JPH09281302A - 反射面付き平板マイクロレンズアレイおよびその製造方法 - Google Patents
反射面付き平板マイクロレンズアレイおよびその製造方法Info
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- JPH09281302A JPH09281302A JP9497296A JP9497296A JPH09281302A JP H09281302 A JPH09281302 A JP H09281302A JP 9497296 A JP9497296 A JP 9497296A JP 9497296 A JP9497296 A JP 9497296A JP H09281302 A JPH09281302 A JP H09281302A
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- Japan
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- flat plate
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- microlens
- plate microlens
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 光学特性に影響を与えることなく光路長を変
えることのできる平板マイクロレンズを提供する。 【解決手段】 ガラス基板１００内に、マイクロレンズ
１０１を一体形成し、基板裏面を光軸に対して角度θの
傾きを持つ鏡面とする。平板マイクロレンズの周囲を大
気とし、基板の屈折率を１より大きい実数ｎとした時
に、角度θが入射光を全反射する条件θ＝ＣＯＳ-1（１
／ｎ）を満たす角度である。
えることのできる平板マイクロレンズを提供する。 【解決手段】 ガラス基板１００内に、マイクロレンズ
１０１を一体形成し、基板裏面を光軸に対して角度θの
傾きを持つ鏡面とする。平板マイクロレンズの周囲を大
気とし、基板の屈折率を１より大きい実数ｎとした時
に、角度θが入射光を全反射する条件θ＝ＣＯＳ-1（１
／ｎ）を満たす角度である。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、平板マイクロレン
ズ、特に反射面を有する平板マイクロレンズおよびその
製造方法に関するものである。さらには、このような平
板マイクロレンズを実装した光接続装置に関するもので
ある。
ズ、特に反射面を有する平板マイクロレンズおよびその
製造方法に関するものである。さらには、このような平
板マイクロレンズを実装した光接続装置に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】平板マイクロレンズは、ガラス基板表面
に微小レンズ（マイクロレンズ）が埋込まれたレンズで
ある。このような平板マイクロレンズは、図１に示すよ
うに、ガラス基板１００上に開口部１０３を有するイオ
ン交換保護マスク１０２を設け、溶液中に浸漬する。保
護マスクの開口部からガラス内部のイオンＢ（例えば、
Ｋ，Ｎａ）と外部溶液中に含まれるイオンＡ（例えば、
Ｔｌ）とを交換することによりマイクロレンズ１０１が
形成される。ガラス内部にイオンＡが入ることで屈折率
が上昇し、かつその拡散が半球状になることでレンズと
しての機能を果たす。すなわち、マイクロレンズは、基
板面法線方向に光軸を持ち、かつ光軸方向および光軸に
直交する方向に向けてなだらかに変化する屈折率勾配を
もつレンズである。
に微小レンズ（マイクロレンズ）が埋込まれたレンズで
ある。このような平板マイクロレンズは、図１に示すよ
うに、ガラス基板１００上に開口部１０３を有するイオ
ン交換保護マスク１０２を設け、溶液中に浸漬する。保
護マスクの開口部からガラス内部のイオンＢ（例えば、
Ｋ，Ｎａ）と外部溶液中に含まれるイオンＡ（例えば、
Ｔｌ）とを交換することによりマイクロレンズ１０１が
形成される。ガラス内部にイオンＡが入ることで屈折率
が上昇し、かつその拡散が半球状になることでレンズと
しての機能を果たす。すなわち、マイクロレンズは、基
板面法線方向に光軸を持ち、かつ光軸方向および光軸に
直交する方向に向けてなだらかに変化する屈折率勾配を
もつレンズである。
【０００３】イオン交換保護マスク１０２はホトリソグ
ラフィー法により形成されるので、２次元的に多数のレ
ンズを配列させることができる。この様子を図２に示
す。ガラス基板１００上にマイクロレンズ１０１が多数
配列されている。
ラフィー法により形成されるので、２次元的に多数のレ
ンズを配列させることができる。この様子を図２に示
す。ガラス基板１００上にマイクロレンズ１０１が多数
配列されている。
【０００４】図３に平板マイクロレンズを用いた光接続
装置の一例を示す。この光接続装置は、例えば１次元に
配列された複数本の光ファイバ２００からの光を、複数
個のマイクロレンズが１次元に配列された平板マイクロ
レンズ１００により、１次元に配列されたホトダイオー
ド３００に集光し、電気信号に変換する装置である。ホ
トダイオード列は直方体のセラミクス４００上に設けら
れており、別体の直方体のセラミクス４０１上にはプリ
アンプ３０１が設けられている。
装置の一例を示す。この光接続装置は、例えば１次元に
配列された複数本の光ファイバ２００からの光を、複数
個のマイクロレンズが１次元に配列された平板マイクロ
レンズ１００により、１次元に配列されたホトダイオー
ド３００に集光し、電気信号に変換する装置である。ホ
トダイオード列は直方体のセラミクス４００上に設けら
れており、別体の直方体のセラミクス４０１上にはプリ
アンプ３０１が設けられている。
【０００５】この光接続装置では、光ファイバ２００，
マイクロレンズ１０１，ホトダイオード３００が１つの
光軸上に配列されている。したがってホトダイオード３
００とプリアンプ３０１との電気的接続は、次のように
して形成されている。ホトダイオード３００からの出力
はボンディングワイヤ４０５を通って、セラミクス４０
０上の配線４０３に接続される。配線４０３はまたボン
ディングワイヤ４０６を介して、プリアンプ３０１が載
っている基板４０１上の配線４０４に接続される。配線
４０４とプリアンプ３０１との接続は、ボンディングワ
イヤ４０７によってなされる。
マイクロレンズ１０１，ホトダイオード３００が１つの
光軸上に配列されている。したがってホトダイオード３
００とプリアンプ３０１との電気的接続は、次のように
して形成されている。ホトダイオード３００からの出力
はボンディングワイヤ４０５を通って、セラミクス４０
０上の配線４０３に接続される。配線４０３はまたボン
ディングワイヤ４０６を介して、プリアンプ３０１が載
っている基板４０１上の配線４０４に接続される。配線
４０４とプリアンプ３０１との接続は、ボンディングワ
イヤ４０７によってなされる。
【０００６】以上のような構成の光接続装置では、光フ
ァイバ２００から出た光はレンズ１０１を通って集光さ
れ、ホトダイオード３００に入射される。ホトダイオー
ド３００は、入射した光を電気信号に変換する。電気信
号は、ワイヤ４０５，配線４０３，ワイヤ４０６，配線
４０４，ワイヤ４０７を経てプリアンプ３０１に送られ
る。
ァイバ２００から出た光はレンズ１０１を通って集光さ
れ、ホトダイオード３００に入射される。ホトダイオー
ド３００は、入射した光を電気信号に変換する。電気信
号は、ワイヤ４０５，配線４０３，ワイヤ４０６，配線
４０４，ワイヤ４０７を経てプリアンプ３０１に送られ
る。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】図３に示した従来の光
接続装置では、ホトダイオード３００からプリアンプ３
０１への配線４０３が図３に示したように直角に曲がる
ため、インダクタンス成分が発生する。このため高速特
性が劣化するという問題があった。
接続装置では、ホトダイオード３００からプリアンプ３
０１への配線４０３が図３に示したように直角に曲がる
ため、インダクタンス成分が発生する。このため高速特
性が劣化するという問題があった。
【０００８】また、平板マイクロレンズ内における光路
長を変えるには、平板マイクロレンズの厚さを変える必
要があるが、厚さを変えると光学特性に影響を与えると
いう問題がある。
長を変えるには、平板マイクロレンズの厚さを変える必
要があるが、厚さを変えると光学特性に影響を与えると
いう問題がある。
【０００９】また、平板マイクロレンズは１枚の平板で
あるから、実装に際し他の部品に当接させることは難し
いので位置決めが困難であるという問題がある。
あるから、実装に際し他の部品に当接させることは難し
いので位置決めが困難であるという問題がある。
【００１０】本発明の目的は、上述のような問題を解決
した平板マイクロレンズを提供することにある。
した平板マイクロレンズを提供することにある。
【００１１】本発明の他の目的は、上記平板マイクロレ
ンズの製造方法を提供することにある。
ンズの製造方法を提供することにある。
【００１２】本発明のさらに他の目的は、上記平板マイ
クロレンズを用いた光接続装置を提供することにある。
クロレンズを用いた光接続装置を提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、透明基
板内に、この基板面法線方向に光軸を持ち、かつ光軸方
向および光軸に直交する方向に向けてなだらかに変化す
る屈折率勾配をもつレンズを一体形成した平板マイクロ
レンズにおいて、レンズの作成された面を基板表面、そ
の反対側の面を基板裏面とすると、基板裏面が、光軸に
沿った基板表面からの入射光を光軸の方向以外の方向へ
反射する構造を持つことを特徴とする。
板内に、この基板面法線方向に光軸を持ち、かつ光軸方
向および光軸に直交する方向に向けてなだらかに変化す
る屈折率勾配をもつレンズを一体形成した平板マイクロ
レンズにおいて、レンズの作成された面を基板表面、そ
の反対側の面を基板裏面とすると、基板裏面が、光軸に
沿った基板表面からの入射光を光軸の方向以外の方向へ
反射する構造を持つことを特徴とする。
【００１４】反射構造としては、基板裏面を光軸に対し
て角度θの傾きを持つ鏡面とし、鏡面で全反射するよう
に角度θを選定した。
て角度θの傾きを持つ鏡面とし、鏡面で全反射するよう
に角度θを選定した。
【００１５】あるいはまた、反射構造として、基板裏面
に高反射率を有する金属薄膜を設けても良い。
に高反射率を有する金属薄膜を設けても良い。
【００１６】このような平板マイクロレンズは、平行平
面を有する透明基板の表面にイオン拡散により屈折率分
布型レンズを一体形成する工程と、基板表面に補強板を
接着剤で接着する工程と、透明基板の裏面にＶ型の溝を
適当な間隔で切削加工する工程と、Ｖ型溝の片面を含む
平板マイクロレンズに分離するようにＵ型の溝を切削加
工する工程と、分離された平板マイクロレンズを、前記
補強板から脱離する工程とにより製造される。
面を有する透明基板の表面にイオン拡散により屈折率分
布型レンズを一体形成する工程と、基板表面に補強板を
接着剤で接着する工程と、透明基板の裏面にＶ型の溝を
適当な間隔で切削加工する工程と、Ｖ型溝の片面を含む
平板マイクロレンズに分離するようにＵ型の溝を切削加
工する工程と、分離された平板マイクロレンズを、前記
補強板から脱離する工程とにより製造される。
【００１７】また本発明の光接続装置は、光ファイバ
と、光ファイバからの出射光を基板表面より入射し、基
板裏面で反射させて出射する平板マイクロレンズと、同
一基板上に設けられた、前記平板マイクロレンズからの
出射光を受光する光電変換器および光電変換器にボンデ
ィングワイヤにより接続された増幅器とを備えている。
と、光ファイバからの出射光を基板表面より入射し、基
板裏面で反射させて出射する平板マイクロレンズと、同
一基板上に設けられた、前記平板マイクロレンズからの
出射光を受光する光電変換器および光電変換器にボンデ
ィングワイヤにより接続された増幅器とを備えている。
【００１８】
【発明の実施の形態】図４（ａ），（ｂ）に、本発明の
平板マイクロレンズの斜視図，断面図を示す。この平板
マイクロレンズ１０４は、透明基板、例えばガラス基板
１００内にマイクロレンズ１０１が作成された面を基板
表面５００とし、その反対側の面を基板裏面とした場合
に、この基板裏面５０１は、マイクロレンズ１０１の光
軸に対しθの傾きをなす斜面とする。そして基板裏面５
０１は、光軸に沿った基板表面からの入射光を光軸の方
向以外の表面５０２へ反射する構造を持つようにする。
構造は、一例として鏡面よりなる全反射面とする。ま
た、表面５０２は基板表面５００に対し直交している。
平板マイクロレンズの斜視図，断面図を示す。この平板
マイクロレンズ１０４は、透明基板、例えばガラス基板
１００内にマイクロレンズ１０１が作成された面を基板
表面５００とし、その反対側の面を基板裏面とした場合
に、この基板裏面５０１は、マイクロレンズ１０１の光
軸に対しθの傾きをなす斜面とする。そして基板裏面５
０１は、光軸に沿った基板表面からの入射光を光軸の方
向以外の表面５０２へ反射する構造を持つようにする。
構造は、一例として鏡面よりなる全反射面とする。ま
た、表面５０２は基板表面５００に対し直交している。
【００１９】反射面５０１がマイクロレンズ１０１の光
軸に対してなす角度θは、平板マイクロレンズの周囲を
大気とし、ガラス基板の屈折率を１より大きい実数ｎと
したときに、入射光を全反射する条件θ＝ＣＯＳ-1（１
／ｎ）を満たす角度となるように選定する。
軸に対してなす角度θは、平板マイクロレンズの周囲を
大気とし、ガラス基板の屈折率を１より大きい実数ｎと
したときに、入射光を全反射する条件θ＝ＣＯＳ-1（１
／ｎ）を満たす角度となるように選定する。
【００２０】図５に、この反射面付き平板マイクロレン
ズを実装した光接続装置を示す。光接続装置は、１次元
に配列された複数本の光ファイバ２００と、反射面付き
平板マイクロレンズ１０４と、ホトダイオード３００お
よびプリアンプ３０１とが設けられた１つの基板４００
とから構成されている。ホトダイオード３００およびプ
リアンプ３０１は、マイクロレンズ１０１の個数に相当
する個数だけ１次元に配列されている。
ズを実装した光接続装置を示す。光接続装置は、１次元
に配列された複数本の光ファイバ２００と、反射面付き
平板マイクロレンズ１０４と、ホトダイオード３００お
よびプリアンプ３０１とが設けられた１つの基板４００
とから構成されている。ホトダイオード３００およびプ
リアンプ３０１は、マイクロレンズ１０１の個数に相当
する個数だけ１次元に配列されている。
【００２１】反射面付き平板マイクロレンズ１０４は、
マイクロレンズ１０１を光ファイバ２００側に向けて配
置されている。ホトダイオード３００の受光面は、平板
マイクロレンズの面５０２から出射した光が集束する位
置に設けられている。また、ホトダイオード３００は、
ボンディングワイヤ４０８によりプリアンプ３０１に接
続されている。
マイクロレンズ１０１を光ファイバ２００側に向けて配
置されている。ホトダイオード３００の受光面は、平板
マイクロレンズの面５０２から出射した光が集束する位
置に設けられている。また、ホトダイオード３００は、
ボンディングワイヤ４０８によりプリアンプ３０１に接
続されている。
【００２２】このような構造の光接続装置において、光
ファイバ２００から出射した光Ｌは、マイクロレンズ１
０１を通って集光され、裏面に設けられた反射面５０１
で全反射して角度を曲げられ、平板マイクロレンズ１０
４の面５０２から出射し、基板４００上に設けられたホ
トダイオード３００の受光面に入射する。このホトダイ
オードからの出力はボンディングワイヤ４０８を経てプ
リアンプ３０１に送られる。
ファイバ２００から出射した光Ｌは、マイクロレンズ１
０１を通って集光され、裏面に設けられた反射面５０１
で全反射して角度を曲げられ、平板マイクロレンズ１０
４の面５０２から出射し、基板４００上に設けられたホ
トダイオード３００の受光面に入射する。このホトダイ
オードからの出力はボンディングワイヤ４０８を経てプ
リアンプ３０１に送られる。
【００２３】この光接続装置では、ホトダイオードとプ
リアンプとの間の距離は、図３に示した従来の光接続装
置に比べてかなり短く、かつ曲がった配線がないことか
らインダクタンス成分も少なく、高速動作を期待でき
る。
リアンプとの間の距離は、図３に示した従来の光接続装
置に比べてかなり短く、かつ曲がった配線がないことか
らインダクタンス成分も少なく、高速動作を期待でき
る。
【００２４】以上の光接続装置ではマイクロレンズ１０
１を光ファイバ側に向けた場合を例示したが、これと反
対にレンズ１０１をホトダイオード側に向けても良い。
図６は、その平板マイクロレンズを実装した光接続装置
を示す。
１を光ファイバ側に向けた場合を例示したが、これと反
対にレンズ１０１をホトダイオード側に向けても良い。
図６は、その平板マイクロレンズを実装した光接続装置
を示す。
【００２５】次に、反射面５０１を鏡面とする平板マイ
クロレンズの製造方法を図７，図８を参照して説明す
る。マイクロレンズ１０１が形成されたガラス基板１０
５を補強板１１０に接着剤で接着する。この状態で、ガ
ラス基板の裏面に反射面を形成する。これは、基板裏面
にスライシング等の切削加工技術を用いて、適当な刃
厚，刃先の角度を選定して、所望の角度のＶ型の溝を適
当な間隔で作製することにより行われる。
クロレンズの製造方法を図７，図８を参照して説明す
る。マイクロレンズ１０１が形成されたガラス基板１０
５を補強板１１０に接着剤で接着する。この状態で、ガ
ラス基板の裏面に反射面を形成する。これは、基板裏面
にスライシング等の切削加工技術を用いて、適当な刃
厚，刃先の角度を選定して、所望の角度のＶ型の溝を適
当な間隔で作製することにより行われる。
【００２６】具体的には、図７に示すように、ガラス基
板１０５に形成する反射面５０１の角度に合わせた研削
歯６００で反射面を削り出す。この際、研削歯の面の選
択によって反射面を鏡面とすることが可能である。この
後、別の研削歯で平板マイクロレンズ１０４を分離す
る。即ち図８に示すように平板マイクロレンズの分離の
ための切削を行う。切削溝７００の面は光は通らないの
で粗い面でよく、切削溝７０１の面は光が通過するので
鏡面である必要がある。この様な要請に従って切削歯の
仕様を選択する。通常、鏡面仕上げを行おうとすると、
切錯歯が軟かくなり、歯の寿命が著しく短くなる。従っ
て、粗い仕上げである程度切削を行い、最後に鏡面仕上
げ用の切削を追加するという方法も可能である。
板１０５に形成する反射面５０１の角度に合わせた研削
歯６００で反射面を削り出す。この際、研削歯の面の選
択によって反射面を鏡面とすることが可能である。この
後、別の研削歯で平板マイクロレンズ１０４を分離す
る。即ち図８に示すように平板マイクロレンズの分離の
ための切削を行う。切削溝７００の面は光は通らないの
で粗い面でよく、切削溝７０１の面は光が通過するので
鏡面である必要がある。この様な要請に従って切削歯の
仕様を選択する。通常、鏡面仕上げを行おうとすると、
切錯歯が軟かくなり、歯の寿命が著しく短くなる。従っ
て、粗い仕上げである程度切削を行い、最後に鏡面仕上
げ用の切削を追加するという方法も可能である。
【００２７】分離された平板マイクロレンズ１０４は、
補強板１１０より脱離されて、図４の構造の平板マイク
ロレンズが得られる。
補強板１１０より脱離されて、図４の構造の平板マイク
ロレンズが得られる。
【００２８】以上の平板マイクロレンズは、反射面を鏡
面とし、光を全反射させているが、鏡面５０１上に金属
薄膜を設け反射させることができる。この場合には、全
反射とは異なり角度θに制限はない。なお、金属薄膜と
しては、Ａｌ等の高反射率を有する金属薄膜を使用す
る。
面とし、光を全反射させているが、鏡面５０１上に金属
薄膜を設け反射させることができる。この場合には、全
反射とは異なり角度θに制限はない。なお、金属薄膜と
しては、Ａｌ等の高反射率を有する金属薄膜を使用す
る。
【００２９】さて、本発明の平板マイクロレンズによれ
ば、平板マイクロレンズ内における光路長は、基板裏面
の切削量を調整することで変えることができるので、従
来の平行平板型の平板マイクロレンズに比べて、光学特
性に影響を与えることなく、光路長を変えることができ
る。
ば、平板マイクロレンズ内における光路長は、基板裏面
の切削量を調整することで変えることができるので、従
来の平行平板型の平板マイクロレンズに比べて、光学特
性に影響を与えることなく、光路長を変えることができ
る。
【００３０】また、基板裏面に金属薄膜を設けた構造の
平板マイクロレンズでは、実装置に基板裏面を他の部品
に当接して位置決めが可能となるので、位置決め精度を
高めることができる。
平板マイクロレンズでは、実装置に基板裏面を他の部品
に当接して位置決めが可能となるので、位置決め精度を
高めることができる。
【００３１】さらに実施例の光接続装置では、３０１は
プリアンプとして例示したが、本発明はこれに限らずホ
トダイオードにバイアス等を印加する駆動回路であって
も良い。
プリアンプとして例示したが、本発明はこれに限らずホ
トダイオードにバイアス等を印加する駆動回路であって
も良い。
【００３２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の平板マイ
クロレンズによれば、光学特性に影響を与えることな
く、光路長を変えることのできる平板マイクロレンズが
得られる。
クロレンズによれば、光学特性に影響を与えることな
く、光路長を変えることのできる平板マイクロレンズが
得られる。
【００３３】また基板裏面に金属薄膜を設けて反射面と
した構造の平板マイクロレンズでは、実装時の位置決め
精度を高めることができる。
した構造の平板マイクロレンズでは、実装時の位置決め
精度を高めることができる。
【００３４】さらに本発明の平板マイクロレンズを実装
した光接続装置では、高速動作が可能となる。
した光接続装置では、高速動作が可能となる。
【図１】従来の平板マイクロレンズの製造法を示す図で
ある。
ある。
【図２】従来の平板マイクロレンズの構造を示す図であ
る。
る。
【図３】従来の光接続装置を示す図である。
【図４】本発明に係る反射面付き平板マイクロレンズを
示す図である。
示す図である。
【図５】図４の構造の平板マイクロレンズを実装した光
接続装置を示す図である。
接続装置を示す図である。
【図６】平板マイクロレンズの配置を変えて実装した光
接続装置を示す図である。
接続装置を示す図である。
【図７】本発明に係る反射面付き平板マイクロレンズの
製造方法を説明するための図である。
製造方法を説明するための図である。
【図８】本発明に係る反射面付き平板マイクロレンズの
製造方法を説明するための図である。
製造方法を説明するための図である。
１００，１０５ ガラス基板 １０１ マイクロレンズ １０４ 反射面付き平板マイクロレンズ １１０ 補強板 ２００ 光ファイバ ３００ ホトダイオード ３０１ プリアンプ ４００，４０１ 実装基板 ４０５，４０６，４０８ ボンディングワイヤ ５００ 基板表面 ５０１ 基板裏面 ６００ 切削歯 ７００，７０１ 切削溝 Ａ，Ｂ 交換されるイオン Ｌ ファイバからの出射光
Claims (6)
- 【請求項１】透明基板内に、この基板面法線方向に光軸
を持ち、かつ光軸方向および光軸に直交する方向に向け
てなだらかに変化する屈折率勾配をもつレンズを一体形
成した平板マイクロレンズにおいて、 レンズの作成された面を基板表面、その反対側の面を基
板裏面とすると、基板裏面が、光軸に沿った基板表面か
らの入射光を光軸の方向以外の方向へ反射する構造を持
つことを特徴とする反射面付き平板マイクロレンズ。 - 【請求項２】前記基板裏面が光軸に対して角度θの傾き
を持つ鏡面であり、かつ平板マイクロレンズの周囲を大
気とし、基板の屈折率を１より大きい実数ｎとした時
に、前記角度θが入射光を全反射する条件θ＝ＣＯＳ-1
（１／ｎ）を満たす角度である請求項１記載の反射面付
き平板マイクロレンズ。 - 【請求項３】前記基板裏面が光軸に対して角度θの傾き
を持つ鏡面であり、かつ、その面に高反射率を有する金
属薄膜が付けられている、請求項１記載の反射面付き平
板マイクロレンズ。 - 【請求項４】前記透明基板はガラスである、請求項１，
２または３記載の反射面付き平板マイクロレンズ。 - 【請求項５】平行平面を有する透明基板の表面にイオン
拡散により屈折率分布型レンズを一体形成する工程と、 前記基板表面に補強板を接着剤で接着する工程と、 前記透明基板の裏面にＶ型の溝を適当な間隔で切削加工
する工程と、 前記Ｖ型溝の片面を含む平板マイクロレンズに分離する
ようにＵ型の溝を切削加工する工程と、 分離された平板マイクロレンズを、前記補強板から脱離
する工程と、を含む平板マイクロレンズの製造方法。 - 【請求項６】光ファイバと、 前記光ファイバからの出射光を基板表面より入射し、基
板裏面で反射させて出射する請求項１，２または３に記
載の平板マイクロレンズと、 同一基板上に設けられた、前記平板マイクロレンズから
の出射光を受光する光電変換器および光電変換器にボン
ディングワイヤにより接続された増幅器と、を備える光
接続装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9497296A JPH09281302A (ja) | 1996-04-17 | 1996-04-17 | 反射面付き平板マイクロレンズアレイおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9497296A JPH09281302A (ja) | 1996-04-17 | 1996-04-17 | 反射面付き平板マイクロレンズアレイおよびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09281302A true JPH09281302A (ja) | 1997-10-31 |
Family
ID=14124835
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9497296A Pending JPH09281302A (ja) | 1996-04-17 | 1996-04-17 | 反射面付き平板マイクロレンズアレイおよびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
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1996
- 1996-04-17 JP JP9497296A patent/JPH09281302A/ja active Pending
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