JPH075925A - 微動位置決め制御装置 - Google Patents
微動位置決め制御装置Info
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- JPH075925A JPH075925A JP17094493A JP17094493A JPH075925A JP H075925 A JPH075925 A JP H075925A JP 17094493 A JP17094493 A JP 17094493A JP 17094493 A JP17094493 A JP 17094493A JP H075925 A JPH075925 A JP H075925A
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- actuator
- matrix
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 位置センサとアクチュエータについてのコロ
ケーションの条件を満たすことができないことによる不
都合を解消する。 【構成】 位置決めされる物体１と、少なくともその位
置決めを制御する運動自由度分のアクチュエータ２Ｍ，
２Ｒ，２Ｌと、少なくともこの運動自由度分の剛物体の
位置を検出する位置センサ３Ｍ，３Ｒ，３Ｌとを備え、
前記位置センサのそれぞれの出力に基くフィードバック
信号をフィードバックして前記アクチュエータを駆動す
る閉ループのフィードバック装置を備えた微動位置決め
制御装置において、フィードバック装置は、前記剛物体
の慣性主軸に関する変位ベクトルから前記位置センサに
よる計測点までの変換行列の逆行列を、前記変位ベクト
ルから前記アクチュエータによる駆動点までの変換行列
の右側に掛けた補正演算行列を求めて出力する演算手段
９を前記位置センサの出力側に備え、この演算手段の出
力を前記フィードバック信号ｅM ，ｅR ，ｅL とするも
のである。
ケーションの条件を満たすことができないことによる不
都合を解消する。 【構成】 位置決めされる物体１と、少なくともその位
置決めを制御する運動自由度分のアクチュエータ２Ｍ，
２Ｒ，２Ｌと、少なくともこの運動自由度分の剛物体の
位置を検出する位置センサ３Ｍ，３Ｒ，３Ｌとを備え、
前記位置センサのそれぞれの出力に基くフィードバック
信号をフィードバックして前記アクチュエータを駆動す
る閉ループのフィードバック装置を備えた微動位置決め
制御装置において、フィードバック装置は、前記剛物体
の慣性主軸に関する変位ベクトルから前記位置センサに
よる計測点までの変換行列の逆行列を、前記変位ベクト
ルから前記アクチュエータによる駆動点までの変換行列
の右側に掛けた補正演算行列を求めて出力する演算手段
９を前記位置センサの出力側に備え、この演算手段の出
力を前記フィードバック信号ｅM ，ｅR ，ｅL とするも
のである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、圧電素子（ピエゾ）あ
るいは電歪素子をアクチュエータとしたサブミクロンオ
ーダの位置決め装置に係り、特に、位置センサとアクチ
ュエータとを等価的に同じ場所に配置して制御性を良好
にした微動位置決め制御装置に関する。
るいは電歪素子をアクチュエータとしたサブミクロンオ
ーダの位置決め装置に係り、特に、位置センサとアクチ
ュエータとを等価的に同じ場所に配置して制御性を良好
にした微動位置決め制御装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、精密加工、組立、調整などにおけ
る微小位置決めに対しては、サブミクロンオーダの位置
決め精度が要求される。特に、微細パターンの露光を目
的とした超精密位置決めステージにおいては高い駆動分
解能と周波数応答の広帯域化を実現すべく、アクチュエ
ータとして圧電素子（ピエゾ）や電歪素子が多用され
る。一例として、鉛直方向１自由度と水平面内の傾きの
２自由度を位置決め制御する微動位置決め制御装置の構
成を図２に示す。
る微小位置決めに対しては、サブミクロンオーダの位置
決め精度が要求される。特に、微細パターンの露光を目
的とした超精密位置決めステージにおいては高い駆動分
解能と周波数応答の広帯域化を実現すべく、アクチュエ
ータとして圧電素子（ピエゾ）や電歪素子が多用され
る。一例として、鉛直方向１自由度と水平面内の傾きの
２自由度を位置決め制御する微動位置決め制御装置の構
成を図２に示す。
【０００３】同図において、１は位置決めする平板状の
基板、２Ｍ，２Ｒ，２Ｌは鉛直方向に変位を発生するア
クチュエータであり、圧電素子を駆動素子として変位拡
大機構も含まれる。さらに、印加電圧によって変位を発
生する圧電素子とともに、その駆動位置近傍には基板１
のｚ軸方向の変位を計測する位置センサ３Ｍ，３Ｒ，３
Ｌがあり、これらをもって微動位置決め機構と呼ばれ
る。
基板、２Ｍ，２Ｒ，２Ｌは鉛直方向に変位を発生するア
クチュエータであり、圧電素子を駆動素子として変位拡
大機構も含まれる。さらに、印加電圧によって変位を発
生する圧電素子とともに、その駆動位置近傍には基板１
のｚ軸方向の変位を計測する位置センサ３Ｍ，３Ｒ，３
Ｌがあり、これらをもって微動位置決め機構と呼ばれ
る。
【０００４】さて、位置センサ３Ｍ，３Ｒ，３Ｌによっ
て計測される基板１の鉛直ｚ軸方向の変位は、変位増幅
器４Ｍ，４Ｒ，４Ｌによって電気信号に変換する。その
電気信号は、指令電圧入力端子５Ｍ，５Ｒ，５Ｌに加え
られる指令電圧と比較されて偏差信号ｅM ，ｅR ，ｅL
となる。この偏差信号は所定の感度を得るために前置増
幅器６Ｍ，６Ｒ，６Ｌに導かれ、制御ループの安定化
と、指令電圧に対する偏差信号零への仕様を満たすため
の補償器７Ｍ，７Ｒ，７Ｌに導かれる。この補償器の出
力をもって電力増幅器８Ｍ，８Ｒ，８Ｌを励磁し、アク
チュエータ２Ｍ，２Ｒ，２Ｌの上下動で基板１を上下方
向に並進移動させたり、あるいはｚ軸に対して傾かせる
駆動を行なう。これらの閉ループはフィードバック装置
と呼ぶことにする。
て計測される基板１の鉛直ｚ軸方向の変位は、変位増幅
器４Ｍ，４Ｒ，４Ｌによって電気信号に変換する。その
電気信号は、指令電圧入力端子５Ｍ，５Ｒ，５Ｌに加え
られる指令電圧と比較されて偏差信号ｅM ，ｅR ，ｅL
となる。この偏差信号は所定の感度を得るために前置増
幅器６Ｍ，６Ｒ，６Ｌに導かれ、制御ループの安定化
と、指令電圧に対する偏差信号零への仕様を満たすため
の補償器７Ｍ，７Ｒ，７Ｌに導かれる。この補償器の出
力をもって電力増幅器８Ｍ，８Ｒ，８Ｌを励磁し、アク
チュエータ２Ｍ，２Ｒ，２Ｌの上下動で基板１を上下方
向に並進移動させたり、あるいはｚ軸に対して傾かせる
駆動を行なう。これらの閉ループはフィードバック装置
と呼ぶことにする。
【０００５】なお、上述の説明において、電力増幅器８
Ｍ，８Ｒ，８Ｌが電圧入力に対して電圧を出力するタイ
プの場合、補償器７Ｍ，７Ｒ，７Ｌは一般的に積分器を
含むもの、例えばＰＩ補償器となる。ここで、Ｐは比
例、Ｉは積分動作をそれぞれ意味する。また、電力増幅
器８Ｍ，８Ｒ，８Ｌが電圧入力に対して電流を出力する
タイプの場合、補償器７Ｍ，７Ｒ，７Ｌには単にＰ動作
の機能を持たせればよい。なぜならば、アクチュエータ
２Ｍ，２Ｒ，２Ｌの構成素子である圧電素子は、電気的
にコンデンサであり、電力増幅器８Ｍ，８Ｒ，８Ｌとそ
れらが駆動する各圧電素子とを含めた伝達関数には積分
器が含まれるので、いわゆる制御ループは１型となり、
制御理論の教えるところによれば、定常偏差零が自動的
に保証される。
Ｍ，８Ｒ，８Ｌが電圧入力に対して電圧を出力するタイ
プの場合、補償器７Ｍ，７Ｒ，７Ｌは一般的に積分器を
含むもの、例えばＰＩ補償器となる。ここで、Ｐは比
例、Ｉは積分動作をそれぞれ意味する。また、電力増幅
器８Ｍ，８Ｒ，８Ｌが電圧入力に対して電流を出力する
タイプの場合、補償器７Ｍ，７Ｒ，７Ｌには単にＰ動作
の機能を持たせればよい。なぜならば、アクチュエータ
２Ｍ，２Ｒ，２Ｌの構成素子である圧電素子は、電気的
にコンデンサであり、電力増幅器８Ｍ，８Ｒ，８Ｌとそ
れらが駆動する各圧電素子とを含めた伝達関数には積分
器が含まれるので、いわゆる制御ループは１型となり、
制御理論の教えるところによれば、定常偏差零が自動的
に保証される。
【０００６】なお、微動位置決め機構やその制御に関連
する公知の文献としては以下のものがある。
する公知の文献としては以下のものがある。
【０００７】谷口ほか：６自由度微動機構による超精密
ウエハ位置決め、精密工学会誌，５６，６（１９９０） 古川ほか：リンク機構を利用した圧電駆動機構のための
拡大機構とその応用、精密工学会誌，５７，８（１９９
１） 辺見ほか：６自由度微動機構の研究（第２報−制御特性
−） 精密工学会誌，５８，６（１９９２） 富田ほか：パラレルリンク式微動ステージの非干渉化設
計 精密工学会誌，５７，６（１９９１） 富田ほか：パラレルリンク式微動ステージの６自由度位
置決め制御 精密工学会誌，５８，４（１９９２） なお、本発明は前記アクチュエータ２Ｍ，２Ｒ，２Ｌと
位置センサ３Ｍ，３Ｒ，３Ｌの配置が制御性に及ぼす影
響に関するが、上記文献の何れにおいてもこの問題は扱
われていない。
ウエハ位置決め、精密工学会誌，５６，６（１９９０） 古川ほか：リンク機構を利用した圧電駆動機構のための
拡大機構とその応用、精密工学会誌，５７，８（１９９
１） 辺見ほか：６自由度微動機構の研究（第２報−制御特性
−） 精密工学会誌，５８，６（１９９２） 富田ほか：パラレルリンク式微動ステージの非干渉化設
計 精密工学会誌，５７，６（１９９１） 富田ほか：パラレルリンク式微動ステージの６自由度位
置決め制御 精密工学会誌，５８，４（１９９２） なお、本発明は前記アクチュエータ２Ｍ，２Ｒ，２Ｌと
位置センサ３Ｍ，３Ｒ，３Ｌの配置が制御性に及ぼす影
響に関するが、上記文献の何れにおいてもこの問題は扱
われていない。
【０００８】
【発明が解決しようとしている課題】微動位置決め制御
装置の性能は位置決め時間と位置精度で規定されるが、
これらの仕様は年々きびしくなっている。従って、性能
改善要求に対して迅速に制御系の調整ができなければな
らない。しかも、この調整は安定に行なえる必要があ
る。例えば、前置増幅器６Ｍ，６Ｒ，６Ｌのゲインを調
整したとき、ステップ入力に対する応答波形にオーバシ
ュートやアンダシュートが容易に発生しては困るのであ
る。
装置の性能は位置決め時間と位置精度で規定されるが、
これらの仕様は年々きびしくなっている。従って、性能
改善要求に対して迅速に制御系の調整ができなければな
らない。しかも、この調整は安定に行なえる必要があ
る。例えば、前置増幅器６Ｍ，６Ｒ，６Ｌのゲインを調
整したとき、ステップ入力に対する応答波形にオーバシ
ュートやアンダシュートが容易に発生しては困るのであ
る。
【０００９】さて、基板１が与えられたとき、その周辺
に有限な寸法を有するアクチュエータ２Ｍ，２Ｒ，２Ｌ
と位置センサ３Ｍ，３Ｒ，３Ｌとを有するので、アクチ
ュエータと位置センサの配置関係は微妙にずれる。その
ような機構に対して各々独立のフィードバック装置を組
み込んだときの制御特性の調整は、駆動点と位置計測点
の不一致が原因して容易ではない。なんとなれば、アク
チュエータ２Ｍ，２Ｒ，２Ｌの駆動点にそれぞれの位置
センサ３Ｍ，３Ｒ，３Ｌを配置する、というコロケーシ
ョンの条件が満たされていないからである。制御理論の
教えるところによれば、安定な零点を有するシステムは
制御しやすく、この意味で位置センサとアクチュエータ
を同一位置に配置すること、すなわちコロケーションは
都合のよい零点配置を与えることが知られている。しか
し、微動位置決め機構全体の大きさとコストに対して制
約が課された場合には、有限寸法の位置センサとアクチ
ュエータを同一位置に配置すること、すなわちコロケー
ションの条件を満たすことは不可能である。
に有限な寸法を有するアクチュエータ２Ｍ，２Ｒ，２Ｌ
と位置センサ３Ｍ，３Ｒ，３Ｌとを有するので、アクチ
ュエータと位置センサの配置関係は微妙にずれる。その
ような機構に対して各々独立のフィードバック装置を組
み込んだときの制御特性の調整は、駆動点と位置計測点
の不一致が原因して容易ではない。なんとなれば、アク
チュエータ２Ｍ，２Ｒ，２Ｌの駆動点にそれぞれの位置
センサ３Ｍ，３Ｒ，３Ｌを配置する、というコロケーシ
ョンの条件が満たされていないからである。制御理論の
教えるところによれば、安定な零点を有するシステムは
制御しやすく、この意味で位置センサとアクチュエータ
を同一位置に配置すること、すなわちコロケーションは
都合のよい零点配置を与えることが知られている。しか
し、微動位置決め機構全体の大きさとコストに対して制
約が課された場合には、有限寸法の位置センサとアクチ
ュエータを同一位置に配置すること、すなわちコロケー
ションの条件を満たすことは不可能である。
【００１０】本発明の目的は、このような従来技術の問
題点に鑑み、微動位置決め制御装置において、位置セン
サとアクチュエータについてのコロケーションの条件を
満たすことができないことによる不都合を解消すること
にある。
題点に鑑み、微動位置決め制御装置において、位置セン
サとアクチュエータについてのコロケーションの条件を
満たすことができないことによる不都合を解消すること
にある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
本発明では、位置決めされる物体と、少なくともその位
置決めを制御する運動自由度分のアクチュエータと、少
なくともこの運動自由度分の前記剛物体の位置を検出す
る位置センサとを備え、前記位置センサのそれぞれの出
力に基くフィードバック信号をフィードバックして前記
アクチュエータを駆動する閉ループのフィードバック装
置を備えた微動位置決め制御装置において、フィードバ
ック装置は、前記剛物体の慣性主軸に関する変位ベクト
ルから前記位置センサによる計測点までの変換行列の逆
行列を、前記変位ベクトルから前記アクチュエータによ
る駆動点までの変換行列の右側に掛けた補正演算行列を
求めて出力する演算手段を前記位置センサの出力側に備
え、この演算手段の出力を前記フィードバック信号とす
るものであることを特徴としている。
本発明では、位置決めされる物体と、少なくともその位
置決めを制御する運動自由度分のアクチュエータと、少
なくともこの運動自由度分の前記剛物体の位置を検出す
る位置センサとを備え、前記位置センサのそれぞれの出
力に基くフィードバック信号をフィードバックして前記
アクチュエータを駆動する閉ループのフィードバック装
置を備えた微動位置決め制御装置において、フィードバ
ック装置は、前記剛物体の慣性主軸に関する変位ベクト
ルから前記位置センサによる計測点までの変換行列の逆
行列を、前記変位ベクトルから前記アクチュエータによ
る駆動点までの変換行列の右側に掛けた補正演算行列を
求めて出力する演算手段を前記位置センサの出力側に備
え、この演算手段の出力を前記フィードバック信号とす
るものであることを特徴としている。
【００１２】
【作用】一般に、微動位置決め機構全体の寸法とそのコ
ストに制約が課された場合、アクチュエータと同一場所
に位置センサを配置することはできない。同一位置に配
置できないとき、微動位置決め機構を制御対象とした伝
達関数行列の中のある要素には不安定な零点が発生す
る。しかし、例えば図２の従来例における平板状の基板
１に対するアクチュエータ２Ｍ，２Ｒ，２Ｌと位置セン
サ３Ｍ，３Ｒ，３Ｌの配置は確定的であることに注意し
て、３箇所の位置センサ３Ｍ，３Ｒ，３Ｌの出力に対し
て補正行列演算を施すと、位置センサ３Ｍ，３Ｒ，３Ｌ
があたかもアクチュエータ２Ｍ，２Ｒ，２Ｌと同じ位置
に配置したとみなすことができ、不安定な零点の発生が
回避される。ここで、確定的であるとは、図３を参照し
て、アクチュエータ２Ｍ，２Ｒ，２Ｌを配置する同心円
の半径ｌd や位置センサ３Ｍ，３Ｒ，３Ｌを配置する同
心円の半径ｌS の寸法公差、およびアクチュエータの配
置角度θd や位置センサの配置角度θS の角度公差は極
めて小さく、相互の配置関係が厳密であることを意味す
る。
ストに制約が課された場合、アクチュエータと同一場所
に位置センサを配置することはできない。同一位置に配
置できないとき、微動位置決め機構を制御対象とした伝
達関数行列の中のある要素には不安定な零点が発生す
る。しかし、例えば図２の従来例における平板状の基板
１に対するアクチュエータ２Ｍ，２Ｒ，２Ｌと位置セン
サ３Ｍ，３Ｒ，３Ｌの配置は確定的であることに注意し
て、３箇所の位置センサ３Ｍ，３Ｒ，３Ｌの出力に対し
て補正行列演算を施すと、位置センサ３Ｍ，３Ｒ，３Ｌ
があたかもアクチュエータ２Ｍ，２Ｒ，２Ｌと同じ位置
に配置したとみなすことができ、不安定な零点の発生が
回避される。ここで、確定的であるとは、図３を参照し
て、アクチュエータ２Ｍ，２Ｒ，２Ｌを配置する同心円
の半径ｌd や位置センサ３Ｍ，３Ｒ，３Ｌを配置する同
心円の半径ｌS の寸法公差、およびアクチュエータの配
置角度θd や位置センサの配置角度θS の角度公差は極
めて小さく、相互の配置関係が厳密であることを意味す
る。
【００１３】従って、位置センサの出力信号を入力とし
た補正行列演算をフィードバック装置の中に挿入する
と、等価的には、位置センサをアクチュエータと同一場
所に配置した微動位置決め機構に対してフィードバック
装置が組まれたことになる。
た補正行列演算をフィードバック装置の中に挿入する
と、等価的には、位置センサをアクチュエータと同一場
所に配置した微動位置決め機構に対してフィードバック
装置が組まれたことになる。
【００１４】
【実施例】図１は、本発明のに係る微動位置決め制御装
置の一実施例を示すブロック図である。同図に示すよう
に、この装置は、並進１自由度と回転２自由度において
位置決めされる平板状の基板１と、基板１の駆動用で慣
性主軸を中心とした同心円上に配置される３個のアクチ
ュエータ２Ｍ，２Ｒ，２Ｌと、これら各アクチュエータ
の近傍で、かつ前記慣性主軸を中心とする同心円上に配
置されて基板１の変位を計測する３個の位置センサ３
Ｍ，３Ｒ，３Ｌと、これら位置センサの各出力に基くフ
ィードバック信号を指令電圧５Ｍ，５Ｒ，５Ｌと比較し
て偏差信号ｅM，ｅR ，ｅL を得、前置増幅器６Ｍ，６
Ｒ，６Ｌと補償器７Ｍ，７Ｒ，７Ｌを介して電力増幅器
８Ｍ，８Ｒ，８Ｌを励磁してアクチュエータ２Ｍ，２
Ｒ，２Ｌを駆動するフィードバック装置とを備えた微動
位置決め制御装置において、フィードバック装置は、基
板１の慣性主軸に関する変位ベクトルから位置センサ３
Ｍ，３Ｒ，３Ｌによる計測点までの変換行列の逆行列
を、前記慣性主軸に関する前記変位ベクトルからアクチ
ュエータ２Ｍ，２Ｒ，２Ｌによる駆動点までの変換行列
の右側に掛けた補正演算行列を求めて出力する補正演算
行列演算手段９を位置センサ３Ｍ，３Ｒ，３Ｌの出力側
に備え、この演算手段９の出力をフィードバック信号Ｚ
SM(CO)，ＺSR(CO)，ＺSL(CO)とするものであることを特
徴とする。
置の一実施例を示すブロック図である。同図に示すよう
に、この装置は、並進１自由度と回転２自由度において
位置決めされる平板状の基板１と、基板１の駆動用で慣
性主軸を中心とした同心円上に配置される３個のアクチ
ュエータ２Ｍ，２Ｒ，２Ｌと、これら各アクチュエータ
の近傍で、かつ前記慣性主軸を中心とする同心円上に配
置されて基板１の変位を計測する３個の位置センサ３
Ｍ，３Ｒ，３Ｌと、これら位置センサの各出力に基くフ
ィードバック信号を指令電圧５Ｍ，５Ｒ，５Ｌと比較し
て偏差信号ｅM，ｅR ，ｅL を得、前置増幅器６Ｍ，６
Ｒ，６Ｌと補償器７Ｍ，７Ｒ，７Ｌを介して電力増幅器
８Ｍ，８Ｒ，８Ｌを励磁してアクチュエータ２Ｍ，２
Ｒ，２Ｌを駆動するフィードバック装置とを備えた微動
位置決め制御装置において、フィードバック装置は、基
板１の慣性主軸に関する変位ベクトルから位置センサ３
Ｍ，３Ｒ，３Ｌによる計測点までの変換行列の逆行列
を、前記慣性主軸に関する前記変位ベクトルからアクチ
ュエータ２Ｍ，２Ｒ，２Ｌによる駆動点までの変換行列
の右側に掛けた補正演算行列を求めて出力する補正演算
行列演算手段９を位置センサ３Ｍ，３Ｒ，３Ｌの出力側
に備え、この演算手段９の出力をフィードバック信号Ｚ
SM(CO)，ＺSR(CO)，ＺSL(CO)とするものであることを特
徴とする。
【００１５】まず、この構成における微動位置決め機構
の運動方程式を導出する。そこで、基板１を上面から図
示した場合の座標を図３に示す。同図に示すように、ア
クチュエータ２Ｍ，２Ｒ，２Ｌおよび位置センサ３Ｍ，
３Ｒ，３Ｌは、それぞれ図中に記入した座標に配置され
る。また、座標中心と機構の慣性中心は一致しているも
のとし、図示のように（ｘ，ｙ，ｚ）座標を定める。こ
のとき、ラグランジュの方程式を解いて運動方程式は次
の数１式のようになる。
の運動方程式を導出する。そこで、基板１を上面から図
示した場合の座標を図３に示す。同図に示すように、ア
クチュエータ２Ｍ，２Ｒ，２Ｌおよび位置センサ３Ｍ，
３Ｒ，３Ｌは、それぞれ図中に記入した座標に配置され
る。また、座標中心と機構の慣性中心は一致しているも
のとし、図示のように（ｘ，ｙ，ｚ）座標を定める。こ
のとき、ラグランジュの方程式を解いて運動方程式は次
の数１式のようになる。
【００１６】
【数１】 ただし、使用した記号の意味は以下のとおりである。
【００１７】 X=[z, θx,θy]T ：慣性主軸の変位ベクトル Z[m]：基板１の慣性主軸のｚ軸変位 θx[rad]：基板１のｘ軸回りの回転角度 θy[rad]：基板１のｙ軸回りの回転角度 M=diag(m,Jx,Jy) ：慣性行列 ｍ[kg]：基板１の質量 Jx[kgm2]：基板１のｘ軸回りの慣性モーメント Jy[kgm2]：基板１のｙ軸回りの慣性モーメント k[N/m]：アクチュエータ２Ｍ，２Ｒ，２Ｌのバネ定数 d[Nsec/m] ：アクチュエータ２Ｍ，２Ｒ，２Ｌの粘性摩
擦係数 A=diag(aM,aR,aL)[m/V] ：アクチュエータ２Ｍ，２Ｒ，
２Ｌの電圧変位変換係数 U=[uM,uR,uL]T[V]：アクチュエータ２Ｍ，２Ｒ，２Ｌへ
の印加電圧ベクトル θd[rad]：アクチュエータの配置角度 θx[rad]：位置センサの配置角度 ｌd[m]：半径 ｌx[m]：半径 上付添字Ｔ：転置行列 （｀）：時間微分 ｓ：ラプラス演算子 Jxd ：数２式で表される、アクチュエータ駆動変位［ｚ
dM，ｚdR，ｚdL］T から慣性主軸に関する変位ベクトルＸまでの変換行列
擦係数 A=diag(aM,aR,aL)[m/V] ：アクチュエータ２Ｍ，２Ｒ，
２Ｌの電圧変位変換係数 U=[uM,uR,uL]T[V]：アクチュエータ２Ｍ，２Ｒ，２Ｌへ
の印加電圧ベクトル θd[rad]：アクチュエータの配置角度 θx[rad]：位置センサの配置角度 ｌd[m]：半径 ｌx[m]：半径 上付添字Ｔ：転置行列 （｀）：時間微分 ｓ：ラプラス演算子 Jxd ：数２式で表される、アクチュエータ駆動変位［ｚ
dM，ｚdR，ｚdL］T から慣性主軸に関する変位ベクトルＸまでの変換行列
【００１８】
【数２】 D：数３式で表される減衰係数行列
【００１９】
【数３】 K:数４式で表される剛性係数行列
【００２０】
【数４】 ここで、位置センサ３Ｍ，３Ｒ，３Ｌの部位での変位量
［ｚM ，ｚR ，ｚL ］T は、次の数５式の変換行列Ｊsx
の右側に慣性主軸の変位ベクトルｘ＝［ｚ，θx ，θ
y ］T を掛けることによって求められる。
［ｚM ，ｚR ，ｚL ］T は、次の数５式の変換行列Ｊsx
の右側に慣性主軸の変位ベクトルｘ＝［ｚ，θx ，θ
y ］T を掛けることによって求められる。
【００２１】
【数５】 位置センサをアクチュエータと同一場所に配置したと
き、すなわちコロケーションの場合には、上式において
θs →０、ｌs →ｌd とおけばよい。このときのＪsxを
Ｊsx(co)とおけば次の数６式を得る。
き、すなわちコロケーションの場合には、上式において
θs →０、ｌs →ｌd とおけばよい。このときのＪsxを
Ｊsx(co)とおけば次の数６式を得る。
【００２２】
【数６】 従って、位置センサ３Ｍ，３Ｒ，３Ｌの各出力に対して
次の数７式の補正行列演算を施すと、その出力はあたか
も位置センサ３Ｍ，３Ｒ，３Ｌがアクチュエータ２Ｍ，
２Ｒ，２Ｌの場所に配置され、その部位のｚ軸方向の変
位を計測したようになる。
次の数７式の補正行列演算を施すと、その出力はあたか
も位置センサ３Ｍ，３Ｒ，３Ｌがアクチュエータ２Ｍ，
２Ｒ，２Ｌの場所に配置され、その部位のｚ軸方向の変
位を計測したようになる。
【００２３】
【数７】 さて、具体的に数７式の要素は数５式の逆行列を計算し
て、それを数６式の右側に掛けることによって数８式の
ように求められる。
て、それを数６式の右側に掛けることによって数８式の
ように求められる。
【００２４】
【数８】 ここで、具体的な数値を入れて数８式を計算すると数９
式を得る。
式を得る。
【００２５】
【数９】 図１に示したように、数８式の補正行列演算手段９は変
位増幅器４Ｍ，４Ｒ，４Ｌの出力側に挿入される。フィ
ードバック装置はまた、補正行列演算手段９の出力信号
[zSM(CO),zSR(CO),zSL(CO)]Tと指令電圧入力端子５Ｍ，
５Ｒ，５Ｌに入力する指令電圧とを比較するように構成
される。
位増幅器４Ｍ，４Ｒ，４Ｌの出力側に挿入される。フィ
ードバック装置はまた、補正行列演算手段９の出力信号
[zSM(CO),zSR(CO),zSL(CO)]Tと指令電圧入力端子５Ｍ，
５Ｒ，５Ｌに入力する指令電圧とを比較するように構成
される。
【００２６】ここで、補正行列演算９の機能を説明して
おこう。出力信号[zSM(CO),zSR(CO),zSL(CO)]Tは数１０
式のように表現できる。
おこう。出力信号[zSM(CO),zSR(CO),zSL(CO)]Tは数１０
式のように表現できる。
【００２７】
【数１０】 位置センサ３Ｍ，３Ｒ，３Ｌは、対応するそれぞれのア
クチュエータ２Ｍ，２Ｒ，２Ｌのごく近傍に配置されて
いる。故に、数９式は対角優勢行列となる。数９式の非
対角項の値は、位置センサ３Ｍ，３Ｒ，３Ｌがアクチュ
エータ２Ｍ，２Ｒ，２Ｌと同じ場所に配置されているよ
うに見せるための補正項である。
クチュエータ２Ｍ，２Ｒ，２Ｌのごく近傍に配置されて
いる。故に、数９式は対角優勢行列となる。数９式の非
対角項の値は、位置センサ３Ｍ，３Ｒ，３Ｌがアクチュ
エータ２Ｍ，２Ｒ，２Ｌと同じ場所に配置されているよ
うに見せるための補正項である。
【００２８】例えば、ｚSM(CO)について数１０式を展開
したときには数１１式となる。
したときには数１１式となる。
【００２９】
【数１１】 位置センサ３Ｍはアクチュエータ２Ｍと近接しているの
で、アクチュエータ２Ｍの部位における変位量はほとん
ど位置センサ３Ｍの計測値で表現できるが、第２項と第
３項は各々位置センサ３Ｒ，３Ｌの計測値を使って位置
センサ３Ｍがアクチュエータ２Ｍの場所からずれている
ことによる誤差を修正している。もって、演算出力ｚ
SM(CO)は位置センサ３Ｍがあたかもアクチュエータ２Ｍ
の場所に存在して基板１の変位量を計測しているかの値
となる。他の演算出力ｚSR(CO)，ｚ SL(CO)も同様であ
る。
で、アクチュエータ２Ｍの部位における変位量はほとん
ど位置センサ３Ｍの計測値で表現できるが、第２項と第
３項は各々位置センサ３Ｒ，３Ｌの計測値を使って位置
センサ３Ｍがアクチュエータ２Ｍの場所からずれている
ことによる誤差を修正している。もって、演算出力ｚ
SM(CO)は位置センサ３Ｍがあたかもアクチュエータ２Ｍ
の場所に存在して基板１の変位量を計測しているかの値
となる。他の演算出力ｚSR(CO)，ｚ SL(CO)も同様であ
る。
【００３０】従って、図１の本発明に係る微動位置決め
制御装置によれば、変位増幅器４Ｍ，４Ｒ，４Ｌの出力
に補正行列演算を施したときの出力信号は、位置センサ
３Ｍ，３Ｒ，３Ｌをアクチュエータ２Ｍ，２Ｒ，２Ｌと
同じ場所に配置して変位増幅器４Ｍ，４Ｒ，４Ｌを通し
た出力と等価になる。もって、位置センサ３Ｍ，３Ｒ，
３Ｌとアクチュエータ２Ｍ，２Ｒ，２Ｌとを同一場所に
配置して、フィードバック装置を構成することが可能と
なる。この場合には、制御性を損なう不安定な零点は発
生しない。
制御装置によれば、変位増幅器４Ｍ，４Ｒ，４Ｌの出力
に補正行列演算を施したときの出力信号は、位置センサ
３Ｍ，３Ｒ，３Ｌをアクチュエータ２Ｍ，２Ｒ，２Ｌと
同じ場所に配置して変位増幅器４Ｍ，４Ｒ，４Ｌを通し
た出力と等価になる。もって、位置センサ３Ｍ，３Ｒ，
３Ｌとアクチュエータ２Ｍ，２Ｒ，２Ｌとを同一場所に
配置して、フィードバック装置を構成することが可能と
なる。この場合には、制御性を損なう不安定な零点は発
生しない。
【００３１】なお、圧電素子への印加電圧ベクトルＵか
ら位置センサ３Ｍ，３Ｒ，３Ｌの部位における変位量Ｘ
S ＝［ｚM ，ｚR ，ｚL ］T までの関係は次の数１２式
で表現できる。
ら位置センサ３Ｍ，３Ｒ，３Ｌの部位における変位量Ｘ
S ＝［ｚM ，ｚR ，ｚL ］T までの関係は次の数１２式
で表現できる。
【００３２】
【数１２】 ＵからＸs までの伝達関数行列をＧとおいて、各要素を
次の１３式のように定義する。
次の１３式のように定義する。
【００３３】
【数１３】 この場合、Ｇ12，Ｇ31，Ｇ32の要素に不安定零点が出現
することは容易に確認できる。したがって、位置センサ
３Ｍ，３Ｒ，３Ｌに対する変位増幅器４Ｍ，４Ｒ，４Ｌ
の出力をそのままフィードバックしている図２の従来の
微動位置決め制御装置においては、不安定な零点を有す
る微動位置決め機構に対してフィードバック装置が構成
されるので、閉ループ系の調整において制御性が悪いと
いう問題がある。一方、図１の装置の場合には不安定な
零点が発生しないので、制御性は良くなる。
することは容易に確認できる。したがって、位置センサ
３Ｍ，３Ｒ，３Ｌに対する変位増幅器４Ｍ，４Ｒ，４Ｌ
の出力をそのままフィードバックしている図２の従来の
微動位置決め制御装置においては、不安定な零点を有す
る微動位置決め機構に対してフィードバック装置が構成
されるので、閉ループ系の調整において制御性が悪いと
いう問題がある。一方、図１の装置の場合には不安定な
零点が発生しないので、制御性は良くなる。
【００３４】なお、微動位置決め機構に限らず、宇宙構
造物の制御においてもアクチュエータと位置センサの配
置は重要な課題である。コロケーションの条件で入出力
数が等しいとき、すべての零点が安定（実数が負）にな
ることが知られている。したがって、図２の場合には、
アクチュエータ２Ｍ，２Ｒ，２Ｌと位置センサ３Ｍ，３
Ｒ，３Ｌが同一位置に配置されてはいないので、すべて
の零点は安定なものとはならないのである。
造物の制御においてもアクチュエータと位置センサの配
置は重要な課題である。コロケーションの条件で入出力
数が等しいとき、すべての零点が安定（実数が負）にな
ることが知られている。したがって、図２の場合には、
アクチュエータ２Ｍ，２Ｒ，２Ｌと位置センサ３Ｍ，３
Ｒ，３Ｌが同一位置に配置されてはいないので、すべて
の零点は安定なものとはならないのである。
【００３５】さて、フィードバック装置内に補正行列演
算手段９を挿入した図１の微動位置決め制御装置と図２
に示す従来の微動位置決め制御装置の性能を比較するこ
とによって本発明の有効性を示そう。図４は、前置増幅
器６Ｍ，６Ｒ，６Ｌのゲインを等しくして順次増加する
ことによりループゲインを上げたときの、ステップ入力
に対する偏差信号ｅM の様子を図１と図２の微動位置決
め制御装置間で比較したものである。図４（ｂ）に示す
図１の装置の場合、不安定な零点の発生を補正行列演算
手段９のフィードバック装置内への挿入によって回避し
ているのでループゲインの増加に対する応答の振幅は図
４（ａ）の図２の場合に比較して抑えられている。
算手段９を挿入した図１の微動位置決め制御装置と図２
に示す従来の微動位置決め制御装置の性能を比較するこ
とによって本発明の有効性を示そう。図４は、前置増幅
器６Ｍ，６Ｒ，６Ｌのゲインを等しくして順次増加する
ことによりループゲインを上げたときの、ステップ入力
に対する偏差信号ｅM の様子を図１と図２の微動位置決
め制御装置間で比較したものである。図４（ｂ）に示す
図１の装置の場合、不安定な零点の発生を補正行列演算
手段９のフィードバック装置内への挿入によって回避し
ているのでループゲインの増加に対する応答の振幅は図
４（ａ）の図２の場合に比較して抑えられている。
【００３６】図５は指令電圧入力端子５Ｍにステップ電
圧を印加したときの偏差信号ｅR の収束の様子を図１と
図２の微動位置決め制御装置間で比較したものである。
補正行列演算手段９を挿入した図１の場合の偏差信号ｅ
R はグランドに対して対称な応答波形になるが、図２の
装置の場合はグランドに対して偏りがある応答波形とな
る。微妙な差異であるが、零への偏差信号ｅR の収束は
図１の装置の方が良好である。
圧を印加したときの偏差信号ｅR の収束の様子を図１と
図２の微動位置決め制御装置間で比較したものである。
補正行列演算手段９を挿入した図１の場合の偏差信号ｅ
R はグランドに対して対称な応答波形になるが、図２の
装置の場合はグランドに対して偏りがある応答波形とな
る。微妙な差異であるが、零への偏差信号ｅR の収束は
図１の装置の方が良好である。
【００３７】なお、図１の実施例はアナログ演算回路で
制御系を構成しているが、この内の一部もしくは全部を
電子計算機のようなディジタル演算装置で置き換えても
かまわない。
制御系を構成しているが、この内の一部もしくは全部を
電子計算機のようなディジタル演算装置で置き換えても
かまわない。
【００３８】また、上述実施例では、３つのアクチュエ
ータ２Ｍ，２Ｒ，２Ｌが同一平面内に設けられ、それら
の鉛直ｚ軸方向の変位により並進１自由度と回転２自由
度の計３自由度を制御する微動位置決め機構を対象にし
ている。しかし、本発明はこのような３自由度の微動位
置決め機構に限定されるものではなく、より自由度の多
い機構に対しても本発明の主旨を逸脱しない範囲で適用
可能である。すなわち本発明の主旨は、位置決めする基
板１の慣性主軸に関する変位ベクトルＸから位置センサ
による計測点までの変換行列ＪSXの逆行列ＪSX -1を、慣
性主軸に関する変位ベクトルＸからアクチュエータによ
る駆動点までの変換行列ＪSX(CO)の右側に掛けた行列を
求めておき、補正行列演算ＪSX(CO)ＪSX -1を位置センサ
出力の出力側に挿入して、演算出力を各駆動軸に対する
指令電圧と比較するように位置決め制御の閉ループを構
成することにある。
ータ２Ｍ，２Ｒ，２Ｌが同一平面内に設けられ、それら
の鉛直ｚ軸方向の変位により並進１自由度と回転２自由
度の計３自由度を制御する微動位置決め機構を対象にし
ている。しかし、本発明はこのような３自由度の微動位
置決め機構に限定されるものではなく、より自由度の多
い機構に対しても本発明の主旨を逸脱しない範囲で適用
可能である。すなわち本発明の主旨は、位置決めする基
板１の慣性主軸に関する変位ベクトルＸから位置センサ
による計測点までの変換行列ＪSXの逆行列ＪSX -1を、慣
性主軸に関する変位ベクトルＸからアクチュエータによ
る駆動点までの変換行列ＪSX(CO)の右側に掛けた行列を
求めておき、補正行列演算ＪSX(CO)ＪSX -1を位置センサ
出力の出力側に挿入して、演算出力を各駆動軸に対する
指令電圧と比較するように位置決め制御の閉ループを構
成することにある。
【００３９】従って、剛物体に対して、少なくとも制御
する運動自由度分のアクチュエータと、少なくとも運動
自由度分の位置センサとを備え、各位置センサの出力を
フィードバックして対応する各アクチュエータを駆動す
るフィードバック装置が組まれた微動位置決め装置にお
いて、剛物体の慣性主軸に関する変位ベクトルから位置
センサによる計測点までの変換行列の逆行列を、慣性主
軸に関する変位ベクトルからアクチュエータによる駆動
点までの変換行列の右側に掛けた行列を求めておき、こ
の補正行列演算による演算を位置センサの出力側に挿入
して、演算出力を駆動軸に対する指令電圧と比較するよ
うにフィードバック装置の閉ループを構成することも本
発明の範囲に含まれる。
する運動自由度分のアクチュエータと、少なくとも運動
自由度分の位置センサとを備え、各位置センサの出力を
フィードバックして対応する各アクチュエータを駆動す
るフィードバック装置が組まれた微動位置決め装置にお
いて、剛物体の慣性主軸に関する変位ベクトルから位置
センサによる計測点までの変換行列の逆行列を、慣性主
軸に関する変位ベクトルからアクチュエータによる駆動
点までの変換行列の右側に掛けた行列を求めておき、こ
の補正行列演算による演算を位置センサの出力側に挿入
して、演算出力を駆動軸に対する指令電圧と比較するよ
うにフィードバック装置の閉ループを構成することも本
発明の範囲に含まれる。
【００４０】
【発明の効果】経験的にも明らかなように、零点が安定
なシステムは制御が容易に行なえる。この意味で位置セ
ンサとアクチュエータとを同一場所に配置する、という
コロケーションは都合のよい零点配置を与える。つま
り、制御性を損なうような不安定な零点は発生させな
い。しかるに、有限な物理寸法を有する位置センサとア
クチュエータとを機構全体の大きさに制約を設けて同一
位置に配置することは不可能であり、従って、必然的に
不安定な零点を生じさせてしまい制御しにくい機構に対
しフィードバック装置を付加していた。これに対し、位
置センサとアクチュエータの配置の寸法精度や角度精度
が高いときには、本発明におけるように位置センサ３
Ｍ，３Ｒ，３Ｌの出力全部を使った補正行列演算９をフ
ィードバック装置内に挿入することによって、あたかも
位置センサ３Ｍ，３Ｒ，３Ｌがアクチュエータ２Ｍ，２
Ｒ，２Ｌの部位の変位量を測定しているようにできる。
すなわち、コロケーションの状態が創出され、不安定な
零点の発生が回避できる。従って、本願発明によれば、
不安定な零点の存在に原因したオーバシュートやアンダ
シュートの発生がなくなり制御が容易になる、という効
果がある。例えば、ゲイン調整に対する系の応答性は素
直なものになる。
なシステムは制御が容易に行なえる。この意味で位置セ
ンサとアクチュエータとを同一場所に配置する、という
コロケーションは都合のよい零点配置を与える。つま
り、制御性を損なうような不安定な零点は発生させな
い。しかるに、有限な物理寸法を有する位置センサとア
クチュエータとを機構全体の大きさに制約を設けて同一
位置に配置することは不可能であり、従って、必然的に
不安定な零点を生じさせてしまい制御しにくい機構に対
しフィードバック装置を付加していた。これに対し、位
置センサとアクチュエータの配置の寸法精度や角度精度
が高いときには、本発明におけるように位置センサ３
Ｍ，３Ｒ，３Ｌの出力全部を使った補正行列演算９をフ
ィードバック装置内に挿入することによって、あたかも
位置センサ３Ｍ，３Ｒ，３Ｌがアクチュエータ２Ｍ，２
Ｒ，２Ｌの部位の変位量を測定しているようにできる。
すなわち、コロケーションの状態が創出され、不安定な
零点の発生が回避できる。従って、本願発明によれば、
不安定な零点の存在に原因したオーバシュートやアンダ
シュートの発生がなくなり制御が容易になる、という効
果がある。例えば、ゲイン調整に対する系の応答性は素
直なものになる。
【００４１】また、不安定な零点の発生を回避した微動
位置決め機構に対してはアクチュエータ２Ｍ，２Ｒ，２
Ｌと位置センサ３Ｍ，３Ｒ，３Ｌの空間的配置による干
渉を除去する非干渉化制御則の適用が容易になる、とい
う効果もある。
位置決め機構に対してはアクチュエータ２Ｍ，２Ｒ，２
Ｌと位置センサ３Ｍ，３Ｒ，３Ｌの空間的配置による干
渉を除去する非干渉化制御則の適用が容易になる、とい
う効果もある。
【図１】 本発明に係る微動位置決め装置の一実施例を
示すブロック図である。
示すブロック図である。
【図２】 従来の微動位置決め装置を示すブロック図で
ある。
ある。
【図３】 アクチュエータと位置センサの配置を示す座
標系である。
標系である。
【図４】 図１および図２の装置においてループゲイン
を順次上げたときのステップ応答の比較を示すグラフで
ある。
を順次上げたときのステップ応答の比較を示すグラフで
ある。
【図５】 図１および図２の装置においてアクチュエー
タ２Ｍをステップ駆動したときの偏差信号ｅR の比較を
示すグラフである。
タ２Ｍをステップ駆動したときの偏差信号ｅR の比較を
示すグラフである。
１：基板、２Ｍ，２Ｒ，２Ｌ：圧電素子などのアクチュ
エータ、３Ｍ，３Ｒ，３Ｌ：位置センサ、４Ｍ，４Ｒ，
４Ｌ：変位増幅器、５Ｍ，５Ｒ，５Ｌ：指令電圧入力端
子、６Ｍ，６Ｒ，６Ｌ：前置増幅器、７Ｍ，７Ｒ，７
Ｌ：補償器、８Ｍ，８Ｒ，８Ｌ：電力増幅器、９：補正
行列演算手段、ｅM ，ｅR ，ｅL ：偏差信号、ｚSM，ｚ
SR，ｚSL：変位増幅器４Ｍ，４Ｒ，４Ｌの出力、ｚ
SM(CO)，ｚSR(CO)，ｚSL(CO)：補正行列演算手段９の出
力。
エータ、３Ｍ，３Ｒ，３Ｌ：位置センサ、４Ｍ，４Ｒ，
４Ｌ：変位増幅器、５Ｍ，５Ｒ，５Ｌ：指令電圧入力端
子、６Ｍ，６Ｒ，６Ｌ：前置増幅器、７Ｍ，７Ｒ，７
Ｌ：補償器、８Ｍ，８Ｒ，８Ｌ：電力増幅器、９：補正
行列演算手段、ｅM ，ｅR ，ｅL ：偏差信号、ｚSM，ｚ
SR，ｚSL：変位増幅器４Ｍ，４Ｒ，４Ｌの出力、ｚ
SM(CO)，ｚSR(CO)，ｚSL(CO)：補正行列演算手段９の出
力。
Claims (2)
- 【請求項１】 並進１自由度と回転２自由度において位
置決めされる平板状の基板と、 前記基板の駆動用で慣性主軸を中心とした同心円上に配
置される３個のアクチュエータと、 前記各アクチュエータの近傍で、かつ前記慣性主軸を中
心とする同心円上に配置されて前記基板の変位を計測す
る３個の位置センサと、 前記位置センサの各出力に基づくフィードバック信号を
指令電圧と比較して偏差信号を得、前置増幅器と補償器
を介して電力増幅器を励磁して前記アクチュエータを駆
動するフィードバック装置とを備えた微動位置決め制御
装置において、 フィードバック装置は、前記基板の前記慣性主軸に関す
る変位ベクトルから前記位置センサによる計測点までの
変換行列の逆行列を、前記慣性主軸に関する前記変位ベ
クトルから前記アクチュエータによる駆動点までの変換
行列の右側に掛けた補正演算行列を求めて出力する演算
手段を前記位置センサの出力側に備え、この演算手段の
出力を前記フィードバック信号とするものであることを
特徴とする微動位置決め制御装置。 - 【請求項２】 位置決めされる剛物体と、少なくともそ
の位置決めを制御する運動自由度分のアクチュエータ
と、少なくともこの運動自由度分の前記剛物体の位置を
検出する位置センサとを備え、前記位置センサのそれぞ
れの出力に基づくフィードバック信号をフィードバック
して前記アクチュエータを駆動する閉ループのフィード
バック装置を備えた微動位置決め制御装置において、 フィードバック装置は、前記剛物体の慣性主軸に関する
変位ベクトルから前記位置センサによる計測点までの変
換行列の逆行列を、前記変位ベクトルから前記アクチュ
エータによる駆動点までの変換行列の右側に掛けた補正
演算行列を求めて出力する演算手段を前記位置センサの
出力側に備え、この演算手段の出力を前記フィードバッ
ク信号とするものであることを特徴とした微動位置決め
制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17094493A JPH075925A (ja) | 1993-06-18 | 1993-06-18 | 微動位置決め制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17094493A JPH075925A (ja) | 1993-06-18 | 1993-06-18 | 微動位置決め制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH075925A true JPH075925A (ja) | 1995-01-10 |
Family
ID=15914271
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17094493A Pending JPH075925A (ja) | 1993-06-18 | 1993-06-18 | 微動位置決め制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH075925A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP4060451A1 (en) * | 2021-03-15 | 2022-09-21 | SmarAct Holding GmbH | Temperature-adjusting positioning device and method |
-
1993
- 1993-06-18 JP JP17094493A patent/JPH075925A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP4060451A1 (en) * | 2021-03-15 | 2022-09-21 | SmarAct Holding GmbH | Temperature-adjusting positioning device and method |
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