JPH0752394A - インクジェットプリンタヘッドの製造方法 - Google Patents
インクジェットプリンタヘッドの製造方法Info
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- JPH0752394A JPH0752394A JP5206279A JP20627993A JPH0752394A JP H0752394 A JPH0752394 A JP H0752394A JP 5206279 A JP5206279 A JP 5206279A JP 20627993 A JP20627993 A JP 20627993A JP H0752394 A JPH0752394 A JP H0752394A
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 11
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 16
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 16
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 9
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 4
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 12
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 12
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 11
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 10
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 7
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 6
- 238000000638 solvent extraction Methods 0.000 description 5
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 4
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 4
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 4
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 description 3
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N palladium Substances [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- 238000011282 treatment Methods 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 239000011256 inorganic filler Substances 0.000 description 2
- 229910003475 inorganic filler Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000012805 post-processing Methods 0.000 description 2
- TXUICONDJPYNPY-UHFFFAOYSA-N (1,10,13-trimethyl-3-oxo-4,5,6,7,8,9,11,12,14,15,16,17-dodecahydrocyclopenta[a]phenanthren-17-yl) heptanoate Chemical compound C1CC2CC(=O)C=C(C)C2(C)C2C1C1CCC(OC(=O)CCCCCC)C1(C)CC2 TXUICONDJPYNPY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021626 Tin(II) chloride Inorganic materials 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 description 1
- 239000006172 buffering agent Substances 0.000 description 1
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 239000008139 complexing agent Substances 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 229920006332 epoxy adhesive Polymers 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010445 mica Substances 0.000 description 1
- 229910052618 mica group Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003002 pH adjusting agent Substances 0.000 description 1
- PIBWKRNGBLPSSY-UHFFFAOYSA-L palladium(II) chloride Chemical compound Cl[Pd]Cl PIBWKRNGBLPSSY-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 239000003381 stabilizer Substances 0.000 description 1
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 1
- 239000001119 stannous chloride Substances 0.000 description 1
- 235000011150 stannous chloride Nutrition 0.000 description 1
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N sulfuric acid Substances OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
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- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
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- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1623—Manufacturing processes bonding and adhesion
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
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- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
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- B41J2/164—Manufacturing processes thin film formation
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- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 インクの吐出動作の効率の向上及び安定化を
図り、且つ、容易に製造し得るインクジェットプリンタ
ヘッドの製造方法を提供する。 【構成】 板厚方向に分極された圧電部材２１の表面に
流動性のある樹脂を塗布し、この樹脂を硬化させて圧電
部材より剛性の低い低剛性部材２２を形成し、この低剛
性部材２２の表面を研削加工し、低剛性部材２２の表面
から少なくとも圧電部材２１の内部に達する深さに定め
られた複数条の溝２３を研削加工により形成し、溝２３
の全内面に電極２８を形成し、低剛性部材２２の研削加
工面に天板３０を固着してこの天板３０で溝２３の開口
面を閉塞することによりインク供給部とインク吐出口３
１とに通ずる圧力室３４を形成するようにした。
図り、且つ、容易に製造し得るインクジェットプリンタ
ヘッドの製造方法を提供する。 【構成】 板厚方向に分極された圧電部材２１の表面に
流動性のある樹脂を塗布し、この樹脂を硬化させて圧電
部材より剛性の低い低剛性部材２２を形成し、この低剛
性部材２２の表面を研削加工し、低剛性部材２２の表面
から少なくとも圧電部材２１の内部に達する深さに定め
られた複数条の溝２３を研削加工により形成し、溝２３
の全内面に電極２８を形成し、低剛性部材２２の研削加
工面に天板３０を固着してこの天板３０で溝２３の開口
面を閉塞することによりインク供給部とインク吐出口３
１とに通ずる圧力室３４を形成するようにした。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、インクジェットプリン
タヘッドの製造方法に関する。
タヘッドの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のインクジェットプリンタヘッドに
は、特開平５−６４８９３号公報及び特開平５−９６７
２７号公報に記載された発明がある。以下、その構造を
製造工程順に示すとともに動作について述べる。
は、特開平５−６４８９３号公報及び特開平５−９６７
２７号公報に記載された発明がある。以下、その構造を
製造工程順に示すとともに動作について述べる。
【０００３】まず、図６（ａ）に示すように、ガラス等
の基板１と、板厚方向に分極された圧電部材２との間に
所定の間隔を保持し、これらの基板１と圧電部材２との
間に接着剤を充填し、その接着剤を硬化させて基板１と
圧電部材２との間に接着層３を形成する。
の基板１と、板厚方向に分極された圧電部材２との間に
所定の間隔を保持し、これらの基板１と圧電部材２との
間に接着剤を充填し、その接着剤を硬化させて基板１と
圧電部材２との間に接着層３を形成する。
【０００４】次に、図６（ｂ）に示すように、圧電部材
２の上面から接着層３に達する複数の溝４を切削加工
し、これらの溝４の両側に側壁５を形成する。そして、
溝４の内面に電極６を形成する。
２の上面から接着層３に達する複数の溝４を切削加工
し、これらの溝４の両側に側壁５を形成する。そして、
溝４の内面に電極６を形成する。
【０００５】次に、図６（ｃ）に示すように、圧電部材
２の上面に、内面にインク供給溝９（図７参照）が形成
された天板７を接着する。この工程において、各溝４の
上面開口が天板７により閉塞されて前記側壁５によって
仕切られた複数の圧力室８が形成される。
２の上面に、内面にインク供給溝９（図７参照）が形成
された天板７を接着する。この工程において、各溝４の
上面開口が天板７により閉塞されて前記側壁５によって
仕切られた複数の圧力室８が形成される。
【０００６】次に、図７に示すように、各圧力室８の端
面開口部に対向する複数のインク吐出口であるオリフィ
ス１０が形成されたオリフィスプレート１１を、基板１
と接着層３と圧電部材２との側面に接着することによ
り、インクジェットプリンタヘッドが完成する。
面開口部に対向する複数のインク吐出口であるオリフィ
ス１０が形成されたオリフィスプレート１１を、基板１
と接着層３と圧電部材２との側面に接着することによ
り、インクジェットプリンタヘッドが完成する。
【０００７】次に、このように形成されたインクジェッ
トプリンタヘッドの動作について述べる。図８はインク
ジェットプリンタヘッドの一部を示す縦断側面図であ
る。図８において、中央の圧力室を８ｂ、その左側の圧
力室を８ａ、右側の圧力室を８ｃとして、中央の圧力室
８ｂからインクを吐出する場合の動作の一例について説
明する。
トプリンタヘッドの動作について述べる。図８はインク
ジェットプリンタヘッドの一部を示す縦断側面図であ
る。図８において、中央の圧力室を８ｂ、その左側の圧
力室を８ａ、右側の圧力室を８ｃとして、中央の圧力室
８ｂからインクを吐出する場合の動作の一例について説
明する。
【０００８】中央の圧力室８ｂと左側の圧力室８ａとの
間の側壁５、及び中央の圧力室８ｂと右側の圧力室８ｃ
との間の側壁５に、それぞれ逆向きの電界をかけ、中央
の圧力室８ｂの容積が広がるように側壁５を変形させ
る。図８は中央の圧力室８ｂの容積を広げた状態を示
す。これにより、中央の圧力室８ｂの内圧が低下するた
めにインク供給溝９からインクが吸引される。このと
き、左右の圧力室８ａ，８ｃは圧縮されるが、容積が徐
々に変化するように電極６に印加する電圧を徐々に上昇
させて電界を加えるため、左右の圧力室８ａ，８ｃから
インクが吐出することはない。そして、電極６を瞬時に
接地することにより、中央の圧力室８ｂの容積が急激に
小さくなり、内圧が急激に上昇する。これにより、中央
の圧力室８ｂのインクがオリフィス１０から吐出する。
間の側壁５、及び中央の圧力室８ｂと右側の圧力室８ｃ
との間の側壁５に、それぞれ逆向きの電界をかけ、中央
の圧力室８ｂの容積が広がるように側壁５を変形させ
る。図８は中央の圧力室８ｂの容積を広げた状態を示
す。これにより、中央の圧力室８ｂの内圧が低下するた
めにインク供給溝９からインクが吸引される。このと
き、左右の圧力室８ａ，８ｃは圧縮されるが、容積が徐
々に変化するように電極６に印加する電圧を徐々に上昇
させて電界を加えるため、左右の圧力室８ａ，８ｃから
インクが吐出することはない。そして、電極６を瞬時に
接地することにより、中央の圧力室８ｂの容積が急激に
小さくなり、内圧が急激に上昇する。これにより、中央
の圧力室８ｂのインクがオリフィス１０から吐出する。
【０００９】ここで、圧力室８を仕切る側壁５は、圧電
部材２と、この圧電部材２より剛性が小さい接着層３と
により形成されているため、圧電部材２の歪に対する抵
抗が小さくなり、圧電部材２の歪量を大きくすることが
でき、これにより、インク滴の吐出特性が向上すると言
う特徴がある。
部材２と、この圧電部材２より剛性が小さい接着層３と
により形成されているため、圧電部材２の歪に対する抵
抗が小さくなり、圧電部材２の歪量を大きくすることが
でき、これにより、インク滴の吐出特性が向上すると言
う特徴がある。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】上述のようにインクジ
ェットプリンタヘッドを製造する場合、接着層３を広い
面にわたり所定の厚さに形成する必要性がある。しか
し、接着剤の硬化収縮作用を広い面にわたり均一にする
ことは困難であるため、接着層３の厚みｔ1 にバラツキ
が生じ、図９（ａ）に示すように、圧電部材２の中央が
接着層３に引かれて反ってしまう。仮に圧電部材２の上
面を一点鎖線１２で示すように平らに研磨した後に、図
９（ｂ）に示すように、天板７を接着したとしても、圧
力室８を仕切る側壁５の圧電部材２が占める厚みｔ2 と
接着層３が占める厚みｔ3 とが場所によって異なり、電
極６に電圧を印加したときに各側壁５の動作特性が不均
一となり、各圧力室８から吐出するインク滴を一定にす
ることが不可能となる。
ェットプリンタヘッドを製造する場合、接着層３を広い
面にわたり所定の厚さに形成する必要性がある。しか
し、接着剤の硬化収縮作用を広い面にわたり均一にする
ことは困難であるため、接着層３の厚みｔ1 にバラツキ
が生じ、図９（ａ）に示すように、圧電部材２の中央が
接着層３に引かれて反ってしまう。仮に圧電部材２の上
面を一点鎖線１２で示すように平らに研磨した後に、図
９（ｂ）に示すように、天板７を接着したとしても、圧
力室８を仕切る側壁５の圧電部材２が占める厚みｔ2 と
接着層３が占める厚みｔ3 とが場所によって異なり、電
極６に電圧を印加したときに各側壁５の動作特性が不均
一となり、各圧力室８から吐出するインク滴を一定にす
ることが不可能となる。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明は、板厚方向に分
極された圧電部材の表面に流動性のある樹脂を塗布し、
この樹脂を硬化させて前記圧電部材より剛性の低い低剛
性部材を形成し、この低剛性部材の表面を研削加工し、
前記低剛性部材の表面から少なくとも前記圧電部材の内
部に達する深さに定められた複数条の溝を研削加工によ
り形成し、前記溝の全内面に電極を形成し、前記低剛性
部材の研削加工面に天板を固着してこの天板で前記溝の
開口面を閉塞することによりインク供給部とインク吐出
口とに通ずる圧力室を形成するようにした。
極された圧電部材の表面に流動性のある樹脂を塗布し、
この樹脂を硬化させて前記圧電部材より剛性の低い低剛
性部材を形成し、この低剛性部材の表面を研削加工し、
前記低剛性部材の表面から少なくとも前記圧電部材の内
部に達する深さに定められた複数条の溝を研削加工によ
り形成し、前記溝の全内面に電極を形成し、前記低剛性
部材の研削加工面に天板を固着してこの天板で前記溝の
開口面を閉塞することによりインク供給部とインク吐出
口とに通ずる圧力室を形成するようにした。
【００１２】
【作用】樹脂を硬化させてなる低剛性部材の表面を研削
加工することにより、低剛性部材の厚さを全面にわたり
均一化することが可能となる。これにより、低剛性部材
の表面から圧電部材の内部に達する複数の溝を研削加工
し、低剛性部材の研削加工面に天板を固着して圧力室を
形成したときに、圧力室の寸法、各圧力室を仕切る各側
壁の高さ、各側壁を形成する圧電部材と低剛性部材との
高さの比率の関係を均一化することができる。したがっ
て、インクの吐出特性を安定化させることができる。
加工することにより、低剛性部材の厚さを全面にわたり
均一化することが可能となる。これにより、低剛性部材
の表面から圧電部材の内部に達する複数の溝を研削加工
し、低剛性部材の研削加工面に天板を固着して圧力室を
形成したときに、圧力室の寸法、各圧力室を仕切る各側
壁の高さ、各側壁を形成する圧電部材と低剛性部材との
高さの比率の関係を均一化することができる。したがっ
て、インクの吐出特性を安定化させることができる。
【００１３】
【実施例】本発明の第一の実施例を図１ないし図４に基
づいて説明する。まず、図２（ａ）に示すように、基板
となる板状の圧電部材２１の一面に、この圧電部材２１
の剛性より剛性の低い低剛性部材２２となる流動性のあ
る樹脂を塗布する。ここで、圧電部材２１は板厚方向に
分極されたチタン酸・ジルコン酸鉛系の圧電セラミック
を用い、所定の厚さに加工されたものを用意した。ま
た、流動性のある樹脂は、接着力、後加工の容易性、電
極形成時におけるメッキの密着力、線膨張係数等を考慮
して無機フィラー（マイカやシリカ等）を含有する２液
混合型のエポキシ接着剤を用い、且つ、気泡が残らない
ように圧電部材２１上に塗布した。この樹脂（接着剤）
を硬化させることにより、圧電部材２１上に低剛性部材
２２が形成される。
づいて説明する。まず、図２（ａ）に示すように、基板
となる板状の圧電部材２１の一面に、この圧電部材２１
の剛性より剛性の低い低剛性部材２２となる流動性のあ
る樹脂を塗布する。ここで、圧電部材２１は板厚方向に
分極されたチタン酸・ジルコン酸鉛系の圧電セラミック
を用い、所定の厚さに加工されたものを用意した。ま
た、流動性のある樹脂は、接着力、後加工の容易性、電
極形成時におけるメッキの密着力、線膨張係数等を考慮
して無機フィラー（マイカやシリカ等）を含有する２液
混合型のエポキシ接着剤を用い、且つ、気泡が残らない
ように圧電部材２１上に塗布した。この樹脂（接着剤）
を硬化させることにより、圧電部材２１上に低剛性部材
２２が形成される。
【００１４】次に、圧電部材２１の表面を基準として低
剛性部材２２の表面を研削加工する。これにより、前工
程において樹脂の塗布量にバラツキが生じたとしても、
低剛性部材２２の厚さを全面にわたり均一化することが
できる。この場合、樹脂には無機フィラーが混入されて
いるため、研削加工に使用する砥石に目詰まりを起こす
ことがない。
剛性部材２２の表面を研削加工する。これにより、前工
程において樹脂の塗布量にバラツキが生じたとしても、
低剛性部材２２の厚さを全面にわたり均一化することが
できる。この場合、樹脂には無機フィラーが混入されて
いるため、研削加工に使用する砥石に目詰まりを起こす
ことがない。
【００１５】次に、圧電部材２１を加工機（図示せず）
のベッドに載せ、図２（ｂ）に示すように、低剛性部材
２２の表面から圧電部材２１の内部に達する深さの複数
の溝２３を所定の間隔を開けて形成する。この加工は、
通常、ＩＣウエハーの切断用に用いられるダイヤモンド
ホイールによって行う。
のベッドに載せ、図２（ｂ）に示すように、低剛性部材
２２の表面から圧電部材２１の内部に達する深さの複数
の溝２３を所定の間隔を開けて形成する。この加工は、
通常、ＩＣウエハーの切断用に用いられるダイヤモンド
ホイールによって行う。
【００１６】この工程では、溝２３の両側に側壁２４が
形成されるが、これらの側壁２４は、低剛性部材２２に
よる上部側壁２４ａの部分と、圧電部材２１による下部
側壁２４ｂの部分とにより形成される。また、前工程で
被加工物（圧電部材２１及び低剛性部材２２）の寸法精
度が定められているので、溝２３の深さ、各溝２３を仕
切る側壁２４の高さ、各側壁２４を形成する上部側壁２
４ａと下部側壁２４ｂとの高さの比率等にバラツキが生
ずることがない。これにより、剪断アクチュエータとし
て動作する側壁２４を精度良く容易に製造することがで
きる。
形成されるが、これらの側壁２４は、低剛性部材２２に
よる上部側壁２４ａの部分と、圧電部材２１による下部
側壁２４ｂの部分とにより形成される。また、前工程で
被加工物（圧電部材２１及び低剛性部材２２）の寸法精
度が定められているので、溝２３の深さ、各溝２３を仕
切る側壁２４の高さ、各側壁２４を形成する上部側壁２
４ａと下部側壁２４ｂとの高さの比率等にバラツキが生
ずることがない。これにより、剪断アクチュエータとし
て動作する側壁２４を精度良く容易に製造することがで
きる。
【００１７】次に、無電解メッキにより電極を形成する
前の前処理として、洗浄、キャタライジング、アクセラ
レーティング処理を行う。洗浄は、メッキ形成面の活性
化及びキャタリスト液、アクセレータ液やメッキ液が前
記溝２３に入り易くするための親水化を目的として行わ
れる。キャタライジング処理は、塩化パラジウム、塩化
第一錫、濃硫酸等からなる前処理液としてのキャタリス
ト液に前記圧電部材２１を浸し、前記溝２３の内面にＰ
ｄ・Ｓｎの錯化物を吸着させる目的で行う。キャタライ
ジング処理を行うと、上部側壁２４ａ、下部側壁２４ｂ
の各々の溝２３側の表面にＰｄ・Ｓｎの錯化物が吸着さ
れる。
前の前処理として、洗浄、キャタライジング、アクセラ
レーティング処理を行う。洗浄は、メッキ形成面の活性
化及びキャタリスト液、アクセレータ液やメッキ液が前
記溝２３に入り易くするための親水化を目的として行わ
れる。キャタライジング処理は、塩化パラジウム、塩化
第一錫、濃硫酸等からなる前処理液としてのキャタリス
ト液に前記圧電部材２１を浸し、前記溝２３の内面にＰ
ｄ・Ｓｎの錯化物を吸着させる目的で行う。キャタライ
ジング処理を行うと、上部側壁２４ａ、下部側壁２４ｂ
の各々の溝２３側の表面にＰｄ・Ｓｎの錯化物が吸着さ
れる。
【００１８】続いて、アクセラレーティング処理を行
う。この処理は、キャタライジング処理で吸着された錯
化物を触媒化する目的で行うもので、側壁２４に吸着さ
れた錯化物は触媒核としての金属化されたＰｄとなる。
う。この処理は、キャタライジング処理で吸着された錯
化物を触媒化する目的で行うもので、側壁２４に吸着さ
れた錯化物は触媒核としての金属化されたＰｄとなる。
【００１９】次に、前記低剛性部材２２の表面に配線パ
ターン形成部を除き、マスクをかける。この方法は、図
２（ｃ）に示すように、低剛性部材２２の表面にドライ
フィルム２５を貼ることによりなされる。
ターン形成部を除き、マスクをかける。この方法は、図
２（ｃ）に示すように、低剛性部材２２の表面にドライ
フィルム２５を貼ることによりなされる。
【００２０】さらに、前記ドライフィルム２５の上に図
３（ａ）に示すように、レジスト用マスク２６を載せて
露光及び現像処理を行う。これにより、図３（ｂ）に示
すように、低剛性部材２２の表面には、配線パターン形
成部以外の部分にドライフィルム２５によるレジスト膜
２７が形成される。そして、低剛性部材２２の配線パタ
ーン形成部及び溝２３の内面には金属化されたＰｄが露
出した状態となる。
３（ａ）に示すように、レジスト用マスク２６を載せて
露光及び現像処理を行う。これにより、図３（ｂ）に示
すように、低剛性部材２２の表面には、配線パターン形
成部以外の部分にドライフィルム２５によるレジスト膜
２７が形成される。そして、低剛性部材２２の配線パタ
ーン形成部及び溝２３の内面には金属化されたＰｄが露
出した状態となる。
【００２１】次に、上記の処理を施した物をメッキ液に
浸漬して無電解メッキを行う。メッキ液は、金属塩及び
還元剤からなる主成分と、ｐＨ調整剤、緩衝剤、錯化
剤、促進剤、安定剤、改良剤等からなる補助成分とで形
成される。このメッキ液に圧電部材２１と低剛性部材２
２との接合体（被メッキ物）を浸すと、金属化されたＰ
ｄを触媒核としてメッキが生成され、図４（ａ）に示す
ように溝２３の側壁２４側の表面と溝２３の底面とに電
極２８が形成され、低剛性部材２２の表面には電極２８
に続いた配線パターン２９が形成される。
浸漬して無電解メッキを行う。メッキ液は、金属塩及び
還元剤からなる主成分と、ｐＨ調整剤、緩衝剤、錯化
剤、促進剤、安定剤、改良剤等からなる補助成分とで形
成される。このメッキ液に圧電部材２１と低剛性部材２
２との接合体（被メッキ物）を浸すと、金属化されたＰ
ｄを触媒核としてメッキが生成され、図４（ａ）に示す
ように溝２３の側壁２４側の表面と溝２３の底面とに電
極２８が形成され、低剛性部材２２の表面には電極２８
に続いた配線パターン２９が形成される。
【００２２】このとき、無電解メッキはメッキ液が届く
限り、どのような細かい場所にもメッキが析出するの
で、溝２３の内面全面にピンホール等の欠陥のない電極
２８を形成することができる。さらに、メッキ処理は一
度に大量の処理が可能であるので、安価に製造すること
ができる。
限り、どのような細かい場所にもメッキが析出するの
で、溝２３の内面全面にピンホール等の欠陥のない電極
２８を形成することができる。さらに、メッキ処理は一
度に大量の処理が可能であるので、安価に製造すること
ができる。
【００２３】次に、図４（ｂ）に示すように、低剛性部
材２２の表面に貼られたレジスト膜２７を剥離し、続い
て、図４（ｃ）に示すように、低剛性部材２２の表面に
天板３０を接着する。この時、溝２３が天板３０により
閉塞されて圧力室３４が形成される（図１参照）。この
天板３０の接着により圧電部材２１と天板３０との端面
における境界に段差を生ずるので、両者の端面を研削加
工した後に、各溝２３の先端に連通するインク吐出口３
１が形成されたノズル板３２を圧電部材２１と天板３０
との端面に固定する。次に、インク供給路（図示せず）
から各溝２３にインクを供給するインク供給部であるイ
ンク供給管３３を天板３０に取付けることによって、イ
ンクジェットプリンタヘッドが完成する。
材２２の表面に貼られたレジスト膜２７を剥離し、続い
て、図４（ｃ）に示すように、低剛性部材２２の表面に
天板３０を接着する。この時、溝２３が天板３０により
閉塞されて圧力室３４が形成される（図１参照）。この
天板３０の接着により圧電部材２１と天板３０との端面
における境界に段差を生ずるので、両者の端面を研削加
工した後に、各溝２３の先端に連通するインク吐出口３
１が形成されたノズル板３２を圧電部材２１と天板３０
との端面に固定する。次に、インク供給路（図示せず）
から各溝２３にインクを供給するインク供給部であるイ
ンク供給管３３を天板３０に取付けることによって、イ
ンクジェットプリンタヘッドが完成する。
【００２４】このようにして製造されたインクジェット
プリンタヘッドの断面を図１に示す。図中、矢印は圧電
部材２１の分極方向を示すものである。ここで、インク
を吐出させようとする圧力室３４内の電極２８と、その
両側に位置する圧力室３４内の電極２８とに電圧を印加
し、インクを吐出させようとする圧力室３４の両側の側
壁２４を対称的に変位させることにより、インクの吸引
又は吐出がなされるが、上述したように、各側壁２４の
動作特性が均一であるので、各圧力室３４からインク滴
の吐出特性を均一化することができる。図１において、
中央に位置する圧力室３４の両側に示す仮想線は、その
中央の圧力室３４の圧力を高めてインクを吐出させるた
めに、その両側の側壁２４を内側に変形させた状態を示
すものである。この場合、側壁２４の一部が低剛性部材
２２よりなる上部側壁２４ａにより形成されているた
め、圧電部材２による下部側壁２４ｂの動作に与える抵
抗を小さくして側壁２４全体を大きく動作させることが
可能となる。これにより、インクの吐出効率を向上させ
ることができる。
プリンタヘッドの断面を図１に示す。図中、矢印は圧電
部材２１の分極方向を示すものである。ここで、インク
を吐出させようとする圧力室３４内の電極２８と、その
両側に位置する圧力室３４内の電極２８とに電圧を印加
し、インクを吐出させようとする圧力室３４の両側の側
壁２４を対称的に変位させることにより、インクの吸引
又は吐出がなされるが、上述したように、各側壁２４の
動作特性が均一であるので、各圧力室３４からインク滴
の吐出特性を均一化することができる。図１において、
中央に位置する圧力室３４の両側に示す仮想線は、その
中央の圧力室３４の圧力を高めてインクを吐出させるた
めに、その両側の側壁２４を内側に変形させた状態を示
すものである。この場合、側壁２４の一部が低剛性部材
２２よりなる上部側壁２４ａにより形成されているた
め、圧電部材２による下部側壁２４ｂの動作に与える抵
抗を小さくして側壁２４全体を大きく動作させることが
可能となる。これにより、インクの吐出効率を向上させ
ることができる。
【００２５】前記実施例において、樹脂として接着剤を
用い、この接着剤を硬化させることにより低剛性部材２
２を形成したが、低剛性部材２２となる樹脂は、特に接
着力の優れた接着剤に限られるものではなく、後加工の
容易性、電極形成時におけるメッキの密着力、線膨張係
数等を考慮して選択することが可能である。
用い、この接着剤を硬化させることにより低剛性部材２
２を形成したが、低剛性部材２２となる樹脂は、特に接
着力の優れた接着剤に限られるものではなく、後加工の
容易性、電極形成時におけるメッキの密着力、線膨張係
数等を考慮して選択することが可能である。
【００２６】次いで、本発明の第二の実施例を図５に示
す。前記実施例と同一部分は同一符号を用いて説明す
る。本実施例は、剛性が高く、熱変形が少ないセラミッ
クス又はガラス等により形成された所定の厚さの底板３
５の上面に、接着力が高く、粘度の低いエポキシ樹脂を
主成分とする樹脂系の接着剤を用いて平板状の圧電部材
２１を接着する。この接着に際し、接着層の厚さは１μ
ｍ程度と薄いので、圧電部材２１に作用する接着剤の収
縮応力は均等となり、圧電部材２１が反るようなことは
ない。
す。前記実施例と同一部分は同一符号を用いて説明す
る。本実施例は、剛性が高く、熱変形が少ないセラミッ
クス又はガラス等により形成された所定の厚さの底板３
５の上面に、接着力が高く、粘度の低いエポキシ樹脂を
主成分とする樹脂系の接着剤を用いて平板状の圧電部材
２１を接着する。この接着に際し、接着層の厚さは１μ
ｍ程度と薄いので、圧電部材２１に作用する接着剤の収
縮応力は均等となり、圧電部材２１が反るようなことは
ない。
【００２７】なお、圧電部材２１への低剛性部材２２の
形成、低剛性部材２２の表面の研削加工、溝２３の加
工、電極２８の形成、低剛性部材２２への天板３０の固
着等については前記実施例と同様であるので説明を省略
する。
形成、低剛性部材２２の表面の研削加工、溝２３の加
工、電極２８の形成、低剛性部材２２への天板３０の固
着等については前記実施例と同様であるので説明を省略
する。
【００２８】
【発明の効果】本発明は、上述のように、樹脂を硬化さ
せてなる低剛性部材の表面を研削加工することにより、
低剛性部材の厚さを全面にわたり均一化することがで
き、これにより、低剛性部材の表面から圧電部材の内部
に達する複数の溝を研削加工し、低剛性部材の研削加工
面に天板を固着して圧力室を形成したときに、圧力室の
寸法、各圧力室を仕切る各側壁の高さ、各側壁を形成す
る圧電部材と低剛性部材との高さの比率の関係等を均一
化することができ、したがって、インクの吐出特性を安
定化させる得るインクジェットプリンタヘッドを安価に
且つ容易に製造することができる。
せてなる低剛性部材の表面を研削加工することにより、
低剛性部材の厚さを全面にわたり均一化することがで
き、これにより、低剛性部材の表面から圧電部材の内部
に達する複数の溝を研削加工し、低剛性部材の研削加工
面に天板を固着して圧力室を形成したときに、圧力室の
寸法、各圧力室を仕切る各側壁の高さ、各側壁を形成す
る圧電部材と低剛性部材との高さの比率の関係等を均一
化することができ、したがって、インクの吐出特性を安
定化させる得るインクジェットプリンタヘッドを安価に
且つ容易に製造することができる。
【図１】本発明の第一の実施例を示すインクジェットプ
リンタヘッドの縦断正面図である。
リンタヘッドの縦断正面図である。
【図２】（ａ）〜（ｃ）はインクジェットプリンタヘッ
ドの製造工程を示す斜視図である。
ドの製造工程を示す斜視図である。
【図３】（ａ）〜（ｂ）はインクジェットプリンタヘッ
ドの製造工程を示す斜視図である。
ドの製造工程を示す斜視図である。
【図４】（ａ）〜（ｃ）はインクジェットプリンタヘッ
ドの製造工程を示す斜視図である。
ドの製造工程を示す斜視図である。
【図５】本発明の第二の実施例を示すインクジェットプ
リンタヘッドの縦断正面図である。
リンタヘッドの縦断正面図である。
【図６】（ａ）〜（ｃ）は従来のインクジェットプリン
タヘッドの製造工程を示す縦断正面図である。
タヘッドの製造工程を示す縦断正面図である。
【図７】インクジェットプリンタヘッドの縦断側面図で
ある。
ある。
【図８】インクジェットプリンタヘッドの駆動状態を示
す縦断正面図である。
す縦断正面図である。
【図９】（ａ）は圧電部材が反る様子を示す縦断正面
図、（ｂ）はインクジェットプリンタヘッドの縦断正面
図である。
図、（ｂ）はインクジェットプリンタヘッドの縦断正面
図である。
２１ 圧電部材 ２２ 低剛性部材 ２３ 溝 ２８ 電極 ３０ 天板 ３４ 圧力室 ３１ インク吐出口 ３３ インク供給部
Claims (1)
- 【請求項１】 板厚方向に分極された圧電部材の表面に
流動性のある樹脂を塗布し、この樹脂を硬化させて前記
圧電部材より剛性の低い低剛性部材を形成し、この低剛
性部材の表面を研削加工し、前記低剛性部材の表面から
少なくとも前記圧電部材の内部に達する深さに定められ
た複数条の溝を研削加工により形成し、前記溝の全内面
に電極を形成し、前記低剛性部材の研削加工面に天板を
固着してこの天板で前記溝の開口面を閉塞することによ
りインク供給部とインク吐出口とに通ずる圧力室を形成
するようにしたことを特徴とするインクジェットプリン
タヘッドの製造方法。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5206279A JP2857303B2 (ja) | 1993-08-20 | 1993-08-20 | インクジェットプリンタヘッドの製造方法 |
| KR1019940018720A KR0151416B1 (ko) | 1993-08-20 | 1994-07-29 | 잉크제트 프린터헤드의 제조방법 |
| DE69401405T DE69401405T2 (de) | 1993-08-20 | 1994-08-12 | Verfahren zum Herstellen eines Tintenstrahldruckkopfes |
| EP94305987A EP0639460B1 (en) | 1993-08-20 | 1994-08-12 | Method of fabricating ink jet print head |
| US08/292,255 US5560090A (en) | 1993-08-20 | 1994-08-18 | Method of fabricating ink jet print head |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5206279A JP2857303B2 (ja) | 1993-08-20 | 1993-08-20 | インクジェットプリンタヘッドの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0752394A true JPH0752394A (ja) | 1995-02-28 |
| JP2857303B2 JP2857303B2 (ja) | 1999-02-17 |
Family
ID=16520691
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5206279A Expired - Fee Related JP2857303B2 (ja) | 1993-08-20 | 1993-08-20 | インクジェットプリンタヘッドの製造方法 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5560090A (ja) |
| EP (1) | EP0639460B1 (ja) |
| JP (1) | JP2857303B2 (ja) |
| KR (1) | KR0151416B1 (ja) |
| DE (1) | DE69401405T2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5578778A (en) * | 1994-05-23 | 1996-11-26 | Yamaha Corporation | Electronic musical instrument |
Families Citing this family (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07276624A (ja) * | 1994-04-07 | 1995-10-24 | Tec Corp | インクジェットプリンタヘッド |
| JP3484841B2 (ja) * | 1994-09-26 | 2004-01-06 | セイコーエプソン株式会社 | インクジェット式記録ヘッド |
| JP2002129346A (ja) * | 2000-10-20 | 2002-05-09 | Konica Corp | 無電解メッキの処理方法及びインクジェットヘッド及びその製造方法 |
| US20020073544A1 (en) * | 2000-12-18 | 2002-06-20 | Konica Corporation | Manufacturing method of ink-jet haead |
| JP2003340580A (ja) * | 2002-05-24 | 2003-12-02 | Konica Minolta Holdings Inc | レーザ加工方法 |
| US6838226B2 (en) * | 2003-05-20 | 2005-01-04 | Eastman Kodak Company | Imaging member with microgel protective layer |
| US6899996B2 (en) * | 2003-05-20 | 2005-05-31 | Eastman Kodak Company | Method of preparing imaging member with microgel protective layer |
| JP4622287B2 (ja) * | 2004-03-31 | 2011-02-02 | ブラザー工業株式会社 | インクジェットヘッドにおける吐出方向矯正方法、インクジェットヘッドの製造方法及びインクジェットヘッド |
| KR100715825B1 (ko) * | 2005-11-07 | 2007-05-07 | 일리정공 주식회사 | 바탕색 도포가 가능한 프린터 헤드 |
| BRPI0912169A2 (pt) | 2008-05-22 | 2015-10-13 | Canon Kk | cabeça de descarga de líquido, e, método de fabricação de uma cabeça de descarga de líquido |
| RU2443566C1 (ru) * | 2008-05-22 | 2012-02-27 | Кэнон Кабусики Кайся | Головка для выбрасывания жидкости и способ изготовления головки для выбрасывания жидкости |
| JP5588230B2 (ja) * | 2010-05-27 | 2014-09-10 | エスアイアイ・プリンテック株式会社 | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び液体噴射ヘッドの製造方法 |
| JP6122298B2 (ja) * | 2013-01-09 | 2017-04-26 | エスアイアイ・プリンテック株式会社 | ヘッドチップの製造方法 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0485241B1 (en) * | 1990-11-09 | 1997-03-12 | Citizen Watch Co., Ltd. | Ink jet head |
| JP2744536B2 (ja) * | 1991-10-04 | 1998-04-28 | 株式会社テック | インクジェットプリンタヘッド及びその製造方法 |
| JP2744535B2 (ja) * | 1991-07-08 | 1998-04-28 | 株式会社テック | インクジェットプリンタヘッドの製造方法 |
| ATE141546T1 (de) * | 1991-10-31 | 1996-09-15 | Canon Kk | Polymerzusammensetzung für transfer-giessen zur herstellung eines farbstrahlaufzeichnungskopfes und unter deren verwendung hergestellter farbstrahlaufzeichnungskopf |
-
1993
- 1993-08-20 JP JP5206279A patent/JP2857303B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1994
- 1994-07-29 KR KR1019940018720A patent/KR0151416B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1994-08-12 EP EP94305987A patent/EP0639460B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1994-08-12 DE DE69401405T patent/DE69401405T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1994-08-18 US US08/292,255 patent/US5560090A/en not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5578778A (en) * | 1994-05-23 | 1996-11-26 | Yamaha Corporation | Electronic musical instrument |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE69401405D1 (de) | 1997-02-20 |
| KR950005551A (ko) | 1995-03-20 |
| DE69401405T2 (de) | 1997-07-03 |
| EP0639460B1 (en) | 1997-01-08 |
| KR0151416B1 (ko) | 1998-12-01 |
| JP2857303B2 (ja) | 1999-02-17 |
| EP0639460A1 (en) | 1995-02-22 |
| US5560090A (en) | 1996-10-01 |
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