JPH0746560B2 - 耐熱性黒色電極の製造方法 - Google Patents
耐熱性黒色電極の製造方法Info
- Publication number
- JPH0746560B2 JPH0746560B2 JP4536287A JP4536287A JPH0746560B2 JP H0746560 B2 JPH0746560 B2 JP H0746560B2 JP 4536287 A JP4536287 A JP 4536287A JP 4536287 A JP4536287 A JP 4536287A JP H0746560 B2 JPH0746560 B2 JP H0746560B2
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- black
- thin film
- black electrode
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は例えば螢光表示管，薄膜EL表示素子等のデイス
プレイの薄膜電極として用いられる耐熱性黒色電極の製
造方法に関するものである。
プレイの薄膜電極として用いられる耐熱性黒色電極の製
造方法に関するものである。
従来より薄膜電極を利用した素子として例えば薄膜EL
（エレクトロルミネセンス）表示素子が知られている。
この薄膜EL表示素子の基本構造は第４図に要部断面図で
示すように透明なガラス基板１上に順次積層して形成さ
れた前面電極2,EL層３および背面電極４からなり、相対
する前面電極２と背面電極４間に選択的に交流電圧を印
加することにより、その交点のEL層３より発するEL光を
ガラス基板１側から取り出して任意のパターン表示を行
うものとなつている。この場合、EL層３は、通常ZnS:Mn
膜などの発光層を絶縁層でサンドイツチ状に挾んだ３層
構造を有している。前面電極２と背面電極４はストライ
プ状を有する電極群からなり、これら電極パターンを互
いに対向させて直交する方向に配列してＸ−Ｙマトリク
ス電極を構成している。また、前面電極２にはITO膜な
どの透明導電膜を用い、背面電極４にはAl電極あるいは
コントラストを改善するために黒色電極が用いられてい
る。そして、背面電極４上には、表示品位を高める目的
で、その間隙部を覆うように黒色樹脂または黒色化した
オイルなどからなる背景層５が施されている。なお、図
中、41〜43は背面電極４を構成する各電極パターンであ
る。
（エレクトロルミネセンス）表示素子が知られている。
この薄膜EL表示素子の基本構造は第４図に要部断面図で
示すように透明なガラス基板１上に順次積層して形成さ
れた前面電極2,EL層３および背面電極４からなり、相対
する前面電極２と背面電極４間に選択的に交流電圧を印
加することにより、その交点のEL層３より発するEL光を
ガラス基板１側から取り出して任意のパターン表示を行
うものとなつている。この場合、EL層３は、通常ZnS:Mn
膜などの発光層を絶縁層でサンドイツチ状に挾んだ３層
構造を有している。前面電極２と背面電極４はストライ
プ状を有する電極群からなり、これら電極パターンを互
いに対向させて直交する方向に配列してＸ−Ｙマトリク
ス電極を構成している。また、前面電極２にはITO膜な
どの透明導電膜を用い、背面電極４にはAl電極あるいは
コントラストを改善するために黒色電極が用いられてい
る。そして、背面電極４上には、表示品位を高める目的
で、その間隙部を覆うように黒色樹脂または黒色化した
オイルなどからなる背景層５が施されている。なお、図
中、41〜43は背面電極４を構成する各電極パターンであ
る。
ところが、このような従来の薄膜EL表示素子において、
背面電極４としてAl材が良く用いられるが、Al材は光の
反射率が80〜90％と極めて高いので、表示面に外光の反
射によるギラツキあるいはコントラストの低下を生じ易
いという問題があり、近年では黒色電極を用いることが
試みられている。この黒色電極の材料としては、C,AsS
e,SiGe,In2O3-x，Al2O3-x等あるいは金属−誘電体の積
層膜が提案されている。これらは一般に蒸着法あるいは
酸化性ガスを用いた反応性スパツタ法で作製されてい
る。しかしながら、これらの黒色材料とAl電極とを積層
した黒色電極は反射率の再現性に劣る，付着力が弱い，
耐熱性に乏しい，エツチングによるパターニングが難か
しく、製造工程が煩雑になるなどの問題があつた。
背面電極４としてAl材が良く用いられるが、Al材は光の
反射率が80〜90％と極めて高いので、表示面に外光の反
射によるギラツキあるいはコントラストの低下を生じ易
いという問題があり、近年では黒色電極を用いることが
試みられている。この黒色電極の材料としては、C,AsS
e,SiGe,In2O3-x，Al2O3-x等あるいは金属−誘電体の積
層膜が提案されている。これらは一般に蒸着法あるいは
酸化性ガスを用いた反応性スパツタ法で作製されてい
る。しかしながら、これらの黒色材料とAl電極とを積層
した黒色電極は反射率の再現性に劣る，付着力が弱い，
耐熱性に乏しい，エツチングによるパターニングが難か
しく、製造工程が煩雑になるなどの問題があつた。
本発明は前述のような問題点を解決するためになされた
もので、その目的は、表示面のギラツキを低減して表示
品位を向上させかつ付着力に優れ、熱工程（空気中約58
0℃）に耐え得る耐熱性を有し、しかも生産性、再現性
に優れた黒色電極が得られる耐熱性黒色電極の製造方法
を提供することにある。
もので、その目的は、表示面のギラツキを低減して表示
品位を向上させかつ付着力に優れ、熱工程（空気中約58
0℃）に耐え得る耐熱性を有し、しかも生産性、再現性
に優れた黒色電極が得られる耐熱性黒色電極の製造方法
を提供することにある。
本発明は、黒色薄膜とAl薄膜との積層からなる耐熱性黒
色電極をスパツタ法で製造するに当り、黒色薄膜の形成
に金属と金属酸化物との複合ターゲツトを用いて形成す
るものであり、この複合ターゲツトはAl,Mo,Al酸化物お
よびMo酸化物のうち、少なくとも一つを主なる構成材料
としたものである。
色電極をスパツタ法で製造するに当り、黒色薄膜の形成
に金属と金属酸化物との複合ターゲツトを用いて形成す
るものであり、この複合ターゲツトはAl,Mo,Al酸化物お
よびMo酸化物のうち、少なくとも一つを主なる構成材料
としたものである。
本発明においては、複合ターゲツトを用いてスパツタ法
により形成することにより、膜の剥れ、電極パターンの
乱れ等がなく、黒色薄膜が密着形成される。
により形成することにより、膜の剥れ、電極パターンの
乱れ等がなく、黒色薄膜が密着形成される。
以下、図面を用いて本発明の実施例を詳細に説明する。
第１図は本発明による耐熱性黒色電極の製造方法の一実
施例を説明するための黒色電極の断面図である。同図に
おいて、まず、螢光表示管形成用の透光性ガラス板10上
に、第２図（ａ），（ｂ）に示すようにMo板20にMo酸化
物21を埋め込んだ複合ターゲツト22を用いてArガス雰囲
気中でスパツタリング法により厚さ約1000Å程度の黒色
薄膜11を形成した。この場合、この複合ターゲツト22の
表面のMo酸化物21の占有面積は約50％程度である。次に
この黒色薄膜11上に従来と同様にAlスパツタ工程で厚さ
約1.5μｍ程度のAl薄膜12を積層して黒色電極13を形成
した。その後、この黒色電極13を形成した透光性ガラス
板10を用いて螢光表示管を製作したところ、この黒色電
極13の反射率は５〜10％であり、従来黒色電極で発生し
ていた加熱工程での白色化，剥離，導通不良，エツチン
グ不良等は全く発生しなかつた。
施例を説明するための黒色電極の断面図である。同図に
おいて、まず、螢光表示管形成用の透光性ガラス板10上
に、第２図（ａ），（ｂ）に示すようにMo板20にMo酸化
物21を埋め込んだ複合ターゲツト22を用いてArガス雰囲
気中でスパツタリング法により厚さ約1000Å程度の黒色
薄膜11を形成した。この場合、この複合ターゲツト22の
表面のMo酸化物21の占有面積は約50％程度である。次に
この黒色薄膜11上に従来と同様にAlスパツタ工程で厚さ
約1.5μｍ程度のAl薄膜12を積層して黒色電極13を形成
した。その後、この黒色電極13を形成した透光性ガラス
板10を用いて螢光表示管を製作したところ、この黒色電
極13の反射率は５〜10％であり、従来黒色電極で発生し
ていた加熱工程での白色化，剥離，導通不良，エツチン
グ不良等は全く発生しなかつた。
本発明による耐熱性黒色電極の製造方法の他の実施例と
して薄膜EL表示素子の黒色背面電極を形成する場合、Al
板上にMo酸化物の小片を面積比で約30％程度配置した複
合ターゲツトをArガス雰囲気中でスパツタリングを行な
つて厚さ約500Å程度の黒色薄膜を形成した後、この黒
色薄膜上にAlをターゲツトとしてArガス雰囲気中でスパ
ツタリングを行なつて厚さ約3000Å程度のAl薄膜を積層
して黒色電極を形成した。そして、この黒色電極を従来
と同様のリン酸系Al用エツチヤントでパターニングして
背面電極パターンを形成したところ、従来の黒色電極で
発生していた膜の剥離，電極パターンの乱れ等は全くな
く、反射率は５〜10％であつた。
して薄膜EL表示素子の黒色背面電極を形成する場合、Al
板上にMo酸化物の小片を面積比で約30％程度配置した複
合ターゲツトをArガス雰囲気中でスパツタリングを行な
つて厚さ約500Å程度の黒色薄膜を形成した後、この黒
色薄膜上にAlをターゲツトとしてArガス雰囲気中でスパ
ツタリングを行なつて厚さ約3000Å程度のAl薄膜を積層
して黒色電極を形成した。そして、この黒色電極を従来
と同様のリン酸系Al用エツチヤントでパターニングして
背面電極パターンを形成したところ、従来の黒色電極で
発生していた膜の剥離，電極パターンの乱れ等は全くな
く、反射率は５〜10％であつた。
このような製造方法は螢光表示管または薄膜EL表示素子
の従来の製造工程に１回のスパツタ工程を追加するのみ
で大幅な工程の変更なく、容易に黒色電極を形成するこ
とができる。
の従来の製造工程に１回のスパツタ工程を追加するのみ
で大幅な工程の変更なく、容易に黒色電極を形成するこ
とができる。
なお、発明者らの実験によれば、本発明に係わる複合タ
ーゲツトはAl,Mo,Al酸化物およびMo酸化物のうち少なく
とも一種類を含むことにより、リン酸系Alエツチヤント
でエツチングが可能であり、従来のパターニング工程を
変更する必要はなく、また、Ti,Mo,Cr,Zr,Mn,W,Siおよ
びこれらの酸化物のうち少なくとも一種類を複合ターゲ
ツトの構成材料として含ませることにより、耐熱性の優
れた黒色電極を製作できる。また、製作した黒色電極の
性能はターゲツトの形状，寸法等には左右されず、金属
と金属酸化物とが所定の面積比で平均的に混在していれ
ば良いので、第３図（ａ），（ｂ）に示すように金属30
と金属酸化物31とを交互に組合せて構成される複合ター
ゲツト32も使用可能である。したがつてスパツタリング
装置に適合し製造し易い複合ターゲツトを用いることが
できる。さらに本発明に係わる複合ターゲツトの金属と
金属酸化物との面積比は、スパツタリングの出力，スパ
ツタガスの種類，スパツタ時の圧力等のスパツタ条件お
よび複合ターゲツトの構成材料によつてその最適比は異
なるが、1:9〜9:1好ましくは1:2〜2:1である。
ーゲツトはAl,Mo,Al酸化物およびMo酸化物のうち少なく
とも一種類を含むことにより、リン酸系Alエツチヤント
でエツチングが可能であり、従来のパターニング工程を
変更する必要はなく、また、Ti,Mo,Cr,Zr,Mn,W,Siおよ
びこれらの酸化物のうち少なくとも一種類を複合ターゲ
ツトの構成材料として含ませることにより、耐熱性の優
れた黒色電極を製作できる。また、製作した黒色電極の
性能はターゲツトの形状，寸法等には左右されず、金属
と金属酸化物とが所定の面積比で平均的に混在していれ
ば良いので、第３図（ａ），（ｂ）に示すように金属30
と金属酸化物31とを交互に組合せて構成される複合ター
ゲツト32も使用可能である。したがつてスパツタリング
装置に適合し製造し易い複合ターゲツトを用いることが
できる。さらに本発明に係わる複合ターゲツトの金属と
金属酸化物との面積比は、スパツタリングの出力，スパ
ツタガスの種類，スパツタ時の圧力等のスパツタ条件お
よび複合ターゲツトの構成材料によつてその最適比は異
なるが、1:9〜9:1好ましくは1:2〜2:1である。
以上説明したように本発明は、黒色薄膜とAl薄膜との積
層からなる耐熱性黒色電極をスパツタ法により形成する
にあたり、黒色薄膜の形成に金属と金属酸化物との複合
ターゲツトを用いることにより、耐熱性に優れているの
みならず、付着力およびパターニング性に優れた黒色電
極を高い生産性でかつ歩留り良く製造することができる
という極めて優れた効果が得られる。
層からなる耐熱性黒色電極をスパツタ法により形成する
にあたり、黒色薄膜の形成に金属と金属酸化物との複合
ターゲツトを用いることにより、耐熱性に優れているの
みならず、付着力およびパターニング性に優れた黒色電
極を高い生産性でかつ歩留り良く製造することができる
という極めて優れた効果が得られる。
第１図は本発明による耐熱性黒色電極の製造方法の一実
施例を説明するための黒色電極の断面図、第２図
（ａ），（ｂ）は本発明による耐熱性黒色電極の製造方
法に用いる複合ターゲツトの一実施例を示す平面図，そ
のＢ−Ｂ′線の断面図、第３図は本発明に係わる複合タ
ーゲツトの他の実施例を示す平面図，そのＢ−Ｂ′線の
断面図、第４図は薄膜EL素子を示す断面図である。 10……透光性ガラス板、11……黒色被膜、12……Al薄
膜、13……黒色電極、20……Mo板、21……Mo酸化物、22
……複合ターゲツト、30……金属、31……金属酸化物、
32……複合ターゲツト。
施例を説明するための黒色電極の断面図、第２図
（ａ），（ｂ）は本発明による耐熱性黒色電極の製造方
法に用いる複合ターゲツトの一実施例を示す平面図，そ
のＢ−Ｂ′線の断面図、第３図は本発明に係わる複合タ
ーゲツトの他の実施例を示す平面図，そのＢ−Ｂ′線の
断面図、第４図は薄膜EL素子を示す断面図である。 10……透光性ガラス板、11……黒色被膜、12……Al薄
膜、13……黒色電極、20……Mo板、21……Mo酸化物、22
……複合ターゲツト、30……金属、31……金属酸化物、
32……複合ターゲツト。
Claims (2)
- 【請求項１】黒色薄膜とAl薄膜との積層からなる耐熱性
黒色電極をスパツタ法を用いて製造するにあたり、前記
黒色薄膜の形成に金属と金属酸化物との複合ターゲツト
を用いることを特徴とした耐熱性黒色電極の製造方法。 - 【請求項２】前記複合ターゲツトはAl,Mo,Al酸化物およ
びMo酸化物のうちの少なくとも一つと、Ti,Mo,Cr,Zr,M
n,W,Siおよびこれらの酸化物のうち少なくとも一つとを
主たる構成材料とすることを特徴とする特許請求の範囲
第１項記載の耐熱性黒色電極の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4536287A JPH0746560B2 (ja) | 1987-03-02 | 1987-03-02 | 耐熱性黒色電極の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4536287A JPH0746560B2 (ja) | 1987-03-02 | 1987-03-02 | 耐熱性黒色電極の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63213237A JPS63213237A (ja) | 1988-09-06 |
| JPH0746560B2 true JPH0746560B2 (ja) | 1995-05-17 |
Family
ID=12717165
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4536287A Expired - Lifetime JPH0746560B2 (ja) | 1987-03-02 | 1987-03-02 | 耐熱性黒色電極の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0746560B2 (ja) |
-
1987
- 1987-03-02 JP JP4536287A patent/JPH0746560B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63213237A (ja) | 1988-09-06 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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