JPH0757446B2 - ワイヤ電極による放電加工のための液体注入装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、電気食刻装置もしくは放電加工装置のための
加工流体を注入するノズルに係り、特に、加工されるべ
き部片又は他の素子と注入ノズルとの衝突から派生する
深刻な事態を回避する食刻装置のための手段に係る。

従来の技術 実際に、電気食刻（EDM）により加工を行なう装置、よ
り詳細には、ワイヤ電極で切削を行なうEDM装置を使用
する場合には、粗切削の場合にも仕上げの場合にも非常
に高い加工速度が要求される。

高速度で加工を行なう場合には、絶縁液体を注入するた
めのノズルを、加工されるべき部片にできるだけ接近し
て配置し（多くの場合には数十分の１ミリメータ程度離
すが、時には接触させることもある）、食刻された金属
の粒子や、加工液体の熱クラックにより生じた残留物を
除去するに充分な量の絶縁液体を所要の圧力で注入する
ことが必要である。充分に強力なものでなければならな
いこの注入は、高速加工中にワイヤを冷却するのに有用
であると共に、液相内の部片とワイヤとの間に絶縁材を
位置保持するのにも有用である。実際に、強力な加工中
にこの位置で消散される高いエネルギは、この液体をガ
ス相に変換する傾向がある。

高い注入圧力を得るために、注入ノズルの出口の流路の
断面積を小さくすることが考えられる。

然し乍ら、このようにすると、ノズルに接触することな
くノズルの軸に対してワイヤがとり得る傾斜の角度が制
限され、或る加工作業中にはワイヤの傾斜度を高くしな
ければならないという点で問題が生じる。更に、ノズル
の出口直径が或るサイズより大きい場合に最良の加工条
件が得られることが実験によって分かっている。従っ
て、ノズルのオリフィスを加工されるべき部片に非常に
接近して配置して両者の間での噴出液体の損失を最小に
し、非常に高速度な加工を行なえるようにすることが必
要である。実際に、数十分の１ミリメータという非常に
小さい距離をノズルと加工されるべき部片との間に維持
する場合には、加工されるべき部片の突出部又は例えば
この部片を固定するためのクランプ等の素子とノズルと
が衝突することによってノズルに損傷が及ぶという危険
を招く。従って、操作者は、全てのあり得べき衝突を前
以て予知し、例えば、加工経路を制御するプログラムを
変更するか又は部片を装置に固定する仕方を変えること
によって衝突を回避する処置をとらねばならない。この
ような調整により加工作業が実質的に経費高となり且つ
ゆっくりとしたものになることは言うまでもない。一
方、これらの予防処置が無視され、その結果、ノズル
が、２つの加工段階間での並進移動中又は切削自体の間
に例えば固定クランプと衝突した場合には、このノズル
と、これが取り付けられた加工ヘッドの幾つかのもろい
素子が一般に損傷を受けるか又は使用不能となって交換
しなければならなくなり、これにより、電気食刻装置を
若干長い時間停止したり交換部品のコストがかゝったり
することになる。

米国特許第4,675,492号に開示されたポリウレタンワッ
シャのような衝撃吸収器具や、又は注入ノズルのオリフ
ィスを加工すべき部品に若干の圧力を加えて配置できる
ようにする他の器具をノズルに設けることができ、これ
により、ノズルは、上記の米国特許第4,675,492号に開
示されたように、部片の小さな不規則部をたどることが
できるようになる。又、ノズルを前方衝撃の場合に引っ
込めることのできる多数の装置が知られている。

発明が解決しようとする問題点 然し乍ら、これらの公知の装置の中で、例えば、加工さ
れるべき部片と固定素子のような障害物との横方向の衝
突を軽減することのできるものは皆無である。一般的
に、公知技術によれば、あらゆる種類のシステムによる
か、切削軌道をプログラミングするか、又はノズルと加
工すべき部片との間の距離を制御する複雑な制御器によ
るかのいずれかによって衝突を回避することが推奨され
ている。そこで、本発明の目的は、加工液体のための注
入ノズルを有する注入装置であって、注入ノズルが戻り
力によってその作動位置に保持されそして戻り力に平行
でない外部からの力の作用のもとではその作用位置から
傾斜できるようにノズルが取り付けられているような注
入装置を提供することである。

問題点を解決するための手段 このような構成では、前方衝突中に垂直方向即ち軸方向
にノズルを引っ込めるだけではなく、横方向衝突中に水
平軸の周りでノズルを揺動させることによってノズルを
保護することができる。

従って、本発明によって構成された注入ノズルでは、横
方向及び前方の衝突が、ノズル自体についても、ノズル
を固定する加工ヘッドに取り付けられた衝撃に敏感なも
ろい素子についても、公知のノズルの場合より、あまり
重大でなくなる。これにより、加工ヘッドと加工される
べき部片との間の相対的な移動の制御及びプログラミン
グを簡単化することができる。これは、特に、加工され
るべき部片の厚みに基づいて加工ヘッドの高さを微細に
制御することや、加工されるべき部片との前方衝突を回
避しつつノズルを加工位置にもっていくために従うべき
（且つプログラムされるベき）予防処置や、加工される
べき部片を保持する素子のような加工ゾーンに存在する
全ての障害物を加味しながら切削経路をプログラミング
することを無用な又は不要なものにする。

本発明の１つの好ましい実施例によれば、注入装置に
は、ノズルがその作用位置を離れる時に信号を送信する
システムが設けられる。この信号は、EDM装置のデジタ
ル制御器に送られる。これにより、多数のパラメータ、
特に、加工の停止又は加工速度の低下を制御するパラメ
ータ、軸Ｚに沿った当該加工ヘッドの位置を制御するパ
ラメータ及び加工流体の注入出力を制御するパラメータ
に作用を与えることができる。これにより、ノズルと加
工されるべき部片との相対的な移動は、加工ヘッドに取
り付けられた衝撃感知素子又はノズルへの損傷を回避す
るように遮断することができる。然も、それとは別に、
衝突の場合に加工を停止する必要が全くなくなる。即
ち、加工速度を低下させ、ノズルを部片から離し、ノズ
ルが障害物を越えたら高速な加工状態を再開すれば充分
であり、操作者が介入することなく作業を自動的に実行
することができる。

又、このようなシステムは、ノズルのオリフィスを加工
すべき部片から分離する距離を決定する（そして必要な
らば制御する）ことができる。例えば、ノズル内の液圧
又は液体の流量を連続的に測定することができ、この圧
力又は流量が例えばノズルの引っ込み又は傾斜によって
変化するか或いはノズルを加工すべき部片から分離して
いる距離の変化によって変化した時に信号を発生するシ
ステムが設けられる。この信号は、例えば、EDM装置の
デジタル制御部に送られ、上記圧力又は流量について測
定した変化と、もし必要であれば、部片の上又は下の加
工ヘッドの高さ又はノズルの圧力及び供給流量とに基づ
いて加工状態を自動的に変えることができる。

ノズルを部片から所与の距離に維持することができるの
で、表面が滑らかでも平らでもない部片即ち表面が傾斜
した部片を最高の可能な速度で加工することができる。
又、部片の縁を加工したり、経路が部片の縁に達した時
に加工を自動的に停止したりすることもできる。

工具電極が既に加工した経路又は部片の縁に接近して、
ノズルがその縁又は既に加工した溝を横切る時には、圧
力又は流量を下げることができることによって別の効果
が得られる。これら２つの場合には、加工速度を自動的
に低下させることのみが所望される。というのは、これ
ら２つの場合には、ワイヤ電極を切断するおそれがある
からである。従って、この速度低下をプログラムする必
要はない。又、密接な軌道カーブを描いたり或いは部片
の縁に非常に接近して加工を制御したりすることができ
る一方、加工条件に適応させることによってワイヤが切
断するおそれを減少し、然も、加工流体の注入出力（及
び経路の幾何学的形状）に対して複雑なプログラミング
を行なわなくてよいようにすることができる。

本発明による加工流体注入装置は、多数のやり方で実施
することができる。添付図面には、幾つかの実施例が一
例として示されている。

実施例 第１図は、本発明による装置をその作用位置において、
即ち、その軸が垂直に配置される位置において示してい
る。参照番号１は、注入装置のケースを示しており、こ
のケース内には、電気食刻によって加工を行なう装置の
上部ワイヤガイド２が取り付けられている。このケース
１は、装置の上部加工ヘッドの一部分を形成し、このヘ
ッドは、図示明瞭化のため及びワイヤで電気食刻を行な
う装置の他部分と同様に当業者に良く知られているため
にあまり詳細には示してない。又、この装置は、本質的
に上部ヘッドと一般に対称的な（この理由で同様に図示
されていない）下部の加工ヘッドも有している。ケース
１には、ねじ切りされたリング１′が設けられている。
ワイヤ電極３は、上部のワイヤガイド２と下部のワイヤ
ガイド（図示せず）との間に延びるようにされ、固定ク
ランプ10によって装置の加工テーブルに保持された部片
９を電気食刻によって切断する。

ケース１の下部において、リング１′は加工液体のため
のチャンバ４を画成し、このリングには内部フランジ６
が設けられており、ここには、チャンバ４の底部を形成
する円錐状の注入ノズル５の周囲部がのせられる。この
ノズルが電極として働いてワイヤによってそれ自体が偶
発的に加工されることのないようにするために、このノ
ズルは、例えば、プラスチックのような絶縁材料で形成
されるのが好ましい。加工液体は、ケースに設けられた
チャンネル７を通して或る圧力でチャンバ４へ送り込ま
れる。この液体の圧力と、戻りバネ８とによって、ノズ
ル５の周囲部がフランジ６に押し付けられ、ノズル５は
ケース１の密接シールと嵌合させられ、これにより、両
者の間から液体が漏れないようにされる。更に、バネ８
は、チャンネル７から送られる液体の流れがワイヤ３に
著しく大きな横方向の力を及ぼしてこれを不所望に曲げ
ることがないようにすることにより噴射ブレーカとして
働く。ワイヤガイド２の穴サイズは、一般に、ワイヤ３
の断面より若干大きいだけに過ぎず、この開口を通して
著しい量の加工液体が漏れないようにする。然し乍ら、
もし所望ならば、別の継手（図示せず）をワイヤの周り
に設けてもよい。この下部において、ノズル５は、液体
を加工されるべき部片９に向けるための、より詳細に
は、ワイヤと部片との間の加工によって生じたスペース
の内部に向けるためのオリフィスを有している。このス
ペースは、その中で電気放電が行なわれるが、一般に、
ギャップと称する。チャンバ４からの加工液体の放出
は、このオリフィスを通して直接行なってもよいが、第
２図を参照して以下で説明するように、このオリフィス
においてスライドすることのできる円筒状のノーズピー
ス11をオリフィスに設けるのが好ましい。

第２図は、切断経路が加工されるべき部片のクランプ10
に接近し過ぎたために（部片９上のクランプの高さＨ
は、この部片とノーズピース11との間の自由高さｈより
大きい）円錐ノズル５が固定クランプ10に衝突した位置
で、第１図の装置を示している。クランプ10がノズルに
及ぼす力は、第２図において左に向いた成分と、第２図
において上に向いた成分とを示している。これらの成分
の比は、ノズルの円錐性、その摩擦係数、等によって左
右される。従って、これらのパラメータは、クランプ10
によりノズルに及ぼされる力でノズルを第２図に示すよ
うに傾斜させ、これにより、第２図にＬと示された位置
でノズルをフランジ６から持ち上げさせるように、周囲
条件に基づいて選択される。この傾斜位置では、矢印で
示すようにノズル５とフランジ６との間で液体が漏れ出
し、チャンバ４の圧力を低下させる。この圧力の低下
は、パイプ14によってチャンバ４に接続された圧力計12
に表示される。このパイプから分岐している圧力−電流
トランスジューサ13は、このような圧力低下が生じた際
に電気的な警報信号を送信するように構成されている。
この信号は、操作者に警報を与えるのに用いられる。こ
れは、例えば、ノズルが障害物を「跳び越える」間に加
工速度を低下できるようにすることにより、装置のデジ
タル制御器により加工の操作シーケンスに充分な作用を
与えるように利用するのが好ましい。このような装置の
制御に精通した者であれば、トランスジューサによって
圧力低下が指示された時にとるべき非常に多数の処置の
中から状況に応じて何等の困難もなく選択を行なうこと
ができよう。この圧力低下は、横方向又は前方の衝突
や、或いはノズルが加工されるべき部片の縁に到達する
か既に加工された溝とノズルが重なることによって生じ
る。

これらの処置の中には、例えば、次のようなものがあ
る。警報信号が更に送信されることにより加工速度を下
げるか又は加工を完全に停止する；モータ（図示せず）
の速度を下げるか又は停止して部片に対するワイヤの相
対的な横方向移動又はワイヤの長手方向移動を確保す
る；上部の加工ヘッドを垂直に動かす；加工流体の圧力
又は流量を増加する；等々。ノズルの片側又は他側がそ
の座部から持ち上がった時の圧力低下を増幅するため
に、第３図に特に示されたように、チャンバ４の側壁の
基部に１つ又は複数の空胴16が設けられている。これら
の空胴は、ノズルがその周囲部の何等かの点でフランジ
６から離れる時に液体を脱出し易くする転流チャンネル
を形成する。従って、これらの空胴は、ノズルが持ち上
がり始めた時にチャンバ４内の液体によって与えられる
圧力の増加を防止すると同時に、ノズルとその座部との
間での液体の漏れに続く圧力の低下を促進させる。

ワイヤによる切断のプログラミングエラー等によりこの
切断が終了した時にワイヤ電極３が部片の縁に配置され
そして注入装置の出口開口がこの部片を越えた場合に
も、チャンバ４内の圧力が充分に低い値まで下降し、ト
ランスジューサ13により警報信号が発生されるか又は下
降プロセスが停止されるか或いは他の適当な段階が実行
されることに注意されたい。

ノズル５のオリフィス内でスライドするように取り付け
られたノーズピース11の動作について詳細に述べる。特
に、加工速度が高い場合に、効率的な注入を得るために
は、注入装置の出口と加工されるべき部片の表面との間
に非常に小さなスペースｈのみを残すのが効果的であ
る。これらの状態のもとでは、特に、ノズルがプラスチ
ックで形成されていてチャンバ４内の圧力や他の理由で
容易にそってしまう時には、ノズルと注入装置との偶発
的な接触を回避することが困難である。加工液体は本質
的に圧縮不能なものであるから、部片９によってノズル
５に直接与えられる垂直方向の力は、もしこれら２つの
素子が互いに接触した場合には、その殆ど全部がケース
１に伝えられ、そしてこのケースを横切ってこれに保持
された加工ヘッドへと伝わり、加工の精度に悪影響を及
ぼすそりを生じさせるおそれを招く。このため、ノズル
５のオリフィスには、オリフィス内で軸方向に容易にス
ライドできると共に偶発的な短絡を防止するように好ま
しくは絶縁材料で形成された円筒状のノーズピース11が
設けられている。部片９がこのノーズピースに接触した
場合には、これがバネ８の力に対抗してスライドし、チ
ャンバ４内の圧力を著しく高めることはなく、従って、
ケース１に力を及ぼすことはない。更に、ノーズピース
11は安価であり、液体のための出口オリフィスの断面積
を変えることが所望されるか又は部片９との摩擦によっ
てノーズピースが摩耗した時にはこれを容易に交換する
ことができる。このような摩擦によってノーズピースが
劣化するのを防ぐために、例えば、「テフロン」のよう
な硬度の低いプラスチックでノーズピース11を形成する
ことができる。第１図及び第２図は、円筒状のノーズピ
ース11を示している。然し乍ら、このノーズピースは、
いかなる他の形状のものであってもよく、例えば、ノズ
ルの内面に向かって広がった円錐のような形状でもよい
が、このような形状は、ノズルの内部に向かってノーズ
ピースをスライド移動させることが明らかである。

第１図及び第２図に示されたバネ８は、任意なものであ
り、ノズル５をその作用位置に保持するには、チャンバ
４内に存在する加工液体の液圧で充分である。更に、こ
のバネは、既知の形式の他の弾性素子、例えば、ノズル
５の周囲に形成された円形ノッチに設置されたＯリング
継手30（第4a図及び第4b図）と交換されてもよい。この
方式では、前方衝撃が生じても、ノズルを休止位置にく
さび固定したまゝにすることができる。第4a図に示され
たような装置は、ケース１におけるノズルの移動を「拘
束」するように作用する。より詳細には、チャンバ４内
に圧力がない場合に、ノズルを「高い」位置（即ち、休
止位置：その周囲がチャンバ４の上部に接近する）に
「くさび」固定するか又は「低い」位置（即ち、作用位
置：その周囲がフランジ６に接触する）に「くさび」固
定することにより制御を行なうことができる。又、チャ
ンバ４内に圧力が確立された時には何の作用も与えない
ように構成することができる（第4b図）。

チャンバ４内の圧力を測定してその測定値に基づいて電
気信号を発生する代わりに、ノズルの供給流量を測定し
て電気信号を発生することができる。

注入装置の出口と加工されるべき部片９との間のスペー
スの高さｈを加工中に設定点hoに保持することが所望さ
れる場合には、チャンバ４内の圧力の値を用いて任意の
瞬間の効果的な高さｈを決定することができる。この決
定は、液体をチャンバ４に供給するポンプの特性、液体
の粘性、ギャップの寸法、等を考慮して行なうもので、
当業者にとってはルーチン作業的なことである。又、当
業者であれば、圧力（又は流量）に基づく信号を計算し
てデジタル制御器に送信し、部片と注入装置との間隔を
所定の値ｈに維持するか又は予め確立されたプログラム
に基づいてこれを変えるようにこの間隔を制御する回路
（おそらくはプログラムによって制御される）を形成す
ることができよう。間隔設定点hoに対応する圧力設定点
Poを決定する最も簡単な方法は、任意の機械的、液圧的
又は他の手段によって間隔を値hoに調整した後にその時
の加工条件のもとでチャンバ４内に確立された圧力を測
定することであることが明らかである。

更に、チャンバ４内の圧力の測定値は、ワイヤと加工さ
れるべき部片との間に生じる電気放電の周波数及び振幅
を調整するのに使用することができる。

ノズルが障害物に当たった時には、絶縁液体が転流チャ
ンネルを通して流れるか又はノズルのオリフィスが加工
されるべき部片の表面ともはや平行でなくなることによ
りチャンバ４内の圧力が低下する。このような時には、
絶縁液体は、もはや、所要の圧力及び充分な量でギャッ
プに注入されず、ワイヤの切断を招く。

このような状態及び切断のおそれは、ノズルが障害物に
当たった時だけでなく、次のようなものを含む多数の他
の場合にも生じる。即ち、装置が既に部片に加工された
１つ又は２つ以上のスリットに接近して加工を行なう時
（パケッティング作業中）；部片の縁付近又は部片の開
口付近で加工を行なう時；部片の下面又は上面に凹凸が
ある時（アルミニウムの押出しダイ）；等々。

これら全ての場合には、ワイヤの送給状態が悪化する。
本発明の装置によりチャンバ４内で検出された圧力又は
流量の低下から自動的に得られる加工速度の低下（又は
加工の停止）は、ワイヤ電極の切断のおそれを少なくす
る好ましい手段であることが明らかである。

第５図は、例えば、ノズル５における加工液体の圧力の
関数として放電の周波数に作用を及ぼすことにより加工
電流を調整する回路の実施例を示すものである。第５図
において、ノズル５が、非加工部片９を固定するクラン
プ10と衝突したとする。ワイヤ電極３はガイド２を通
り、次いで、加工ゾーンを通り、第２のガイド２を通
り、最終的に加工ゾーンから引き出される。チャンバ４
内の圧力が圧力計12によって測定され、トランスジュー
サ13によって電気信号に変換される。比較器22は、この
信号を、チャンバ４内の圧力設定点に対応する信号Ｖと
比較する。比較器は、これら２つの信号の差を表わす信
号を増幅器23へ送り、その出力信号は、EDM装置のデジ
タル制御器24へ送られる。この制御器は、受信した信号
に基づいて制御信号を発生し、この制御信号は、チャン
バ４内の圧力の変化に基づいて所望通りに周波数を変更
して加工インパルスを供給するように発生器25に作用す
る。加工インパルスは、26及び26′で示された接点によ
って通常のやり方でワイヤ３に送られる。

以上、本発明の幾つかの実施例を説明したが、本発明の
範囲及び精神から逸脱せずに他の変更や修正がなされ得
ることが当業者に明らかであろう。

【図面の簡単な説明】

第１図は、ノズルを作用位置において示した本発明の一
実施例の断面図、 第２図は、ノズルに横方向の力が働いた時の第１図の構
成を示す図、 第３図は、第１図のIII−III線に沿った断面図、 第４図は、ノズルの別の実施例を示す図、そして 第５図は、注入ノズルにおける液圧に基づいて加工イン
パルスを制御する回路を示す回路図である。 １……注入装置のケース １′……ねじ切りされたリング ２……上部ワイヤガイド ３……ワイヤ電極 ４……チャンバ、５……ノズル ６……フランジ、７……チャンネル ８……戻りバネ ９……加工されるべき部片 10……固定クランプ 12……圧力計 13……圧力−電流トランスジューサ 14……パイプ

フロントページの続き (72)発明者 ジョセフ ジョセラン フランス国 エフ‐74350 ウルセイユ ルート デュ スート（番地なし) (56)参考文献 特開 昭61−90828（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−56826（ＪＰ，Ａ) 実開 昭60−186135（ＪＰ，Ｕ)

Claims (14)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】傾斜することのないケース内に加工液体注
   入ノズルが漏密に嵌め込まれ、前記のケースと前記のノ
   ズルの内側によって形成されるチャンバ内の加工液体の
   圧力が少なくとも回復力の一部となって前面衝突の際前
   記のノズルを作用位置に戻してその位置に保つようにな
   っている、ワイヤ電極による放電加工のための液体注入
   装置において、 前記の回復力と平行しない外力の作用により前記のノズ
   ルは前記のケースの位置を変えることなく作用位置から
   傾くように取り付けられ、それによって前記のノズルと
   前記のケースとの間で加工液体を漏出させることを特徴
   とするワイヤ電極による放電加工のための液体注入装
   置。
2. 【請求項２】回復力の一部はノズルをケースへ結合する
   弾性要素により生じる特許請求の範囲第１項に記載のワ
   イヤ電極による放電加工のための液体注入装置。
3. 【請求項３】弾性要素がスプリングである特許請求の範
   囲第２項に記載のワイヤ電極による放電加工のための液
   体注入装置。
4. 【請求項４】チャンバに接続されたポンプを含む加圧液
   体の投入手段を更に具備し、ケース及びノズルの縁は、
   液体の圧力で互いに接触配置されるようになった相補的
   な表面を有していて、これらの間から液体が流れ出ない
   ようにする漏密なシール接合部を形成する特許請求の範
   囲第１項に記載のワイヤ電極による放電加工のための液
   体注入装置。
5. 【請求項５】ケース及びノズルの縁の相補的な表面に隣
   接しているケースとノズルの部分もしくはケースとノズ
   ルの中の一方の部分が、ノズルが傾斜したり、その作用
   位置から引っ込んだときにケース及びノズルの縁間の自
   由通路を拡大する末広がりの形となっている特許請求の
   範囲第４項に記載のワイヤ電極による放電加工のための
   液体注入装置。
6. 【請求項６】チャンバに存在する圧力又はチャンバに送
   られる加工液体の流量に基づいて電気信号を送信するよ
   う液圧−電気トランスジューサをチャンバに接続した特
   許請求の範囲第１項に記載のワイヤ電極による放電加工
   のための液体注入装置。
7. 【請求項７】トランスジューサによって送られた電気信
   号を放電加工装置のデジタル制御器に送信する手段を備
   えている特許請求の範囲第６項に記載のワイヤ電極によ
   る放電加工のための液体注入装置。
8. 【請求項８】トランスジューサによって送られた電気信
   号によって制御されそしてこのトランスジューサによっ
   て送られた信号に基づいて放電加工装置のインパルス発
   生器に作用するに適した制御信号を発生する制御器を備
   えている特許請求の範囲第６項に記載のワイヤ電極によ
   る放電加工のための液体注入装置。
9. 【請求項９】加工されるべき部片をワイヤ電極に対して
   移動するか又はノズルの垂直位置を制御するように働く
   少なくとも１つのモータに作用するに適した信号を発生
   する手段を備えている特許請求の範囲第６項に記載のワ
   イヤ電極による放電加工のための液体注入装置。
10. 【請求項１０】トランスジューサによって送られた電気
    信号に基づいて加工を停止させる信号を発生する手段を
    備えている特許請求の範囲第６項に記載のワイヤ電極に
    よる放電加工のための液体注入装置。
11. 【請求項１１】垂直にスライドさせることができると共
    に回復力によってその作用位置に保持できるようにノズ
    ルのオリフィスに取り付けられた取外し可能なノーズピ
    ースを備えた特許請求の範囲第１項に記載のワイヤ電極
    による放電加工のための液体注入装置。
12. 【請求項１２】円筒状のノーズピースを備えた特許請求
    の範囲第11項に記載のワイヤ電極による放電加工のため
    の液体注入装置。
13. 【請求項１３】ノズルの外面は、横方向の損害物に対し
    て阻止されたまゝとならないような形状にされた裁頭円
    錐の表面を有している特許請求の範囲第１項に記載のワ
    イヤ電極による放電加工のための液体注入装置。
14. 【請求項１４】トランスジューサによって発生された制
    御信号が、加工放電の周波数を低下させる特許請求の範
    囲第６項に記載のワイヤ電極による放電加工のための液
    体注入装置。