JPH0746118B2 - 超高周波帯回路素子用検査治具 - Google Patents
超高周波帯回路素子用検査治具Info
- Publication number
- JPH0746118B2 JPH0746118B2 JP62034783A JP3478387A JPH0746118B2 JP H0746118 B2 JPH0746118 B2 JP H0746118B2 JP 62034783 A JP62034783 A JP 62034783A JP 3478387 A JP3478387 A JP 3478387A JP H0746118 B2 JPH0746118 B2 JP H0746118B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- frequency band
- high frequency
- circuit element
- lead terminal
- pedestal
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
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- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は超高周波帯回路素子用検査治具に関し、特に超
高周波帯におけるフィルタ、アイソレータ等の受動回路
素子、あるいは集積回路，トランジスタ増幅器等の能動
回路素子等を検査，測定するための超高周波帯回路素子
用検査治具に関する。
高周波帯におけるフィルタ、アイソレータ等の受動回路
素子、あるいは集積回路，トランジスタ増幅器等の能動
回路素子等を検査，測定するための超高周波帯回路素子
用検査治具に関する。
従来、この種の超高周波帯回路素子用検査治具は、第２
図及び第３図に示すように、被検査物10を搭載するため
の取付部２を設けた台座１と、この台座１上に設けられ
た誘電体基板３と、台座１に設けられた入出力信号等の
外部接続用の同軸コネクタ５と、誘電体基板３上に設け
られこの同軸コネクタ５と被検査物10のリード端子10L
とを接続し同軸コネクタ５と等しい所定の特性インピー
ダンスをもつストリップライン４とを備え、被検査物10
のリード端子10Lとストリップライン４との接続は、は
んだ８付けするか絶縁体のおさえ棒９により圧着する構
成となっていた。
図及び第３図に示すように、被検査物10を搭載するため
の取付部２を設けた台座１と、この台座１上に設けられ
た誘電体基板３と、台座１に設けられた入出力信号等の
外部接続用の同軸コネクタ５と、誘電体基板３上に設け
られこの同軸コネクタ５と被検査物10のリード端子10L
とを接続し同軸コネクタ５と等しい所定の特性インピー
ダンスをもつストリップライン４とを備え、被検査物10
のリード端子10Lとストリップライン４との接続は、は
んだ８付けするか絶縁体のおさえ棒９により圧着する構
成となっていた。
〔発明が解決しようとする問題点〕 上述した従来の超高周波帯回路素子用検査治具は、リー
ド端子10Lとストリップライン４との接続をはんだ付け
するか絶縁体のおさえ棒９で圧着する構成となっている
ので、はんだ付けする場合は、リード端子10Lにはんだ
が乗ることにより製品の外観がそこなわれる、はんだゴ
テのリーク電流によって回路素子が破壊されることがあ
る、はんだをするのに人手と時間がかかりコスト高にな
る等の欠点がある。
ド端子10Lとストリップライン４との接続をはんだ付け
するか絶縁体のおさえ棒９で圧着する構成となっている
ので、はんだ付けする場合は、リード端子10Lにはんだ
が乗ることにより製品の外観がそこなわれる、はんだゴ
テのリーク電流によって回路素子が破壊されることがあ
る、はんだをするのに人手と時間がかかりコスト高にな
る等の欠点がある。
また、絶縁体のおさえ棒９による場合は、上記のはんだ
付けによる欠点は除かれるものの、おさえ棒９は誘電体
であるのでストリップライン４の上を誘電体が覆った状
態と等価となり、ストリップライン４の特性インピーダ
ンスが変化してしまう、すなわち、所定の特性インピー
ダンスを有する測定系において、その特性インピーダン
スが乱れた部分が存在することになり、測定の精度が低
下する、上からおさえる力によってはリード端子10Lに
張力がかかり被検査物10がリード端子10Lの接続部で破
壊することがある等の欠点がある。
付けによる欠点は除かれるものの、おさえ棒９は誘電体
であるのでストリップライン４の上を誘電体が覆った状
態と等価となり、ストリップライン４の特性インピーダ
ンスが変化してしまう、すなわち、所定の特性インピー
ダンスを有する測定系において、その特性インピーダン
スが乱れた部分が存在することになり、測定の精度が低
下する、上からおさえる力によってはリード端子10Lに
張力がかかり被検査物10がリード端子10Lの接続部で破
壊することがある等の欠点がある。
本発明の目的は、リード端子部分の破損や外観がそこな
われることなく容易にリード端子とストリップラインと
を接続することができ、測定精度を上げることができる
超高周波帯回路素子用検査治具を提供することにある。
われることなく容易にリード端子とストリップラインと
を接続することができ、測定精度を上げることができる
超高周波帯回路素子用検査治具を提供することにある。
本発明の超高周波帯回路素子用検査治具は、被検査物を
搭載する取付部を設けた台座と、この台座上に設けられ
た誘電体基板と、前記台座に設けられた外部接続用の同
軸コネクタと、前記誘電体基板上に設けられ一端が前記
同軸コネクタと接続し所定の特性インピーダンスをもつ
ストリップラインと、前記取付部に搭載された被検査物
のリード端子に直接気体圧力を印加することにより前記
リード端子を前記ストリップラインの他端に圧着接続す
る手段とを有している。
搭載する取付部を設けた台座と、この台座上に設けられ
た誘電体基板と、前記台座に設けられた外部接続用の同
軸コネクタと、前記誘電体基板上に設けられ一端が前記
同軸コネクタと接続し所定の特性インピーダンスをもつ
ストリップラインと、前記取付部に搭載された被検査物
のリード端子に直接気体圧力を印加することにより前記
リード端子を前記ストリップラインの他端に圧着接続す
る手段とを有している。
次に、本発明の実施例について図面を参照して説明す
る。
る。
第１図（ａ），（ｂ）はそれぞれ本発明の一実施例を示
す一部断面平面図及び一部断面側面図である。
す一部断面平面図及び一部断面側面図である。
この実施例は、被検査物10を搭載する取付部２を設けた
台座１と、この台座１上に設けられた誘電体基板３と、
台座１に設けられた入出力信号等の外部接続用の同軸コ
ネクタ５と、誘電体基板３上に設けられ、一端が同軸コ
ネクタ５と接続し、この同軸コネクタ５と等しい所定の
特性インピーダンスをもつストリップライン４と、噴出
する気体の圧力を直接リード端子10Lに印加することに
よって、取付部２に搭載された被検査物10のリード端子
10Lとストリップライン４の他端とを圧着接続するノズ
ル６とを有する構成となっている。
台座１と、この台座１上に設けられた誘電体基板３と、
台座１に設けられた入出力信号等の外部接続用の同軸コ
ネクタ５と、誘電体基板３上に設けられ、一端が同軸コ
ネクタ５と接続し、この同軸コネクタ５と等しい所定の
特性インピーダンスをもつストリップライン４と、噴出
する気体の圧力を直接リード端子10Lに印加することに
よって、取付部２に搭載された被検査物10のリード端子
10Lとストリップライン４の他端とを圧着接続するノズ
ル６とを有する構成となっている。
なお、ストリップライン４の特性インピーダンスは、そ
の幅，誘電体基板３の厚さ及び誘電率等により調整され
る。
の幅，誘電体基板３の厚さ及び誘電率等により調整され
る。
従って、この実施例では、リード端子10Lをはんだ付け
する必要がないので外観をそこなわずに容易に取付け接
続することができ、余分な力が加わらないのでリード端
子10L部分の破損もなく、ストリップライン４を誘電体
で覆うこともないので特性インピーダンスが変化するこ
とがなく測定精度を上げることができる。
する必要がないので外観をそこなわずに容易に取付け接
続することができ、余分な力が加わらないのでリード端
子10L部分の破損もなく、ストリップライン４を誘電体
で覆うこともないので特性インピーダンスが変化するこ
とがなく測定精度を上げることができる。
以上説明したように本発明は、ストリップラインと被検
査物のリード端子との接続を、気体圧力を直接リード端
子に印加することにより行う構成とすることにより、リ
ード端子部分の破損や外観がそこなわれることなく容易
に接続することができ、ストリップラインの特性インピ
ーダンスが乱れないので測定精度を上げることができる
効果がある。
査物のリード端子との接続を、気体圧力を直接リード端
子に印加することにより行う構成とすることにより、リ
ード端子部分の破損や外観がそこなわれることなく容易
に接続することができ、ストリップラインの特性インピ
ーダンスが乱れないので測定精度を上げることができる
効果がある。
第１図（ａ），（ｂ）はそれぞれ本発明の一実施例を示
す一部断面平面図及び一部断面側面図、第２図は従来の
超高周波帯回路素子用検査治具の第１の例を示す平面
図、第３図（ａ），（ｂ）はそれぞれ従来の超高周波帯
回路素子用検査治具の第２の例を示す一部断面平面図及
び側面図である。 1,……台座、２……取付部、３……誘電体基板、４……
ストリップライン、５……同軸コネクタ、６……ノズ
ル、８……はんだ、９……おさえ棒、10……被検査物、
10L……リード端子。
す一部断面平面図及び一部断面側面図、第２図は従来の
超高周波帯回路素子用検査治具の第１の例を示す平面
図、第３図（ａ），（ｂ）はそれぞれ従来の超高周波帯
回路素子用検査治具の第２の例を示す一部断面平面図及
び側面図である。 1,……台座、２……取付部、３……誘電体基板、４……
ストリップライン、５……同軸コネクタ、６……ノズ
ル、８……はんだ、９……おさえ棒、10……被検査物、
10L……リード端子。
Claims (1)
- 【請求項１】被検査物を搭載する取付部を設けた台座
と、この台座上に設けられた誘電体基板と、前記台座に
設けられた外部接続用の同軸コネクタと、前記誘電体基
板上に設けられ一端が前記同軸コネクタと接続し所定の
特性インピーダンスをもつストリップラインと、前記取
付部に搭載された被検査物のリード端子に直接気体圧力
を印加することにより前記リード端子を前記ストリップ
ラインの他端に圧着接続する手段とを有することを特徴
とする超高周波帯回路素子用検査治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62034783A JPH0746118B2 (ja) | 1987-02-17 | 1987-02-17 | 超高周波帯回路素子用検査治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62034783A JPH0746118B2 (ja) | 1987-02-17 | 1987-02-17 | 超高周波帯回路素子用検査治具 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63201574A JPS63201574A (ja) | 1988-08-19 |
| JPH0746118B2 true JPH0746118B2 (ja) | 1995-05-17 |
Family
ID=12423877
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62034783A Expired - Lifetime JPH0746118B2 (ja) | 1987-02-17 | 1987-02-17 | 超高周波帯回路素子用検査治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0746118B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05109844A (ja) * | 1991-10-15 | 1993-04-30 | Nec Yamagata Ltd | 半導体装置の測定治具 |
| JP2818513B2 (ja) * | 1992-01-20 | 1998-10-30 | 山形日本電気株式会社 | 半導体測定治具 |
| JP5036059B2 (ja) * | 2008-01-10 | 2012-09-26 | 株式会社多摩川電子 | 半導体装置の試験装置 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5373869U (ja) * | 1976-11-22 | 1978-06-20 | ||
| JPS61223668A (ja) * | 1985-03-29 | 1986-10-04 | Nec Corp | 出力測定方法 |
-
1987
- 1987-02-17 JP JP62034783A patent/JPH0746118B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63201574A (ja) | 1988-08-19 |
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