JPH0743531A - 分波部品の製造方法 - Google Patents
分波部品の製造方法Info
- Publication number
- JPH0743531A JPH0743531A JP20842593A JP20842593A JPH0743531A JP H0743531 A JPH0743531 A JP H0743531A JP 20842593 A JP20842593 A JP 20842593A JP 20842593 A JP20842593 A JP 20842593A JP H0743531 A JPH0743531 A JP H0743531A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass plate
- optical interference
- cutting
- cut
- specified intervals
- Prior art date
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- Pending
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- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 低価格化の要求に応え、しかも微小な分波部
品を作製することを可能にする方法を提供することを目
的とする。 【構成】 まず表面に光学干渉膜を形成したガラス板を
準備した後、図４（ａ）に示すように、一定間隔を設け
て平行切断することによって、表面に光学干渉膜２０が
形成された複数の切断物２１を作製し、次いで図４
（ｂ）に示すように、各切断物２１を同一方向に倒して
並列させた後、図４（ｃ）に示すように、一定間隔を設
けて斜目切断する。
品を作製することを可能にする方法を提供することを目
的とする。 【構成】 まず表面に光学干渉膜を形成したガラス板を
準備した後、図４（ａ）に示すように、一定間隔を設け
て平行切断することによって、表面に光学干渉膜２０が
形成された複数の切断物２１を作製し、次いで図４
（ｂ）に示すように、各切断物２１を同一方向に倒して
並列させた後、図４（ｃ）に示すように、一定間隔を設
けて斜目切断する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、分波部品の製造方法に
関し、より具体的には、光の波長による分解や偏光方向
による分解を行うための光学干渉膜を有する分波部品の
製造方法に関するものである。
関し、より具体的には、光の波長による分解や偏光方向
による分解を行うための光学干渉膜を有する分波部品の
製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図２は、入射光を２つに分波する分波部
品を示すものであり、分波部品１０は、２つの三角柱の
形状を有するガラス体１１、１２を接着剤１３で接着さ
せることによって作製され、その接着面には、光学干渉
膜１４が形成されている。
品を示すものであり、分波部品１０は、２つの三角柱の
形状を有するガラス体１１、１２を接着剤１３で接着さ
せることによって作製され、その接着面には、光学干渉
膜１４が形成されている。
【０００３】接着剤１３としては、ガラス体１１、１２
と略同じ屈折率を有するものが使用され、この分波部品
１０に入射する入射光１５は、光学干渉膜１４によって
透過光１６と反射光１７の二つに分かれることになる。
と略同じ屈折率を有するものが使用され、この分波部品
１０に入射する入射光１５は、光学干渉膜１４によって
透過光１６と反射光１７の二つに分かれることになる。
【０００４】ところでこのような分波部品１０には、低
価格化が要求されており、そのためその作製方法として
は、まず図３に示すような長い三角柱の形状を有する２
本のガラス体１８、１９を作製し、一方のガラス体１８
の所定面に光学干渉膜１４を形成した後、ガラス体１８
の光学干渉膜１４の形成面と、ガラス体１９の所定面を
接着剤で接着し、次いで所定寸法に切断する方法が採ら
れている。
価格化が要求されており、そのためその作製方法として
は、まず図３に示すような長い三角柱の形状を有する２
本のガラス体１８、１９を作製し、一方のガラス体１８
の所定面に光学干渉膜１４を形成した後、ガラス体１８
の光学干渉膜１４の形成面と、ガラス体１９の所定面を
接着剤で接着し、次いで所定寸法に切断する方法が採ら
れている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながらこのよう
な方法によると、微小な分波部品１０を得る場合、ガラ
ス体１８、１９を寸法精度良く作製することが非常に困
難となり、例えば一辺が３ｍｍ程度の分波部品１０を作
製するのが限界である。
な方法によると、微小な分波部品１０を得る場合、ガラ
ス体１８、１９を寸法精度良く作製することが非常に困
難となり、例えば一辺が３ｍｍ程度の分波部品１０を作
製するのが限界である。
【０００６】本発明は、上記事情に鑑みなされたもので
あり、低価格化の要求に応え、しかも微小な分波部品を
作製することを可能にする方法を提供することを目的と
する。
あり、低価格化の要求に応え、しかも微小な分波部品を
作製することを可能にする方法を提供することを目的と
する。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の分波部品の製造
方法は、表面に光学干渉膜を形成したガラス板を準備し
た後、一定間隔を設けて平行切断することによって複数
の切断物を作製し、次いで各切断物を同一方向に倒して
並列させた後、さらに一定間隔を設けて斜目切断するこ
とを特徴とする。
方法は、表面に光学干渉膜を形成したガラス板を準備し
た後、一定間隔を設けて平行切断することによって複数
の切断物を作製し、次いで各切断物を同一方向に倒して
並列させた後、さらに一定間隔を設けて斜目切断するこ
とを特徴とする。
【０００８】また本発明は、好ましくは、ガラス板の上
に、保護ガラス板が重なり合うように接着剤で固着する
ことを特徴とする。
に、保護ガラス板が重なり合うように接着剤で固着する
ことを特徴とする。
【０００９】
【作用】本発明においては、まず表面に光学干渉膜を形
成したガラス板を準備した後、図４（ａ）に示すよう
に、一定間隔を設けて平行切断することによって、表面
に光学干渉膜２０が形成された複数の切断物２１を作製
し、次いで図４（ｂ）に示すように、各切断物２１を同
一方向に倒して並列させた後、図４（ｃ）に示すよう
に、一定間隔を設けて斜目切断することによって分波部
品が得られる。
成したガラス板を準備した後、図４（ａ）に示すよう
に、一定間隔を設けて平行切断することによって、表面
に光学干渉膜２０が形成された複数の切断物２１を作製
し、次いで図４（ｂ）に示すように、各切断物２１を同
一方向に倒して並列させた後、図４（ｃ）に示すよう
に、一定間隔を設けて斜目切断することによって分波部
品が得られる。
【００１０】この斜目切断は、通常、略４５°の角度と
なるように設定され、これによって入射光が光学干渉膜
に当たると、透過光と、略９０°の角度で反射する反射
光の二つに分かれることになる。
なるように設定され、これによって入射光が光学干渉膜
に当たると、透過光と、略９０°の角度で反射する反射
光の二つに分かれることになる。
【００１１】本発明の方法によると、比較的成形が容易
で、高い寸法精度が得られるガラス板を使用し、これを
切断するだけで良いため、低価格で、しかも微小な分波
部品を作製することが可能となる。
で、高い寸法精度が得られるガラス板を使用し、これを
切断するだけで良いため、低価格で、しかも微小な分波
部品を作製することが可能となる。
【００１２】尚、本発明の方法によって得られる分波部
品は、切断面が、光線の通過する面となるので、切断面
が粗面となって表面精度に問題がある場合には、研磨加
工を行うことによって鏡面としたり、あるいはガラス板
と略同じ屈折率を有する媒質で覆うことによって、光線
の散乱を防ぐことが可能である。
品は、切断面が、光線の通過する面となるので、切断面
が粗面となって表面精度に問題がある場合には、研磨加
工を行うことによって鏡面としたり、あるいはガラス板
と略同じ屈折率を有する媒質で覆うことによって、光線
の散乱を防ぐことが可能である。
【００１３】本発明における光学干渉膜は、光学部品に
入射する入射光を、透過光と反射光の二つに分ける作用
を有する膜であり、ロングパスフィルター、ショートパ
スフィルター、減衰膜、反射ミラー等が使用される。
入射する入射光を、透過光と反射光の二つに分ける作用
を有する膜であり、ロングパスフィルター、ショートパ
スフィルター、減衰膜、反射ミラー等が使用される。
【００１４】また本発明においては、ガラス板の上に、
保護ガラス板が重なり合うように接着剤で固着すると、
工程中に光学干渉膜に傷が入ったり、膜特性を変化させ
るのを防止することができるため好ましい。
保護ガラス板が重なり合うように接着剤で固着すると、
工程中に光学干渉膜に傷が入ったり、膜特性を変化させ
るのを防止することができるため好ましい。
【００１５】
【実施例】以下、本発明の分波部品の製造方法を実施例
に基づいて詳細に説明する。
に基づいて詳細に説明する。
【００１６】図１は、本発明の方法によって製造した分
波部品２２を示すものであり、縦１ｍｍ、幅１ｍｍ、長
さ２ｍｍの寸法を有している。この分波部品２２は、２
つのガラス体２３、２４の所定面が接着剤２５によって
接着され、その接着面に反射ミラー２６が形成された形
態を有しており、この分波部品２２に入射する入射光２
７は、反射ミラー２６によって透過光２８と反射光２９
の二つに分かれる。
波部品２２を示すものであり、縦１ｍｍ、幅１ｍｍ、長
さ２ｍｍの寸法を有している。この分波部品２２は、２
つのガラス体２３、２４の所定面が接着剤２５によって
接着され、その接着面に反射ミラー２６が形成された形
態を有しており、この分波部品２２に入射する入射光２
７は、反射ミラー２６によって透過光２８と反射光２９
の二つに分かれる。
【００１７】次にこの分波部品２２の製造方法について
説明する。
説明する。
【００１８】まず図５に示すように、厚み１ｍｍの石英
ガラス板３０を準備し、その表面に１．３μｍの反射ミ
ラー２６を真空蒸着法によって成膜した後、その上に厚
み１ｍｍの保護ガラス板３１が重なり合うようにエポキ
シ系接着剤２５で固着した。
ガラス板３０を準備し、その表面に１．３μｍの反射ミ
ラー２６を真空蒸着法によって成膜した後、その上に厚
み１ｍｍの保護ガラス板３１が重なり合うようにエポキ
シ系接着剤２５で固着した。
【００１９】次いでこれを１ｍｍ間隔で平行切断するこ
とによって切断物を作製した後、各切断物を同一方向に
倒して並列させ、さらに１ｍｍ間隔で略４５°の角度で
斜目切断することによって、図１に示すような分波部品
２２を得ることができた。
とによって切断物を作製した後、各切断物を同一方向に
倒して並列させ、さらに１ｍｍ間隔で略４５°の角度で
斜目切断することによって、図１に示すような分波部品
２２を得ることができた。
【００２０】尚、上記の保護ガラス板３１とエポキシ系
接着剤２５は、いずれも石英ガラス板３０と略同じ屈折
率を有するものを選択し、また切断は、集積回路のウェ
ハ切断に使用されるダイヤモンド切断機によって行っ
た。
接着剤２５は、いずれも石英ガラス板３０と略同じ屈折
率を有するものを選択し、また切断は、集積回路のウェ
ハ切断に使用されるダイヤモンド切断機によって行っ
た。
【００２１】
【発明の効果】以上のように本発明の分波部品の製造方
法によると、微小な分波部品を、低価格で作製すること
が可能となる。
法によると、微小な分波部品を、低価格で作製すること
が可能となる。
【図１】本発明の方法によって製造した分波部品を示す
説明図である。
説明図である。
【図２】従来の分波部品を示す説明図である。
【図３】従来の分波部品を製造するのに使用するガラス
体を示す斜視図である。
体を示す斜視図である。
【図４】表面に光学干渉膜が形成されたガラス板の切断
方法を示す説明図である。
方法を示す説明図である。
【図５】表面に光学干渉膜が形成され、その上に保護ガ
ラスが接着されたガラス板の断面図である。
ラスが接着されたガラス板の断面図である。
１０、２２ 分波部品 １１、１２、２３、２４ ガラス体 １３、２５ 接着剤 １４、２０ 光学干渉膜 １５、２７ 入射光 １６、２８ 透過光 １７、２９ 反射光 ２１ 切断物 ２２ 分波部品 ２６ 反射ミラー ３０ 石英ガラス板 ３１ 保護ガラス板
Claims (2)
- 【請求項１】 表面に光学干渉膜を形成したガラス板を
準備した後、一定間隔を設けて平行切断することによっ
て複数の切断物を作製し、次いで各切断物を同一方向に
倒して並列させた後、さらに一定間隔を設けて斜目切断
することを特徴とする分波部品の製造方法。 - 【請求項２】 ガラス板の上に、保護ガラス板が重なり
合うように接着剤で固着することを特徴とする請求項１
の分波部品の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20842593A JPH0743531A (ja) | 1993-07-30 | 1993-07-30 | 分波部品の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20842593A JPH0743531A (ja) | 1993-07-30 | 1993-07-30 | 分波部品の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0743531A true JPH0743531A (ja) | 1995-02-14 |
Family
ID=16556012
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20842593A Pending JPH0743531A (ja) | 1993-07-30 | 1993-07-30 | 分波部品の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0743531A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008136243A1 (ja) * | 2007-04-27 | 2008-11-13 | Konica Minolta Opto, Inc. | 光学素子の製造方法および接合治具 |
-
1993
- 1993-07-30 JP JP20842593A patent/JPH0743531A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008136243A1 (ja) * | 2007-04-27 | 2008-11-13 | Konica Minolta Opto, Inc. | 光学素子の製造方法および接合治具 |
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