JPH075274Y2 - ２段式油回転真空ポンプ - Google Patents
２段式油回転真空ポンプInfo
- Publication number
- JPH075274Y2 JPH075274Y2 JP4724789U JP4724789U JPH075274Y2 JP H075274 Y2 JPH075274 Y2 JP H075274Y2 JP 4724789 U JP4724789 U JP 4724789U JP 4724789 U JP4724789 U JP 4724789U JP H075274 Y2 JPH075274 Y2 JP H075274Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pump
- oil
- oil supply
- pump chamber
- stage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この考案は２段式の油回転真空ポンプ、特に真空封止用
の油を循環させるための給油ポンプを持った２段式油回
転真空ポンプに関する。
の油を循環させるための給油ポンプを持った２段式油回
転真空ポンプに関する。
従来、第４図及び第５図に示すような２段式油回転真空
ポンプが知られている。即ち、ケーシング１内には短円
柱形のポンプ室２及び３が形成されており、共通の回転
軸４に取付けられた短円柱形のローター５及び６が上記
各ポンプ室内にそれぞれ配置されている。ポンプ室２及
び３は、それぞれ吸入口７及び８と吐出口９及び10とを
有し、ポンプ室２の吐出口９はポンプ室３の吸入口８
に、ケーシング１に形成された排気路11によって連通さ
れている。ポンプ室３には、軸４に連動して駆動される
給油ポンプ12から給油路13を通って封止油が供給され、
ポンプ室２には、ポンプ室３からケーシング１に設けた
給油路14を通って封止油が供給される。
ポンプが知られている。即ち、ケーシング１内には短円
柱形のポンプ室２及び３が形成されており、共通の回転
軸４に取付けられた短円柱形のローター５及び６が上記
各ポンプ室内にそれぞれ配置されている。ポンプ室２及
び３は、それぞれ吸入口７及び８と吐出口９及び10とを
有し、ポンプ室２の吐出口９はポンプ室３の吸入口８
に、ケーシング１に形成された排気路11によって連通さ
れている。ポンプ室３には、軸４に連動して駆動される
給油ポンプ12から給油路13を通って封止油が供給され、
ポンプ室２には、ポンプ室３からケーシング１に設けた
給油路14を通って封止油が供給される。
ポンプ室２への給油をポンプ室３から行うのは、高真空
側のポンプ室２に、ポンプ室３で脱気された封止油を供
給することによって、到達真空度を高めるためである。
側のポンプ室２に、ポンプ室３で脱気された封止油を供
給することによって、到達真空度を高めるためである。
１段式油回転ポンプの到達真空度は0.04〜0.05Torr程度
であるが、高真空段側にも脱気されていない封止油を使
用した場合は、２段式油回転ポンプでも到達真空度が0.
01〜0.02Torrと、僅かにしか向上しない。しかし、高真
空段の封止油に、低真空段で脱気された封止油を使う
と、２段式油回転ポンプの到達真空度は10-4Torrオーダ
まで上昇する。
であるが、高真空段側にも脱気されていない封止油を使
用した場合は、２段式油回転ポンプでも到達真空度が0.
01〜0.02Torrと、僅かにしか向上しない。しかし、高真
空段の封止油に、低真空段で脱気された封止油を使う
と、２段式油回転ポンプの到達真空度は10-4Torrオーダ
まで上昇する。
上述の従来の２段式油回転ポンプにおける高真空段への
給油は、双方のポンプ室間の差圧に依存している。その
ために、高圧運転時には高真空段への給油量が減少し、
300Torr以上になると殆ど給油が行われない状態にな
る。
給油は、双方のポンプ室間の差圧に依存している。その
ために、高圧運転時には高真空段への給油量が減少し、
300Torr以上になると殆ど給油が行われない状態にな
る。
従って、真空ポンプの運転の初期に高真空段では、ポン
プ内での漏洩によって排気性能が低下するばかりでな
く、吸引排気空間の容積に較べて真空ポンプの容量が小
さかったり、吸入側に漏洩があったりして、高圧運転の
時間が長引くと、焼付を起こす問題があった。
プ内での漏洩によって排気性能が低下するばかりでな
く、吸引排気空間の容積に較べて真空ポンプの容量が小
さかったり、吸入側に漏洩があったりして、高圧運転の
時間が長引くと、焼付を起こす問題があった。
この考案は、上述のような２段式油回転ポンプの高真空
段における運転初期の排気性能を改善し、かつ長時間の
高圧運転の際の焼付を防止しようとするものである。
段における運転初期の排気性能を改善し、かつ長時間の
高圧運転の際の焼付を防止しようとするものである。
この考案は、上述の従来の２段式油回転真空ポンプ、即
ち第１及び第２の油回転真空ポンプの各ローターを共通
の回転駆動軸に取付け、第１のポンプの吐出口を第２の
ポンプの吸入口に接続し、第２のポンプのポンプ室に給
油ポンプを接続し、第１のポンプのポンプ室と第２のポ
ンプのポンプ室との間に給油路を設けたものにおいて、
上記給油ポンプと上記給油路または第１のポンプのポン
プ室との間に、開閉弁を有する給油路を設けたことを特
徴とする。
ち第１及び第２の油回転真空ポンプの各ローターを共通
の回転駆動軸に取付け、第１のポンプの吐出口を第２の
ポンプの吸入口に接続し、第２のポンプのポンプ室に給
油ポンプを接続し、第１のポンプのポンプ室と第２のポ
ンプのポンプ室との間に給油路を設けたものにおいて、
上記給油ポンプと上記給油路または第１のポンプのポン
プ室との間に、開閉弁を有する給油路を設けたことを特
徴とする。
この開閉弁は、手動開閉弁、自動開閉弁の何れであって
もよく、自動開閉弁の場合は、第１のポンプの吸引口の
圧力によって制御するか、または上記回転駆動軸を駆動
する電動機の電源スイッチの閉成によって始動するタイ
マーによって制御する。
もよく、自動開閉弁の場合は、第１のポンプの吸引口の
圧力によって制御するか、または上記回転駆動軸を駆動
する電動機の電源スイッチの閉成によって始動するタイ
マーによって制御する。
真空ポンプの運転開始と同時に開閉弁を開くと、給油ポ
ンプが供給する封止油は、第２のポンプのポンプ室内に
送入されるだけでなく、第１のポンプのポンプ室内へも
送入される。従って、第１のポンプは、吐出側から吸入
側への漏洩が無くなるために排気性能が向上すると共
に、焼付が全く起こらない。
ンプが供給する封止油は、第２のポンプのポンプ室内に
送入されるだけでなく、第１のポンプのポンプ室内へも
送入される。従って、第１のポンプは、吐出側から吸入
側への漏洩が無くなるために排気性能が向上すると共
に、焼付が全く起こらない。
このまま運転を継続しても、真空度を0.01〜0.02Torr程
度に到達させることができるが、真空度が数10Torr以下
になると、第２のポンプのポンプ室から第１のポンプの
ポンプ室へ、差圧を利用して給油路14により封止油を吸
入させることが可能になるので、開閉弁を閉じる。する
と、第２のポンプのポンプ室へは、第１のポンプのポン
プ室内で脱気された封止油が供給されるため、真空度を
10-4Torrオーダまで高めることができる。
度に到達させることができるが、真空度が数10Torr以下
になると、第２のポンプのポンプ室から第１のポンプの
ポンプ室へ、差圧を利用して給油路14により封止油を吸
入させることが可能になるので、開閉弁を閉じる。する
と、第２のポンプのポンプ室へは、第１のポンプのポン
プ室内で脱気された封止油が供給されるため、真空度を
10-4Torrオーダまで高めることができる。
第１図及び第２図において、ケーシング１内に形成した
短円筒形のポンプ室２及び３には、共通の回転軸４に取
付けた短円筒形のローター５及び６がそれぞれ偏心して
収容されている。各ローターには出没自在なベーン15、
15及び16、16がそれぞれ設けられていて、これらベーン
の先端はポンプ室２及び３の内周壁に接触している。各
ポンプ室は、それぞれ吸入口７及び８と吐出口９及び10
とを有し、吐出口９は吸入口８に、ケーシング１に穿設
した排気路11を経由して連通する。吐出口10は、適当な
排気弁17を有する。給油ポンプ12は給油路13を経てポン
プ室３に接続され、ポンプ室２と３との間には給油路14
が設けられている。更に、給油路13と14との間には、手
動開閉弁18を有する給油路19が設けられる。
短円筒形のポンプ室２及び３には、共通の回転軸４に取
付けた短円筒形のローター５及び６がそれぞれ偏心して
収容されている。各ローターには出没自在なベーン15、
15及び16、16がそれぞれ設けられていて、これらベーン
の先端はポンプ室２及び３の内周壁に接触している。各
ポンプ室は、それぞれ吸入口７及び８と吐出口９及び10
とを有し、吐出口９は吸入口８に、ケーシング１に穿設
した排気路11を経由して連通する。吐出口10は、適当な
排気弁17を有する。給油ポンプ12は給油路13を経てポン
プ室３に接続され、ポンプ室２と３との間には給油路14
が設けられている。更に、給油路13と14との間には、手
動開閉弁18を有する給油路19が設けられる。
真空ポンプの運転の初期には、手動開閉弁18を開いてお
く。すると封止油は、給油ポンプ12から給油路13を通っ
てポンプ室３に供給されると共に、給油ポンプ12から給
油路19と給油路14の一部とを通ってポンプ室２へも送給
されるので、ポンプ室２内でもローター５は給油状態で
回転する。
く。すると封止油は、給油ポンプ12から給油路13を通っ
てポンプ室３に供給されると共に、給油ポンプ12から給
油路19と給油路14の一部とを通ってポンプ室２へも送給
されるので、ポンプ室２内でもローター５は給油状態で
回転する。
真空ポンプの運転を開始してから適当な時間後、または
吐出口10からの吐出ガスが僅少になるのを確認した後
に、手動で開閉弁を閉じると、ポンプ室２へはポンプ室
３で脱気された封止油か給油路14を通って供給されるよ
うになるので、真空度を所望値まで高めることができ
る。
吐出口10からの吐出ガスが僅少になるのを確認した後
に、手動で開閉弁を閉じると、ポンプ室２へはポンプ室
３で脱気された封止油か給油路14を通って供給されるよ
うになるので、真空度を所望値まで高めることができ
る。
第３図に示す実施例では、ポンプ室２の吸入口７には管
路20によって圧力センサー21が結合されており、圧力セ
ンサー21の出力は制御回路22に供給され、制御回路22の
出力は電磁開閉弁18の制御コイル23に供給されている。
圧力センサー21の検出圧力が高い間は、電磁開閉弁18は
開いており、ポンプ室２へは給油ポンプ12から直接封止
油が供給される。そしてセンサー21の検出圧力が例えば
50Torr以下になると、制御コイル23に電流が流され、開
閉弁18は閉じられ、ポンプ室２へはポンプ室３内の封止
油が給油路14を通って供給されるようになる。
路20によって圧力センサー21が結合されており、圧力セ
ンサー21の出力は制御回路22に供給され、制御回路22の
出力は電磁開閉弁18の制御コイル23に供給されている。
圧力センサー21の検出圧力が高い間は、電磁開閉弁18は
開いており、ポンプ室２へは給油ポンプ12から直接封止
油が供給される。そしてセンサー21の検出圧力が例えば
50Torr以下になると、制御コイル23に電流が流され、開
閉弁18は閉じられ、ポンプ室２へはポンプ室３内の封止
油が給油路14を通って供給されるようになる。
以上の実施例によって明らかなように、この考案によれ
ば、２段式油回転真空ポンプの高真空段にも、運転の初
期から給油することができるので、無給油状態下での運
転によって起る排気性能の低下や焼付を効果的に防ぐこ
とができる。
ば、２段式油回転真空ポンプの高真空段にも、運転の初
期から給油することができるので、無給油状態下での運
転によって起る排気性能の低下や焼付を効果的に防ぐこ
とができる。
第１図はこの考案の実施例の縦断面図、第２図は同実施
例の展開断面図、第３図はこの考案の他の実施例の縦断
面図、第４図は従来の２段式油回転ポンプの縦断面図、
第５図は同従来例の展開断面図である。 ２……第１のポンプのポンプ室、３……第２のポンプの
ポンプ室、４……回転駆動軸、５及び６……ローター、
７及び８……吸入口、９及び10……吐出口、12……給油
ポンプ、14及び19……給油路、18……開閉弁。
例の展開断面図、第３図はこの考案の他の実施例の縦断
面図、第４図は従来の２段式油回転ポンプの縦断面図、
第５図は同従来例の展開断面図である。 ２……第１のポンプのポンプ室、３……第２のポンプの
ポンプ室、４……回転駆動軸、５及び６……ローター、
７及び８……吸入口、９及び10……吐出口、12……給油
ポンプ、14及び19……給油路、18……開閉弁。
Claims (1)
- 【請求項１】第１及び第２の油回転真空ポンプの各ロー
ターを共通の回転駆動軸に取付け、第１のポンプの排気
口を第２のポンプの吸入口に接続し、第２のポンプのポ
ンプ室に給油ポンプを接続し、第１のポンプのポンプ室
と第２のポンプのポンプ室との間に給油路を設けた２段
式油回転真空ポンプにおいて、上記給油ポンプと上記給
油路または第１のポンプのポンプ室との間に開閉弁を有
する給油路を設けたことを特徴とする２段式油回転真空
ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4724789U JPH075274Y2 (ja) | 1989-04-21 | 1989-04-21 | ２段式油回転真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4724789U JPH075274Y2 (ja) | 1989-04-21 | 1989-04-21 | ２段式油回転真空ポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02137591U JPH02137591U (ja) | 1990-11-16 |
| JPH075274Y2 true JPH075274Y2 (ja) | 1995-02-08 |
Family
ID=31563010
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4724789U Expired - Lifetime JPH075274Y2 (ja) | 1989-04-21 | 1989-04-21 | ２段式油回転真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH075274Y2 (ja) |
-
1989
- 1989-04-21 JP JP4724789U patent/JPH075274Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02137591U (ja) | 1990-11-16 |
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