JPH0218518A - 光ビーム分割器 - Google Patents
光ビーム分割器Info
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- JPH0218518A JPH0218518A JP63169289A JP16928988A JPH0218518A JP H0218518 A JPH0218518 A JP H0218518A JP 63169289 A JP63169289 A JP 63169289A JP 16928988 A JP16928988 A JP 16928988A JP H0218518 A JPH0218518 A JP H0218518A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/10—Beam splitting or combining systems
- G02B27/14—Beam splitting or combining systems operating by reflection only
- G02B27/142—Coating structures, e.g. thin films multilayers
Landscapes
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- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、例えば、原画を光電操作して得た画像信号に
よって、記録側の露光手段を制御して、記録材料上に網
目板複製画像を記録する場合、特に、複数本のビームを
画像信号に基いてそれぞれ独立に変調することにより網
目版画像を記録する際に必要な光ビーム分割器に関する
。その他、レーザー加工機でプラスチックスに網目画像
を彫り込む際に必要な光ビーム分割等にも利用できる光
ビーム分割器に関する。
よって、記録側の露光手段を制御して、記録材料上に網
目板複製画像を記録する場合、特に、複数本のビームを
画像信号に基いてそれぞれ独立に変調することにより網
目版画像を記録する際に必要な光ビーム分割器に関する
。その他、レーザー加工機でプラスチックスに網目画像
を彫り込む際に必要な光ビーム分割等にも利用できる光
ビーム分割器に関する。
［従来技術］
従来、−列に並ぶ多数本の光ビームを画像信号に基いて
独立変調するようにして記録材料上に相対的に走査して
網目版画像を記録することが行われているが、多くの場
合、該多数本の光ビームは、多数の全反射ミラーと半反
射ミラーを配設して、これらにアルゴンレーザから発振
する一本のレーザビームを反射させて分割される。各光
ビームは、変調器によってそれぞれ独立に変調され結晶
光学系によって小さく絞られて、記録材料上に照射され
る。 他方、−個の光ビーム分割器を使用し、−本の光
ビームを何回も内部反射させて一列に並ぶ多数本の光ビ
ームに分割する発明として、日本特許公開昭和５２年第
１２２１３５号と日本特許公開昭和５８年第１０７．１
３号が存在し、これらはともに、−枚のガラス板の一方
の面に全反射膜、他方の面に領域を異にして反射率が異
なる半反射膜をそれぞれコーティングしてなる。半反射
膜のコーティングについて詳述すると、例えば１０本の
光ビームに分割する場合、最初の領域には９／１０の反
射率（＝ｌ／１０の透過率）の半反射膜をコーティング
し、次の領域には８／９の反射率（＝ｌ／９の透過率）
の半反射膜をコーティングし、さらに次に領域には７／
８の反射率（＝１／８の透過率）の半反射膜をコーティ
ングし、こうして次々に反射率が数列的に次第に小さく
なる半反射膜をコーティングし、最後の領域には１／２
の反射率（＝ １７２の透過率）の半反射膜をコーティ
ングするものである。
独立変調するようにして記録材料上に相対的に走査して
網目版画像を記録することが行われているが、多くの場
合、該多数本の光ビームは、多数の全反射ミラーと半反
射ミラーを配設して、これらにアルゴンレーザから発振
する一本のレーザビームを反射させて分割される。各光
ビームは、変調器によってそれぞれ独立に変調され結晶
光学系によって小さく絞られて、記録材料上に照射され
る。 他方、−個の光ビーム分割器を使用し、−本の光
ビームを何回も内部反射させて一列に並ぶ多数本の光ビ
ームに分割する発明として、日本特許公開昭和５２年第
１２２１３５号と日本特許公開昭和５８年第１０７．１
３号が存在し、これらはともに、−枚のガラス板の一方
の面に全反射膜、他方の面に領域を異にして反射率が異
なる半反射膜をそれぞれコーティングしてなる。半反射
膜のコーティングについて詳述すると、例えば１０本の
光ビームに分割する場合、最初の領域には９／１０の反
射率（＝ｌ／１０の透過率）の半反射膜をコーティング
し、次の領域には８／９の反射率（＝ｌ／９の透過率）
の半反射膜をコーティングし、さらに次に領域には７／
８の反射率（＝１／８の透過率）の半反射膜をコーティ
ングし、こうして次々に反射率が数列的に次第に小さく
なる半反射膜をコーティングし、最後の領域には１／２
の反射率（＝ １７２の透過率）の半反射膜をコーティ
ングするものである。
［発明が解決しようとする課題］
しかるに、ミラー群の配置や光ファイバーの配置によっ
てアルゴンレーザから発振する一木のレーザビームを多
数本のレーザビームにする技術は、広いスペースが必要
であるとともに、これらの調整に高度な技量と多くの時
間を必要とし大変面倒であった。
てアルゴンレーザから発振する一木のレーザビームを多
数本のレーザビームにする技術は、広いスペースが必要
であるとともに、これらの調整に高度な技量と多くの時
間を必要とし大変面倒であった。
これに対し、日本特許公開昭和５８年第１０７１３号及
び日本特許公開昭和５２年第１２２１３５号の光ビーム
分割器によれば、上記のデメリットを完全に解消できて
いる。
び日本特許公開昭和５２年第１２２１３５号の光ビーム
分割器によれば、上記のデメリットを完全に解消できて
いる。
しかしながら、両者は、上記のように１０本の光ビーム
に分割する場合、２ｍｍ以下の極めて狭い幅の９個の領
域に、上記のように領域によって反射率が異なる半反射
膜をコーティングしなければならず、一つの領域のコー
ティングの失敗も許されず至難の技を要していた。
に分割する場合、２ｍｍ以下の極めて狭い幅の９個の領
域に、上記のように領域によって反射率が異なる半反射
膜をコーティングしなければならず、一つの領域のコー
ティングの失敗も許されず至難の技を要していた。
また、日本特許公開昭和５２年第１２２１３５号の光ビ
ーム分割器によれば、分割本数を大きくしても結晶光学
系を大きくしないで済む利点があるが、分光される光ビ
ームが平行でないために、変調器の変調効率が低下する
とともに、漏れ光が生ずる場合があり、さらに変調器の
音波電極の形成も難しい。また、該光ビーム分割器の両
面の交差角及び厚さを所定の数値に超高精度に保つこと
は難かしく、該光ビーム分割器の製作は、困難を極める
こととなる。該光ビーム分割器の両面の交差角及び厚さ
が僅かでも異なれば、多数本の光ビームの集光距離は大
きく異なることになり、該光ビーム分割器と変調器との
設置間隔、及び変調器と結晶光学系変調器との設置間隔
は、装置毎に異なることが避けられない。
ーム分割器によれば、分割本数を大きくしても結晶光学
系を大きくしないで済む利点があるが、分光される光ビ
ームが平行でないために、変調器の変調効率が低下する
とともに、漏れ光が生ずる場合があり、さらに変調器の
音波電極の形成も難しい。また、該光ビーム分割器の両
面の交差角及び厚さを所定の数値に超高精度に保つこと
は難かしく、該光ビーム分割器の製作は、困難を極める
こととなる。該光ビーム分割器の両面の交差角及び厚さ
が僅かでも異なれば、多数本の光ビームの集光距離は大
きく異なることになり、該光ビーム分割器と変調器との
設置間隔、及び変調器と結晶光学系変調器との設置間隔
は、装置毎に異なることが避けられない。
本発明は、半反射膜をそれぞれ大きくコーティングする
ことが可能であり、もって正確な反射率の半反射膜の形
成が容易であり、また広い設置スペースを必要とせず、
光量が等しくなるようにビーム分割し得るビーム分割器
を提供することを目的としている。
ことが可能であり、もって正確な反射率の半反射膜の形
成が容易であり、また広い設置スペースを必要とせず、
光量が等しくなるようにビーム分割し得るビーム分割器
を提供することを目的としている。
［課題を解決するための手段］
本発明の光ビーム分割器は、第１図（ａ）または第２図
（ａ）に示すように、 ｎ枚の厚さが高精度に均一な透明平行板Ｐ１゜Ｐ２．Ｐ
３．ｓ ＊ ＊ Ｐｎ−２，Ｐｎ−１，Ｐｎが重ねられ
、それらの中、両側の透明平行板Ｐｉ、Ｐｎの外面に全
反射膜ＭＯ，Ｍｎｔ−備えているとともに、透明平行板
同士の密着面に半反射膜Ｍｌ、Ｍ２．Ｍ３．・・ΦＭｎ
−２．Ｍｎ−１を備えてなり、 前記の全反射膜Ｍ Ｏ、Ｍ ｎと半反射膜Ｍ１〜Ｍｎ−
１の配置は、 一方の側から透明平行板に対し所要角度で斜目に入射す
る光ビームＬＯを後側の全反射膜ＭＯ，で全反射して半
反射膜Ｍ１〜Ｍｎ−１を透過し前側の全反射膜Ｍｎで全
反射し、その過程で分光される分光ビームＬｌ、Ｌ２．
Ｌ３．＊ ｍ Ｌｎ−２，Ｌｎ−１，Ｌｎを後側の透明
平行板より放射し得るように配列され。
（ａ）に示すように、 ｎ枚の厚さが高精度に均一な透明平行板Ｐ１゜Ｐ２．Ｐ
３．ｓ ＊ ＊ Ｐｎ−２，Ｐｎ−１，Ｐｎが重ねられ
、それらの中、両側の透明平行板Ｐｉ、Ｐｎの外面に全
反射膜ＭＯ，Ｍｎｔ−備えているとともに、透明平行板
同士の密着面に半反射膜Ｍｌ、Ｍ２．Ｍ３．・・ΦＭｎ
−２．Ｍｎ−１を備えてなり、 前記の全反射膜Ｍ Ｏ、Ｍ ｎと半反射膜Ｍ１〜Ｍｎ−
１の配置は、 一方の側から透明平行板に対し所要角度で斜目に入射す
る光ビームＬＯを後側の全反射膜ＭＯ，で全反射して半
反射膜Ｍ１〜Ｍｎ−１を透過し前側の全反射膜Ｍｎで全
反射し、その過程で分光される分光ビームＬｌ、Ｌ２．
Ｌ３．＊ ｍ Ｌｎ−２，Ｌｎ−１，Ｌｎを後側の透明
平行板より放射し得るように配列され。
前記半反射膜Ｍ１〜Ｍｎ−１は、
後側から順に反射率がｌ ／ ｎ 、 １ ／ （ｎ
−１）。
−１）。
１／（ｎ−２）、・参・１／４．１／３．１／２という
数列で次第に大きくなる一群の半反射膜であることを特
徴とするものである。
数列で次第に大きくなる一群の半反射膜であることを特
徴とするものである。
［作用］
一方の側から透明平行板に対し所要角度で斜目に入射す
る光ビームＬＯは、後側の全反射膜ＭＯに照射される。
る光ビームＬＯは、後側の全反射膜ＭＯに照射される。
該全反射Ｉｌ＊ＭＯは、光ビームＬＯを前側の半反射膜
Ｍ２に向うように全反射させる。該半反射膜Ｍ２は、反
射率が１７ ｎとされているので、光ビームＬＯの１７
ｎの光ｉの分光ビームＬ１を後側へ分光するとともに
残りの（ｎ−１）／ ｎの光量を一つ前側の半反射膜Ｍ
３に向って透過させる。次いで、半反射膜Ｍ３は、反射
率が１ ／ （ｎ−１）とされているので、やはり光ビ
ームＬＯの１ ／ ｎの光量の分光ビームＬ２を後側へ
分光するとともに残り（ｎ−２）／ ｎの光量を一つ前
側の半反射膜透過させることになる。・・・争φこの間
も前後と同様の分光が行われる。・・・・・次いで、反
射膜Ｍｎ−２は、反射率が１／３とされているので、光
ビームＬＯのｌ ／ ｎの光量の分光ビームＬｎ−２を
後側へ分光するとともに残りの光ビームＬＯの２ ／
ｎの光量の光ビームを一つ前側の半反射膜Ｍｎ−１に向
って透過させる。次し＼で、反射膜Ｍｎ−１は、反射率
が１／２とされているので、光ビームＬＯの１ ／ ｎ
の光量の分光ビームＬｎ−１を後側へ分光するとともに
残りのｌ ／ ｎの光量を一つ前側の全反射膜Ｍｎに向
って透過させる。該全反射膜Ｍｎは、反射膜Ｍｎ−１を
透過してきた光ビームを分光ビームＬｎとして後方へ反
射させる。
Ｍ２に向うように全反射させる。該半反射膜Ｍ２は、反
射率が１７ ｎとされているので、光ビームＬＯの１７
ｎの光ｉの分光ビームＬ１を後側へ分光するとともに
残りの（ｎ−１）／ ｎの光量を一つ前側の半反射膜Ｍ
３に向って透過させる。次いで、半反射膜Ｍ３は、反射
率が１ ／ （ｎ−１）とされているので、やはり光ビ
ームＬＯの１ ／ ｎの光量の分光ビームＬ２を後側へ
分光するとともに残り（ｎ−２）／ ｎの光量を一つ前
側の半反射膜透過させることになる。・・・争φこの間
も前後と同様の分光が行われる。・・・・・次いで、反
射膜Ｍｎ−２は、反射率が１／３とされているので、光
ビームＬＯのｌ ／ ｎの光量の分光ビームＬｎ−２を
後側へ分光するとともに残りの光ビームＬＯの２ ／
ｎの光量の光ビームを一つ前側の半反射膜Ｍｎ−１に向
って透過させる。次し＼で、反射膜Ｍｎ−１は、反射率
が１／２とされているので、光ビームＬＯの１ ／ ｎ
の光量の分光ビームＬｎ−１を後側へ分光するとともに
残りのｌ ／ ｎの光量を一つ前側の全反射膜Ｍｎに向
って透過させる。該全反射膜Ｍｎは、反射膜Ｍｎ−１を
透過してきた光ビームを分光ビームＬｎとして後方へ反
射させる。
以上のように、半反射膜Ｍ１〜Ｍ ｎ −１が、順に反
射率が１ ／ ｎ 、 １ ／ （ｎ−１）、ｌ ／
（ｎ−２）、・φ・１／４．ｌ／３．１／２という数列
で次第に大きくなる一群の半反射膜で構成されているの
で、分光ビームＬ１〜Ｌｎは、いずれも光ビームＬＯの
１ ／ ｎの光量となるようにｎ等分にビーム分割され
後方へ平行に放射される。
射率が１ ／ ｎ 、 １ ／ （ｎ−１）、ｌ ／
（ｎ−２）、・φ・１／４．ｌ／３．１／２という数列
で次第に大きくなる一群の半反射膜で構成されているの
で、分光ビームＬ１〜Ｌｎは、いずれも光ビームＬＯの
１ ／ ｎの光量となるようにｎ等分にビーム分割され
後方へ平行に放射される。
なお、本発明の光ビーム分割器は、第１図（ａ）または
第２図（ａ）に示すように、 ｎ枚の透明平行板Ｐｉ、Ｐ２．Ｐ３．拳＊ ＊ Ｐｎ−
２゜Ｐｎ−１，Ｐｎを、別の二枚の透明平行板ＰＯ。
第２図（ａ）に示すように、 ｎ枚の透明平行板Ｐｉ、Ｐ２．Ｐ３．拳＊ ＊ Ｐｎ−
２゜Ｐｎ−１，Ｐｎを、別の二枚の透明平行板ＰＯ。
Ｐｎ＋１で挟み、全反射膜Ｍ １．Ｍ ｎ ＋ １を塵
から保護し、両面を拭くことができる実施態様とするの
が良い。
から保護し、両面を拭くことができる実施態様とするの
が良い。
［第−実施例会・第１図（ａ）、（ｂ） ］第１図（ａ
）の光ビーム分割器は、ｎ＋２枚の透明平行板ＰＯ，Ｐ
ｉ、Ｐ２．Ｐ３．・＊ Ｐｎ−１，Ｐｎ、Ｐｎ＋１を重
ねてなる。これらｎ＋２枚の透明平行板ＰＯ〜Ｐ ｎ＋
１は、第１図（ｂ）のように厚さが均一な縦長な透明平
行板Ｐを一点鎖線よりｎ＋２枚に分割して第１図（ａ）
に示すように重ねることにより厚さが超精密に均一とさ
れている。そして、第１図（ｂ）の単一の透明平行板Ｐ
がｎ＋２枚に分割される前に、全反射膜ＭＯ，半反射膜
Ｍｌ、Ｍ２．Ｍ３゜１１ｅＩＩＭｎ−２９Ｍｎ−１、及
び全反射膜Ｍｎが所要に異なる大きさ・配置にコーティ
ングされる。
）の光ビーム分割器は、ｎ＋２枚の透明平行板ＰＯ，Ｐ
ｉ、Ｐ２．Ｐ３．・＊ Ｐｎ−１，Ｐｎ、Ｐｎ＋１を重
ねてなる。これらｎ＋２枚の透明平行板ＰＯ〜Ｐ ｎ＋
１は、第１図（ｂ）のように厚さが均一な縦長な透明平
行板Ｐを一点鎖線よりｎ＋２枚に分割して第１図（ａ）
に示すように重ねることにより厚さが超精密に均一とさ
れている。そして、第１図（ｂ）の単一の透明平行板Ｐ
がｎ＋２枚に分割される前に、全反射膜ＭＯ，半反射膜
Ｍｌ、Ｍ２．Ｍ３゜１１ｅＩＩＭｎ−２９Ｍｎ−１、及
び全反射膜Ｍｎが所要に異なる大きさ・配置にコーティ
ングされる。
図示例では、土木の分光ビームが得られるように構成さ
れており（ｎ＝１０）、従って、第１図（ｂ）の透明平
行板Ｐは１２枚に分割されるものであり、半反射膜Ｍｌ
は１／１０の反射率（＝９７１０の透過率）、半反射膜
Ｍ２は１／９の反射率（＝８／９の透過率）、半反射膜
Ｍ３はｌ／８の反射率（−７／８の透過率）、・・・・
、半反射膜Ｍｎ−２は１／３の反射率（＝２７３の透過
率）、半反射膜Ｍｎ−１はｌ／２の反射率（＝１／２の
透過率）とされている。
れており（ｎ＝１０）、従って、第１図（ｂ）の透明平
行板Ｐは１２枚に分割されるものであり、半反射膜Ｍｌ
は１／１０の反射率（＝９７１０の透過率）、半反射膜
Ｍ２は１／９の反射率（＝８／９の透過率）、半反射膜
Ｍ３はｌ／８の反射率（−７／８の透過率）、・・・・
、半反射膜Ｍｎ−２は１／３の反射率（＝２７３の透過
率）、半反射膜Ｍｎ−１はｌ／２の反射率（＝１／２の
透過率）とされている。
このため、第１図（ａ）に示す千木の分光ビームＬｌ、
Ｌ２．Ｌ３．＊ ＊ Ｌｎ−１，Ｌｎは、いずれも光ビ
ームＬＯの十分の−の光量となる。
Ｌ２．Ｌ３．＊ ＊ Ｌｎ−１，Ｌｎは、いずれも光ビ
ームＬＯの十分の−の光量となる。
半反射膜Ｍ１の幅は、第１図（ａ）に示す微小寸法りと
等しくされ、反射膜Ｍ２の幅は３／２ｈ、半反射膜Ｍ３
の幅は２ｈ、・・・・、反射膜Ｍｎ−２の幅は４ｈ＋１
／２ ｈ、反射膜Ｍｎ−１の幅は５ｈとされ、これら半
反射膜Ｍｌ−Ｍｎ−１は、それぞれ左端が精密に一致し
てコーティングされている。また、全反射膜ＭＯの右端
は半反射膜Ｍｌの右端よりも左へ１／２ｈだけ引込んで
いて、全反射膜ＭＯの左端は透明平行板Ｐの左端近傍に
至るように大きくコーティングされており、さらにまた
全反射膜Ｍｎは、左端が半反射膜Ｍｎ−１の左端に一致
され、また右端が透明平行板Ｐの右端近傍に至るように
大きくコーティングされている。
等しくされ、反射膜Ｍ２の幅は３／２ｈ、半反射膜Ｍ３
の幅は２ｈ、・・・・、反射膜Ｍｎ−２の幅は４ｈ＋１
／２ ｈ、反射膜Ｍｎ−１の幅は５ｈとされ、これら半
反射膜Ｍｌ−Ｍｎ−１は、それぞれ左端が精密に一致し
てコーティングされている。また、全反射膜ＭＯの右端
は半反射膜Ｍｌの右端よりも左へ１／２ｈだけ引込んで
いて、全反射膜ＭＯの左端は透明平行板Ｐの左端近傍に
至るように大きくコーティングされており、さらにまた
全反射膜Ｍｎは、左端が半反射膜Ｍｎ−１の左端に一致
され、また右端が透明平行板Ｐの右端近傍に至るように
大きくコーティングされている。
このように反射膜ＭＯ〜Ｍｎをコーティングした透明平
行板Ｐを、−点鎖線よりカットして１２枚に分割し第１
図（ａ）に示すように重ねると、これら反射膜ＭＯ〜Ｍ
ｎの立体配置は、一方の側から透明平行板に対し所要角
度で斜目に入射する光ビームＬＯを前側の全反射膜及び
半反射膜がさえぎらないようになっていて、該光ビーム
ＬＯが後側の全反射膜ＭＯに到達し前側へ全反射して全
ての半反射ＩＩＩＭ１９Ｍ２９Ｍ３．・・・Ｍｎ−２を
透過し、半反射膜Ｍｌ、Ｍ２．Ｍ３．Φ・・Ｍｎ−２に
おいて分光ビームＬｌ、Ｌ２．Ｌ３．＠ ＊ Ｌｎ−２
を後方へ分光し、また半反射膜Ｍｎ−１において後側へ
進行する分光ビームＬｎ−１と前側へ進行する分光ビー
ムＬｎとに分光し、さらに全反射膜Ｍｎで分光ビームＬ
ｎを後側へ全反射させることができる。
行板Ｐを、−点鎖線よりカットして１２枚に分割し第１
図（ａ）に示すように重ねると、これら反射膜ＭＯ〜Ｍ
ｎの立体配置は、一方の側から透明平行板に対し所要角
度で斜目に入射する光ビームＬＯを前側の全反射膜及び
半反射膜がさえぎらないようになっていて、該光ビーム
ＬＯが後側の全反射膜ＭＯに到達し前側へ全反射して全
ての半反射ＩＩＩＭ１９Ｍ２９Ｍ３．・・・Ｍｎ−２を
透過し、半反射膜Ｍｌ、Ｍ２．Ｍ３．Φ・・Ｍｎ−２に
おいて分光ビームＬｌ、Ｌ２．Ｌ３．＠ ＊ Ｌｎ−２
を後方へ分光し、また半反射膜Ｍｎ−１において後側へ
進行する分光ビームＬｎ−１と前側へ進行する分光ビー
ムＬｎとに分光し、さらに全反射膜Ｍｎで分光ビームＬ
ｎを後側へ全反射させることができる。
上述した第１図（ａ）に示す微小寸法りは、光ビームＬ
Ｏの内部進行角度αと透明平行板の厚さｔによって決ま
る。すなわち、ｈ＝２ｔＸｔａｎαである。さらに、光
ビームＬＯの内部進行角度αは、光ビームＬＯの入射角
度βと透明平行板Ｐの屈折率によって決まる。従って、
分光ビームの間隔Ｃは、光ビームＬＯの入射角度βと透
明平行板Ｐの屈折率と透明平行板Ｐの厚さｔによって決
定され、従って、該間隔Ｃと光ビームＬＯの入射角度β
と透明平行板Ｐの材質を決めれば、透明平行板Ｐの厚さ
ｔを決めることができ、第１図（ｂ）に示すマルチコー
ティングプレートの製作条件が全て整う。
Ｏの内部進行角度αと透明平行板の厚さｔによって決ま
る。すなわち、ｈ＝２ｔＸｔａｎαである。さらに、光
ビームＬＯの内部進行角度αは、光ビームＬＯの入射角
度βと透明平行板Ｐの屈折率によって決まる。従って、
分光ビームの間隔Ｃは、光ビームＬＯの入射角度βと透
明平行板Ｐの屈折率と透明平行板Ｐの厚さｔによって決
定され、従って、該間隔Ｃと光ビームＬＯの入射角度β
と透明平行板Ｐの材質を決めれば、透明平行板Ｐの厚さ
ｔを決めることができ、第１図（ｂ）に示すマルチコー
ティングプレートの製作条件が全て整う。
［第二実施例・・第２図（ａ）、（ｂ） ］第２図（ａ
）の光ビーム分割器は、反射膜を除いて第１図（ａ）の
光ビーム分割器と同一に構成されている。十二枚の透明
平行板Ｐ（１，ＰＩ、Ｐ２．ＰＩ。
）の光ビーム分割器は、反射膜を除いて第１図（ａ）の
光ビーム分割器と同一に構成されている。十二枚の透明
平行板Ｐ（１，ＰＩ、Ｐ２．ＰＩ。
＊ Ｐｎ−１，Ｐｎ、Ｐｎ＋１￥を重ねてなる。反射膜
ＭＯ〜Ｍｎは、いずれも幅がｈとされていて、次々に１
／２− ｈずつずれている。
ＭＯ〜Ｍｎは、いずれも幅がｈとされていて、次々に１
／２− ｈずつずれている。
透明平行板ＰＯ〜Ｐｎ＋１は厚さが超精密に均一とされ
、第２図（ｂ）に示す厚さが均一で縦長な透明平行板Ｐ
を一点鎖線よりカットして十二枚に分割して重ねられて
いる。従って、該透明平行板Ｐには、分割される前に、
全反射膜ＭＯ、半反射膜Ｍｌ、Ｍ２．Ｍ３． ＊ ＊
、Ｍｎ−２，Ｍｎ−１、及び全反射膜Ｍｎがコーティ
ングされる。
、第２図（ｂ）に示す厚さが均一で縦長な透明平行板Ｐ
を一点鎖線よりカットして十二枚に分割して重ねられて
いる。従って、該透明平行板Ｐには、分割される前に、
全反射膜ＭＯ、半反射膜Ｍｌ、Ｍ２．Ｍ３． ＊ ＊
、Ｍｎ−２，Ｍｎ−１、及び全反射膜Ｍｎがコーティ
ングされる。
全反射［ＭＯは、前側から入射する光ビームＬＯを前側
へ全反射し、半反射膜Ｍ２．Ｍ３．−・拳Ｍｎ−２は、
いずれも光ビームＬＯの光量の１ ／ ｎの光量の分光
ビームＬｌ−Ｌｎ−２を後側へ分光し、また、半反射膜
Ｍｎ−１は、光ビームＬＯの光量のｌ ／ ｎの光量の
分光ビームＬｎ−１を後側へ分光するとともに、光ビー
ムＬＯの光量のｌ ／ ｎの光量の分光ビームＬｎを前
側へ分光し、そして、全反射膜Ｍｎは、該分光ビームＬ
ｎを後側へ全反射する。
へ全反射し、半反射膜Ｍ２．Ｍ３．−・拳Ｍｎ−２は、
いずれも光ビームＬＯの光量の１ ／ ｎの光量の分光
ビームＬｌ−Ｌｎ−２を後側へ分光し、また、半反射膜
Ｍｎ−１は、光ビームＬＯの光量のｌ ／ ｎの光量の
分光ビームＬｎ−１を後側へ分光するとともに、光ビー
ムＬＯの光量のｌ ／ ｎの光量の分光ビームＬｎを前
側へ分光し、そして、全反射膜Ｍｎは、該分光ビームＬ
ｎを後側へ全反射する。
［発明の効果］
以上説明してきたように、本発明の光ビーム分割器によ
れば、 （１）光量が等しくなるようにビーム分割し得る。
れば、 （１）光量が等しくなるようにビーム分割し得る。
（２）半反射膜をそれぞれ大きくコーティングすること
が可能であり、もって正確な反射率の半反射膜の形成が
容易である。
が可能であり、もって正確な反射率の半反射膜の形成が
容易である。
（３）広い設置スペースを必要としない。
第１図（ａ）は、本発明の光ビーム分割器の第一実施例
にかかる側面図であり、第１図（ｂ）は、同上の光ビー
ム分割器を製作するための透明平行板の表面図である。 第２図（ａ）は、本発明の光ビーム分割器の第二実施例
にかかる側面図であり、第２図（ｂ）は、同上の光ビー
ム分割器を製作するための透明平行板Ｐの表面図である
。 Ｐ 、 Ｐ １．Ｐ２．ＰＩ、＊ 働Ｐｎ−２，Ｐｎ−
１，Ｐｎ、Ｐｎ＋１φ・・透明平行板、 Ｍ １．Ｍ ２．Ｍ３． ＊ ｅ Ｍｎ−２，Ｍｎ−１
，Ｍ ｎφ・・半反射膜、 ＭＯ，Ｍｎ・・・全反射膜、 ＬＯ・・・光ビーム、 Ｌｌ、Ｌ２．Ｌ３．＊ ＊ Ｌｎ−２，Ｌｎ−１，Ｌｎ
・・・分光ビーム、
にかかる側面図であり、第１図（ｂ）は、同上の光ビー
ム分割器を製作するための透明平行板の表面図である。 第２図（ａ）は、本発明の光ビーム分割器の第二実施例
にかかる側面図であり、第２図（ｂ）は、同上の光ビー
ム分割器を製作するための透明平行板Ｐの表面図である
。 Ｐ 、 Ｐ １．Ｐ２．ＰＩ、＊ 働Ｐｎ−２，Ｐｎ−
１，Ｐｎ、Ｐｎ＋１φ・・透明平行板、 Ｍ １．Ｍ ２．Ｍ３． ＊ ｅ Ｍｎ−２，Ｍｎ−１
，Ｍ ｎφ・・半反射膜、 ＭＯ，Ｍｎ・・・全反射膜、 ＬＯ・・・光ビーム、 Ｌｌ、Ｌ２．Ｌ３．＊ ＊ Ｌｎ−２，Ｌｎ−１，Ｌｎ
・・・分光ビーム、
Claims (2)
- （１）ｎ枚の厚さが高精度に均一な透明平行板が重ねら
れ、それらの中、両側の透明平行板の外面に全反射膜を
備えているとともに、透明平行板同士の密着面に半反射
膜を備えてなり、 前記の全反射膜と半反射膜の配置は、 一方の側から透明平行板に対し所要角度で斜目に入射す
る光ビームを後側の全反射膜で全反射して半反射膜を透
過し前側の全反射膜で全反射し、その過程で分光される
分光ビームを後側の透明平行板より放射し得るように配
列され、 前記半反射膜は、 後側から順に反射率が１／ｎ、１／（ｎ−１）、１／（
ｎ−２）、・・・１／４、１／３、１／２という数列で
次第に大きくなる一群の半反射膜であることを特徴とす
る光ビーム分割器。 - （２）前記ｎ枚の透明平行板は、別の二枚の透明平行板
に挟まれていることを特徴とする光ビーム分割器。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63169289A JPH0218518A (ja) | 1988-07-07 | 1988-07-07 | 光ビーム分割器 |
| EP89305305A EP0350156B1 (en) | 1988-07-07 | 1989-05-25 | Optical beam splitter |
| DE89305305T DE68908495T2 (de) | 1988-07-07 | 1989-05-25 | Optischer Strahlteiler. |
| US07/365,557 US4997261A (en) | 1988-07-07 | 1989-06-13 | Optical beam splitter |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63169289A JPH0218518A (ja) | 1988-07-07 | 1988-07-07 | 光ビーム分割器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0218518A true JPH0218518A (ja) | 1990-01-22 |
Family
ID=15883756
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63169289A Pending JPH0218518A (ja) | 1988-07-07 | 1988-07-07 | 光ビーム分割器 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4997261A (ja) |
| EP (1) | EP0350156B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0218518A (ja) |
| DE (1) | DE68908495T2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010511883A (ja) * | 2006-12-06 | 2010-04-15 | ミケルソン ダイアグノスティックス リミテッド | マルチビーム干渉計用のマルチビーム源及びマルチビーム干渉計 |
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| JPH06138413A (ja) * | 1992-10-29 | 1994-05-20 | Canon Inc | プレート型偏光分離装置及び該偏光分離装置を用いた偏光照明装置 |
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| DE19904592C2 (de) * | 1999-02-05 | 2001-03-08 | Lavision Gmbh | Strahlteilervorrichtung |
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| US8391668B2 (en) | 2011-01-13 | 2013-03-05 | Microvision, Inc. | Substrate guided relay having an absorbing edge to reduce alignment constraints |
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| US4362361A (en) * | 1980-09-15 | 1982-12-07 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | Collimated beam manifold with the number of output beams variable at a given output angle |
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| US4627688A (en) * | 1983-07-01 | 1986-12-09 | Sano Kiko Co., Ltd. | Beam splitter |
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-
1988
- 1988-07-07 JP JP63169289A patent/JPH0218518A/ja active Pending
-
1989
- 1989-05-25 EP EP89305305A patent/EP0350156B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1989-05-25 DE DE89305305T patent/DE68908495T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1989-06-13 US US07/365,557 patent/US4997261A/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2010511883A (ja) * | 2006-12-06 | 2010-04-15 | ミケルソン ダイアグノスティックス リミテッド | マルチビーム干渉計用のマルチビーム源及びマルチビーム干渉計 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE68908495T2 (de) | 1994-02-03 |
| US4997261A (en) | 1991-03-05 |
| DE68908495D1 (de) | 1993-09-23 |
| EP0350156B1 (en) | 1993-08-18 |
| EP0350156A3 (en) | 1990-07-04 |
| EP0350156A2 (en) | 1990-01-10 |
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