JPH0761516A - ウェーハ移載機 - Google Patents
ウェーハ移載機Info
- Publication number
- JPH0761516A JPH0761516A JP22815393A JP22815393A JPH0761516A JP H0761516 A JPH0761516 A JP H0761516A JP 22815393 A JP22815393 A JP 22815393A JP 22815393 A JP22815393 A JP 22815393A JP H0761516 A JPH0761516 A JP H0761516A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- chucking head
- transferred
- boat
- cassette
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】移載機によるウェーハ移載動作で、１度の移載
作業に要する時間を短縮し、半導体製造装置のスループ
ットを向上させる。 【構成】回転可能且進退可能なチャッキングヘッド１６
に前進方向、後退方向にそれぞれ延出するウェーハ保持
プレート１５，１７を対にして所要段設け、２方向に延
びるウェーハ保持プレートで、移載するウェーハ４を交
互に保持し、チャッキングヘッドの回転、進退の協働に
より移載作動を行う。
作業に要する時間を短縮し、半導体製造装置のスループ
ットを向上させる。 【構成】回転可能且進退可能なチャッキングヘッド１６
に前進方向、後退方向にそれぞれ延出するウェーハ保持
プレート１５，１７を対にして所要段設け、２方向に延
びるウェーハ保持プレートで、移載するウェーハ４を交
互に保持し、チャッキングヘッドの回転、進退の協働に
より移載作動を行う。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体製造装置に於い
て、半導体素子材料であるウェーハを移載するウェーハ
移載機に関するものである。
て、半導体素子材料であるウェーハを移載するウェーハ
移載機に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図５に於いて、半導体製造装置の概略を
説明する。
説明する。
【０００３】反応炉１は半導体製造装置の上部位置に設
けられ、反応管２は該反応炉１の内部に収納されてい
る。該反応炉１の下方にはボートエレベータ３が設けら
れており、該ボートエレベータ３はウェーハ４が装填さ
れたボート５を反応管２内部に装入、引出しする。
けられ、反応管２は該反応炉１の内部に収納されてい
る。該反応炉１の下方にはボートエレベータ３が設けら
れており、該ボートエレベータ３はウェーハ４が装填さ
れたボート５を反応管２内部に装入、引出しする。
【０００４】ウェーハ４はウェーハカセット６に装填さ
れた状態で半導体製造装置と外部との間の搬送が行わ
れ、ウェーハカセット６はウェーハカセット授受部（図
示せず）で中継され、その後内部のバッファカセットス
トッカ７、カセットストッカ８に収納され、ウェーハ移
載機９によりカセットストッカ８に収納されたウェーハ
カセット６のウェーハ４を下降状態にある前記ボート５
に移載する。
れた状態で半導体製造装置と外部との間の搬送が行わ
れ、ウェーハカセット６はウェーハカセット授受部（図
示せず）で中継され、その後内部のバッファカセットス
トッカ７、カセットストッカ８に収納され、ウェーハ移
載機９によりカセットストッカ８に収納されたウェーハ
カセット６のウェーハ４を下降状態にある前記ボート５
に移載する。
【０００５】前記した様に、ボートエレベータ３はボー
ト５を反応管２内に装入し、ウェーハ４の成膜が完了す
るとボートを反応管２より取出す。
ト５を反応管２内に装入し、ウェーハ４の成膜が完了す
るとボートを反応管２より取出す。
【０００６】処理後のウェーハは、上記手順の逆を行う
ことで半導体製造装置外部に搬出される。
ことで半導体製造装置外部に搬出される。
【０００７】図中、１０，１１はエアクリーンユニット
を示す。
を示す。
【０００８】次に、図３、図４により従来のウェーハ移
載機について説明する。
載機について説明する。
【０００９】ウェーハ移載機９は、昇降機構（図示せ
ず）を有し、該昇降機構の昇降台１２にスライド機構１
３が回転可能に設けられ、該スライド機構１３にチャッ
キングヘッド１４が水平方向にスライド可能に設けられ
ている。該チャッキングヘッド１４にはウェーハ保持プ
レート１５が鉛直方向に所要段（図示では５段）設けら
れている。又、該ウェーハ保持プレート１５の鉛直方向
のピッチはボート５、ウェーハカセット６のウェーハ保
持ピッチと同一である。
ず）を有し、該昇降機構の昇降台１２にスライド機構１
３が回転可能に設けられ、該スライド機構１３にチャッ
キングヘッド１４が水平方向にスライド可能に設けられ
ている。該チャッキングヘッド１４にはウェーハ保持プ
レート１５が鉛直方向に所要段（図示では５段）設けら
れている。又、該ウェーハ保持プレート１５の鉛直方向
のピッチはボート５、ウェーハカセット６のウェーハ保
持ピッチと同一である。
【００１０】次に、ウェーハ４の移載作業について説明
する。
する。
【００１１】昇降機構（図示せず）により前記昇降台１
２を昇降させ、カセットストッカ８に対してチャッキン
グヘッド１４を移載すべきウェーハ４の位置とし、更に
チャッキングヘッド１４を前進させ、ウェーハ保持プレ
ート１５をウェーハカセット６内に挿入し、若干チャッ
キングヘッド１４を上昇させてウェーハ４を真空吸着し
て保持し、該チャッキングヘッド１４を後退させ、移載
するウェーハ４をウェーハカセット６より抜脱する。
２を昇降させ、カセットストッカ８に対してチャッキン
グヘッド１４を移載すべきウェーハ４の位置とし、更に
チャッキングヘッド１４を前進させ、ウェーハ保持プレ
ート１５をウェーハカセット６内に挿入し、若干チャッ
キングヘッド１４を上昇させてウェーハ４を真空吸着し
て保持し、該チャッキングヘッド１４を後退させ、移載
するウェーハ４をウェーハカセット６より抜脱する。
【００１２】更に、前記スライド機構１３を１８０°回
転させ、前記チャッキングヘッド１４をボート５に対峙
させる。昇降台１２を介してチャッキングヘッド１４を
昇降させ、移載すべきウェーハ４の位置とする。前記チ
ャッキングヘッド１４を前進させ、ウェーハ４をボート
５に挿入し、スライド機構１３を若干降下させ、ウェー
ハ４をボート５に移載し、チャッキングヘッド１４を後
退させることで１回のカセットストッカ８からボート５
へのウェーハの移載動作を終了する。
転させ、前記チャッキングヘッド１４をボート５に対峙
させる。昇降台１２を介してチャッキングヘッド１４を
昇降させ、移載すべきウェーハ４の位置とする。前記チ
ャッキングヘッド１４を前進させ、ウェーハ４をボート
５に挿入し、スライド機構１３を若干降下させ、ウェー
ハ４をボート５に移載し、チャッキングヘッド１４を後
退させることで１回のカセットストッカ８からボート５
へのウェーハの移載動作を終了する。
【００１３】続いてウェーハ４の移載を行う場合は、前
記チャッキングヘッド１４を１８０°回転させ、前記チ
ャッキングヘッド１４を前記カセットストッカ８に対峙
させた後、上記移載動作を繰返し行う。
記チャッキングヘッド１４を１８０°回転させ、前記チ
ャッキングヘッド１４を前記カセットストッカ８に対峙
させた後、上記移載動作を繰返し行う。
【００１４】又、ボート５からカセットストッカ８への
ウェーハ４の移載は上記作動の逆の手順により行われ
る。
ウェーハ４の移載は上記作動の逆の手順により行われ
る。
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】上記従来のウェーハ移
載機では、ウェーハ４の保持、ウェーハ４の移載の度
に、前記スライド機構１３を１８０°回転させている。
即ち、１度の移載動作で２度前記スライド機構１３を回
転させており、１度の移載動作に要する時間が長くなり
半導体製造装置全体でのスループットが上がらないとい
う問題があった。
載機では、ウェーハ４の保持、ウェーハ４の移載の度
に、前記スライド機構１３を１８０°回転させている。
即ち、１度の移載動作で２度前記スライド機構１３を回
転させており、１度の移載動作に要する時間が長くなり
半導体製造装置全体でのスループットが上がらないとい
う問題があった。
【００１６】本発明は斯かる実情に鑑み、１度の移載動
作に要する時間を短縮し、半導体製造装置のスループッ
トを向上させようとするものである。
作に要する時間を短縮し、半導体製造装置のスループッ
トを向上させようとするものである。
【００１７】
【課題を解決するための手段】本発明は、回転可能且進
退可能なチャッキングヘッドに前進方向、後退方向にそ
れぞれ延出するウェーハ保持プレートを対にして所要段
設けたことを特徴とするものである。
退可能なチャッキングヘッドに前進方向、後退方向にそ
れぞれ延出するウェーハ保持プレートを対にして所要段
設けたことを特徴とするものである。
【００１８】
【作用】２方向に延びるウェーハ保持プレートで、移載
するウェーハを交互に保持し、チャッキングヘッドの回
転、進退の協働により移載作動を行う。
するウェーハを交互に保持し、チャッキングヘッドの回
転、進退の協働により移載作動を行う。
【００１９】
【実施例】以下、図面を参照しつつ本発明の一実施例を
説明する。
説明する。
【００２０】図１、図２に於いて、図３、図４中で示し
たものと同様の構成には同符号を付してある。
たものと同様の構成には同符号を付してある。
【００２１】スライド機構１３に水平方向に移動可能に
設けられたチャッキングヘッド１６には、該チャッキン
グヘッド１６の移動方向に延出するウェーハ保持プレー
ト１５を鉛直方向に所要段（本実施例では５段）設け、
該ウェーハ保持プレート１５のピッチはボート５、ウェ
ーハカセット６のウェーハ保持ピッチと等しくする。
設けられたチャッキングヘッド１６には、該チャッキン
グヘッド１６の移動方向に延出するウェーハ保持プレー
ト１５を鉛直方向に所要段（本実施例では５段）設け、
該ウェーハ保持プレート１５のピッチはボート５、ウェ
ーハカセット６のウェーハ保持ピッチと等しくする。
【００２２】更に、前記チャッキングヘッド１６に前記
ウェーハ保持プレート１５と同水準に位置するウェーハ
保持プレート１７を前記ウェーハ保持プレート１５と同
数設ける。該ウェーハ保持プレート１７は前記ウェーハ
保持プレート１５と正反対の方向に延出している。
ウェーハ保持プレート１５と同水準に位置するウェーハ
保持プレート１７を前記ウェーハ保持プレート１５と同
数設ける。該ウェーハ保持プレート１７は前記ウェーハ
保持プレート１５と正反対の方向に延出している。
【００２３】前記ウェーハ保持プレート１５、及び前記
ウェーハ保持プレート１７はそれぞれ個別に真空源に接
続され、独立してウェーハ４の吸着保持を行える様にな
っている。
ウェーハ保持プレート１７はそれぞれ個別に真空源に接
続され、独立してウェーハ４の吸着保持を行える様にな
っている。
【００２４】次に、本実施例に於けるウェーハ４の移載
作動を説明する。
作動を説明する。
【００２５】昇降機構（図示せず）により前記昇降台１
２を昇降させ、カセットストッカ８に対してチャッキン
グヘッド１６を移載すべきウェーハ４の位置とし、前記
チャッキングヘッド１６をカセットストッカ８に対峙さ
せる。更にチャッキングヘッド１６を前進させ、ウェー
ハ保持プレート１５をウェーハカセット６内に挿入し、
若干チャッキングヘッド１６を上昇させてウェーハ４を
真空吸着して保持し、該チャッキングヘッド１６を後退
させ、移載するウェーハ４をウェーハカセット６より抜
脱する。
２を昇降させ、カセットストッカ８に対してチャッキン
グヘッド１６を移載すべきウェーハ４の位置とし、前記
チャッキングヘッド１６をカセットストッカ８に対峙さ
せる。更にチャッキングヘッド１６を前進させ、ウェー
ハ保持プレート１５をウェーハカセット６内に挿入し、
若干チャッキングヘッド１６を上昇させてウェーハ４を
真空吸着して保持し、該チャッキングヘッド１６を後退
させ、移載するウェーハ４をウェーハカセット６より抜
脱する。
【００２６】又、前記スライド機構１３を１８０°回転
させ、前記チャッキングヘッド１６をボート５に対峙さ
せる。昇降台１２を介してチャッキングヘッド１６を昇
降させ、チャッキングヘッド１６をウェーハ４の移載す
べき位置とする。該チャッキングヘッド１６を前進さ
せ、ウェーハ４をボート５に挿入し、スライド機構１３
を若干降下させ、ウェーハ４をボート５に移載し、チャ
ッキングヘッド１６を後退させることで１回のカセット
ストッカ８からボート５へのウェーハの移載動作を終了
する。
させ、前記チャッキングヘッド１６をボート５に対峙さ
せる。昇降台１２を介してチャッキングヘッド１６を昇
降させ、チャッキングヘッド１６をウェーハ４の移載す
べき位置とする。該チャッキングヘッド１６を前進さ
せ、ウェーハ４をボート５に挿入し、スライド機構１３
を若干降下させ、ウェーハ４をボート５に移載し、チャ
ッキングヘッド１６を後退させることで１回のカセット
ストッカ８からボート５へのウェーハの移載動作を終了
する。
【００２７】続いてウェーハ４の移載を行う場合は、前
記昇降台１２を昇降させ、チャッキングヘッド１６を移
載すべきウェーハ４の位置とし、チャッキングヘッド１
６を前記カセットストッカ８に向かって前進させ、前記
ウェーハ保持プレート１７をウェーハカセット６内に挿
入し、若干チャッキングヘッド１６を上昇させてウェー
ハ４をウェーハ保持プレート１７に真空吸着して保持
し、該チャッキングヘッド１６を後退させ、移載するウ
ェーハ４をウェーハカセット６より抜脱する。
記昇降台１２を昇降させ、チャッキングヘッド１６を移
載すべきウェーハ４の位置とし、チャッキングヘッド１
６を前記カセットストッカ８に向かって前進させ、前記
ウェーハ保持プレート１７をウェーハカセット６内に挿
入し、若干チャッキングヘッド１６を上昇させてウェー
ハ４をウェーハ保持プレート１７に真空吸着して保持
し、該チャッキングヘッド１６を後退させ、移載するウ
ェーハ４をウェーハカセット６より抜脱する。
【００２８】更に、スライド機構１３を１８０°回転さ
せ、上記したと同様な手順でウェーハ保持プレート１７
に保持したウェーハ４をボート５に移載する。
せ、上記したと同様な手順でウェーハ保持プレート１７
に保持したウェーハ４をボート５に移載する。
【００２９】而して、１度のウェーハ４移載作業に含ま
れるスライド機構１３の回転は１度となる。
れるスライド機構１３の回転は１度となる。
【００３０】又、ボート５からカセットストッカ８への
ウェーハ４の移載は上記移載作動の逆を行えばよい。
ウェーハ４の移載は上記移載作動の逆を行えばよい。
【００３１】尚、上記ウェーハ保持プレート１５、ウェ
ーハ保持プレート１７の枚数は１枚或は適宜な枚数でよ
いことは言う迄もない。又、ウェーハの移載作業でチャ
ッキングヘッド１６を昇降させたが、ボート５、カセッ
トストッカ８に昇降機能を具備させれば、ウェーハ移載
機は必ずしも昇降機能がなくてもよいことは勿論であ
る。
ーハ保持プレート１７の枚数は１枚或は適宜な枚数でよ
いことは言う迄もない。又、ウェーハの移載作業でチャ
ッキングヘッド１６を昇降させたが、ボート５、カセッ
トストッカ８に昇降機能を具備させれば、ウェーハ移載
機は必ずしも昇降機能がなくてもよいことは勿論であ
る。
【００３２】
【発明の効果】以上述べた如く本発明によれば、ウェー
ハ移載作業に於けるウェーハ移載機の動作が少なくなる
のでウェーハの移載時間が短くなり、半導体製造装置の
全体的なスループットが向上する。
ハ移載作業に於けるウェーハ移載機の動作が少なくなる
のでウェーハの移載時間が短くなり、半導体製造装置の
全体的なスループットが向上する。
【図１】本発明の一実施例を示す要部側面図である。
【図２】同前実施例の要部平面図である。
【図３】従来例を示す要部側面図である。
【図４】同前従来例の要部平面図である。
【図５】半導体製造装置の概略斜視図である。
４ ウェーハ ５ ボート ６ ウェーハカセット １２ 昇降台 １５ ウェーハ保持プレート １６ チャッキングヘッド １７ ウェーハ保持プレート
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 開発 秀樹 東京都港区虎ノ門二丁目３番13号 国際電 気株式会社内 (72)発明者 保坂 英二 東京都港区虎ノ門二丁目３番13号 国際電 気株式会社内
Claims (1)
- 【請求項１】 回転可能且進退可能なチャッキングヘッ
ドに前進方向、後退方向にそれぞれ延出するウェーハ保
持プレートを対にして所要段設けたことを特徴とするウ
ェーハ移載機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22815393A JPH0761516A (ja) | 1993-08-20 | 1993-08-20 | ウェーハ移載機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22815393A JPH0761516A (ja) | 1993-08-20 | 1993-08-20 | ウェーハ移載機 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0761516A true JPH0761516A (ja) | 1995-03-07 |
Family
ID=16872060
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22815393A Pending JPH0761516A (ja) | 1993-08-20 | 1993-08-20 | ウェーハ移載機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0761516A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102282664A (zh) * | 2009-01-15 | 2011-12-14 | 周星工程股份有限公司 | 基板处理系统与基板传送方法 |
-
1993
- 1993-08-20 JP JP22815393A patent/JPH0761516A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102282664A (zh) * | 2009-01-15 | 2011-12-14 | 周星工程股份有限公司 | 基板处理系统与基板传送方法 |
| US9022714B2 (en) | 2009-01-15 | 2015-05-05 | Jusung Engineering Co., Ltd. | Substrate processing system and substrate transferring method |
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