JPH07503340A - 電子ビーム露光方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 電子ビーム露光方法 ［技術分野］ 本発明は、一般的には集積回路の製造に関し、具体的には、電子ビーム露光シス テムによる放射線感応層のりソグラフイ・パターン形成のシステムおよび方法に 関する。

［背景技術］ 集積回路の形状は、直接書込み電子線リソグラフィによってウェハ全体にパター ン形成することができる。集積回路製造の際に電子線を使用して微細回路パター ンを書き込むことは、当技術分野で周知である。電子線でウェハ上の放射線感応 材料の簿い層を露光することによって、所期のパターンをウェハ上に直接に書き 込むことができ、あるいは、電子線装置を用いて作成したマスクを使用して半導 体ウェハ上のフォトレジストの薄い層を光学的に露光することによって、所期の パターンを書き込むこともできる。パターンが直接書き込まれようと、マスクを 用いて間接的に書き込まれようと、電子線装置の制御は同じである。一般に、半 導体ウェハ全体を露光するのに使用される直接書込み電子線リソグラフィの方法 および装置の例については、本出願人に譲渡された米国特許第４４９４００４号 明細書を参照されたい。同特許に開示されているように、コンピュータを使用し て電子線を制御することも周知である。

電子線リソグラフィには、非常に小さい幾何形状に対して非常に鋭く画定された パターンが得られるという利点があるが、コンピュータによって設計された形状 からフォトレジストまたは放射線感応層（レジスト）上の物理像にこれらの形状 を転写するのは、コストも時間もかかることがあり得る。

形状の転写に関連するコストのほとんどは、コンピュータの運転費用であり、こ れも一般に時間に依存する。したがって、コンピュータの動作時間を短縮すれば 、電子線リングラフィに関連する時間もコストも削減される。

通常、電子線装置は、長方形など、１つの特定の種類の形状しか書き込めない。

したがって、長方形より複雑な設計形状をレジストにプリントするために、電子 線装置では、一連の様々な寸法の連続する長方形をプリントする。これらプリン トされた長方形によって形成されるパターンは、設計形状に一致するかあるいは ごく近似している。これらプリントされた長方形の寸法と配置は、長方形で形状 を充填したように見えることから「充填」と称する工程で設計形状から生成され る。充填で生成された長方形を、充填長方形と称する。

充填で生成された充填長方形は、電子線装置を制御するための寸法および配置の 情報を供給するが、近接補正値と呼ばれる露光情報は提供しない。近接補正値と は、露光時間すなわち電子線装置でレジストを露光する時間の長さの調節値であ る。近接補正とは、長方形の近傍（その長方形に十分近接した範囲にある長方形 ）を露光することによって引き起こされる、長方形をプリントする際の干渉に関 する補正値を計算するステップである。その影響を近接効果と称するが、これは 、基本的には、露光される長方形の周囲のレジストを部分的に露光することであ る。ある設計の充填長方形のすべてに対して近接補正を行わない場合、長方形の 一部が露光過剰になるはずである。露光過剰が起こると形状の明確さが失われ、 その結果、長方形の代りに丸いスポットがプリントされる可能性が生じる。

ある設計が充填され、近接補正された後、これを副フィールドに断片化しなけれ ばならず、その副フィールドを個別に書き込まなければならない。各副フィール ドは、電子線装置のビーム偏向範囲の最大値を越えない。副フイールド間の境界 に沿った形状は、その境界で分離された後に、その境界に沿って互いにオーバー ラツプさせることによって、互いにスプライス接合される。副フイールド境界に 沿って形状をスプライス接合する必要があるのは、通常、境界に沿って位置ずれ が発生するからである。スプライス接合は、形状の充填長方形に対して行われる 。したがって、オーバーラツプ部分を越えて延びる充填長方形は、２つのオーバ ーラツプする充填長方形に分割しなければならない。従来技術のスプライス接合 方法が、参照によって本発明に組み込まれる米国特許第４８１６６９２号明細書 に開示されている。同特許に開示されているように、２つのオーバーラツプする 長方形のオーバーラツプ部分は、はぼ半分（実際には半分よりわずかに多い）の 露光を受け、その結果、充填長方形のオーバーラツプ部分は、全線量とほぼ同等 の露光時間を受ける。２つのオーバーラツプ長方形のそれぞれのオーバーラツプ 区域は、「グレイ化」される（ｇｒｅｙｅｄまたはｇｒａｙｅｄ）と言われる。

上述のようにある長方形の２つの部分をスプライス接合して単一の長方形を書き 込むことを、「グレイ・スプライス接合Ｊ　（ｇｒｅｙ−ｓｐｌｉｃｉｎｇまた はｇｒａｙ−ｓｐｌｉｃｉｎｇ）と称する。この英語の２つの綴りは、当技術分 野では同じ方法を指し、２つの異なる方法または代替方法を指すものではない。

プレイ・スプライス接合を用いると、形状のうちの幾つかが両方の副フィールド によって共有され、したがって副フイールド境界をまたぐ場合でも、２つの近接 する副フィールドが順次露光できるようになるが、グレイ・スプライス接合を用 いると、データ量が増加する。この結果は、データ量の削減という電子線システ ムの目標に反するものであった。データ量削減のための従来技術の手法は、「マ クロ・バッファ」と称するデータ短縮サブシステムを電子線システムに追加する ことであった。

電子線装置のマクロ・バッファは、「ユーザ定義マクロ」（ｔＪ　Ｄ　Ｍ）と称 する一連の反復されるコマンドを記憶するのに使用される、電子線装置の記憶域 の一部分である。電子線装置が反復パターンを露光しなければならない時はいつ も、ＵＤＭとしてマクロ・バッファ内に記憶されたその反復パターン用の制御が 、所望のパターンを露光する際に検索され、装置に対する制御が提供された。こ の制御は、近接補正済みの充填長方形から生成された一連のコマンドであり、数 値制御（ＮＧ）データと称する。反復パターンの識別は、形状設計者（ユーザ） に委ねられていたので、反復ＮＧデータ（マクロ）は、その装置のユーザによっ て定義された。

マクロ・バッファに記憶されないＮＧデータは、パターン・バッファと称する電 子線装置の主記憶域に残される６通常、ＵＤＭには、たとえばランダム・アクセ ス・メモリ・　（ＲＡＭ）セルなど、非常に反復頻度の高いアレイ・セルのＮＧ データが格納される。したがって、パターン・バッファ内でそのセルが発生する ごとに、単一のセルの近接補正済み充填長方形をすべて記憶する代わりに、マク ロ読取りコマンドと呼ばれる単一のコマンドが発生ごとに記憶される。このマク ロ読取りコマンドには、マクロ・バッファ内でのそのマクロの位置（アドレス） とそのマクロのサイズが含まれる。したがって、単一のマクロ読取りコマンドが 、パターン・バッファ内でマクロが出現するごとにＮＧデータの大部分を占める はずのものと置き替わる。たとえば、そのマクロが、百万個以上のＲＡＭセルを 有するＩＭビットＲＡＭチップ上のＲＡＭセルである場合、そのセルに対してマ クロ読取りコマンドを使用することによって実現されるデータ量の節約は、百万 倍以上になる。そのマクロが１つのマクロ読取りコマンドよす１０００バイト多 い情報を含む場合、１０億バイト以上の記憶域が節約されることになる。

マクロ・バッファを介するデータ短縮の一部は、マクロがグレイ・スプライス接 合される時に失われる。グレイ・スプライス接合は、設計の充填と近接補正の後 に行われる。あるマクロが副フイールド境界と交差する場合、副フイールド境界 と交差する、あるいはそれをまたぐ充填長方形をグレイ化しなければならない。

しかし、１つの設計中で単一の形状または形状のグループが何度も使用されるこ とがあり、その結果、形状の配置が複数の副フイールド境界と交差し、したがっ て、そのマグロは、その形状または形状のグループのために境界ごとに異なるグ レイ化を必要とすることになる。通常、１つのマグロは、すべての境界と同じ形 で交差するわけではない。したがって、単一のマクロが、各境界交差ごとに独自 のグレイ化を必要とし、したがって、マクロの反復性に影響を与える可能性があ る。

この問題に対する従来技術の解決策では、この反復性の喪失に対処できなかった 。これらの従来技術の解決策には、副フイールド境界に重なるマクロの発生をネ スト解除すること、あるいはそのマクロ内のすべての充填長方形をグレイ化する ことが含まれる。第１の手法では、パターン・バッファ内で記憶または処理され るデータが増加した。パターン・バッファのデータ量が増加するのは、そのパタ ーン内で発生するマクロ読取りコマンドが、プレイ・スプライス接合されるマク ロのＮＧデータで置換されたからである。これらのマクロの発生は、形状がグレ イ・スプライス接合を必要とするか否かに関らずネスト解除された。グレイ・ス プライス接合を必要とする個々の形状を含まないマクロの発生は、そのマクロの 形状の一部が複数の副フイールド内に存在する時にはやはリネスト解除された。

電子線装置は、一時に１つの副フイールド内の区域しか露光できないので、後続 の副フイールド内の形状は、現副フイールド内で実行されるマクロ読取りコマン ドからは露光されず、その逆も成り立つ。したがって、境界をまたぐマクロをネ スト解除し、ネスト解除された形状を配置すること、すなわち、それらの形状の 近接補正済みのグレイ化された充填長方形を、各形状が存在する副フイールド用 のパターン・バッファ・データ内に配置することが必要であった。

第２の手法、すなわちマクロ内のすべての充填長方形をグレイ化することには、 ３つの悪影響があった。第１に、すべての充填長方形が、オーバーラツプ部分よ り大きくない小さな充填長方形に断片化されるので、マクロ・サイズが大きくな った。その結果、固定サイズのマクロ・バッファ内に置くことのできるＵＤＭの 数が少なくなった。第２に、マクロ形状の画質が影響を受けた。というのは、グ レイ化された区域の露光レベルが５０％よりわずかに太き（、したがって、その マクロ内のすべての充填長方形が露光過剰になったからである。また、画質に対 する影響、すなわちグレイ化が、オ−バーラップ領域の縁部付近で頻繁に発生し た。第３に、この手法では、各マクロが発生するたびに電子線装置が実行しなけ ればならないコマンドの数が増加するので、電子線装置の速度が低下した。

［発明の目的］ 本発明の目的は、粒子ビーム装置を用いる半導体チップ製造を改良することであ る。

本発明のもう１つの目的は、粒子ビーム装置を用いる半導体チップ製造に必要な コンピュータ処理時間を短縮することである。

本発明のもう１つの目的は、マクロ空間をより効率的に使用することである。

本発明のもう１つの目的は、粒子ビーム装置を制御するのに使用されるネスト解 除されたデータを最少にすることである。

本発明のもう１つの目的は、大きな半導体チップ上の形状の品質を改善すること である。

本発明のもう１つの目的は、形状のグレイ化を最少にすることである。

本発明のもう１つの目的は、形状のプレイ化、形状のグレイ化中に作成されるネ スト解除されたデータおよび半導体チップ上の形状の品質の低下を最少にすると 同時に、半導体チップ製造に必要なコンピュータ処理時間を短縮し、データ量を 最少にすることである。

［発明の開示コ 本発明の教示によれば、グレイ化されないマクロ区域用の充填長方形がマクロ・ バッファから検索され、グレイ化される区域用の充填長方形がネスト解除されて パターン・バッファに記憶される、より高速で効率的なマクロ配置およびグレイ 化の方法が提供される。まず、そのマクロ内のどこでグレイ化が行われるか判定 しやすくするため、マクロを分析し編成する。このマクロ編成ステップでは、充 填長方形を、そのマクロの最大寸法の方向で整列し、連続する充填長方形を互い に連鎖し、各連鎖ごとにこのマクロ用のシャドウを作成する。第２のステップは 、マクロ配置およびグレイ化のステップである。このステップでは、副フイール ド座標をマクロ座標に変換する（逆変換と称する）ことによって、チップ上の副 フイールド境界をマクロ上に写像する。副フイールド境界がマクロ内に写像され た状態で、グレイ・スプライス接合される充填長方形を識別する。グレイ化され たマクロが発生するごとに、そのマクロ読取りコマンドが、パターン・バッファ 内の、プレイ化されたマクロが存在する各副フイールド内で、その副フイールド 内のマクロのプレイ化されない部分のＮＧデータだけを指すマクロ読取りコマン ドで直換される。

グレイ・スプライス接合された長方形は、その後、パターン・バッファに記憶さ れる。

［図面の簡単な説明］ 本明細書の末尾には、本発明の内容を具体的に指摘し、明確に請求する特許請求 の範囲があるが、本発明の好ましい実施例の詳細は、以下の技術的な説明を下記 の図面と併せて読めば容易に確認できよう。

第１図は、好ましい実施例のマクロ編成ステップの流れ図である。

第２Ａ図は、マクロ配置の例である。

第２Ｂ図は、横長マクロ長方形の順序付けの例である。

第２Ｃ図は、縦長マクロの整列順序付けの例である。

第３Ａ図は、マクロ・シャドウの例である。

第３Ｂ図は、連鎖シャドウの例である。

第３Ｃ図は、副フイールド境界をまたぐマクロ配置の例である。

第４Ａ図は、ｒＦＪ字形図形の鏡像回転テーブルの図である。

第４Ｂ図は、充填長方形によって充填されたマクロの形状の例である。

第４Ｃ図は、マクロの充填長方形を副フイールド座標に変換する従来技術の方法 を表す図である。

第４Ｄ図は、副フィールドからマクロ座標への逆変換を表す図である。

第５図は、垂直および水平のｒＦｒｏｍＪ副フィールドおよび「Ｔｏ」副フィー ルドを表す図である。

第６図は、鏡像化なし、角度＝ＯｏでのｒＦＪ字形図形の逆変換の例を示す図で ある。

第７図は、鏡像化なし、角度＝９０°でのｒＦＪ字形図形の逆変換の例を示す図 である。

第８図は、鏡像化なし、角度＝１８０’での「Ｆ」字形図形の逆変換の例を示す 図である。

第９図は、鏡像化なし、角度＝２７０’での「Ｆ」字形図形の逆変換の例を示す 図である。

第１Ｏ図は、鏡像化あり、角度＝０°でのｒＦＪ字形図形の逆変換の例を示す図 である。

第１１図は、鏡像化あり、角度＝９０°での「Ｆ」字形図形の逆変換の例を示す 図である。

第１２図は、鏡像化あり、角度＝１８０’での「Ｆ」字形図形の逆変換の例を示 す図である。

第１３図は、鏡像化あり、角度＝２７０’での「Ｆ」字形図形の逆変換の例を示 す図である。

第１４図は、副フイールド境界をまたぐかどうかマクロ・シャドウを検査する方 法を表す図である。

第１５図は、副フイールド境界をまたぐかどうか連鎖シャドウを検査する方法を 表す図である。

第１６図は、連鎖をマクロ読取りコマンドおよびグレイ化された形状に変換する 方法を表す図である。

第１７Ａ図は、６つの副フィールドからなるグループを表す図である。

第１７Ｂないし第１７０図は、マクロの第１の変換用の割当てテーブルを表す図 である。

第１７Ｄ図は、マクロの第２の変換用の割当てテーブルを表す図である。

第１８ないし第２１図は、本発明の好ましい実施例のマクロ配置およびグレイ化 ステップの流れ図である。

［発明の好ましい実施例］ 本発明の好ましい実施例では、マクロのネスト化が、グレイ化されたマクロが発 生する場合でも維持される。グレイ化されたマクロをパターン・バッファ内でネ スト解除する代わりに、副フイールド境界に沿ったグレイ化された充填長方形だ けを、ネスト解除された長方形としてパターン・バッファ内に記憶する。マクロ のグレイ化されない部分は、そのマクロの一部を含む副フィールドを書き込む時 に、マクロ・バッファから検索される。したがって、マクロ・バッファ内に記憶 されたマクロからできる限り多くの情報を使用することによって、データ短縮が 維持され、従来技術のマクロ・グレイ化技法が引き起こすデータ量の増大と比較 して、データ量はあまり増加しない。以下では、「マクロ」という用語は、マク ロ・バッファ内に記憶されたＮＣデータ、ＮＣデータの導出元であった充填長方 形、および、充填長方形がそこから生成され、電子線露光の最終結果となる形状 を意味するものとして使用する。これは、当業者にとって、「マクロ」という用 語の通常の使用法である。したがって、当業者は、それが使用される文脈から、 「マクロ」が何を指すかを理解できるはずである。たとえば、マクロの充填は、 ＮＣデータの導出元である形状のグループを充填することを指し、マクロのグレ イ化は、充填長方形のグレイ・スプライス接合を指すことを理解するはずである 。好ましい実施例では、まず、後で修正するため、マクロの近接補正済み充填長 方形を分析し、編第１図は、マクロ編成と称する、本発明の好ましい実施例のこ の最初の主要ステップの流れ図である。マクロ編成では、たとえば第２Ａ図の１ ３０などの副フイールド境界がそのマクロを横切る（切断する）場合に、最も多 数の連続する充填長方形を生じる可能性が最も高くなるような順序で、充填長方 形を編成する。したがって、このマグロは２次元であるが、その一方の次元が他 方より長い場合、そのマクロの充填長方形は、各長方形の左上の頂点に従って、 まずマクロの主整列フィールドと称する最大の次元の方向、次にマクロの副整列 フィールドと称するより小さい次元の方向で、整列される（１００）。したがっ て、第２Ｂ図に示すように縦よりも横に長いマクロの充填長方形は、左から右（ 主整列フィールド）に整列された後に上から下（副整列フィールド）に整列され る。すなわち、共通のＸ座標整列点を有する充填長方形が、各充填長方形のＹ座 標に従って降順に整列される。しかし、第２Ｃ図に示すように横よりも縦に長い マグロは、その充填長方形が上から下（主整列フィールド）に整列された後に左 から右（副整列フィールド）に整列される。すなわち、共通のＹ座標整列点を有 する充填長方形が、Ｘ座標整列点に従ってＸ方向に昇順に整列される。したがっ て、マクロ充填長方形の整列によって、副フイールド境界でのマクロ発生のほと んどで、副フイールド境界の交差が一緒にまとめられる可能性が最も高い長方形 のリストがもたらされる。したがって、このリストがそのような交差によって断 片化される場合、生じる可能性の高い断片の数が最小になる。言い換えると、生 成されるリスト断片は最大になる可能性が最も高い。すなわち、最も多数の連続 する長方形を有する可能性が最も高い。

あるマクロの高さと幅が等しい時は、高さまたは幅のどちらかを、主整列フィー ルドおよび副整列フィールドとして選択することができる。好ましい実施例では 、マクロの高さと幅が等しい時には、幅をそのマクロの主整列フィールドとし、 高さをそのマクロの副整列フィールドとして選択する。

充填長方形は、１００で整列される際に、リンク・リスト構造に置かれる。その マクロの充填長方形は、長方形の左上頂点のそのマクロ内での位置に従ってリン ク・リスト中に置かれるので、マクロ形状の充填長方形が、連続するグループと してまとめられず、リスト中の至る所に分散される可能性が高い。したがって、 マクロ形状ごとにその形状の充填長方形のすべてを互いにリンクする連鎖を作成 する。マクロ形状の充填長方形はそれぞれ、連鎖を形成するリスト中で、その形 状の充填長方形のうちの他の充填長方形にリンクされる。

したがって、第２Ｂ図のマクロ１４０の場合、充填長方形１４２．１４４．１４ ６をこの順に互いにリンクすることによって１つの連鎖が作成され、第２Ｃ図の マクロ１５０の場合、充填長方形１５２．１５４．１５６をこの順に互いにリン クすることによって１つの連鎖が作成されることになる。第２Ａ図では、縦長の 細いマクロ１５０が、最も頻繁に水平に切断され、短い横長のマクロ１４０が、 最も頻繁に垂直に切断されることに留、意されたい。各連鎖を作成する際に、作 成される連鎖とマクロ全体に関して、それを囲む最小のウィンドウが決定される 。それを囲む最小のウィンドウをシャドウと称するが、これは、連鎖（またはマ クロ）を完全に囲む最小の長方形、すなわち第２Ｂ図では１４８、第２Ｃ図では １５８である。

連鎖を作成するために充填長方形を互いに連鎖する処理（１０２）は、整列（１ ００）で作成されたリスト中の最初の充填長方形から始まる。まず、マクロ・シ ャドウと連鎖シャドウの両方を、リストからの最初の充填長方形に等しくセット する（１０４）ことによって初期設定する。マクロ・シャドウと連鎖シャドウの 両方を初期設定（１０４）した後に、残りの充填長方形を連鎖に追加する。残り の充填長方形はそれぞれ、その整列された順序で連鎖に順次追加される（１０６ ）。ただし、充填長方形を連鎖に追加する前に、その充填長方形を囲むために必 要なら、マクロ・シャドウを拡大する（１０８）。次に、その充填長方形を検査 して、作成済みの連鎖のうちの１つのシャドウと交差するかどうかを判定する（ １１０）。その充填長方形が、既存の連鎖のどのシャドウとも交差しない場合は 、新規の連鎖を開始しく１１２）　、新規連鎖のシャドウをその充填長方形に初 期設定する（１１４）。

しかしその充填長方形が既存の連鎖のうちの１つのシャドウと交差する場合は、 その充填長方形をその連鎖に追加しく１１６）、追加された充填長方形を囲むた めに必要なら、連鎖のシャドウを拡大する（１１８）。その充填長方形が、２つ 以上の連鎖シャドウと交差する場合は、検査を行って、その充填長方形が２つ以 上の連鎖を互いに接続するかどうかを判定する。その充填長方形が複数の連鎖を 互いに接続する場合は、接続される連鎖から単一の連鎖を形成し、その結果得ら れる単一の連鎖用の単一の連鎖シャドウを形成する。すべての充填長方形が連鎖 されると、各マクロ形状の充填長方形が互いに連鎖されており、各連鎖（形状） とそのマクロのためのシャドウが生成されており、マクロ編成は完了する（１２ ０）。第３Ａ図は、設計形状１６０および１６２の対と、設計形状１６２の充填 長方形をグレイ化するためのマクロを編成することによって作成されたマクロ・ シャドウ１６４の例を示す図である。第３Ｂ図は、それぞれ対応する連鎖シャド ウ１６６および１６８を有する、第３Ａ図と同じ設計形状１６０および１６２を 示す図である。第３Ｃ図は、副フイールド境界１７０をまたぐマクロ・シャドウ １６４を示す図である。連鎖シャドウ１６６および１６８はそれぞれ完全に１つ の副フイールド内にある。

上記のようにマクロ編成が完了すると、マクロ配置およびグレイ化と称する第２ の最終の主要ステップを行うことができる。マクロ配置およびグレイ化ステップ では、各マクロの配置を決定し、そのマクロがグレイ化を必要とするかどうかを 判定する。

マクロ配置とグレイ化 従来技術のグレイ化方法では、グレイ化されたマクロがネスト解除され、したが って、マクロ充填長方形が副フイールド座標に変換されていた。しかし、マクロ をネスト解除すると、データが増加して、マクロを設ける目的が無効になり、ネ スト化された処理によってもたらされる利益が失われる。

それとは対照的に、本発明では、まず副フイールド境界をマクロ座標に変換し、 その後、実際にグレイ・スプライス接合されるあるいは実際にデータ量を増加さ せる充填長方形だけをネスト解除することによって、ネスト化とそれに伴う利益 を維持する。

逆変換を理解するには、まず、副フイールド座標へのマクロ変換を理解しなけれ ばならない。この変換には、配置、回転および鏡像化の３つの要素が伴う。「配 置」とは、副フイールド内でのマクロの平行移動または位置決めである。マクロ をある位置に配置するには、そのマクロの原点にオフセット値を加算し、次に設 計フィールドの原点におけるオフセット・マクロを加算し、こうしてそのマクロ をフィールド内のオフセット位置に置く。「回転」とは、配置済みのマクロをそ の原点の回りで回転することである。好ましい実施例では、マクロの回転が、９ ０’の倍数すなわちＯ’　、９０’　、１８０６および２７０°に制限されてい る。［鏡像化Ｊとは、Ｙ軸の回りでの鏡像化が存在するか否か、すなわち、マク ロまたはその鏡像が配置されたかどうかを指す。その結果、第４Ａ図のｒＦＪ字 形の実例（この場合、ｒＦＪ形は、回転なし、鏡像化なしの形状を表す）で例証 されるように、許される４つの回転を２つの鏡像と組み合わせて、８つの独自の 変換がある。マクロは、設計の座標に変換されるので、設計内でのマクロの各出 現をそのマクロの変換と称する。マクロの出現をマクロ変換と称する。マクロを 副フィールドに変換するには、かなりの量の計算処理資源を必要とすることがあ る。たとえば、第４Ｂ図のマグロは、４つの設計形状を充填する１６８個の充填 長方形を有する。このマクロをネスト解除したなら、マクロの各出現（変換）で 、これらの充填長方形がそれぞれ、第４Ｃ図に示すようにそのマクロの配置、回 転および鏡像化に従って、配置され、回転され、鏡像化されることになる。

別法として、本発明で提供されるように、２つの副フィールドの境界をマクロ座 標に変換することによって、データ量とコンピュータ処理資源を共に最小にする ことができる。これを逆変換と称する。逆変換では、第４Ｄ図に示すように、副 フィールドの５つの境界を配置し、鏡像化し、回転してマクロの座標にすること だけが必要である。こうして副フィールドの境界をマクロ座標に逆変換すること によって、マクロをネスト解除せずにどのようなグレイ化が必要になるかを予測 する方法が提供され、これによって、従来技術に比べて大きな利益がもたらされ る。

しかし、どのようなグレイ化が必要になるかを判定する前に、まず、グレイ化が 必要になるかどうかを判定しなければならない。あるマクロのシャドウを副フイ ールド座標に変換することによって、マクロが副フイールド境界と交差するかど うか、したがってこれをグレイ化しなければならないかどうかを、簡単に判定す ることができる。マクロに対する特定の変換は、そのマクロのシャドウの変換で もあり、したがって、これによってそのマクロがどの副フイールド内に存在する かが決定される。マクロの配置は、副フイールド内でのマクロ・シャドウの位置 を決定する。その配置と、マクロの回転および鏡像化を組み合わせると、マクロ ・シャドウが副フイールド境界と交差するかどうか、交差するならばどこでどの ように交差するかが決定される。マクロ・シャドウ、すなわち上のマクロ編成ス テップで生成されたものと同じマクロ・シャドウを副フイールド座標に変換する と、そのマクロがどの副フィールドに触れるかが決定される。変換後のシャドウ が１つの副フィールドだけに触れる場合、そのマクロは、副フィールド境界と交 差せず、したがってグレイ化を必要としない、しかし、シャドウが複数の副フィ ールドに触れる場合は、グレイ・スプライス接合が必要になる可能性があり、そ のマクロの充填長方形のうちの幾つかは、シャドウが触れる各副フィールドの中 にある。シャドウが複数の副フィールドに触れる時には必ず、マクロ・シャドウ に触れるすべての副フィールドに対して逆変換が行われる。逆変換は、どのマク ロ充填長方形をプレイ・スプライス接合しなければならないか、およびどの副フ ィールドに残りの（プレイ・スプライス接合されない）充填長方形を配置し、な ければならないかを判定するために行われる。

副フィールドは通常は正方形であるので、副フィールドの対は通常は長方形であ り、第５Ａ図に示すように垂直の共通境界１７２を有する水平の副フイールド境 界１７０か、あるいは第５Ｂ図に示すように水平の共通境界１７６を有する垂直 の副フイールド境界１７４のどちらかを特徴とする。一方の副フィールドをｒＦ ｒｏｍＪ副フィールドと称し、他方をｒ　Ｔ　ｏ　Ｊ副フィールドと称する。好 ましい実施例では、垂直の副フイールド対の場合、上側の副フィールドをｒＦｒ ｏｍＪ副フィールド１７８と称し、下側の副フィールド１８０をｒＴｏＪ副フィ ールドと称する。好ましい実施例では、水平の副フイールド対の場合、左の副フ ィールド１８２をｒＦｒｏｍＪ副フィールドと称し、右の副フィールド１８４を 「ＴＯ」副フィールドと称する。グレイ化は、副フイールド境界と交差するすべ ての連鎖に対して行われるが、この交差は、その連鎖のシャドウが副フイールド 境界と交差するかどうかによって決定される。充填長方形の一部またはすべてが 、グレイ・スプライス接合を必要とする可能性がある。どのマクロ形状がグレイ 化を必要とするかを判定するため、ｒＦｒ。

ｍ」副フィールドから始めて、副フイールド境界を横切って、近接するｒＴｏＪ 副フィールドまで、マクロの形状のシャドウをすべて検査する。ただし、どの形 状をグレイ化しなければならないかを判定する前に、副フイールド座標をマクロ 座標に変換する。

逆変換 上記で指摘したように、逆変換とは、１対の副フィールドの共通境界をマクロ座 標に写像することを意味する。逆変換の後、ｒＦｒｏｍＪ副フィールドとｒＴｏ Ｊ副フィールドがマクロ内で識別でき、鏡像化されず回転されないマクロをグレ イ化することができる。副フィールドの対をマクロ座標に変換するには、副フィ ールドの各辺の位置を、マクロの座標系中で識別しなければならない。逆変換さ れた副フイールド対の頂辺を突き止めるには、まずその副フイールド対の境界を 見つける。この頂辺は、変換後のマクロの頂部にあり、すなわち変換後のマクロ ・シャドウの原点より上にある。逆変換された副フイールド対の左辺も、その対 の境界を見つけることによって突き止められる。これは、変換後のマクロ・シャ ドウの原点の左にある。変換後の副フイールド対の頂辺と左辺を識別することに よって、その対の右辺と底辺も識別される。垂直と水平の両方の副フイールド対 の、Ｆ字形の形状を有するマクロに対する逆変換を、第４Ａ図に列挙した８つの 可能なマクロ変換のそれぞれについて、第６図ないし第１３図に示す。副フイー ルド対のｒＦｒｏｍＪフィールドと「ＴＯ」フィールドも逆変換されることは、 逆変換の所期の結果である。したがって、ｒＦｒｏｍＪ副フィールドは、マクロ 座標中で「ＴＯ］副フィールドに逆変換され、［ＴＯ」副フィールドはマクロ座 標中でｒｌ：’ｒｏｍＪ副フィールドに逆変換される、すなわち「裏返し」にな る可能性がある。マクロ変換と逆変換の関係は、次のようにまとめられる。

ＭＡ　左辺′　頂辺′　裏返し　図 ＯＯ°　Ｆｒｏｍ左辺−Ｔｘ　Ｆｒｏｍ頂辺−ＴｙＮ６０９０°　Ｔｏ底辺−Ｔ ｙ　Ｔｘ　−Ｆｒｏｍ左辺　ｖ７０１８０°　Ｔｘ　−Ｔｏ右辺　Ｔｙ　−Ｔｏ 底辺　Ｂ８０２７０°　Ｔｙ　−Ｆｒｏｍ頂辺　Ｔｏ右辺−Ｔｘ　Ｈ９１０°　 Ｆｒｏｍ左辺−Ｔｘ　Ｔｙ−Ｔｏ底辺　Ｖ　１０１９０°　Ｔｏ底辺−Ｔｙ　Ｔ ｏ右辺−Ｔｘ　Ｂ　１１１　１８０’　Ｔｘ−Ｔｏ右辺　Ｆｒｏｍ頂辺−Ｔｙ　 Ｈ１２１２７０’　Ｔｙ−Ｆｒｏｍ頂辺　’Ｔｘ　−Ｆｒｏｍ左辺　Ｎ　１３た だし： Ｍは鏡像化を示す（０＝なし、１＝あり）。

Ａは度単位での回転角度を示す。

左辺′は、副フイールド座標からマクロ座標に変換された逆変換後の左辺の辺と ｒＴｏＪまたはｒＦｒｏｍＪ副フィールドの位置を示す。

頂辺゛は、副フイールド座標からマクロ座標に変換された逆変換後の頂辺の辺と ［ＴＯ」またはｒＦｒｏｍＪ副フィールドの位置を示す。

Ｔｘは、副フイールド座標でのマクロ原点のＸ平行移動量である。

Ｔｙは、副フイールド座標でのマクロ原点のＸ平行移動量である。

裏返は、逆変換後のｒＴｏＪ副フィールドとｒＦｒｏｍＪ副フィールドが裏返し になる時を示す。

Ｎは、裏返しが発生しないことを示す。

■は、垂直副フイールド対で発生することを示す。

Ｈは、水平副フイールド対で発生することを示す。

Ｂは、水平と垂直の両方の副フイールド対で発生することを示す。

図は、所与のマクロ変換について、ｒＦＪ字形の図形を含むマクロの逆変換の例 を示す対応する図の番号を示す。

逆変換の結果、副フイールド境界が、鏡像化されず回転されないマクロ座標に写 像される。逆変換を行うと、マクロの充填長方形のすべてを副フイールド座標に 変換せずに、配置およびグレイ化またはプレイ処理が完了できるようになる。

第１４図、第１５図および第１６図は、本発明のプレイ・スプライス接合方法で の３段階の検査を示す図である。まず、第１４図に示すように、マクロ・シャド ウ（２００および２０２）を、副フィールド２０４および２０６の座標に変換す る。マクロ・シャドウ（２００）が副フイールド境界と交差しない場合、それ以 上の検査は行われず、このマクロ変換のために単一のマクロ読取りコマンドが作 成される。副フイールド境界は、その両側にオーバーラツプ領域２０８を有する 。

オーバーラツプ領域２０８は、両方の副フィールドが共有し、両方の副フィール ドの一部である。このオーバーラツプ領域を越えて延びないマクロまたは形状は 、完全に１つの副フイールド内にあるので、プレイ化の候補となるためには、マ クロは両側フィールドのオーバーラツプ領域２０８を越えて延びなければならな い。以下では、マクロ形状または充填長方形が副フイールド境界と交差するまた はそれをまたぐという時、そのマクロ、形状または長方形が、両方のオーバーラ ツプ領域２０８を越えて延びる場合に限られることを理解されたい。

しかし、マクロ・シャドウ２０２がオーバーラツプ領域２０８を越える場合、第 １５図に示すように、連鎖シャドウに対して第２の検査が行われる。副フイール ド境界と交差しないどの連鎖シャドウ２１０および２１２も、単一の副フィール ドに属するものとしてマークされる。副フイールド境界と交差するシャドウ２１ ４および２１６を含む連鎖に対してのみ、第３の最後の検査が行われる。

この最終検査では、第１６図に示すように、副フイールド境界の逆変換を使用し て、連鎖内の配置とグレイ化を決定する。各充填長方形は、テーブル（割当てテ ーブルと称する）中でマークされ、２つの副フィールド２４６および２４８のう ちの１つの中に存在すると指定される。充填長方形２２２〜２３０は、副フイー ルド２４６内にあり、充填長方形２３６〜２４４は、副フイールド２４８内にあ る。グレイ・スプライス接合しなければならない長方形２３２のために、唯１組 のグレイ・スプライス接合される長方形が作成される。この唯１組のグレイ・ス プライス接合される長方形は、パターン・バッファ内に置かれる。また、グレイ 化の後に、連鎖の一部でなくなった単一のグレイ・スプライス接合されない長方 形のＮＧデータを検索するのにマクロ読取りコマンドを使用するのは非効率的な ので、これらの単一の長方形も、パターン・バッファ内に置かれる。

例えば、第１７Ａ図は、それぞれＡ、Ｂ、Ｃ，Ｄ、Ｅ、Ｆで表した６つの副フィ ールドのグループ２５０を表す図である。マクロ２５２は、２回変換（Ｔｌおよ びＴ２）されて、６つの副フイールド内に置かれている。マクロ編成ステップで 、このマクロ充填長方形が整列され、連鎖されている。充填長方形のラベルが、 整列の順序を示す。作成された連鎖は、Ｒ１：Ｒ２、Ｒ３：Ｒ４、Ｒ５：Ｒ７お よびＲ６：Ｒ８である。各連鎖とマクロに関して、シャドウが作成されている。

マクロ・シャドウは２５４で表される。これらの連鎖に対して作成された連鎖シ ャドウは、それぞれ２５６．２５８．２６ｏ、２６２である。

第１８図ないし第２１図は、好ましい実施例のマクロ配置およびグレイ化ステッ プの流れ図である。この第２の主要ステップ、マクロ配置およびグレイ化は、各 マクロ変換に対して行われる（３００）。したがって、マクロ変換Ｔ１およびＴ ２が、変換バッファと呼ばれるバッファ内に維持されている、この設計用の全マ クロ変換のリストから検索される（３０２）。マクロ変換は、逐次配置されプレ イ化される。しかし、変換が配置されプレイ化される順序は、重要でない。各変 換が、配置およびグレイ化（以下、処理と称する）のために変換バッファ３０２ から検索される際に、異なるマクロの変換が検索される時には（３０６）、マク ロ編成ステップを実行して（３０８）、そのマクロを処理のために準備しなけれ ばならない。したがって、マクロの連鎖リスト、連鎖シャドウおよびマクロのシ ャドウが、マクロ編成ステップ３０８から配置およびグレイ化ステップ３１０に 渡される。マクロ編成ステップ３０８からのマクロＮＧデータは、鏡像化も回転 もされていない。各マクロに関して、上記の可能な鏡像化と回転の８つの組合せ のすべてが１つの設計で使用される可能性は非常に少ない。実際には、組合せの 数は２つか３つ、場合によっては１つである可能性がより高い。したがって、各 変換を処理する際に、検査を行って、その変換が前に処理された変換と同様に鏡 像化と回転を受けるのか、それとも新規の（未処理の）鏡像化と回転の組合せで あるのかを判定する（３１２）、マクロを副フィールドの座標に変換するには、 新規の鏡像化と回転の情報をそのマクロ・シャドウに適用しなければならない（ ３１４）。鏡像化と回転の情報をマクロ・シャドウに適用した後に、そのマクロ ・シャドウをマクロ変換の副フイールド座標に配置して、そのマクロ変換が触れ る副フイールド対を識別する（３１６）。変換後のマクロ・シャドウが触れる副 フィールドが４つ未満の場合（３１８）、検査を行って、そのシャドウが完全に １つの副フイールド内にあり、したがってグレイ化を必要としないかどうかを判 定する（３２０）。そのマクロがグレイ化を必要としない場合、単一のマクロ読 取りコマンドをパターン・バッファ内に置き（３２２）、次のマクロ変換を処理 する（３０４）。しかし、変換後のマクロシャドウが２つ以上の副フィールドに 触れる場合は、さらに処理を行う必要がある。

マクロ・シャドウが２つ以上の副フィールドに触れる場合、その変換用の割当て テーブルを作成する。割当てテーブルは、各副フイールド対内のすべてのマクロ 充填長方形ごとに１つのエントリを有する。エントリはすべて、当初、ｎｅｉｔ ｈｅｒ　（どれでもない）を表すＮにセットされ、対応する長方形が副フイール ド対に割り当てられていないことを示す。第１７Ａ図のＴ１とＴ２は、どちらも ４つの副フィールドに触れている。

第１７Ｂ図は、第１７Ａ図の変換Ｔ１の割当てテーブルを表す図である。Ｔ１は ４つの副フイールド対Ａ／ＣＳＢ／Ｄ、Ａ／ＢおよびＣ／Ｄに触れている。Ｔ１ の割当てテーブルは、副フイールド対ごとに１行、充填長方形ごとに１列を有す る。

Ｔ１の割当てテーブル内の各エントリは、Ｎに初期設定されている。

割当てテーブルの作成と初期設定の後に、マクロ・シャドウに触れる各副フィー ルドについて（３２４）、各副フイールド対をマクロ座標に逆変換する（３２６ ）。各マクロ形状の連鎖シャドウについて（３２８）、その位置を検査して、そ の形状が完全に１つの副フイールド内にあり、したがってグレイ化が不要である かどうかを判定する。その連鎖が完全に１つの副フイールド内にあると判定され る場合（３３０）は、その連鎖内の形状はすべて、その副フイールド内にあると 設定される　（３３２）。

３３０で、シャドウが完全に１つの副フイールド内にあるのではな（、少な（と も１つの副フイールド境界と交差する場合、その連鎖は、複数の副フイールド内 にあり、グレイ化を必要とする。連鎖がグレイ化を必要とする場合、各充填長方 形を、副フィールドに割り当てるか、あるいはその充填長方形だけをグレイ・ス プライス接合し、グレイ・スプライス接合された長方形をパターン・バッファ内 に記憶するかして処理しなければならない（３３４）。各充填長方形は、副フイ ールド対内でのその長方形の位置を決定することによって、副フィールドに割り 当てられる。上記で指摘したように、副フイールド対の２つの副フィールドは、 ｒＦｒｏｍＪ副フィールドとｒＴｏＪ副フィールドとして指定される。充填長方 形がある副フイールド内にあるためには、完全にその副フイールド内に（その副 フィールドの他の副フィールドへのオーバーラツプ部分を含む）ある必要がある 。したがって、副フイールド対の副フィールドのうちの１つの中に完全に収まる 充填長方形は、ｒＦｒｏｍＪ副フィールドとｒＴｏＪ副フィールドのどちらかの 中にある。また、副フイールド対に触れるが、対のどちらの副フィールドにも完 全には収まらない充填長方形は、どちらの副フィールドの中にもない。２つの副 フィールドのオーバーラツプ部分内に完全に収まる充填長方形は、どちらかの副 フィールドの中にある。最後に、一部の充填長方形は、副フイールド対の中には 完全に収まるが、１つの副フィールドに完全には収まらず、したがって両者にま たがり、グレイ・スプライス接合を必要とする長方形である。

別の（割当てテーブル内で）後続の副フイールド対の充填長方形が処理される前 に、１つの副フイールド対に含まれる充填長方形がすべて処理される（３３４） 。充填長方形の処理では、まず形状を検査して、それが副フイールド対の外部に あるかどうかを判定する（３３６）。その形状が副フイールド対の外部にある場 合（３３６）、割当てテーブル内の対応するエントリは変更されない。その長方 形がその副フイールド対の中にある場合、まず、その副フイールド対に含まれる その長方形の割当てテーブル・エントリを検査して、前の副フイールド対の中の 長方形が処理された時にその長方形が副フィールドに割り当てられたか、あるい はグレイ・スプライス接合されたかを判定する（３３８）。その長方形が前に副 フイールド対に割り当てられている場合、割当てテーブル内のそのエントリは変 更されない。これらの検査によって、その長方形が完全にこの副フイールド対の 中にあり、前に他の副フイールド対に割り当てられていないことがわかった場合 は、その長方形は、ｒＦｒｏｍＪ副フィールド内にあるか「ＴＯ」副フイールド 内にあるか、どちらかの副フイールド内にある（完全にオーバーラツプ部分内に ある）か、あるいは両者にまたがり、プレイ・スプライス接合しなければならな い長方形である。したがって、まずその長方形を検査して、それが完全に副フィ ールドのオーバーラツプ部分内にあるかどうかを判定する（３４０）。その長方 形が、副フィールドのオーバーラツプ部分内にある場合、現副フイールド対のそ の長方形のための割当てテーブル・エントリがＥとマークされる（３４２）。そ の長方形が完全に副フィールド・オーバーラツプ部分内にあるのではない場合は 、その長方形を検査して、それが完全にｒＦｒｏｍＪ副フィールドまたはｒＴｏ Ｊ副フィールド内にあるかどうかを判定する（３４４）。その長方形が完全に１ つの副フイールド内にある場合、その長方形のために、割当てテーブル内に適切 なエントリを作成する（３４６）。３４６で作成されるエントリは、その長方形 がｒＦｒｏｍＪ副フィールド内にあることを示すＦか、「ＴＯ」副フイールド内 にあることを示すＴのいずれかである。

長方形が３４２でＥとマークされず、３４６でＦまたはＴとマークされない場合 、その長方形は、境界をまたいでおり、切断される（第２０図の３４８）。また がる長方形をグレイ・スプライス接合のために切断しく３４８）、その長方形の ＮＣデータ内のグレイ・ビットをセットして、この長方形に対してプレイ化を行 うことを電子線装置に知らせる。その後、グレイ化された。長方形の２つの切断 部分だけをパターン・バッファに出力する（３５０）。次に、プレイ化された長 方形の割当てテーブル・エントリをＤで置換して（３５２）、その長方形に関し て長方形処理が行われたことを示す。各長方形が３４２．３４６または３５２で マークされる際、あるいはその長方形が副フイールド対の外にあるか（３３６） 、前に処理されている（３３８）と判定された時、その長方形を検査して、それ が処理される副フイールド対の連鎖の最後の長方形であるかどうか、すなわち連 鎖内のすべての長方形がり、Ｆ％ＴまたはＥとしてマークされているか、それと も意図的に未変更のまま残されているかを判定する（３５４）。

その連鎖内の長方形のすべてが処理済みになってはいない場合、連鎖内の次の長 方形を処理する（３３４）。

連鎖内の最後の長方形が処理された（３５４）時、検査を行って、連鎖の一部ま たは副連鎖が、副フイールド境界をまたぐかどうかを判定する（３５６）。また がる長方形は、すべて３４８．３５０および３５２でグレイ・スプライス接合さ れているので、またがる副連鎖３５７が存在するのは、Ｆとマークされた長方形 がＥとマークされた長方形によってＴとマークされた長方形に接続されている場 合だけである。またがる副連鎖が見つかった（３５６）場合、そのまたがる副連 鎖内のＥとマークされた長方形を、またがる長方形であるかのようにプレイ化す る（３５８）、すなわち、そのＥ長方形を３４８と同様に切断し、３５０と同様 にグレイ・ビットをセットし、パターン・バッファ内に置く。各Ｅ長方形を切断 し、グレイ化する（３５８）際に、ＥをＤで置換することによってその長方形の 割当てテーブル・エントリを変更して、その長方形を処理済みとしてマークする （３６０）。またがる副連鎖の一部でないＥ長方形は、グレイ化されずにＥとマ ークされたまま残される。

現連鎖についてまたがる長方形と副連鎖をグレイ化し終えた後に、検査を行って 、現連鎖が最後のマクロ連鎖であるかどうかを判定する（３６２）。現連鎖が最 後の連鎖でない（３６２）場合、図１９の３２８で、次のマクロ連鎖を処理する 。

現副フイールド対について最後の連鎖が処理済みになった場合、すなわち現連鎖 が最後のマクロ連鎖である場合（３６２）、現副フイールド対の割当てテーブル ・エントリを検査して、Ｆ％丁またはＥにマークされた長方形が残っている（グ レイ化されず、Ｄにマークされていない）かどうかを判定する（３６４）。現副 フイールド対についてＦ％ＴまたはＥにマークされたエントリが割当てテーブル に含まれる場合（３６４）、その副フイールド対内のグレイ化されない長方形を 含むマクロの部分用のマクロ読取りコマンドを生成しなければならない。これら のマクロ読取りコマンドは、変数”０ｐｅｎ”をＦ、ＴまたはＥに設定しく３６ ６）、第２の変数”Ｃ：１ｏｓｅ”を、”０ｐｅｎ”がセットされた値と反対の 値に、たとえば”０ｐｅｎ’　＝　Ｆであれば”Ｃ１ｏｓｅ”＝Ｔにセットする （３６８）ことによって生成される。好ましい実施例では、Ｅ　（ｅｉｔｈｅｒ ）にマークされた長方形は、マクロ読取りを生成する際にはＦ（Ｆｒｏｍ）にマ ークされた長方形として扱われる。その後、各”０ｐｅｎ”から始めて”Ｃ１ｏ ｓｅ”またはＤ（ｄｏｎｅ：処理済み）に遭遇するまで長方形を順次追加するこ とによって、割当てテーブルからマクロ読取りコマンドを生成する（３７０）。

単一の充填長方形では、マクロ読取りコマンドを生成すると、データ量が減少す るよりもむしろ増加することになるので、マクロ読取りコマンドは作成されない 。その代わりに、単一または単独の充填長方形が、グレイ化されずにパターン・ バッファ内に置かれ、割当てテーブル内で処理済みとしてマークされる。各マク ロ読取りコマンドを作成する際に、そのマクロ読取りコマンドの作成に使用され るＴ、ＦおよびＥとしてマークされた形状は、割当てテーブル内で処理済みとし てＤにマークされる。

マークされた形状がすべてパターン・バッファ内に置かれるか、あるいはマクロ 読取りコマンドに含められるまで、ステップ３６６．３６８．３７０を繰り返し て、充填長方形のすべてのグループのマクロ読取りコマンドを作成する　（３７ ２）。第１７Ｂ図、第１７０図および第１７Ｄ図は、各副フイールド対内の充填 長方形が処理される（３２８）際の第１７Ａ図のマクロ変換Ｔ１の割当てテーブ ルを示す図である。

第１７Ｂ図は、すべてのエントリがＮにセットされた初期設定済み割当てテーブ ルを示す図である。第１７Ｃ図は、Ｔｌ内の長方形の処理の後の割当てテーブル の状態を示す図である。副フィールド対Ａ／Ｃ内の充填長方形が処理された時、 Ｒ１とＲ２はどちらもＦとマークされ、共に完全に副フィールドＡ内にあること が示される。Ｒ５とＲ７はどちらもＴとマークされ、共に副フイールドＣ内にあ ることが示される。

Ｒ３、Ｒ４，Ｒ６およびＲ８は、対Ａ／Ｃの外部にあるので、これらのエントリ は未変更のまま残された。マクロ読取りコマンドが、Ｒ１とＲ２のために作成さ れ、Ｒ１とＲ２はＤとマークされた。単一の連鎖されない長方形であるＲ５とＲ ７は、ネスト解除された充填長方形としてパターン・バッファ内に置かれ、Ｄと マークされた。副フイールド対Ｂ／Ｄが処理された時、Ｒ３とＲ４はＦとマーク され、これらが副フィールドＢ内にあることが示され、Ｒ６とＲ８は、副フィー ルドＤに関してＴとマークされた。Ｒ３とＲ４のためにマクロ読取りコマンドが 作成され、これらはＤとマークされた。Ｒ６とＲ８は、ネスト解除された単一の 長方形としてパターン・バッファ内に置かれ、Ｄとマークされた。これら最初の ２つの副フイールド対が処理された時に連鎖がすべて処理されたので、ＴＩに関 する処理が完了し、次の変換が処理できるようになった。第１７Ｄ図は、Ｔ２を 処理した後の変換Ｔ２の割当てテーブルの状態を示す図である。

マークされた形状がすべてパターン・バッファ内に置かれるか、あるいはマクロ 読取りコマンドに含められた後に、割当てテーブルにまだＮとマークされた長方 形がある場合は、マクロの現変換に対するグレイ化を必要とする可能性のある副 フイールド対がまだ存在する（３７４）。したがって、次の副フイールド対に対 してグレイ化を続行する（図１９の３１４）。しかし、割当てテーブル・エント リがすべて処理済みのＤにマークされている場合は、検査を行って、処理済みで ない変換があるかどうかを判定する（３７６）、未処理の変換がある場合、次の 未処理の変換を処理する（３０４）。

また変換がすべて処理済みの場合、マグロは、すべての副フイールド境界に沿っ てグレイ化されている。グレイ化されたマグロは、ネスト解除されていない。グ レイ・スプライス接合された長方形と単一の長方形だけが、ネスト解除されてい る。すべてのマクロ変換に関してグレイ化が完了しく３７８）、なおかつデータ 短縮が維持され、ＣＰＵ時間が最小になっている。

本発明の好ましい実施例と見なされるものを本明細書で説明したが、当業者なら 、その変形および修正を思いつくであろう。したがって、添付の請求項は、好ま しい実施例と、本発明の趣旨および範囲に含まれる、そのような形態および細部 の変形および修正のすべてを含むものと解釈するものとする。

ＦＩＧ、１ ＦＩＧ、２Ａ ＦＩＧ、　２８　ＦＩＧ、　２Ｃ ＦＩＧ、　３Ａ　ｆｌＧ、　３８ ＦＩＧ、３Ｇ ＦＩＧ、４Ａ ＦＩＧ、４Ｂ ＦＩＧ、５８ ＦＲＯＭ　Ｔ。

ＦＩＧ、７ ＦＩＧ、８ ＦＩＧ、１０ ＦＩＧ、１１ ＦＩＧ、１３ ＦＩＧ、１４ ＦＩＧ、１５ 副フィールド　ＲＲＲＲＲＲＲＲ 対　１２３４５６７８ Ａ／ＣＮ　Ｎ　Ｎ　Ｎ　Ｎ　Ｎ　Ｎ　ＮＢ／Ｄ　Ｎ　Ｎ　Ｎ　Ｎ　Ｎ　Ｎ　Ｎ　 ＮＡ／Ｂ　Ｎ　Ｎ　Ｎ　Ｎ　Ｎ　Ｎ　Ｎ　ＮＣ／Ｄ　Ｎ　Ｎ　Ｎ　Ｎ　Ｎ　Ｎ　 Ｎ　ＮＦＩＧ、１７Ｂ 副フィールド　ＲＲＲＲＲＲＲＲ 対　１２５４５６７８ Ａ／ＣＦ　Ｆ　Ｎ　Ｎ　Ｔ　Ｎ　Ｔ　ＮＦ３／Ｄ　Ｄ　Ｄ　Ｆ　Ｆ　Ｄ　Ｔ　Ｄ 　ＴＡ／Ｂ　Ｄ　Ｄ　Ｄ　Ｄ　Ｄ　Ｄ　Ｄ　ＤＣｌｏ　Ｄ　Ｄ　Ｄ　Ｄ　Ｄ　Ｄ 　Ｄ　ＤＦＩＧ、１７Ｃ 副フィールド　ＲＲＲＲＲＲＲＲ 対　＋２３４５６７８ Ｅ／Ｇ　Ｔ　ε　ε　ＮＴＮＴＴ Ｆ／ＨＤ　Ｄ　Ｄ　Ｔ　Ｄ　Ｔ　Ｄ　ＤＥ／Ｆ　Ｄ　Ｄ　Ｄ　Ｄ　Ｄ　Ｄ　［） 　ＤＧ／ＨＤ　Ｄ　Ｄ　Ｄ　Ｄ　Ｄ　Ｄ　ＤＦＩＧ、１７Ｄ ＦＩＧ、１８ ＦＩＧ、２１ 国際講査報告 ｔｍｍ＾−一′″　ｔｌ＋＋↑／Ｉｌｅ　０ｆｆｉ／ｌｉｌ’１７’７１１ＡＮ ＨＡ１％Ｊ　ｅ　ＡｈＪ　ｔ’Ｊ　Ｅ：　Ｘ　Ａｒ’Ｊ　ｔ’Ｊ　ＩＥ　Ｘ　Ｅ

Claims (33)

【特許請求の範囲】
1. １．マクロを編成するための編成手段と、前記マクロを配置し、グレイ化するた めのマクロ変換を選択する配置手段と、 前記選択されたマクロ変換をグレイ化するグレイ化手段とを含む、マクロ変換を 選択的にグレイ化し配置するためのシステム。
2. ２．編成手段が、マクロ・シャドウを作成し、前記マクロ内の形状の周囲にシャ ドウを作成するシャドウ化手段を含むことを特徴とする、請求項１のシステム。
3. ３．編成手段がさらに、複数の充填長方形を整列する整列手段を含み、前記充填 長方形が、前記マクロ形状を定義することを特徴とする、請求項２のシステム。
4. ４．前記編成手段がさらに、前記整列された充填長方形を連鎖する連鎖手段を含 むことを特徴とする、請求項１のシステム。
5. ５．前記配置手段がさらに、前記マクロの複数の部分を配置する手段を含むこと を特徴とする、請求項１のシステム。
6. ６．前記配置されたマクロ部分が、前記マクロ内でネストされたまま残されるこ とを特徴とする、請求項５のシステム。
7. ７．前記配置手段がさらに、第１座標系から第２座標系への変換を行う変換手段 を含むことを特徴とする、請求項５のシステム。
8. ８．グレイ化手段が、 前記マクロから、またがる充填長方形を選択し、前記またがる長方形をグレイ・ スプライス接台する手段と、前記マクロから充填長方形のまたがる副連鎖を選択 し、前記またがる副連鎖の充填長方形の１つをグレイ・スプライス接合する手段 と を含むことを特徴とする、請求項７のシステム。
9. ９．グレイ化手段がさらに、副フィールド対の第１副フィールド内に置かれた前 記マクロの第１部分と、前記副フィールド対の第２副フィールド内に置かれた前 記マクロの第２部分とを識別する手段を含むことを特徴とする、請求項８のシス テム。
10. １０．編成手段が、 複数の充填長方形を整列する整列手段と、前記整列された充填長方形を互いに連 鎖する連鎖手段と、前記マクロに対するマクロ・シャドウを作成し、前記充填長 方形の連鎖に対する連鎖シャドウを作成するシャドウ化手段と を含むことを特徴とする、請求項１のシステム。
11. １１．バッファからマクロの第１部分を検索するステップと、前記マクロの前記 第１部分からの形状の一部から、セルの第１部分を生成するステップと、 前記第１の形状の一部に触れる少なくとも１つのネスト解除された形状を生成す るステップと を含む、複数の２次元形状を生成する方法。
12. １２．さらに、 前記マクロ・バッファから前記マクロの第２部分を検索するステップと、 前記マクロの前記第２部分から第２の部分マクロ読取りコマンドを生成するステ ップと を含む、請求項１１の方法。
13. １３．マクロが、複数の充填長方形を含むことを特徴とする、請求項１１の方法 。
14. １４．さらに、マクロの充填長方形を編成するステップを含む、請求項１３の方 法。
15. １５．さらに、副フィールド対境界を前記マクロ上に変換するステップを含む、 請求項１４の方法。
16. １６．さらに、前記少なくとも１つのネスト解除された形状をグレイ・スプライ ス接合するステップを含む、請求項１５の方法。
17. １７．さらに、前記副フィールドのうちの１つの内の充填長方形の第１グループ を識別することと、前記副フィールドのうちのもう１つの内の充填長方形の第２ グループを識別することを含む、請求項１６の方法。
18. １８．第１マクロ部分が前記第１グループであり、第２マクロ部分が前記第２グ ループであることを特徴とする、請求項１７の方法。
19. １９． ａ）グレイ化のために１つの前記マクロを編成するステップと、 ｂ）前記編成されたマクロをグレイ化し、前記グレイ化されたマクロの第１部分 および第２部分を配置するステップとを含む、複数の充填長方形からなるマクロ をグレイ化する方法。
20. ２０．少なくとも１つの前記充填長方形が、副フィールド対の境界をまたぐこと を特徴とする、請求項１９の方法。
21. ２１．編成ステップが、 前記充填長方形の少なくとも１つの連続した連鎖を作成するステップと、 前記少なくとも１つの連鎖のそれぞれに対する連鎖シャドウを作成するステップ と、 前記マクロに対するマクロ・シャドウを作成するステップと を含むことを特徴とする、請求項２０の方法。
22. ２２．編成ステップがさらに、前記マクロ充填長方形を整列するステップを含む ことを特徴とする、請求項２１の方法。
23. ２３．前記充填長方形が、前記マクロの次元によって決定される順序で整列され ることを特徴とする、請求項２２の方法。
24. ２４．前記マクロ充填長方形が、前記副フィールド対による前記連鎖の切断が最 小になるように決定された順序で整列されることを特徴とする、請求項２２の方 法。
25. ２５．前記少なくとも１つの連鎖の各シャドウが、前記少なくとも１つの連鎖を 囲む最小の長方形であることを特徴とする、請求項２２の方法。
26. ２６．前記マクロ・シャドウが、前記マクロを囲む最小の長方形であることを特 徴とする、請求項２２の方法。
27. ２７．グレイ化および配置ステップ（ｂ）がさらに、少なくとも１つのまたがる 充填長方形をグレイ・スプライス接合するステップと、前記グレイ・スプライス 接合された充填長方形を配置するステップとを含むことを特徴とする、請求項２ ２の方法。
28. ２８．グレイ化および配置ステップ（ｂ）がさらに、前記マクロ・シャドウを前 記副フィールド対に変換するステップと、 前記変換されたマクロがまたがるマクロであるかどうかを判定するステップと を含むことを特徴とする、請求項２７の方法。
29. ２９．グレイ化および配置ステップ（ｂ）がさらに、前記副フィールド対を前記 マクロ上に変換するステップと、前記充填長方形のうちのどれが前記副フィール ド境界をまたぐかを判定するステップと を含むことを特徴とする、請求項２７の方法。
30. ３０．グレイ化および配置ステップ（ｂ）がさらに、前記連鎖がそれぞれ、前記 変換された副フィールド境界と交差するかどうかを判定するステップ を含むことを特徴とする、請求項２９の方法。
31. ３１．グレイ化および配置ステップがさらに、前記副フィールド対のうちの１つ の副フィールド内に、前記副フィールド内に完全に置かれたすべての前記連鎖の ための第１部分マクロ読取りコマンドを置くステップと、前記副フィールド対の うちの第２の副フィールド内に、前記第２副フィールド内に完全に置かれたすべ ての前記連鎖のための第２部分マクロ読取りコマンドを置くステップとを含み、 前記グレイ化されたマクロの前記第１部分が、前記第１部分マクロ読取りコマン ドを含み、 前記グレイ化されたマクロの前記第２部分が、前記第２部分マクロ読取りコマン ドを含む ことを特徴とする、請求項３０の方法。
32. ３２．グレイ化および配置ステップが、前記副フィールド対のうちの１つの副フ ィールド内に、少なくとも１つの前記決定された交差する連鎖の第１連鎖部分で あって、完全に前記１副フィールド内にあり、１つの前記グレイ・スプライス接 合され配置される長方形と接する第１連鎖部分のための、第１部分マクロ読取り コマンドを置くステップと、 前記副フィールド対のうちの第２の副フィールド内に、前記少なくとも１つの決 定された交差する連鎖の第２連鎖部分であって、完全に前記第２副フィールド内 にあり、前記１つのグレイ・スプライス接合され配置される長方形と接する第２ 連鎖部分のための、第２部分マクロ読取りコマンドを置くステップとを含み、 前記グレイ化されたマクロの前記第１部分がさらに、前記第１部分マクロ読取り コマンドを含み、前記グレイ化されたマクロの前記第２部分がさらに、前記第２ 部分マクロ読取りコマンドを含む ことを特徴とする、請求項３１の方法。
33. ３３．複数の充填長方形を含むマクロによって記述される少なくとも１つの反復 形状に対して放射線感応層を露光する際に粒子ビーム装置を制御するための制御 を生成する方法であって、 ａ）１）マクロの最大の次元に従って前記マクロ内の複数の充填長方形を整列す るステップと、 ２）前記整列された充填長方形から長方形の少なくとも１つの連鎖と、前記少な くとも１つの連鎖のそれぞれの連鎖シャドウと、前記マクロのマクロ・シャドウ とを作成するステップと を含む、前記マクロを編成するステップと、ｂ）副フィールド対の境界をまたぐ 前記反復形状の少なくとも１つの発生に対して前記マクロをグレイ化し配置する ステップであって、 １）前記マクロ・シャドウが前記境界をまたぐまで、前記副フィールド対内の前 記反復形状の少なくとも１つの発生のそれぞれの上に前記マクロ・シャドウを変 換するステップと、 ２）前記境界を前記マクロ上に変換するステップと、３）前記充填長方形のうち のどれが、前記副フィールド対のそれぞれの中にあるかを判定するステップと、 ４）前記充填長方形のうちのどれが、前記副フィールド境界をまたぐかを判定す るステップと、５）前記充填長方形のうちのどれが、副フィールド境界をまたぐ 副連鎖を形成するかを判定するステップと、６）前記またぐ長方形と、オーバー ラップ領域内にある前記副連鎖充填長方形とを、グレイ・スプライス接合し、配 置するステップと、 ７）１つの前記副フィールド内に、完全に前記副フィールド内にある前記充填長 方形をすべて配置し、他の前記副フィールド内に、完全に前記他の副フィールド 内にある前記充填長方形をすべて配置するステップと、８）少なくとも１つの前 記充填長方形が未配置のまま残される場合に、第２の副フィールド対境界に関し てステップ２）ないし７）を繰り返すステップと、９）前記マクロ・シャドウが すべて前記形状発生のすべての上に変換されるまで、ステップ１）ないし８）を 繰り返すステップと を含むグレイ化および配置ステップと を含む、方法。