算出し、 測定対象である分析試料について測定した蛍光Ｘ線の強
度から上記検量線に基づいて得た元素の含有量を、上記
修正量によって修正する蛍光Ｘ線分析におけるバイアス
修正方法。 - 【請求項２】 未知試料分析モードと修正量更新モード
とを選択する選択手段と、 組成が既知の標準試料の分析結果から得られた検量線を
記憶する第１記憶手段と、 バイアス修正量の演算式を記憶する第２記憶手段と、 修正量更新モードが選択されたとき、測定対象である多
数の分析試料から選ばれた１つ又は複数の分析試料より
なる基準試料について、測定された蛍光Ｘ線強度と蛍光
Ｘ線分析以外の分析方法によって得られた元素含有量と
を記憶する第３記憶手段と、 記憶された基準試料についての蛍光Ｘ線強度および元素
含有量と、この蛍光Ｘ線強度から上記検量線に基づいて
得た元素含有量との差よりバイアス修正量の演算式を算
出するバイアス演算手段と、 求めたバイアス修正量の演算式によって、第２記憶手段
で記憶されたバイアス修正量の演算式を更新する修正量
更新手段と、 未知試料分析モードが選択されたとき、分析試料につい
て測定された蛍光Ｘ線強度から検量線に基づいて得られ
た元素含有量に、上記更新されたバイアス修正量の演算
式より求められたバイアス修正量を加えて修正済元素含
有量を算出するバイアス修正手段とを備えた蛍光Ｘ線分
析におけるバイアス修正装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23902593A JP2927654B2 (ja) | 1993-08-30 | 1993-08-30 | 蛍光ｘ線分析におけるバイアス修正方法とその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23902593A JP2927654B2 (ja) | 1993-08-30 | 1993-08-30 | 蛍光ｘ線分析におけるバイアス修正方法とその装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0763712A true JPH0763712A (ja) | 1995-03-10 |
| JP2927654B2 JP2927654B2 (ja) | 1999-07-28 |
Family
ID=17038769
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23902593A Expired - Fee Related JP2927654B2 (ja) | 1993-08-30 | 1993-08-30 | 蛍光ｘ線分析におけるバイアス修正方法とその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2927654B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103604823A (zh) * | 2013-11-13 | 2014-02-26 | 宣化钢铁集团有限责任公司 | 铁矿石中钾钠铅锌含量的测定方法 |
| CN103852481A (zh) * | 2014-03-12 | 2014-06-11 | 攀钢集团攀枝花钢铁研究院有限公司 | 一种测定包膜钛白中元素成分的方法 |
| CN114184605A (zh) * | 2022-02-16 | 2022-03-15 | 宁波海壹生物科技有限公司 | 一种化学发光免疫分析仪的测量系统及方法 |
-
1993
- 1993-08-30 JP JP23902593A patent/JP2927654B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103604823A (zh) * | 2013-11-13 | 2014-02-26 | 宣化钢铁集团有限责任公司 | 铁矿石中钾钠铅锌含量的测定方法 |
| CN103852481A (zh) * | 2014-03-12 | 2014-06-11 | 攀钢集团攀枝花钢铁研究院有限公司 | 一种测定包膜钛白中元素成分的方法 |
| CN103852481B (zh) * | 2014-03-12 | 2016-03-02 | 攀钢集团攀枝花钢铁研究院有限公司 | 一种测定包膜钛白中元素成分的方法 |
| CN114184605A (zh) * | 2022-02-16 | 2022-03-15 | 宁波海壹生物科技有限公司 | 一种化学发光免疫分析仪的测量系统及方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2927654B2 (ja) | 1999-07-28 |
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