JPH0743532A - 分波部品の製造方法 - Google Patents
分波部品の製造方法Info
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- JPH0743532A JPH0743532A JP20842693A JP20842693A JPH0743532A JP H0743532 A JPH0743532 A JP H0743532A JP 20842693 A JP20842693 A JP 20842693A JP 20842693 A JP20842693 A JP 20842693A JP H0743532 A JPH0743532 A JP H0743532A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical interference
- demultiplexing component
- demultiplexing
- glass plate
- cut
- Prior art date
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 低価格化の要求に応え、しかも微小な分波部
品を作製することを可能にする方法を提供することを目
的とする。 【構成】 まず表面に、互いに異なる透過特性を有する
光学干渉膜を形成したガラス板を複数枚、例えば３枚準
備し、これらが重なり合うように接着剤で固着した後、
図４（ａ）に示すように、一定間隔を設けて平行切断す
ることによって、３種類の光学干渉膜２９ａ、２９ｂ、
２９ｃが形成された複数の切断物３０を作製し、次いで
図４（ｂ）に示すように、各切断物３０を同一方向に倒
して並列させた後、図４（ｃ）に示すように、一定間隔
を設けて斜目切断する。
品を作製することを可能にする方法を提供することを目
的とする。 【構成】 まず表面に、互いに異なる透過特性を有する
光学干渉膜を形成したガラス板を複数枚、例えば３枚準
備し、これらが重なり合うように接着剤で固着した後、
図４（ａ）に示すように、一定間隔を設けて平行切断す
ることによって、３種類の光学干渉膜２９ａ、２９ｂ、
２９ｃが形成された複数の切断物３０を作製し、次いで
図４（ｂ）に示すように、各切断物３０を同一方向に倒
して並列させた後、図４（ｃ）に示すように、一定間隔
を設けて斜目切断する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、分波部品の製造方法に
関し、より具体的には、光の波長による分解や偏光方向
による分解を行うための光学干渉膜を有する分波部品の
製造方法に関するものである。
関し、より具体的には、光の波長による分解や偏光方向
による分解を行うための光学干渉膜を有する分波部品の
製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図２は、入射光を２つに分波する第１の
分波部品１０と第２の分波部品１１の接着体を示すもの
であり、第１の分波部品１０と第２の分波部品１１は、
各々二つの三角柱の形状を有するガラス体１２、１３、
１４、１５を接着剤１６、１７で接着させることによっ
て作製され、その接着面には、光学干渉膜１８、１９が
形成されており、さらにお互いが接着剤２０によって接
着されている。
分波部品１０と第２の分波部品１１の接着体を示すもの
であり、第１の分波部品１０と第２の分波部品１１は、
各々二つの三角柱の形状を有するガラス体１２、１３、
１４、１５を接着剤１６、１７で接着させることによっ
て作製され、その接着面には、光学干渉膜１８、１９が
形成されており、さらにお互いが接着剤２０によって接
着されている。
【０００３】接着剤１６、１７、２０としては、ガラス
体１２〜１５と略同じ屈折率を有するものが使用され、
また第１の分波部品１０の光学干渉膜１８は、第２の分
波部品１１の光学干渉膜１９と異なる透過特性を有する
ように設定されており、これによって第１の分波部品１
０に入射する入射光２１は、光学干渉膜１８によって透
過光２２と反射光２３の二つに分かれた後、透過光２２
が第２の分波部品１１に入射し、光学干渉膜１９によっ
て透過光２４と反射光２５の二つに分かれることにな
る。
体１２〜１５と略同じ屈折率を有するものが使用され、
また第１の分波部品１０の光学干渉膜１８は、第２の分
波部品１１の光学干渉膜１９と異なる透過特性を有する
ように設定されており、これによって第１の分波部品１
０に入射する入射光２１は、光学干渉膜１８によって透
過光２２と反射光２３の二つに分かれた後、透過光２２
が第２の分波部品１１に入射し、光学干渉膜１９によっ
て透過光２４と反射光２５の二つに分かれることにな
る。
【０００４】ところでこのような分波部品１０、１１に
は、小型化、低価格化が要求されており、そのためその
作製方法としては、まず図３に示すような長い三角柱の
形状を有する２本のガラス体２６、２７を作製し、一方
のガラス体２６の所定面に光学干渉膜２８を形成した
後、ガラス体２６の光学干渉膜２８の形成面と、ガラス
体２７の所定面を接着剤で接着し、次いで所定寸法に切
断する方法が採られている。
は、小型化、低価格化が要求されており、そのためその
作製方法としては、まず図３に示すような長い三角柱の
形状を有する２本のガラス体２６、２７を作製し、一方
のガラス体２６の所定面に光学干渉膜２８を形成した
後、ガラス体２６の光学干渉膜２８の形成面と、ガラス
体２７の所定面を接着剤で接着し、次いで所定寸法に切
断する方法が採られている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながらこのよう
な方法によっても、微小な分波部品１０、１１を得る場
合、ガラス体１２〜１５を寸法精度良く作製することが
非常に困難となり、例えば一辺が３ｍｍ程度の分波部品
を作製するのが限界である。
な方法によっても、微小な分波部品１０、１１を得る場
合、ガラス体１２〜１５を寸法精度良く作製することが
非常に困難となり、例えば一辺が３ｍｍ程度の分波部品
を作製するのが限界である。
【０００６】本発明は、上記事情に鑑みなされたもので
あり、低価格化の要求に応え、しかも微小な分波部品を
作製することを可能にする方法を提供することを目的と
する。
あり、低価格化の要求に応え、しかも微小な分波部品を
作製することを可能にする方法を提供することを目的と
する。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の分波部品の製造
方法は、表面に光学干渉膜を形成したガラス板を複数枚
準備し、これらが重なり合うように接着剤で固着した
後、一定間隔を設けて平行切断することによって複数の
切断物を作製し、次いで各切断物を同一方向に倒して並
列させた後、一定間隔を設けて斜目切断することを特徴
とする。
方法は、表面に光学干渉膜を形成したガラス板を複数枚
準備し、これらが重なり合うように接着剤で固着した
後、一定間隔を設けて平行切断することによって複数の
切断物を作製し、次いで各切断物を同一方向に倒して並
列させた後、一定間隔を設けて斜目切断することを特徴
とする。
【０００８】また本発明は、好ましくは、最上段に位置
するガラス板の上に、保護ガラス板が重なり合うように
接着剤で固着することを特徴とする。
するガラス板の上に、保護ガラス板が重なり合うように
接着剤で固着することを特徴とする。
【０００９】
【作用】本発明においては、まず表面に、互いに異なる
透過特性を有する光学干渉膜を形成したガラス板を複数
枚、例えば３枚準備し、これらが重なり合うように接着
剤で固着した後、図４（ａ）に示すように、一定間隔を
設けて平行切断することによって、３種類の光学干渉膜
２９ａ、２９ｂ、２９ｃが形成された複数の切断物３０
を作製し、次いで図４（ｂ）に示すように、各切断物３
０を同一方向に倒して並列させた後、図４（ｃ）に示す
ように、一定間隔を設けて斜目切断することによって分
波部品が得られる。
透過特性を有する光学干渉膜を形成したガラス板を複数
枚、例えば３枚準備し、これらが重なり合うように接着
剤で固着した後、図４（ａ）に示すように、一定間隔を
設けて平行切断することによって、３種類の光学干渉膜
２９ａ、２９ｂ、２９ｃが形成された複数の切断物３０
を作製し、次いで図４（ｂ）に示すように、各切断物３
０を同一方向に倒して並列させた後、図４（ｃ）に示す
ように、一定間隔を設けて斜目切断することによって分
波部品が得られる。
【００１０】この斜目切断は、通常、略４５°の角度と
なるように設定され、これによって入射光が光学干渉膜
に当たると、透過光と、略９０°の角度で反射する反射
光の二つに分かれることになる。
なるように設定され、これによって入射光が光学干渉膜
に当たると、透過光と、略９０°の角度で反射する反射
光の二つに分かれることになる。
【００１１】本発明の方法によると、比較的成形が容易
で、高い寸法精度が得られるガラス板を使用し、これを
切断するだけで良いため、低価格で、しかも微小な分波
部品を作製することが可能となる。
で、高い寸法精度が得られるガラス板を使用し、これを
切断するだけで良いため、低価格で、しかも微小な分波
部品を作製することが可能となる。
【００１２】尚、本発明の方法によって得られる分波部
品は、切断面が、光線の通過する面となるので、切断面
が粗面となって表面精度に問題がある場合には、研磨加
工を行うことによって鏡面としたり、あるいはガラス板
と略同じ屈折率を有する媒質で覆うことによって、光線
の散乱を防ぐことが可能である。
品は、切断面が、光線の通過する面となるので、切断面
が粗面となって表面精度に問題がある場合には、研磨加
工を行うことによって鏡面としたり、あるいはガラス板
と略同じ屈折率を有する媒質で覆うことによって、光線
の散乱を防ぐことが可能である。
【００１３】本発明における光学干渉膜は、光学部品に
入射する入射光を、透過光と反射光の二つに分ける作用
を有する膜であり、ロングパスフィルター、ショートパ
スフィルター、減衰膜、反射ミラー等が使用される。
入射する入射光を、透過光と反射光の二つに分ける作用
を有する膜であり、ロングパスフィルター、ショートパ
スフィルター、減衰膜、反射ミラー等が使用される。
【００１４】また本発明においては、最上段に位置する
ガラス板の上に、保護ガラス板を重ね合わせ、両者を接
着剤で固着させると、工程中に光学干渉膜に傷が入った
り、膜特性を変化させるのを防止することができるため
好ましい。
ガラス板の上に、保護ガラス板を重ね合わせ、両者を接
着剤で固着させると、工程中に光学干渉膜に傷が入った
り、膜特性を変化させるのを防止することができるため
好ましい。
【００１５】
【実施例】以下、本発明の分波部品の製造方法を実施例
に基づいて詳細に説明する。
に基づいて詳細に説明する。
【００１６】図１は、本発明の方法によって製造した分
波部品３１を示すものであり、縦１ｍｍ、幅１ｍｍ、長
さ３ｍｍの寸法を有している。この分波部品３１は、３
つのガラス体３２、３３、３４が接着剤３５、３６によ
って接着され、その接着面に反射ミラー３７、３８が形
成された形態を有している。
波部品３１を示すものであり、縦１ｍｍ、幅１ｍｍ、長
さ３ｍｍの寸法を有している。この分波部品３１は、３
つのガラス体３２、３３、３４が接着剤３５、３６によ
って接着され、その接着面に反射ミラー３７、３８が形
成された形態を有している。
【００１７】反射ミラー３７は、１．５μｍの波長を反
射し、また反射ミラー３８は、１．３μｍの波長を反射
するものであり、この分波部品３１に入射する入射光３
９は、まず反射ミラー３７によって透過光４０と反射光
４１の二つに分かれ、透過光４０は、次の反射ミラー３
８によって透過光４２と反射光４３の二つに分かれる。
射し、また反射ミラー３８は、１．３μｍの波長を反射
するものであり、この分波部品３１に入射する入射光３
９は、まず反射ミラー３７によって透過光４０と反射光
４１の二つに分かれ、透過光４０は、次の反射ミラー３
８によって透過光４２と反射光４３の二つに分かれる。
【００１８】次にこの分波部品３１の製造方法について
説明する。
説明する。
【００１９】まず図５に示すように、厚み１ｍｍの石英
ガラス板４４、４５を準備し、これらの表面に反射ミラ
ー３７、３８を真空蒸着法によって成膜した後、これら
が重なり合うようにエポキシ系接着剤３５で固着し、次
いで上段に位置する石英ガラス板４５の上に、保護ガラ
ス板４６が重なり合うようにエポキシ系接着剤３６で固
着した。
ガラス板４４、４５を準備し、これらの表面に反射ミラ
ー３７、３８を真空蒸着法によって成膜した後、これら
が重なり合うようにエポキシ系接着剤３５で固着し、次
いで上段に位置する石英ガラス板４５の上に、保護ガラ
ス板４６が重なり合うようにエポキシ系接着剤３６で固
着した。
【００２０】次いでこれを１ｍｍ間隔で平行切断するこ
とによって複数の切断物を作製した後、各切断物を同一
方向に倒して並列させ、さらに１ｍｍ間隔で略４５°の
角度で斜目切断することによって、図１に示すような分
波部品３１を得ることができた。
とによって複数の切断物を作製した後、各切断物を同一
方向に倒して並列させ、さらに１ｍｍ間隔で略４５°の
角度で斜目切断することによって、図１に示すような分
波部品３１を得ることができた。
【００２１】尚、上記の保護ガラス板４６とエポキシ系
接着剤３５、３６は、いずれも石英ガラス板４４、４５
と略同じ屈折率を有するものを選択し、また切断は、集
積回路のウェハ切断に使用されるダイヤモンド切断機に
よって行った。
接着剤３５、３６は、いずれも石英ガラス板４４、４５
と略同じ屈折率を有するものを選択し、また切断は、集
積回路のウェハ切断に使用されるダイヤモンド切断機に
よって行った。
【００２２】図６は、上記の分波部品３１を使用した光
部品モジュールを示すものであり、光ファイバ４７から
発せられた光は、焦点調節ガラス板４８、球レンズ４９
を通って分波部品３１に入射する。この入射光は、各反
射ミラー３５、３６によって、透過光と、略９０°の角
度で反射する反射光の二つに分かれ、各反射光は、球レ
ンズ５０、５１及び、焦点調節ガラス板５２を通って光
ファイバ５３、５４に達する。
部品モジュールを示すものであり、光ファイバ４７から
発せられた光は、焦点調節ガラス板４８、球レンズ４９
を通って分波部品３１に入射する。この入射光は、各反
射ミラー３５、３６によって、透過光と、略９０°の角
度で反射する反射光の二つに分かれ、各反射光は、球レ
ンズ５０、５１及び、焦点調節ガラス板５２を通って光
ファイバ５３、５４に達する。
【００２３】尚、図６中、５５は、各部材を取り付ける
ための固定フレームを示し、また５６は、分波部品３
１、球レンズ４９、５０、５１、焦点調節ガラス板４
８、５２等を固着するための固着剤を示し、この固着剤
５６としては、分波部品３１と略同等の屈折率を有する
オイルや樹脂が使用される。
ための固定フレームを示し、また５６は、分波部品３
１、球レンズ４９、５０、５１、焦点調節ガラス板４
８、５２等を固着するための固着剤を示し、この固着剤
５６としては、分波部品３１と略同等の屈折率を有する
オイルや樹脂が使用される。
【００２４】
【発明の効果】以上のように本発明の分波部品の製造方
法によると、微小な分波部品を、低価格で作製すること
が可能となる。
法によると、微小な分波部品を、低価格で作製すること
が可能となる。
【図１】本発明の方法によって製造した分波部品を示す
説明図である。
説明図である。
【図２】従来の分波部品を示す説明図である。
【図３】従来の分波部品を製造するのに使用するガラス
体を示す斜視図である。
体を示す斜視図である。
【図４】表面に光学干渉膜が形成された３枚のガラス板
の切断方法を示す説明図である。
の切断方法を示す説明図である。
【図５】表面に光学干渉膜が形成され、その上に保護ガ
ラスが接着されたガラス板を示す断面図である。
ラスが接着されたガラス板を示す断面図である。
【図６】図１の分波部品を使用した光部品モジュールを
示す説明図である。
示す説明図である。
１０、１１、３１ 分波部品 １２、１３、１４、１５、３２、３３、３４ ガラス体 １６、１７、３５、３６ 接着剤 １８、１９、２８、２９ａ、２９ｂ、２９ｃ 光学干渉
膜 ２１、３９ 入射光 ２２、２４、４０、４２ 透過光 ２３、２５、４１、４３ 反射光 ３０ 切断物 ３７、３８ 反射ミラー ４４、４５ 石英ガラス板 ４６ 保護ガラス板
膜 ２１、３９ 入射光 ２２、２４、４０、４２ 透過光 ２３、２５、４１、４３ 反射光 ３０ 切断物 ３７、３８ 反射ミラー ４４、４５ 石英ガラス板 ４６ 保護ガラス板
Claims (2)
- 【請求項１】 表面に光学干渉膜を形成したガラス板を
複数枚準備し、これらが重なり合うように接着剤で固着
した後、一定間隔を設けて平行切断することによって複
数の切断物を作製し、次いで各切断物を同一方向に倒し
て並列させた後、一定間隔を設けて斜目切断することを
特徴とする分波部品の製造方法。 - 【請求項２】 最上段に位置するガラス板の上に、保護
ガラス板が重なり合うように接着剤で固着することを特
徴とする請求項１の分波部品の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20842693A JPH0743532A (ja) | 1993-07-30 | 1993-07-30 | 分波部品の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20842693A JPH0743532A (ja) | 1993-07-30 | 1993-07-30 | 分波部品の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0743532A true JPH0743532A (ja) | 1995-02-14 |
Family
ID=16556027
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20842693A Pending JPH0743532A (ja) | 1993-07-30 | 1993-07-30 | 分波部品の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0743532A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004038348A1 (ja) * | 2002-10-25 | 2004-05-06 | Arkray, Inc. | 光学ユニット、光センサ、マルチチャンネル光検出装置及び光学ユニットの製造方法 |
| JP2008241858A (ja) * | 2007-03-26 | 2008-10-09 | Hitachi Chem Co Ltd | 光システム用基板及び光システム |
-
1993
- 1993-07-30 JP JP20842693A patent/JPH0743532A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004038348A1 (ja) * | 2002-10-25 | 2004-05-06 | Arkray, Inc. | 光学ユニット、光センサ、マルチチャンネル光検出装置及び光学ユニットの製造方法 |
| JP2008241858A (ja) * | 2007-03-26 | 2008-10-09 | Hitachi Chem Co Ltd | 光システム用基板及び光システム |
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