JPH1090565A - 光学素子及びその製造方法 - Google Patents
光学素子及びその製造方法Info
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- JPH1090565A JPH1090565A JP9229862A JP22986297A JPH1090565A JP H1090565 A JPH1090565 A JP H1090565A JP 9229862 A JP9229862 A JP 9229862A JP 22986297 A JP22986297 A JP 22986297A JP H1090565 A JPH1090565 A JP H1090565A
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- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
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- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
- G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
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- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/28—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals
- G02B6/293—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals with wavelength selective means
- G02B6/29346—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals with wavelength selective means operating by wave or beam interference
- G02B6/29361—Interference filters, e.g. multilayer coatings, thin film filters, dichroic splitters or mirrors based on multilayers, WDM filters
- G02B6/29362—Serial cascade of filters or filtering operations, e.g. for a large number of channels
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- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
- G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
- G02B6/4219—Mechanical fixtures for holding or positioning the elements relative to each other in the couplings; Alignment methods for the elements, e.g. measuring or observing methods especially used therefor
- G02B6/4228—Passive alignment, i.e. without a detection of the degree of coupling or the position of the elements
- G02B6/423—Passive alignment, i.e. without a detection of the degree of coupling or the position of the elements using guiding surfaces for the alignment
Abstract
(57)【要約】
【目的】ミラーとフィルタを含む光学ブロックを低コス
トで量産する。 【構成・作用】ガラスなどの透明材料でできたブロック
７０の表面にフィルタ７４とミラー７６を形成する。透
明材料でできた別のブロック７２をフィルタ７４で貼り
合わせた後、線９０，９１，９２に沿ってこれらのブロ
ックを切断する。これにより、ミラーとフィルタを含む
同じ構造を持った光学素子を量産できる。
トで量産する。 【構成・作用】ガラスなどの透明材料でできたブロック
７０の表面にフィルタ７４とミラー７６を形成する。透
明材料でできた別のブロック７２をフィルタ７４で貼り
合わせた後、線９０，９１，９２に沿ってこれらのブロ
ックを切断する。これにより、ミラーとフィルタを含む
同じ構造を持った光学素子を量産できる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光ファイバまたは
フォトニクス・モジュールに関するものである。とりわ
け、本発明は少なくとも光学フィルタとミラーを備えた
光学素子の製造に関するものである。
フォトニクス・モジュールに関するものである。とりわ
け、本発明は少なくとも光学フィルタとミラーを備えた
光学素子の製造に関するものである。
【０００２】
【従来技術及びその問題点】光通信システムは、低エラ
ー・レートかつ低コストで、極めて多量の情報を長距離
に伝送するために広く使用されている。このため、フォ
トニクス・パッケージまたはモジュールといった光通信
システムのコンポーネントについてのかなりの開発がな
されてきた。フォトニクスとは、電子属性と光学属性の
両方を兼ね備えるデバイス一般のことを言う。これらの
デバイスは、電子信号に応答してコヒーレントな光を発
生するレーザ・デバイスや光に応答して電子信号を発生
する光検出器であってよい。
ー・レートかつ低コストで、極めて多量の情報を長距離
に伝送するために広く使用されている。このため、フォ
トニクス・パッケージまたはモジュールといった光通信
システムのコンポーネントについてのかなりの開発がな
されてきた。フォトニクスとは、電子属性と光学属性の
両方を兼ね備えるデバイス一般のことを言う。これらの
デバイスは、電子信号に応答してコヒーレントな光を発
生するレーザ・デバイスや光に応答して電子信号を発生
する光検出器であってよい。
【０００３】一般に、双方向フォトニクス・モジュール
は、エッジ発光半導体レーザ及び表面検出型光検出器を
使用している（図１参照）。図１からわかるように、エ
ッジ発光レーザ１１は放射角度が比較的広いので、通
常、光学結合の効率を高めるため、レンズ１２がレーザ
１１と光ファイバ１３の間に挿入される。更に、光ファ
イバ１３と光検出器１５の間にもレンズ１７が挿入され
るのが普通である。レンズ１７を挿入することによっ
て、光ファイバ１３と光検出器１５の間の光学的結合効
率が向上する。フォトニクス・モジュールは双方向性モ
ジュールであるため、光ファイバ１３から放出された光
ビームをレンズ１７に反射し、またレンズ１２からの光
ビームが光ファイバ１３に到達できるようにするため、
光学フィルタ１８が用いられる。もう１つの光検出器１
９が、レーザ１１の後部ファセット・モニタとして用い
られる。
は、エッジ発光半導体レーザ及び表面検出型光検出器を
使用している（図１参照）。図１からわかるように、エ
ッジ発光レーザ１１は放射角度が比較的広いので、通
常、光学結合の効率を高めるため、レンズ１２がレーザ
１１と光ファイバ１３の間に挿入される。更に、光ファ
イバ１３と光検出器１５の間にもレンズ１７が挿入され
るのが普通である。レンズ１７を挿入することによっ
て、光ファイバ１３と光検出器１５の間の光学的結合効
率が向上する。フォトニクス・モジュールは双方向性モ
ジュールであるため、光ファイバ１３から放出された光
ビームをレンズ１７に反射し、またレンズ１２からの光
ビームが光ファイバ１３に到達できるようにするため、
光学フィルタ１８が用いられる。もう１つの光検出器１
９が、レーザ１１の後部ファセット・モニタとして用い
られる。
【０００４】フォトニクス・モジュール１０を作成する
に当っては、レーザ１１、レンズ１２、光学フィルタ１
８及び光ファイバ１３は、互いに正確にあらかじめ定め
られた位置合わせ関係になければならない。更に、光フ
ァイバ１３、光学フィルタ１８、レンズ１７及び光検出
器１５は、互いに正確に予め定められたアラインメント
をとらなければならない。これを実現するため、図２に
示すように、コンポーネントを正しい位置にまた互いに
位置合わせして保持するため、一般に、固定具(fixtur
e)及び／または取り付け具(mount)が必要になる。
に当っては、レーザ１１、レンズ１２、光学フィルタ１
８及び光ファイバ１３は、互いに正確にあらかじめ定め
られた位置合わせ関係になければならない。更に、光フ
ァイバ１３、光学フィルタ１８、レンズ１７及び光検出
器１５は、互いに正確に予め定められたアラインメント
をとらなければならない。これを実現するため、図２に
示すように、コンポーネントを正しい位置にまた互いに
位置合わせして保持するため、一般に、固定具(fixtur
e)及び／または取り付け具(mount)が必要になる。
【０００５】図２からわかるように、固定具２１は、レ
ンズ１２を正しい位置に、かつこれもやはり固定具２１
に取り付けられるレーザ１１とあらかじめ定められたア
ラインメントのとれた状態に保持するために用いられ
る。この固定具２１は、更に光ファイバ１３及び光学フ
ィルタ１８を正しい位置に保持するもう１つの固定具２
２に結合される。レンズ１７を正しい位置であって光検
出器１５と位置合わせのとれた状態に保持するため、第
３の固定具２０が使用される。固定具２０は、光検出器
１５の取り付け及び固定も行う。光検出器１５は（図３
に示すように）表面検出型光検出器であるため、図２に
示すように入射光に対して垂直に固定具２０に取り付け
られる。固定具２０は固定具２２にも結合される。レー
ザ１１、レンズ１２及び１７、光検出器１５、光学フィ
ルタ１８及び光ファイバ１３のアラインメントは、固定
具２０〜２２によって実現される。
ンズ１２を正しい位置に、かつこれもやはり固定具２１
に取り付けられるレーザ１１とあらかじめ定められたア
ラインメントのとれた状態に保持するために用いられ
る。この固定具２１は、更に光ファイバ１３及び光学フ
ィルタ１８を正しい位置に保持するもう１つの固定具２
２に結合される。レンズ１７を正しい位置であって光検
出器１５と位置合わせのとれた状態に保持するため、第
３の固定具２０が使用される。固定具２０は、光検出器
１５の取り付け及び固定も行う。光検出器１５は（図３
に示すように）表面検出型光検出器であるため、図２に
示すように入射光に対して垂直に固定具２０に取り付け
られる。固定具２０は固定具２２にも結合される。レー
ザ１１、レンズ１２及び１７、光検出器１５、光学フィ
ルタ１８及び光ファイバ１３のアラインメントは、固定
具２０〜２２によって実現される。
【０００６】こうしたフォトニクス・モジュールまたは
パッケージの欠点の１つは、比較的高い精度を必要とす
るため固定具の作成が高くつくということである。もう
１つの欠点は、一般に、固定具を用いてフォトニクス・
モジュールアセンブルするのに時間がかかるので、生産
性が低くなるということである。更に、フォトニクス・
モジュールのアセンブル時にアラインメントを取りまた
調整を行うための時間も必要になるかもしれない。これ
は、一般に、それほど熟練しているわけではないオペレ
ータが、必要とされる位置合わせ基準を維持しながら大
量生産を行うに当って障害になる。これらの要素は、一
般に、フォトニクス・モジュールのコスト削減の妨げと
なる。
パッケージの欠点の１つは、比較的高い精度を必要とす
るため固定具の作成が高くつくということである。もう
１つの欠点は、一般に、固定具を用いてフォトニクス・
モジュールアセンブルするのに時間がかかるので、生産
性が低くなるということである。更に、フォトニクス・
モジュールのアセンブル時にアラインメントを取りまた
調整を行うための時間も必要になるかもしれない。これ
は、一般に、それほど熟練しているわけではないオペレ
ータが、必要とされる位置合わせ基準を維持しながら大
量生産を行うに当って障害になる。これらの要素は、一
般に、フォトニクス・モジュールのコスト削減の妨げと
なる。
【０００７】単一のシリコン取り付け部材にいくつかの
コンポーネント（例えば、レーザ及び球面レンズ）を取
り付ける試みが、これまでになされてきた。しかし、一
般に、従来の取り付け機構を利用して取り付け部材の平
らな表面に図１〜２の光学フィルタ１０のような平面光
学素子を正確に取り付けてアライメントをとるのは、取
り付け部材の平らな表面上で平面光学素子の３次元配置
を決めるのが難しいため、困難である。取り付け部材の
平らな表面に平面光学素子を取り付けるには、能動的ア
ライメントと、複雑なボンディング及びパッケージング
・ステップが必要になる。更に、取付をいっそう複雑に
するミラーのような追加光学素子も必要になることがあ
る。
コンポーネント（例えば、レーザ及び球面レンズ）を取
り付ける試みが、これまでになされてきた。しかし、一
般に、従来の取り付け機構を利用して取り付け部材の平
らな表面に図１〜２の光学フィルタ１０のような平面光
学素子を正確に取り付けてアライメントをとるのは、取
り付け部材の平らな表面上で平面光学素子の３次元配置
を決めるのが難しいため、困難である。取り付け部材の
平らな表面に平面光学素子を取り付けるには、能動的ア
ライメントと、複雑なボンディング及びパッケージング
・ステップが必要になる。更に、取付をいっそう複雑に
するミラーのような追加光学素子も必要になることがあ
る。
【０００９】
【概要】本発明によれば、単一光学素子取り付け部材に
少なくとも１つのミラーと１つの光学フィルタが低コス
トで組み込まれる。
少なくとも１つのミラーと１つの光学フィルタが低コス
トで組み込まれる。
【００１０】本発明によれば、バッチ処理によって、少
なくとも１つの光学フィルタ及び１つのミラーを備えた
一体化光学素子を製造することができる。本発明によれ
ば、他の光学素子に対する光学フィルタ及びミラーのア
ライメントを正確に決めることができる。
なくとも１つの光学フィルタ及び１つのミラーを備えた
一体化光学素子を製造することができる。本発明によれ
ば、他の光学素子に対する光学フィルタ及びミラーのア
ライメントを正確に決めることができる。
【００１１】本発明によれば、少なくとも１つのミラー
と１つの光学フィルタを、ミラーと光学フィルタとの間
の距離を製造時に正確に求めることができるように単一
の光学素子に組み込む。
と１つの光学フィルタを、ミラーと光学フィルタとの間
の距離を製造時に正確に求めることができるように単一
の光学素子に組み込む。
【００１２】以下の（１）及び（２）を含む一体化光学
素子について解説する：（１）第１と第２の側部表面を
備え、第１と第２の側部表面の間が予め定められた厚さ
になっている透明材料でできた第１のブロックと、
（２）透明材料でできた第２のブロック。第１のブロッ
クの第１の側部表面にミラーが被着されている。光学フ
ィルタは第１と第２のブロックの間に位置するように、
（１）第１のブロックの第２の側部表面と（２）第２の
ブロックにが取り付けられている。第１と第２のブロッ
クは、予め定められた角度で光学フィルタ及びミラーと
交差する前部表面及び後部表面を有している。
素子について解説する：（１）第１と第２の側部表面を
備え、第１と第２の側部表面の間が予め定められた厚さ
になっている透明材料でできた第１のブロックと、
（２）透明材料でできた第２のブロック。第１のブロッ
クの第１の側部表面にミラーが被着されている。光学フ
ィルタは第１と第２のブロックの間に位置するように、
（１）第１のブロックの第２の側部表面と（２）第２の
ブロックにが取り付けられている。第１と第２のブロッ
クは、予め定められた角度で光学フィルタ及びミラーと
交差する前部表面及び後部表面を有している。
【００１３】本発明の他の特徴及び利点については、本
発明の原理を例示した添付の図面に関連して記述される
以下の詳細な説明から明らかになるであろう。
発明の原理を例示した添付の図面に関連して記述される
以下の詳細な説明から明らかになるであろう。
【００１４】
【実施例】図３は、本発明のある実施例に従って、単一
光学素子に少なくとも１つの光学フィルタ４３と１つの
ミラー４４が組み込まれた一体化光学素子４２を備える
フォトニクス・モジュール３０の平面図である。更に詳
細に後述するように、ミラー４４と光学フィルタ４３と
の間の距離が正確に決められるように、光学フィルタ４
３とミラー４４が単一光学素子４２に組み込まれる。更
に、一体化によって、フォトニクス・モジュール３０の
他の光学素子に対する光学フィルタ４３とミラー４４の
アライメントを正確にあらかじめ決めることができる。
更に、一体化によって、バッチ処理を用いて光学素子４
２を低コストで製造することもできる。図４Ａは一体化
光学素子４２の透視図である。図４Ｂは光学素子４２の
平面図と正面図である。図４Ｃ及び図４Ｄは、図３〜図
４Ｂの光学素子４２の代替実施例を示す。図５〜図９
は、本発明のある実施例に従って一体化光学素子４２を
製造するプロセスを示す。
光学素子に少なくとも１つの光学フィルタ４３と１つの
ミラー４４が組み込まれた一体化光学素子４２を備える
フォトニクス・モジュール３０の平面図である。更に詳
細に後述するように、ミラー４４と光学フィルタ４３と
の間の距離が正確に決められるように、光学フィルタ４
３とミラー４４が単一光学素子４２に組み込まれる。更
に、一体化によって、フォトニクス・モジュール３０の
他の光学素子に対する光学フィルタ４３とミラー４４の
アライメントを正確にあらかじめ決めることができる。
更に、一体化によって、バッチ処理を用いて光学素子４
２を低コストで製造することもできる。図４Ａは一体化
光学素子４２の透視図である。図４Ｂは光学素子４２の
平面図と正面図である。図４Ｃ及び図４Ｄは、図３〜図
４Ｂの光学素子４２の代替実施例を示す。図５〜図９
は、本発明のある実施例に従って一体化光学素子４２を
製造するプロセスを示す。
【００１５】図３からわかるように、フォトニクス・モ
ジュール３０は双方向性フォトニクス・モジュールであ
る。こうする代わりに、フォトニクス・モジュールは双
方向性でなくてもよい。例えば、フォトニクス・モジュ
ールは三方向性または単方向性であってもよい。
ジュール３０は双方向性フォトニクス・モジュールであ
る。こうする代わりに、フォトニクス・モジュールは双
方向性でなくてもよい。例えば、フォトニクス・モジュ
ールは三方向性または単方向性であってもよい。
【００１６】フォトニクス・モジュール３０には、一体
化光学素子４２以外に、レーザ４０、光検出器３３、モ
ニタ４１及び球面レンズ３６及び３９が含まれている。
モニタ４１は、レーザ４０のの後部ファセット・モニタ
として機能する光検出器である。レーザ４０、光検出器
３３、モニタ４１及び球面レンズ３６及び３９は、取り
付け部材３２に取り付けられている。更に、光ファイバ
３１が、取り付け部材３２に取り付けられたフォトニク
ス・モジュール３０のコンポーネントに対して光学的に
結合される。ある実施例では、球面レンズ３６及び３９
は、それぞれ、ボール・レンズである。
化光学素子４２以外に、レーザ４０、光検出器３３、モ
ニタ４１及び球面レンズ３６及び３９が含まれている。
モニタ４１は、レーザ４０のの後部ファセット・モニタ
として機能する光検出器である。レーザ４０、光検出器
３３、モニタ４１及び球面レンズ３６及び３９は、取り
付け部材３２に取り付けられている。更に、光ファイバ
３１が、取り付け部材３２に取り付けられたフォトニク
ス・モジュール３０のコンポーネントに対して光学的に
結合される。ある実施例では、球面レンズ３６及び３９
は、それぞれ、ボール・レンズである。
【００１７】ある実施例では、取り付け部材３２は半導
体材料から造られる。取り付け部材に半導体材料を用い
ると、取り付け部材３２上でのフォトニクス・モジュー
ルのコンポーネントの位置を極めて正確に決めることが
できるフォトリソグラフィック・マスキング及び異方性
エッチング・プロセスによって、取り付け部材３２を処
理することができる。これによって、更に、フォトニク
ス・モジュール３０を極めて小さく造ったり、バッチ処
理によってシリコン・ウェーハから造ることもできる。
体材料から造られる。取り付け部材に半導体材料を用い
ると、取り付け部材３２上でのフォトニクス・モジュー
ルのコンポーネントの位置を極めて正確に決めることが
できるフォトリソグラフィック・マスキング及び異方性
エッチング・プロセスによって、取り付け部材３２を処
理することができる。これによって、更に、フォトニク
ス・モジュール３０を極めて小さく造ったり、バッチ処
理によってシリコン・ウェーハから造ることもできる。
【００１８】取り付け部材３２は、上部及び下部表面が
両方とも＜１００＞結晶表面である＜１００＞単結晶シ
リコンから製造するのが望ましい。このようにする代わ
りに、他の結晶半導体材料を用いて取り付け部材３２を
形成することもできる。
両方とも＜１００＞結晶表面である＜１００＞単結晶シ
リコンから製造するのが望ましい。このようにする代わ
りに、他の結晶半導体材料を用いて取り付け部材３２を
形成することもできる。
【００１９】取り付け部材３２には、２つのほぼ角錐形
の空洞３７及び３８が含まれている。角錐形空洞３７〜
３８はレンズ３６及び３９を収容するように形成され
る。角錐形空洞３７〜３８は、フォトリソグラフィック
・マスキング及び異方性エッチング・プロセスを利用し
て、それぞれの側壁が取り付け部材３２の＜１１１＞結
晶平面上に位置するように形成される。角錐形空洞３７
〜３８は、それぞれ、ほぼ正方形の開口部を備えてい
る。レーザ４０が、角錐形空洞３７の対角線とアライメ
ントがとれるようにして取り付け部材３２の上部表面に
接着される。同様に、光検出器３３が、角錐形空洞３８
の対角線とアライメントがとれるようにして取り付け部
材３２の上部表面に接着される。球面レンズ３６及び３
９は、それぞれ、角錐形空洞３７及び３８の一方に納め
られる。角錐形空洞３７の位置は、球面レンズ３９を空
洞３７に納めたとき球面レンズ３９がレーザ４０の焦点
に位置するように決められる。同様に、角錐形空洞３８
の位置は、球面レンズ３６を空洞３８に納めたとき光検
出器３３が球面レンズ３６の焦点に位置するように決め
られる。
の空洞３７及び３８が含まれている。角錐形空洞３７〜
３８はレンズ３６及び３９を収容するように形成され
る。角錐形空洞３７〜３８は、フォトリソグラフィック
・マスキング及び異方性エッチング・プロセスを利用し
て、それぞれの側壁が取り付け部材３２の＜１１１＞結
晶平面上に位置するように形成される。角錐形空洞３７
〜３８は、それぞれ、ほぼ正方形の開口部を備えてい
る。レーザ４０が、角錐形空洞３７の対角線とアライメ
ントがとれるようにして取り付け部材３２の上部表面に
接着される。同様に、光検出器３３が、角錐形空洞３８
の対角線とアライメントがとれるようにして取り付け部
材３２の上部表面に接着される。球面レンズ３６及び３
９は、それぞれ、角錐形空洞３７及び３８の一方に納め
られる。角錐形空洞３７の位置は、球面レンズ３９を空
洞３７に納めたとき球面レンズ３９がレーザ４０の焦点
に位置するように決められる。同様に、角錐形空洞３８
の位置は、球面レンズ３６を空洞３８に納めたとき光検
出器３３が球面レンズ３６の焦点に位置するように決め
られる。
【００２０】光学フィルタ４３は、波長依存光学フィル
タである。これは、光学フィルタ４３がλ１の波長の光
を通すように設計されている場合、光学フィルタ４３は
λ１の波長の光だけしか通さず、λ１以外の波長を有す
る光を反射するということである。換言すれば、光学フ
ィルタ４３は、λ１以外の波長を有する光に対してはミ
ラーの働きをするが、λ１の波長を備えた光に対しては
透明になる。
タである。これは、光学フィルタ４３がλ１の波長の光
を通すように設計されている場合、光学フィルタ４３は
λ１の波長の光だけしか通さず、λ１以外の波長を有す
る光を反射するということである。換言すれば、光学フ
ィルタ４３は、λ１以外の波長を有する光に対してはミ
ラーの働きをするが、λ１の波長を備えた光に対しては
透明になる。
【００２１】光ファイバ３１からフォトニクス・モジュ
ールへの光路を分割するため、フォトニクス・モジュー
ル３０には光学フィルタ４３とミラー４４が必要にな
る。この場合、レーザ４０から光ファイバ３１への光は
光学フィルタ４３を通過するが、光ファイバ３１からの
光は光学フィルタ４３及びミラー４４によって光検出器
３３に向けて反射される。
ールへの光路を分割するため、フォトニクス・モジュー
ル３０には光学フィルタ４３とミラー４４が必要にな
る。この場合、レーザ４０から光ファイバ３１への光は
光学フィルタ４３を通過するが、光ファイバ３１からの
光は光学フィルタ４３及びミラー４４によって光検出器
３３に向けて反射される。
【００２２】光学フィルタ４３が適正に機能するように
するため、光学フィルタ４３は球面レンズ３９と光ファ
イバ３１の間の光路内に挿入される。更に、光学フィル
タ４３は球面レンズ３９に隣接して配置する必要があ
る。光学フィルタ４３は、球面レンズ３９及び光ファイ
バ３１と光学的にアライメントがとれている必要があ
る。光学フィルタ４３のこの光学的アライメントには、
一般に、ヨー(yaw)（すなわち、回転）アライメント、
ピッチ(pitch)（すなわち、垂直）アライメント及びラ
テラル(lateral)・アライメントが含まれている。ヨー
・アライメントによって、例えば、光学フィルタ４３
が、レーザ４０及び球面レンズ３９の光学軸と適切な角
度で交差するか否かが決まる。ある実施例では、適切な
角度は４５゜である。別の実施例では、適切な角度は４
５゜より大きくてもあるいは４５゜未満としてもよい。
例えば適切な角度は５４゜とすることができる。
するため、光学フィルタ４３は球面レンズ３９と光ファ
イバ３１の間の光路内に挿入される。更に、光学フィル
タ４３は球面レンズ３９に隣接して配置する必要があ
る。光学フィルタ４３は、球面レンズ３９及び光ファイ
バ３１と光学的にアライメントがとれている必要があ
る。光学フィルタ４３のこの光学的アライメントには、
一般に、ヨー(yaw)（すなわち、回転）アライメント、
ピッチ(pitch)（すなわち、垂直）アライメント及びラ
テラル(lateral)・アライメントが含まれている。ヨー
・アライメントによって、例えば、光学フィルタ４３
が、レーザ４０及び球面レンズ３９の光学軸と適切な角
度で交差するか否かが決まる。ある実施例では、適切な
角度は４５゜である。別の実施例では、適切な角度は４
５゜より大きくてもあるいは４５゜未満としてもよい。
例えば適切な角度は５４゜とすることができる。
【００２３】ピッチ・アライメントによって、光学フィ
ルタ４３が適切な角度（例えば９０゜）で、取り付け部
材３２の上部表面と交差するか否かが決まる。ラテラル
・アライメントによって、球面レンズ３９からの光学フ
ィルタ４３の距離が決まる。
ルタ４３が適切な角度（例えば９０゜）で、取り付け部
材３２の上部表面と交差するか否かが決まる。ラテラル
・アライメントによって、球面レンズ３９からの光学フ
ィルタ４３の距離が決まる。
【００２４】同様に、適正に光を球面レンズに反射する
ため、ミラー４４は球面レンズ３６に隣接し、球面レン
ズ３６及び光学フィルタ４３とアライメントが取れるよ
うに配置する必要がある。ミラー４４の光学アライメン
トにもまた、ヨー・アライメント、ピッチ・アライメン
ト及びラテラル・アライメントが含まれている。
ため、ミラー４４は球面レンズ３６に隣接し、球面レン
ズ３６及び光学フィルタ４３とアライメントが取れるよ
うに配置する必要がある。ミラー４４の光学アライメン
トにもまた、ヨー・アライメント、ピッチ・アライメン
ト及びラテラル・アライメントが含まれている。
【００２５】ある実施例では、光学フィルタ４３及びミ
ラー４４のヨー・アライメントはクリティカルなアライ
メントであり、ピッチ・アライメント及びラテラル・ア
ライメントはそれほどクリティカルではない。このよう
にする代わりに、垂直及び／またはラテラル・アライメ
ントをクリティカルなアライメントにすることもでき
る。
ラー４４のヨー・アライメントはクリティカルなアライ
メントであり、ピッチ・アライメント及びラテラル・ア
ライメントはそれほどクリティカルではない。このよう
にする代わりに、垂直及び／またはラテラル・アライメ
ントをクリティカルなアライメントにすることもでき
る。
【００２６】以上のアライメントを単純化するため、光
学素子４２は単一素子に光学フィルタ４３及びミラー４
４を組み込んでいる（図４Ａ、図４Ｂに示す）。光学フ
ィルタ４３とミラー４４の間隔は、球面レンズ３６と３
９との間の距離に対応するように設定される。光学素子
４２の下方部分１５０は、パッケージング中に取り付け
部材３２の側部表面４６に単に取り付けるかあるいは接
着することで、能動的アラインメントなしで光学フィル
タ４３が球面レンズ３９と光学的アライメントがとれま
たミラー４４が球面レンズ３６と光学的アライメントが
とれるようにすることができる。
学素子４２は単一素子に光学フィルタ４３及びミラー４
４を組み込んでいる（図４Ａ、図４Ｂに示す）。光学フ
ィルタ４３とミラー４４の間隔は、球面レンズ３６と３
９との間の距離に対応するように設定される。光学素子
４２の下方部分１５０は、パッケージング中に取り付け
部材３２の側部表面４６に単に取り付けるかあるいは接
着することで、能動的アラインメントなしで光学フィル
タ４３が球面レンズ３９と光学的アライメントがとれま
たミラー４４が球面レンズ３６と光学的アライメントが
とれるようにすることができる。
【００２７】ある実施例では、光学素子４２の下方部分
１５０は、エポキシまたは他の接着剤を用いて取り付け
部材３２の側部表面４６に接着される。このようにする
代わりに、光学素子４２の下方部分１５０を、他の既知
の手段によって取り付け部材３２の側部表面４６に取り
付けることができる。
１５０は、エポキシまたは他の接着剤を用いて取り付け
部材３２の側部表面４６に接着される。このようにする
代わりに、光学素子４２の下方部分１５０を、他の既知
の手段によって取り付け部材３２の側部表面４６に取り
付けることができる。
【００２８】光学フィルタ４３及びミラー４４を光学素
子４２に組み込むことによって、パッケージング時に光
学フィルタ４３及びミラー４４を取り付け部材３２に取
り付けるのに必要な時間が短縮される。これによって、
ミラー４４と光学フィルタ４３との間の距離を正確に設
定し、また光学フィルタ４３及びミラー４４が互いに平
行で取り付け部材３２の上部表面に対して垂直になるよ
うにすることができる。これによって、更に、パッケー
ジング時における２つの素子間の能動的アライメント及
び調整が不要になる。更に、この一体化によって、光学
素子４２を取り付け部材３２に取り付ける際、能動的調
整を必要とすることなく、光学フィルタ４３をミラー４
４をそれぞれ球面レンズ３６及び３９に簡単に光学的ア
ライメントをとることができる。更に、光学素子４２は
低コストかつバッチ処理によって製造することができ
る。図４Ａ、図４Ｂには、以下で更に詳細に後述する一
体化光学素子４２を示す。
子４２に組み込むことによって、パッケージング時に光
学フィルタ４３及びミラー４４を取り付け部材３２に取
り付けるのに必要な時間が短縮される。これによって、
ミラー４４と光学フィルタ４３との間の距離を正確に設
定し、また光学フィルタ４３及びミラー４４が互いに平
行で取り付け部材３２の上部表面に対して垂直になるよ
うにすることができる。これによって、更に、パッケー
ジング時における２つの素子間の能動的アライメント及
び調整が不要になる。更に、この一体化によって、光学
素子４２を取り付け部材３２に取り付ける際、能動的調
整を必要とすることなく、光学フィルタ４３をミラー４
４をそれぞれ球面レンズ３６及び３９に簡単に光学的ア
ライメントをとることができる。更に、光学素子４２は
低コストかつバッチ処理によって製造することができ
る。図４Ａ、図４Ｂには、以下で更に詳細に後述する一
体化光学素子４２を示す。
【００２９】次に、図４Ａ、図４Ｂを参照すると、光学
素子４２の光学フィルタ４３は、第１の透明なブロック
５０と第２の透明なブロック５２の間に配置される。第
１の透明なブロックは光学フィルタ４３とミラー４４の
間にあらかじめ決められたスペースを設けるために用い
られ、従ってスペーシング・ブロックと呼ぶことができ
る。第２の透明なブロックは工学フィルタ４３を保護す
るために使用され、従って保護ブロックと呼ぶことがで
きる。スペーシング・ブロック５０と保護ブロック５２
は屈折率がほぼ同じである。光学フィルタ４３には複数
の誘電体層が含まれており、誘電体スタックとも呼ぶこ
とができる。光学フィルタ４３は任意の既知の方法で製
造することができる。
素子４２の光学フィルタ４３は、第１の透明なブロック
５０と第２の透明なブロック５２の間に配置される。第
１の透明なブロックは光学フィルタ４３とミラー４４の
間にあらかじめ決められたスペースを設けるために用い
られ、従ってスペーシング・ブロックと呼ぶことができ
る。第２の透明なブロックは工学フィルタ４３を保護す
るために使用され、従って保護ブロックと呼ぶことがで
きる。スペーシング・ブロック５０と保護ブロック５２
は屈折率がほぼ同じである。光学フィルタ４３には複数
の誘電体層が含まれており、誘電体スタックとも呼ぶこ
とができる。光学フィルタ４３は任意の既知の方法で製
造することができる。
【００３０】ある実施例では、スペーシング・ブロック
５０及び保護ブロック５２は、４つの矩形表面及び２つ
の平行四辺形表面を備えた平行六面体である。このよう
にする代わりに、スペーシング・ブロック５０及び保護
ブロック５２を他の多面体とすることもできる。
５０及び保護ブロック５２は、４つの矩形表面及び２つ
の平行四辺形表面を備えた平行六面体である。このよう
にする代わりに、スペーシング・ブロック５０及び保護
ブロック５２を他の多面体とすることもできる。
【００３１】ある実施例では、光学フィルタ４３は、ス
ペーシング・ブロック５０の側部表面５７の１つに被着
される。次に、保護ブロック５２の側部表面６７が、例
えば屈折率一致エポキシを用いて、光学フィルタ４３に
接着される。屈折率一致エポキシは、スペーシング・ブ
ロック５０及び保護ブロック５２とほぼ同じ屈折率を備
えている。別の実施例では、光学フィルタ４３は保護ブ
ロック５２の側部表面６７に被着される。次に、スペー
シング・ブロック５０が側部表面５７から光学フィルタ
４３に接着される。
ペーシング・ブロック５０の側部表面５７の１つに被着
される。次に、保護ブロック５２の側部表面６７が、例
えば屈折率一致エポキシを用いて、光学フィルタ４３に
接着される。屈折率一致エポキシは、スペーシング・ブ
ロック５０及び保護ブロック５２とほぼ同じ屈折率を備
えている。別の実施例では、光学フィルタ４３は保護ブ
ロック５２の側部表面６７に被着される。次に、スペー
シング・ブロック５０が側部表面５７から光学フィルタ
４３に接着される。
【００３２】ミラー４４は、スペーシング・ブロック５
０のもう１つの側部表面５８に沿って形成される。この
表面は光学フィルタ４３と平行であり、従ってミラー４
４が光学フィルタ４３と平行になる。スペーシング・ブ
ロック５０は、ミラー４４が光学フィルタ４３から予め
定められた距離だけ離れた位置になるように、予め定め
られた厚さになっている。この予め定められた距離は角
錐形空洞３７及び３８の中心間の距離にほぼ等しい。ミ
ラー４４は、スペーシング・ブロック５０の側部表面５
８に金属層を被着させることによって形成される。第１
の透明ブロック５０の側部表面５７〜５８は光学的に充
分な品質を備えている。側部表面５７，５８が光学的に
充分な品質を持っているとは、これらの側部表面が入射
光を拡散させたりあるいは歪ませたりしないということ
を意味する。保護ブロック５２の側部表面６７、６８も
光学的に充分な品質を持っている。
０のもう１つの側部表面５８に沿って形成される。この
表面は光学フィルタ４３と平行であり、従ってミラー４
４が光学フィルタ４３と平行になる。スペーシング・ブ
ロック５０は、ミラー４４が光学フィルタ４３から予め
定められた距離だけ離れた位置になるように、予め定め
られた厚さになっている。この予め定められた距離は角
錐形空洞３７及び３８の中心間の距離にほぼ等しい。ミ
ラー４４は、スペーシング・ブロック５０の側部表面５
８に金属層を被着させることによって形成される。第１
の透明ブロック５０の側部表面５７〜５８は光学的に充
分な品質を備えている。側部表面５７，５８が光学的に
充分な品質を持っているとは、これらの側部表面が入射
光を拡散させたりあるいは歪ませたりしないということ
を意味する。保護ブロック５２の側部表面６７、６８も
光学的に充分な品質を持っている。
【００３３】ある実施例ではミラー４４は側部表面５８
上の金の層である。別の実施例ではアルミニウムを利用
してミラー４４が形成される。このようにする代わり
に、他の金属を用いてミラーを形成することもできる。
別の実施例ではミラー４４は光学的に充分な品質の側部
表面５８自体によって形成され、側部表面５８には金属
層は被着されない。
上の金の層である。別の実施例ではアルミニウムを利用
してミラー４４が形成される。このようにする代わり
に、他の金属を用いてミラーを形成することもできる。
別の実施例ではミラー４４は光学的に充分な品質の側部
表面５８自体によって形成され、側部表面５８には金属
層は被着されない。
【００３４】ある実施例では、第２のミラー（図４Ａ、
図４Ｂ）を保護ブロック５２の側部表面６８に形成する
ことができる。この第２のミラーは、光学フィルタ４３
の背面によって反射された光を反射する。このようにす
る代わりに、側部表面６８に単純に反射防止コーティン
グをかけて、光学フィルタ４３の背面で反射された光が
光学素子４２から出ていくことができるようにしてもよ
い。
図４Ｂ）を保護ブロック５２の側部表面６８に形成する
ことができる。この第２のミラーは、光学フィルタ４３
の背面によって反射された光を反射する。このようにす
る代わりに、側部表面６８に単純に反射防止コーティン
グをかけて、光学フィルタ４３の背面で反射された光が
光学素子４２から出ていくことができるようにしてもよ
い。
【００３５】更に、光学素子４２が、１つの光学フィル
タと１つのミラーの一体化に限定されないという点に留
意されたい。図４Ｃ及び４Ｇには、２つの光学フィルタ
及びミラーを単一光学素子（すなわち、光学素子２００
または３００）に組み込む２つの代替実施例が示されて
いる。図４Ｃは、代替実施例の１つに従って、光学素子
２００を示す平面図であり、図４Ｄ及び図４Ｅは、光学
素子２００の製造プロセスを示す。図４Ｆは、フォトニ
クス・モジュール２８０における光学素子２００の利用
形態を示す。
タと１つのミラーの一体化に限定されないという点に留
意されたい。図４Ｃ及び４Ｇには、２つの光学フィルタ
及びミラーを単一光学素子（すなわち、光学素子２００
または３００）に組み込む２つの代替実施例が示されて
いる。図４Ｃは、代替実施例の１つに従って、光学素子
２００を示す平面図であり、図４Ｄ及び図４Ｅは、光学
素子２００の製造プロセスを示す。図４Ｆは、フォトニ
クス・モジュール２８０における光学素子２００の利用
形態を示す。
【００３６】図４Ｃからわかるように、光学素子２００
は、透明ブロック２５０の側部表面に被着されたミラー
２４３を含む。光学フィルタ２４４は２つの透明ブロッ
ク２５０及び２５２によって挟まれており、もう１つの
光学フィルタ２４５は２つの透明ブロック２５２及び２
５３によって挟まれている。光学フィルタ２４４はλ１
の波長の光を通すためのものであり、光学フィルタ２４
５はλ２の波長の光を通すためのものである。もう１つ
のミラーが透明ブロック２４７の側部表面に被着されて
いる。図４Ｄ及び図４Ｅは光学素子２００の製造プロセ
スを示す。図４Ｆはフォトニクス・モジュール２８０に
おける光学素子２００の適用例の１つを示す。
は、透明ブロック２５０の側部表面に被着されたミラー
２４３を含む。光学フィルタ２４４は２つの透明ブロッ
ク２５０及び２５２によって挟まれており、もう１つの
光学フィルタ２４５は２つの透明ブロック２５２及び２
５３によって挟まれている。光学フィルタ２４４はλ１
の波長の光を通すためのものであり、光学フィルタ２４
５はλ２の波長の光を通すためのものである。もう１つ
のミラーが透明ブロック２４７の側部表面に被着されて
いる。図４Ｄ及び図４Ｅは光学素子２００の製造プロセ
スを示す。図４Ｆはフォトニクス・モジュール２８０に
おける光学素子２００の適用例の１つを示す。
【００３７】図４Ｆからわかるように、フォトニクス・
モジュール２８０には、レーザ２８３、モニタ２８４、
球面レンズ２８２及び２８６、光検出器２８７及びシー
ルド２８５が配置されている。光学素子２００は取り付
け部材２８１の側部表面に取り付けられている。図４Ｆ
からわかるように、光学フィルタ２４４は、予め定めら
れた波長（例えば、λ２)の光だけを光検出器２８７に
到達させるために用いられる。
モジュール２８０には、レーザ２８３、モニタ２８４、
球面レンズ２８２及び２８６、光検出器２８７及びシー
ルド２８５が配置されている。光学素子２００は取り付
け部材２８１の側部表面に取り付けられている。図４Ｆ
からわかるように、光学フィルタ２４４は、予め定めら
れた波長（例えば、λ２)の光だけを光検出器２８７に
到達させるために用いられる。
【００３８】図４Ｇは、もう１つの代替実施例による光
学素子３００を示す平面図である。図４Ｇからわかるよ
うに、光学素子３００には、２つの透明ブロック３５０
及び３５１によって挟まれたミラー３４７と、２つの透
明ブロック３５０及び３５２によって挟まれた光学フィ
ルタ装置３４３が含まれている。ブロック３５０は主と
してスペーシング・ブロックの働きをし、ブロック３５
１〜３５３は主として保護ブロックの働きをする。光学
フィルタ装置３４３には２つの光学フィルタ３４４及び
３４５が含まれている。光学フィルタの１つはλ１の波
長の光を通すフィルタであり、もう１つはλ２の波長の
光を通すフィルタである。λ２の波長の光を光学フィル
タ３４５に反射するため、第２のミラー３４６が設けら
れている。ミラー３４６は保護ブロック３５２及び３５
３によって挟まれている。図４Ｇに示す光学素子３００
は、例えば多方向性フォトニクス・モジュールに用いる
ことができる。
学素子３００を示す平面図である。図４Ｇからわかるよ
うに、光学素子３００には、２つの透明ブロック３５０
及び３５１によって挟まれたミラー３４７と、２つの透
明ブロック３５０及び３５２によって挟まれた光学フィ
ルタ装置３４３が含まれている。ブロック３５０は主と
してスペーシング・ブロックの働きをし、ブロック３５
１〜３５３は主として保護ブロックの働きをする。光学
フィルタ装置３４３には２つの光学フィルタ３４４及び
３４５が含まれている。光学フィルタの１つはλ１の波
長の光を通すフィルタであり、もう１つはλ２の波長の
光を通すフィルタである。λ２の波長の光を光学フィル
タ３４５に反射するため、第２のミラー３４６が設けら
れている。ミラー３４６は保護ブロック３５２及び３５
３によって挟まれている。図４Ｇに示す光学素子３００
は、例えば多方向性フォトニクス・モジュールに用いる
ことができる。
【００３９】もう一度図４Ａ、図４Ｂを参照すると、ス
ペーシング・ブロック５０の前部表面６０及び後部表面
６２と、保護ブロック５２の前部表面６４及び後部表面
６６に、更に、第１と第２のガラス・スライド５４及び
５６が取り付けられている。ある実施例では、第１と第
２のガラス・スライド５４及び５６はそれぞれガラスで
造られている。代替案では、第１と第２のガラス・スラ
イド５４及び５６はそれぞれ他のタイプの透明材料から
造られる。
ペーシング・ブロック５０の前部表面６０及び後部表面
６２と、保護ブロック５２の前部表面６４及び後部表面
６６に、更に、第１と第２のガラス・スライド５４及び
５６が取り付けられている。ある実施例では、第１と第
２のガラス・スライド５４及び５６はそれぞれガラスで
造られている。代替案では、第１と第２のガラス・スラ
イド５４及び５６はそれぞれ他のタイプの透明材料から
造られる。
【００４０】第１と第２のガラス・スライド５４及び５
６は、それぞれ、スペーシング・ブロック５０及び保護
ブロック５２のそれぞれとほぼ同じ屈折率を備えてい
る。更に、第１と第２のガラス・スライド５４及び５６
のそれぞれの主表面は、光学的に充分な品質である。ス
ペーシング・ブロック５０及び保護ブロック５２に第１
と第２のガラス・スライド５４及び５６を取り付けると
いうことは、ブロック５０及び５２の前部及び後部表面
６０、６２、６４及び６６自体は光学的に充分な品質を
備える必要がないということである。このようにするこ
とによって、光学素子４２の製造時にブロック５０及び
５２の該表面を研磨するためのコストがかからなくな
る。
６は、それぞれ、スペーシング・ブロック５０及び保護
ブロック５２のそれぞれとほぼ同じ屈折率を備えてい
る。更に、第１と第２のガラス・スライド５４及び５６
のそれぞれの主表面は、光学的に充分な品質である。ス
ペーシング・ブロック５０及び保護ブロック５２に第１
と第２のガラス・スライド５４及び５６を取り付けると
いうことは、ブロック５０及び５２の前部及び後部表面
６０、６２、６４及び６６自体は光学的に充分な品質を
備える必要がないということである。このようにするこ
とによって、光学素子４２の製造時にブロック５０及び
５２の該表面を研磨するためのコストがかからなくな
る。
【００４１】第１のガラス・スライド５４は、前部表面
６０及び６４をカバーするため、スペーシング・ブロッ
ク５０及び保護ブロック５２に取り付けられる。第２の
ガラス・スライド５６は、後部表面６２及び６６をカバ
ーするため、スペーシング・ブロック５０及び保護ブロ
ック５２に取り付けられる。図４Ａ、図４Ｂからわかる
ように、ミラー４４及び光学フィルタ４３は、それぞ
れ、４５゜の角度で、スペーシング・ブロック５０及び
保護ブロック５２の表面６０、６２、６４及び６６と交
差している。このようにする代わりに、この角度は４５
゜より大きくても小さくてもよい。例えば、この角度を
約５４゜とすることができる。
６０及び６４をカバーするため、スペーシング・ブロッ
ク５０及び保護ブロック５２に取り付けられる。第２の
ガラス・スライド５６は、後部表面６２及び６６をカバ
ーするため、スペーシング・ブロック５０及び保護ブロ
ック５２に取り付けられる。図４Ａ、図４Ｂからわかる
ように、ミラー４４及び光学フィルタ４３は、それぞ
れ、４５゜の角度で、スペーシング・ブロック５０及び
保護ブロック５２の表面６０、６２、６４及び６６と交
差している。このようにする代わりに、この角度は４５
゜より大きくても小さくてもよい。例えば、この角度を
約５４゜とすることができる。
【００４２】ある実施例では、スペーシング・ブロック
５０及び保護ブロック５２と第１のガラス・スライド５
４及び第２のガラス・スライド５６を形成するために利
用される透明材料は、ガラスである。このようにする代
わりに、他の透明材料を利用してスペーシング・ブロッ
ク５０及び保護ブロック５２と第１のガラス・スライド
５４及び第２のガラス・スライド５６を形成することも
できる。例えば、エポキシまたは他の透明有機材料を用
いて、スペーシング・ブロック５０及び保護ブロック５
２と第１のガラス・スライド５４及び第２のガラス・ス
ライド５６を形成することができる。
５０及び保護ブロック５２と第１のガラス・スライド５
４及び第２のガラス・スライド５６を形成するために利
用される透明材料は、ガラスである。このようにする代
わりに、他の透明材料を利用してスペーシング・ブロッ
ク５０及び保護ブロック５２と第１のガラス・スライド
５４及び第２のガラス・スライド５６を形成することも
できる。例えば、エポキシまたは他の透明有機材料を用
いて、スペーシング・ブロック５０及び保護ブロック５
２と第１のガラス・スライド５４及び第２のガラス・ス
ライド５６を形成することができる。
【００４３】ある実施例では、第１のガラス・スライド
５４及び第２のガラス・スライド５６は、屈折率の整合
するエポキシを用いてスペーシング・ブロック５０及び
保護ブロック５２に接着される。このことは、第１のガ
ラス・スライド５４及び第２のガラス・スライド５６と
スペーシング・ブロック５０及び保護ブロック５２の接
着に用いられるエポキシの屈折率が、スペーシング・ブ
ロック５０及び保護ブロック５２と第１のガラス・スラ
イド５４及び第２のガラス・スライド５６の屈折率と一
致することを意味している。上述のように、第１のガラ
ス・スライド５４及び第２のガラス・スライド５６の屈
折率は、スペーシング・ブロック５０及び保護ブロック
５２の屈折率に一致する。このようにする代わりに、第
１のガラス・スライド５４及び第２のガラス・スライド
５６は、他の既知の手段によってスペーシング・ブロッ
ク５０及び保護ブロック５２に取り付けることもでき
る。
５４及び第２のガラス・スライド５６は、屈折率の整合
するエポキシを用いてスペーシング・ブロック５０及び
保護ブロック５２に接着される。このことは、第１のガ
ラス・スライド５４及び第２のガラス・スライド５６と
スペーシング・ブロック５０及び保護ブロック５２の接
着に用いられるエポキシの屈折率が、スペーシング・ブ
ロック５０及び保護ブロック５２と第１のガラス・スラ
イド５４及び第２のガラス・スライド５６の屈折率と一
致することを意味している。上述のように、第１のガラ
ス・スライド５４及び第２のガラス・スライド５６の屈
折率は、スペーシング・ブロック５０及び保護ブロック
５２の屈折率に一致する。このようにする代わりに、第
１のガラス・スライド５４及び第２のガラス・スライド
５６は、他の既知の手段によってスペーシング・ブロッ
ク５０及び保護ブロック５２に取り付けることもでき
る。
【００４４】ある実施例では、第１のガラス・スライド
５４及び第２のガラス・スライド５６のうちの、スペー
シング・ブロック５０及び保護ブロック５２に取り付け
られない各主表面に、反射防止コーティング（図４Ａ、
図４Ｂには示されていない）をかける。代替案では、第
１のガラス・スライド５４及び第２のガラス・スライド
５６のそれぞれの両主表面のいずれにも反射防止コーテ
ィングをかけない。更に、所望によりまた必要に応じ
て、他のコーティング（例えば、反射率の高いコーティ
ング）をかけることもできる。
５４及び第２のガラス・スライド５６のうちの、スペー
シング・ブロック５０及び保護ブロック５２に取り付け
られない各主表面に、反射防止コーティング（図４Ａ、
図４Ｂには示されていない）をかける。代替案では、第
１のガラス・スライド５４及び第２のガラス・スライド
５６のそれぞれの両主表面のいずれにも反射防止コーテ
ィングをかけない。更に、所望によりまた必要に応じ
て、他のコーティング（例えば、反射率の高いコーティ
ング）をかけることもできる。
【００４５】図５〜図９を参照し、以下では、本発明の
一実施例による、バッチ処理を利用して図４Ａ、図４Ｂ
の光学素子４２を製造するプロセスについて更に詳細に
述べる。図５からわかるように、光学フィルタ７４及び
ミラー７６は第１のガラス・バー７０の２つの互いに対
抗する側部表面８０及び８２に沿って形成される。ガラ
ス・バー７０は、側部表面８０と８２の間に予め定めら
れた厚さを備えている。
一実施例による、バッチ処理を利用して図４Ａ、図４Ｂ
の光学素子４２を製造するプロセスについて更に詳細に
述べる。図５からわかるように、光学フィルタ７４及び
ミラー７６は第１のガラス・バー７０の２つの互いに対
抗する側部表面８０及び８２に沿って形成される。ガラ
ス・バー７０は、側部表面８０と８２の間に予め定めら
れた厚さを備えている。
【００４６】次に、第２のガラス・バー７２が、屈折率
の一致するエポキシを用いて光学フィルタ７４に接着さ
れ、これにより光学フィルタ７４はガラス・バー７０と
７１の間に挟まれる（図６参照）。第１及び第２のバー
７０及び７２は、屈折率が同じであり、屈折率の一致す
るエポキシは、第１及び第２のバー７０及び７２と同じ
屈折率を有している。このようにする代わりに、他の透
明材料を用いてバー７０及び７２を製造することもでき
る。例えば、エポキシまたは他のタイプの有機材料を用
いてバー７０及び７２を形成することもできる。
の一致するエポキシを用いて光学フィルタ７４に接着さ
れ、これにより光学フィルタ７４はガラス・バー７０と
７１の間に挟まれる（図６参照）。第１及び第２のバー
７０及び７２は、屈折率が同じであり、屈折率の一致す
るエポキシは、第１及び第２のバー７０及び７２と同じ
屈折率を有している。このようにする代わりに、他の透
明材料を用いてバー７０及び７２を製造することもでき
る。例えば、エポキシまたは他のタイプの有機材料を用
いてバー７０及び７２を形成することもできる。
【００４７】ある実施例では、光学フィルタ７４は、特
定の波長の光を通す１つの光学フィルタを含む。別の実
施例では、光学フィルタ７４は、夫々特定の波長の光を
通す２つの光学フィルタを含む。これは、側部表面８０
に２つの異なる光学フィルタ・スタックを被着すること
によって実現される。ここで、各スタックは側部表面８
０の一部に被着される。このようにする代わりに、光学
フィルタ７４に夫々特定の波長を通す３つ以上のフィル
タを含むこともできる。
定の波長の光を通す１つの光学フィルタを含む。別の実
施例では、光学フィルタ７４は、夫々特定の波長の光を
通す２つの光学フィルタを含む。これは、側部表面８０
に２つの異なる光学フィルタ・スタックを被着すること
によって実現される。ここで、各スタックは側部表面８
０の一部に被着される。このようにする代わりに、光学
フィルタ７４に夫々特定の波長を通す３つ以上のフィル
タを含むこともできる。
【００４８】更に、ミラー７６に第３のガラス・バー
（図示せず）を接着し、ミラー７６が２つのガラス・バ
ーによって挟まれて、損傷を受けないようにすることが
できる。更に、第２のガラス・バー７２の表面８３に第
２のミラー（やはり、図示せず）を形成し、更に第２の
ガラス・バー７２と第２のミラーに接着される第４のガ
ラス・バー（図示せず）によって挟むこともできる。
（図示せず）を接着し、ミラー７６が２つのガラス・バ
ーによって挟まれて、損傷を受けないようにすることが
できる。更に、第２のガラス・バー７２の表面８３に第
２のミラー（やはり、図示せず）を形成し、更に第２の
ガラス・バー７２と第２のミラーに接着される第４のガ
ラス・バー（図示せず）によって挟むこともできる。
【００４９】もう１度図５及び図６を参照すると、第１
及び第２のガラス・バー７０及び７２は、夫々６つの矩
形表面を備えた六面体であることが望ましい。このよう
にする代わりに、ガラス・バー７０の側部表面８０及び
８２が互いに平行である限り、第１及び第２のガラス・
バーを他の多面体形状にすることもできる。
及び第２のガラス・バー７０及び７２は、夫々６つの矩
形表面を備えた六面体であることが望ましい。このよう
にする代わりに、ガラス・バー７０の側部表面８０及び
８２が互いに平行である限り、第１及び第２のガラス・
バーを他の多面体形状にすることもできる。
【００５０】図６からわかるように、次に、接着された
第１と第２のバー７０及び７２を切断することによっ
て、いくつかの平行線９０〜９２に沿っていくつかの一
体化フィルタ／ミラー素子（例えば、一体化フィルタ／
ミラー素子１００、１０１）が得られる。平行線９０〜
９２によって、一体化フィルタ／ミラー素子のそれぞれ
に関するヨー・アライメント及びピッチ・アライメント
が決まる。平行線９０〜９２は、４５゜の角度で光学フ
ィルタ７４及びミラー７６のそれぞれと交差する。この
ようにする代わりに、また上で述べたように、平行線９
０〜９２は光学フィルタ７４及びミラー７６の夫々と別
の角度をなすようにすることもできる。平行線９０〜９
２は、各一体化フィルタ／ミラー素子の切断表面間にお
ける厚さが予め定められた値になるように、間隔があけ
られている。図７には、一体化フィルタ／ミラー素子１
００が示されている。
第１と第２のバー７０及び７２を切断することによっ
て、いくつかの平行線９０〜９２に沿っていくつかの一
体化フィルタ／ミラー素子（例えば、一体化フィルタ／
ミラー素子１００、１０１）が得られる。平行線９０〜
９２によって、一体化フィルタ／ミラー素子のそれぞれ
に関するヨー・アライメント及びピッチ・アライメント
が決まる。平行線９０〜９２は、４５゜の角度で光学フ
ィルタ７４及びミラー７６のそれぞれと交差する。この
ようにする代わりに、また上で述べたように、平行線９
０〜９２は光学フィルタ７４及びミラー７６の夫々と別
の角度をなすようにすることもできる。平行線９０〜９
２は、各一体化フィルタ／ミラー素子の切断表面間にお
ける厚さが予め定められた値になるように、間隔があけ
られている。図７には、一体化フィルタ／ミラー素子１
００が示されている。
【００５１】図６及び図７を参照すると、接着された第
１と第２のバー７０及び７２は、例えばダイシング・ソ
ー（図示せず）を用いて切断することができる。これに
よって、各一体化フィルタ／ミラー素子の切断表面（一
体化フィルタ／ミラー素子１００の切断表面１１０及び
１１１のような）は粗くなるので、光学的に充分な品質
にはなっていない。切断表面の粗さをなくすため、屈折
率の一致するエポキシを用いて、第１と第２のガラス・
スライド（例えば、ガラス・スライド１２０及び１２
１）を各一体化フィルタ／ミラー素子の切断表面のそれ
ぞれに接着する。エポキシによって切断表面とそれぞれ
のガラス・スライドのギャップが充填される。その結
果、各一体化フィルタ／ミラー素子（例えば、一体化フ
ィルタ／ミラー素子１００）の切断表面を研磨する必要
がなくなる。これによって、一体化フィルタ／ミラー素
子の製造に関するコストが最小限に抑えられる。このよ
うにする代わりに、ガラス・スライドを切断表面に接着
しないようにすることもできる。この場合、（研磨プロ
セスのような）他の既知の手段を利用して光学的に充分
な品質の切断表面を造ることができる。
１と第２のバー７０及び７２は、例えばダイシング・ソ
ー（図示せず）を用いて切断することができる。これに
よって、各一体化フィルタ／ミラー素子の切断表面（一
体化フィルタ／ミラー素子１００の切断表面１１０及び
１１１のような）は粗くなるので、光学的に充分な品質
にはなっていない。切断表面の粗さをなくすため、屈折
率の一致するエポキシを用いて、第１と第２のガラス・
スライド（例えば、ガラス・スライド１２０及び１２
１）を各一体化フィルタ／ミラー素子の切断表面のそれ
ぞれに接着する。エポキシによって切断表面とそれぞれ
のガラス・スライドのギャップが充填される。その結
果、各一体化フィルタ／ミラー素子（例えば、一体化フ
ィルタ／ミラー素子１００）の切断表面を研磨する必要
がなくなる。これによって、一体化フィルタ／ミラー素
子の製造に関するコストが最小限に抑えられる。このよ
うにする代わりに、ガラス・スライドを切断表面に接着
しないようにすることもできる。この場合、（研磨プロ
セスのような）他の既知の手段を利用して光学的に充分
な品質の切断表面を造ることができる。
【００５２】図７〜図９からわかるように、ガラス・ス
ライド１２０〜１２１には反射防止コーティング（すな
わち、コーティング１２２及び１２３）をかける。その
代わりに、各ガラス・スライド１２０〜１２１に他のタ
イプのコーティングをかけることもできる。更に、ガラ
ス・スライド１２０〜１２１のそれぞれに、選択的に異
なるコーティングをかけることができる。図８は、ガラ
ス・スライド１２０、１２１が接着された一体化フィル
タ／ミラー素子１００を示す平面図である。次に、光学
フィルタ７４及びミラー７６に対して垂直ないくつかの
平行線（例えば、図９のライン１３０ａ〜１３０ｃ）に
沿って一体化フィルタ／ミラー素子１００を切断するこ
とによって、それぞれ図４Ａ、図４Ｂの光学素子４２と
することが可能ないくつかの同一の光学素子（例えば、
光学素子１００ａ〜１００ｄ）が得られる。以上で、低
コストで大量かつ高精度な、図４Ａ、図４Ｂの光学素子
４２の完全な製造プロセスが示される。
ライド１２０〜１２１には反射防止コーティング（すな
わち、コーティング１２２及び１２３）をかける。その
代わりに、各ガラス・スライド１２０〜１２１に他のタ
イプのコーティングをかけることもできる。更に、ガラ
ス・スライド１２０〜１２１のそれぞれに、選択的に異
なるコーティングをかけることができる。図８は、ガラ
ス・スライド１２０、１２１が接着された一体化フィル
タ／ミラー素子１００を示す平面図である。次に、光学
フィルタ７４及びミラー７６に対して垂直ないくつかの
平行線（例えば、図９のライン１３０ａ〜１３０ｃ）に
沿って一体化フィルタ／ミラー素子１００を切断するこ
とによって、それぞれ図４Ａ、図４Ｂの光学素子４２と
することが可能ないくつかの同一の光学素子（例えば、
光学素子１００ａ〜１００ｄ）が得られる。以上で、低
コストで大量かつ高精度な、図４Ａ、図４Ｂの光学素子
４２の完全な製造プロセスが示される。
【００５３】コスト削減については、下記のように説明
できる。光学フィルタ７４とミラー７６を一体化するこ
とによって、それぞれ光学素子４２と同一のＮ個の光学
素子をもたらすＭ個の一体化フィルタ／ミラー素子が得
られるものと仮定すると、光学フィルタ７４及びミラー
７６を一体化するコストはＭ×Ｎ分の１になる。同様
に、光学フィルタ７４とミラー７６のアライメントを設
定するコストもＭ×Ｎ分の１になる。この結果、バッチ
処理のために、各光学素子の製造コストが大幅に低下す
る。
できる。光学フィルタ７４とミラー７６を一体化するこ
とによって、それぞれ光学素子４２と同一のＮ個の光学
素子をもたらすＭ個の一体化フィルタ／ミラー素子が得
られるものと仮定すると、光学フィルタ７４及びミラー
７６を一体化するコストはＭ×Ｎ分の１になる。同様
に、光学フィルタ７４とミラー７６のアライメントを設
定するコストもＭ×Ｎ分の１になる。この結果、バッチ
処理のために、各光学素子の製造コストが大幅に低下す
る。
【００５４】図１０は、図９の一体化フィルタ／ミラー
素子１００の切断の別の実施例を示す。図１０からわか
るように、フィルタ／ミラー素子４００には、ミラー４
０１及び４０４と、光学フィルタ４０２及び４０３が含
まれている。次に、いくつかの平行な切断線（例えば、
切断線４１１及び４１２）に沿ってフィルタ／ミラー４
００を切断することによって、例えば一体化光学素子４
００ａが得られる。図１０からわかるように、切断線４
１１及び４１２は、例えば８゜の角度で水平線４１０と
交差する。水平線４１０はミラー及び光学フィルタ４０
１〜４０４に対して垂直である。このため、図１１から
わかるように、光学フィルタ及びミラー４０１〜４０４
は、それぞれ切断線４１１及び４１２に沿った一体化光
学素子４００ａの切断表面に対して８゜の角度で傾斜す
る。図１１は、一体化光学素子４００ａの正面図を示
す。
素子１００の切断の別の実施例を示す。図１０からわか
るように、フィルタ／ミラー素子４００には、ミラー４
０１及び４０４と、光学フィルタ４０２及び４０３が含
まれている。次に、いくつかの平行な切断線（例えば、
切断線４１１及び４１２）に沿ってフィルタ／ミラー４
００を切断することによって、例えば一体化光学素子４
００ａが得られる。図１０からわかるように、切断線４
１１及び４１２は、例えば８゜の角度で水平線４１０と
交差する。水平線４１０はミラー及び光学フィルタ４０
１〜４０４に対して垂直である。このため、図１１から
わかるように、光学フィルタ及びミラー４０１〜４０４
は、それぞれ切断線４１１及び４１２に沿った一体化光
学素子４００ａの切断表面に対して８゜の角度で傾斜す
る。図１１は、一体化光学素子４００ａの正面図を示
す。
【００５５】このようにする代わりに、この角度は、８
゜より大きくても小さくてもよい。例えば、この角度を
１２゜または０゜とすることができる。
゜より大きくても小さくてもよい。例えば、この角度を
１２゜または０゜とすることができる。
【００５６】図１１〜図１３には、フォトニクス・モジ
ュール５００の取り付け部材５０１に結合された一体化
光学素子４００ａが示されている。図１１は正面図であ
り、図１２はフォトニクス・モジュール５００の側面図
である。図１３はフォトニクス・モジュール５００の平
面図である。図１１〜１３からわかるように、傾斜した
光学フィルタ及びミラー４０１〜４０４は、光検出器５
０２の光学軸を高くするのを助ける。
ュール５００の取り付け部材５０１に結合された一体化
光学素子４００ａが示されている。図１１は正面図であ
り、図１２はフォトニクス・モジュール５００の側面図
である。図１３はフォトニクス・モジュール５００の平
面図である。図１１〜１３からわかるように、傾斜した
光学フィルタ及びミラー４０１〜４０４は、光検出器５
０２の光学軸を高くするのを助ける。
【００５７】以上では、本発明の特定の実施例に関する
説明を行ってきた。しかし、当該技術の熟練者には明ら
かなように、本発明のより一般的な精神及び範囲を逸脱
することなく、さまざまな修正及び変更を加えることが
できる。従って、本明細書及び図面は制限ではなく例示
を意味するものとみなされなければならない。
説明を行ってきた。しかし、当該技術の熟練者には明ら
かなように、本発明のより一般的な精神及び範囲を逸脱
することなく、さまざまな修正及び変更を加えることが
できる。従って、本明細書及び図面は制限ではなく例示
を意味するものとみなされなければならない。
【図１】先行技術による双方向性フォトニクス・モジュ
ールの概略図。
ールの概略図。
【図２】図１の双方向性フォトニクス・モジュールのパ
ッケージを示す側断面図。
ッケージを示す側断面図。
【図３】本発明のある実施例に基づき、光学フィルタと
ミラーを一体化した一体化光学素子を備える双方向性フ
ォトニクス・モジュールの平面図。
ミラーを一体化した一体化光学素子を備える双方向性フ
ォトニクス・モジュールの平面図。
【図４Ａ】図３の一体化光学素子を示す図。
【図４Ｂ】図３の一体化光学素子を示す図。
【図４Ｃ】図３〜図４Ｂの一体化光学素子の他の実施例
を示す図。
を示す図。
【図４Ｄ】図３〜図４Ｂの一体化光学素子の他の実施例
を示す図。
を示す図。
【図４Ｅ】図３〜図４Ｂの一体化光学素子の他の実施例
を示す図。
を示す図。
【図４Ｆ】図３〜図４Ｂの一体化光学素子の他の実施例
を示す図。
を示す図。
【図４Ｇ】図３〜図４Ｂの一体化光学素子の更に他の実
施例を示す図。
施例を示す図。
【図５】バッチ処理を利用して、図３〜図４Ｂの一体化
光学素子を製造するプロセスを示す図。
光学素子を製造するプロセスを示す図。
【図６】バッチ処理を利用して、図３〜図４Ｂの一体化
光学素子を製造するプロセスを示す図。
光学素子を製造するプロセスを示す図。
【図７】バッチ処理を利用して、図３〜図４Ｂの一体化
光学素子を製造するプロセスを示す図。
光学素子を製造するプロセスを示す図。
【図８】バッチ処理を利用して、図３〜図４Ｂの一体化
光学素子を製造するプロセスを示す図。
光学素子を製造するプロセスを示す図。
【図９】バッチ処理を利用して、図３〜図４Ｂの一体化
光学素子を製造するプロセスを示す図。
光学素子を製造するプロセスを示す図。
【図１０】図３〜図４Ｂの一体化光学素子の他の実施例
を示す図。
を示す図。
【図１１】図３〜図４Ｂの一体化光学素子の他の実施例
を示す図。
を示す図。
【図１２】図３〜図４Ｂの一体化光学素子の他の実施例
を示す図。
を示す図。
【図１３】図３〜図４Ｂの一体化光学素子の他の実施例
を示す図。
を示す図。
３０：フォトニクス・モジュール ３１：光ファイバ ３２：取り付け部材 ３３：光学検出器 ３６：球面レンズ ３７、３８：角錐形空洞 ３９：球面レンズ ４０：レーザ ４１：モニタ ４２：光学素子 ４３：光学フィルタ ４４：ミラー ５０：スペーシング・ブロック ５２：保護ブロック ５４、５６：ガラス・スライド ５７、５８：スペーシング・ブロックの側部表面 ６０、６４：スペーシング・ブロックの前部表面 ６２：スペーシング・ブロックの後部表面 ６６：保護ブロックの後部表面 ６７、６８：保護ブロックの側部表面 ７０：第１のガラス・バー ７２：第２のガラス・バー ７４：光学フィルタ ７６：ミラー ８０、８２：第１のガラス・バーの側部表面 ８３：第１のガラス・バーの表面 １００：一体化フィルタ／ミラー素子 １１０、１１１：切断表面 １２０、１２１：ガラス・スライド １２２、１２３：コーティング ２００：光学素子 ２２１：取り付け部材 ２４３：ミラー ２４４、２４５：光学フィルタ ２４７、２５０、２５２：透明ブロック ２８０：フォトニクス・モジュール ２８１：取り付け部材 ２８２：球面レンズ ２８３：レーザ ２８５：シールド ２８６：球面レンズ ２８７：光検出器 ３００：光学素子 ３４３：光学フィルタ装置 ３４４、３４５：光学フィルタ ３５０：スペーシング・ブロック ３５１、３５２、３５３：保護ブロック ４００：フィルタ／ミラー素子 ４０１：ミラー ４０２、４０３、４０４：光学フィルタ ５００：フォトニクス・モジュール ５０１：取り付け部材 ５０２：光検出器
Claims (10)
- 【請求項１】以下のステップ（Ａ）ないし（Ｃ）を設
け、一体化光学素子を製造する方法： （Ａ）透明材料でできた第１のブロックの第１の側部表
面と第２の側部表面に、それぞれ、光学フィルタ及びミ
ラーを設ける：前記第１の側部表面と前記第２の側部表
面の間の厚さは予め定められた値を取る； （Ｂ）前記光学フィルタに透明材料でできた第２のブロ
ックの第１の側部表面を取り付け、前記光学フィルタが
前記第１のブロックと前記第２のブロックの間に位置す
るようにする； （Ｃ）前記第１のブロックと前記第２のブロックを切断
し、前記第１のブロックと前記第２のブロックの前部切
断表面及び後部切断表面のそれぞれが予め定められた角
度で前記光学フィルタ及び前記ミラーと交差するように
する。 - 【請求項２】前記前部切断表面と前記後部切断表面に対
して、それぞれ、透明材料の第１と第２のシートを取り
付けるステップを設けたことを特徴とする請求項１に記
載の方法。 - 【請求項３】バッチ処理によって一体化光学素子を生産
するため、９０゜±αに等しい角度で前記光学フィルタ
及び前記ミラーと交差する複数のラインのそれぞれに沿
って切断するステップを設け、 前記αが０゜〜１２゜の範囲内であり、 前記予め定められた角度が約４５゜であることを特徴と
する請求項１または２に記載の方法。 - 【請求項４】第１のシートと第２のシートのそれぞれの
第２の主表面に少なくとも１つのコーティングをかけ、 前記第１のシートと前記第２のシートのそれぞれの第２
の主表面が光学的に充分な品質であり、 前記第１のシートと前記第２のシートのそれぞれの第１
の主表面と平行であることを特徴とする請求項１に記載
の方法。 - 【請求項５】以下のステップ（Ｉ）と（ＩＩ）を設けた
ことを特徴とする請求項１に記載の方法： （Ｉ）前記第２のブロックの第１の側部表面から予め定
められた距離をあけた第２の側部表面に第２の光学フィ
ルタを取り付ける； （ＩＩ）前記第２の光学フィルタに透明材料でできた第
３のブロックの第１の側部表面を取り付け、前記第２の
光学フィルタを前記第２のブロックと前記第３のブロッ
クの間に位置せしめる。 - 【請求項６】前記ステップ（Ａ）は、 前記第１のブロックの第１の側部表面に複数の光学フィ
ルタを設けるステップと、 前記第２のブロックの第１の側部表面に、第２のミラー
と前記複数の光学フィルタが平行になるように前記第２
のミラーを設けるステップを含むことを特徴とする請求
項１に記載の方法。 - 【請求項７】以下の（Ａ）ないし（Ｄ）を設けた一体化
光学素子： （Ａ）第１の側部表面と第２の側部表面を備え、前記第
１の側部表面と前記第２の側部表面の間が予め定められ
た厚さになっている透明材料でできた第１のブロック； （Ｂ）透明材料でできた第２のブロック （Ｃ）前記第１のブロックの前記第１の側部表面に設け
られたミラー； （Ｄ）前記第１のブロックの第２の側部表面と前記第２
のブロックの第１の側部表面に設けられ、前記第１のブ
ロックと前記第２のブロックの間に位置する光学フィル
タ前記第１のブロックと前記第２のブロックの前部切断
表面及び後部切断表面が、予め定められた角度で前記光
学フィルタ及び前記ミラーと交差する。 - 【請求項８】それぞれ、前部切断表面及び後部切断表面
に取り付けられた透明材料でできた第１のシート及び第
２のシートと、 前記第１のシート及び前記第２のシートのそれぞれの第
１の主表面にかけられたコーティングとを設け、 前記第１のシート及び前記第２のシートのそれぞれの第
１の主表面が光学的に充分な品質であるとともに、 前記第１のシート及び前記打２のシートのそれぞれの前
記第１の主表面が前記第１のブロック及び前記第２のブ
ロックの前記前部切断表面及び前記後部切断表面に取り
付けられた前記第１のシート及び前記第２のシートのそ
れぞれの第２の主表面に対して平行であることを特徴と
する請求項７に記載の一体化光学素子。 - 【請求項９】前記光学フィルタは、第１のブロックの第
２の側部表面に設けられ、それぞれ特定の波長の光を通
す複数の光学フィルタを含み一体化光学素子は、前記第
２のブロックの第１の側部表面から離れた前記第２のブ
ロックの第２の側部表面に設けられ、前記複数の光学フ
ィルタに対して平行な第２のミラーを含むことを特徴と
する請求項７に記載の一体化光学素子。 - 【請求項１０】前記光学フィルタ及び前記ミラーが、９
０゜±α（αは０゜〜１２゜の範囲内）の角度で前記第
１及び第２のブロックのそれぞれの上部表面及び下部表
面と交差することを特徴とする先行請求項７〜９のいず
れかに記載の一体化光学素子。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US705,872 | 1996-08-28 | ||
| US08/705,872 US5731904A (en) | 1996-08-28 | 1996-08-28 | Fabricating an optical device having at least an optical filter and a mirror |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1090565A true JPH1090565A (ja) | 1998-04-10 |
| JP3410640B2 JP3410640B2 (ja) | 2003-05-26 |
Family
ID=24835304
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22986297A Expired - Fee Related JP3410640B2 (ja) | 1996-08-28 | 1997-08-26 | 光学素子及びその製造方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5731904A (ja) |
| EP (1) | EP0826994B1 (ja) |
| JP (1) | JP3410640B2 (ja) |
| DE (1) | DE69724536T2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004294513A (ja) * | 2003-03-25 | 2004-10-21 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光送受信モジュール |
| JP5601541B2 (ja) * | 2009-09-18 | 2014-10-08 | Ｄｉｃ株式会社 | ポリエーテルエステル組成物、ポリウレタン樹脂組成物、これを用いた光学材料 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4199442B2 (ja) * | 2001-07-25 | 2008-12-17 | 富士通株式会社 | 波長特性可変装置 |
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