JPH10308528A - 光半導体モジュール - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 分岐構造の光導波路を有さない、発光素子と
受光素子とを備えた光半導体モジュールを提供すること
を課題とする。 【解決手段】 端面が傾斜した光ファイバ２０を用い、
発光素子１を、その出射光の光軸２３が、光ファイバ２
０の内部を導波される光軸２０ａの延長上の軸と一致す
るようにプラットホーム２１上に取り付け、受光素子３
は、その受光部３ｂが光ファイバ２０から屈折されて出
射される光の光軸２２上に位置するようにプラットホー
ム２１上に取り付けるようにした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、光半導体モジュ
ールに関し、特に発光素子と受光素子とを備えた光半導
体モジュールに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図６は従来の発光素子と受光素子とを光
半導体モジュールの構造を示す斜視図であり、図におい
て、１は送信用の信号を出力するレーザダイオード等の
発光素子、２は発光素子の出力をモニタするためのフォ
トダイオード等のモニタ用受光素子、３は受信用の信号
が入力されるフォトダイオード等の受光素子で、ここ
で、受光素子３としては、レーザダイオードと同じよう
にストライプ形状の導波路を有する構造の端面入射型フ
ォトダイオードを用いており、レーザダイオードの発光
領域に相当する部分が光吸収領域（図示せず）となる。
５は直径が約１．２５μｍである光を導波する光ファイ
バ、４は光分岐回路、４ａは平面形状がＹ字形状となる
ように分岐している，幅が数μｍである光導波路で、そ
の分岐した２つの端部側には、発光素子１及び受光素子
３がそれぞれ、発光素子１の発光部と，受光素子３の受
光部、即ち受光素子３の光が入射されるべき端面部分と
が光導波路４ａと光結合されるように配置されている。
また、光導波路４ａの分岐していない端部側には、光フ
ァイバ５が光導波路４ａと光結合されるように配置され
ている。このとき、発光素子１の発光部を有する端面と
光導波路４ａの端面，受光素子３の受光部を有する端面
と光導波路４ａの端面，光ファイバ５の端面と光導波路
４ａの端面とはそれぞれ互いに平行になるように配置さ
れている。この光半導体モジュールの、光ファイバ５の
伸びる方向に対して垂直な方向の長さは約３ｍｍ，光導
波路４ａの光ファイバ５の伸びる方向の長さは約１ｃ
ｍ，発光素子１，モニタ用受光素子２，受光素子３が配
置されている部分の、光ファイバ５の伸びる方向の長さ
は約１ｍｍとなっている。なお、図示していないが、こ
の光分岐回路４や光ファイバ５は、最終的にセラミック
等からなるパッケージ（図示せず）の中に封止される。

【０００３】一般に、光加入者系，即ち加入者を対象と
した光通信等の光通信においては、波長１．３μｍ帯と
１．５５μｍ帯との２つの光を組み合わせた光信号が用
いられ、それぞれの加入者について一本の光ファイバに
より送受信を可能とするために光信号を合・分波可能な
光半導体モジュールが用いられる。この送受信に用いら
れる光モジュールとしては、図７に示すようなＰＬＣ(P
lanar Lightwave Circuit ）と呼ばれる光導波路４ａを
用いて光を合・分波する光分岐回路４を使用した光半導
体モジュールが用いられ、このモジュールにより、送信
用の信号と受信用の信号とを合・分波することにより、
発光素子１及び受光素子３と、光ファイバ５との間を結
合して、送受信を可能としていた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
光半導体モジュールにおいては、分岐した光導波路４ａ
を用いており、このような光導波路４ａの分岐している
部分は、導波光を分岐させるために、２本に分岐する導
波路間の角度はある程度緩やかである必要があるため、
分岐した２本の導波路間隔を、この分岐したそれぞれの
導波路を発光素子と受光素子とにそれぞれ光結合させる
ために十分な広さにしようとすると、この分岐部分の光
ファイバの伸びる方向の長さを長くする必要があり、光
分岐回路４が大きくなってしまい、その結果として、光
半導体モジュールの大きさ全体が大きくなって、小型化
が図れないという問題があった。

【０００５】また、光を分岐するために、分岐した構造
の光導波路４ａを有する光分岐回路４を設ける必要があ
り、光半導体モジュール全体の構造が複雑化し、この光
モジュールをパッケージに組み込む場合には、組み立て
工程において、光導波路４ａと発光素子及び受光素子の
位置合わせ、並びに光導波路４ａと該光導波路に光を入
出射させるための光ファイバ５との位置合わせが必要と
なり、組み立て工程等が複雑になるという問題があっ
た。

【０００６】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたものであり、分岐構造の光導波路を有さ
ない、発光素子と受光素子とを備えた光半導体モジュー
ルを提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】この発明に係る光半導体
モジュールは、その内部を光が導波されるとともに、こ
の導波される光が入射及び出射される端面の一方が、そ
の内部を導波される光の光軸に垂直な面に対して所定の
角度に傾斜している光導波部材と、該光導波部材の傾斜
している端面から該端面において屈折されて出射された
出射光の光軸上にその受光部が位置するように配置され
た受光素子と、その出射面から出射される光の光軸が、
上記光導波部材の内部を導波される光の光軸の延長上の
軸と，上記光導波部材の端面により屈折されて出射され
る出射光の光軸との間に位置する軸に一致するように配
置された発光素子とを備えたものである。

【０００８】また、上記光半導体モジュールにおいて、
上記発光素子を、その光軸が、上記光導波部材の内部を
導波される光の光軸の延長上の軸に一致しているように
したものである。

【０００９】また、上記光半導体モジュールにおいて、
上記発光素子と受光素子とを同一基板上に集積化するよ
うにしたものである。

【００１０】また、上記光半導体モジュールにおいて、
上記受光素子を、その光吸収領域が、上記光導波部材の
傾斜している端面から屈折されて出射される出射光の光
軸と平行な方向に伸びるストライプ形状を有しているも
のとしたものである。

【００１１】

【発明の実施の形態】

実施の形態１．図１は本発明の実施の形態１に係る光半
導体モジュールの構造を示す斜視図（図１(a))，及び図
１(a) においてＡで示す部分を拡大して上方から見た平
面図であり、図において、１は送信用のレーザダイオー
ド等の発光素子、１ａは発光領域、２は発光素子１の出
力をモニタするためのフォトダイオード等のモニタ用受
光素子、２ａは受信用の受光領域、３はフォトダイオー
ド等の受光素子で、この受光素子３としては、ここでは
レーザダイオードと同じようにストライプ形状の導波路
を有する構造の端面入射型フォトダイオードを用いてお
り、このレーザダイオードの発光領域に相当する部分が
光吸収領域３ａとなる。３ｂは受光素子３の光が入射さ
れるべき領域である受光部で、受光素子３の端部の光吸
収領域３ａが露出している部分がこの受光部３ｂとなっ
ている。２０は直径が１２５μｍ前後で、その端部の一
方がその内部を導波される光の光軸２０ａに垂直な面に
対して所定の角度で傾斜している光ファイバ、２１はＳ
ｉ等からなるプラットホームと呼ばれる，発光素子１，
受光素子３，及び光ファイバ２０を載置するための台
で、光ファイバ２０の光軸に対して垂直な方向の幅は、
約３ｍｍ、光ファイバ２０の光軸に平行な方向の長さの
うち、光ファイバ２０が載置されている部分の長さが約
２〜３μｍ、発光素子１やモニタ用受光素子２が載置さ
れている部分の長さが約１ｍｍである。このプラットホ
ーム２１には光ファイバ２０を位置決めして載置するた
めのＶ字溝２１ａと、発光素子１とモニタ用受光素子２
を位置決めして載置するための載置部２１ｂと、受光素
子３を位置決めして載置するための載置部２１ｃとが設
けられている。２２は光ファイバ２０の上記傾斜してい
る端面（以下，傾斜端面と称す）から、該端面で屈折さ
れて出射される屈折光の光軸である。この光半導体モジ
ュールにおいては、発光素子１及び光ファイバ２０は、
発光素子１の出射光の光軸２３が、光ファイバ２０の内
部を導波される光軸２０ａと一致するようにプラットホ
ーム２１上に取り付けられ、受光素子３は、その受光部
３ｂが光ファイバ２０から屈折されて出射される光の光
軸２２上に位置するように取り付けられている。なお、
発光素子１についてはその出射光の光軸２３が、光ファ
イバ２０の光軸２０ａを延長した軸と、屈折光の光軸２
２との間に位置する軸と一致するように配置して、発光
素子１の出射光が光ファイバ２０の端面の中心部に入射
されるように配置するようにしてもよいが、発光素子１
からの出射光も、光ファイバ２０の傾斜端面で屈折され
たり反射されたりして光ファイバ２０内に入射されるこ
とから、上記のように発光素子１の出射光の光軸２３
が、光ファイバ２０の内部を導波される光軸２０ａと一
致することが、発光素子１と光ファイバ２０との光結合
を良好とする上で好ましい。

【００１２】また、図２は本発明の実施の形態１に係る
光半導体モジュールの組み立て方法、及び該光半導体モ
ジュールのパッケージへの取り付け方法を示す図であ
り、図において図１と同一符号は同一または相当する部
分を示しており、１５はコネクタ、１３はＳｉ等からな
るプラットホームカバー、１６はパッケージリード部、
１４はワイヤ、１２はセラミック等からなるパッケージ
ボディ、１１はセラミック等からなるパッケージカバー
である。

【００１３】次に光半導体モジュールの組み立て方法、
及び該光半導体モジュールのパッケージへの取り付け方
法について説明する。まず、図２(a) に示すように、所
定の位置にＶ字溝２１ａと、載置部２１ｂ，２１ｃとを
備えたプラットホーム２１を用意する。このプラットホ
ーム２１は、例えば、Ｓｉ基板等を用意し、これに対し
て絶縁膜等の選択エッチング用マスクを利用して異方性
エッチング等を行うことにより容易に形成できる。次
に、図２(b) に示すように、プラットホーム２１の載置
部２１ｂに発光素子１，モニタ用受光素子２を、また、
載置部２１ｃに受光素子３を、それぞれ位置決めしてダ
イボンドする。この位置決めは、プラットホーム２１の
上方から、撮像装置等により、載置部２１ｂ，２１ｃ
と、各素子とを、それぞれモニタしながら機械を用いて
移動させて行う方法等のパッシブアライメントが用いら
れ、その接着はハンダ等を用いて行われる。なお、ここ
では、プラットホームの大きさを小さくするために載置
部２１ｂ，２１ｃの側面上に各素子を取り付けている
が、載置部２１ｂ，２１ｃの形状を変更して、その上面
に各素子を取り付けるようにしてもよい。

【００１４】続いて、パッケージボディ１２を用意し、
この底面上にプラットホーム２１を樹脂などを使用して
ダイボンドし、各素子とパッケージリード部１６とをそ
れぞれ給電用のワイヤ１４を用いて接続する。

【００１５】次に、その端面が傾斜端面である光ファイ
バ２０を用意する。この傾斜端面は、光ファイバ２０の
端面に対して切断等の処理をすることにより容易に形成
可能であり、この端面には必要に応じて反射防止膜等を
設ける。この光ファイバ２０を、その傾斜端面の傾斜方
向を各素子の位置に対して調整しながらパッシブアライ
メントにより位置あわせをしてＶ字溝２１ａ内に配置
し、プラットホームカバー１３を樹脂などを使用してＶ
字溝２１ａの上部に被せた状態で接着して、光ファイバ
２０を固定する。ここでは、光ファイバ２０としては傾
斜端面と反対側の端部にコネクタ１５が設けられている
ものを用いているが、この端部はどのような形状であっ
てもよい。

【００１６】そして最後に、図２(d) に示すように、パ
ッケージカバー１１を樹脂等を使用してパッケージボデ
ィ１２上に固定して、光半導体モジュールを封止する。

【００１７】この光半導体モジュールにおいては、その
内部を導波される光の光軸に対して斜めに傾いた端面を
有する光ファイバ２０を用い、発光素子１を、その出射
光の光軸２３が、光ファイバ２０の内部を導波される光
軸２０ａと一致するようにプラットホーム２１上に取り
付け、受光素子３は、その受光部３ｂが光ファイバ２０
から屈折されて出射される光の光軸２２上に位置するよ
うに取り付けている。このため、図１(b) に示すように
発光素子１からの光ファイバ２０への入射光は、その光
軸２３と、光ファイバ２０内部における光軸２０ａとを
合わせるように、光ファイバ２０の端面の中心部に対し
て入射光が入射されるようにすることで、発光素子１と
光ファイバ２０との光結合が十分にとれる。さらに、光
ファイバ２０内を導波されて光ファイバ２０の傾斜端面
から出射される出射光は、空気と光ファイバ２０の屈折
率差から光が傾斜端面の傾斜方向に屈折して曲がるた
め、この屈折光の光軸２２上に受光部３ｂが位置するよ
うに受光素子３を配置することで、光ファイバ２０と受
光素子３との光結合も十分にとることができる。この結
果、図１(a) に示すように光ファイバ２０の傾斜端面に
対向して受光素子３と発光素子１とを配置組立すること
により、従来の技術において説明したような、光分岐回
路を用いることなく光ファイバ２０と受光素子３，及び
光ファイバ２０と発光素子１との光結合をとることが可
能となり、光分岐回路が不要になり、光半導体モジュー
ルを小型化することができる。

【００１８】また、従来は、光分岐回路と発光素子及び
受光素子との位置合わせ，及び光分岐回路と光ファイバ
との位置合わせの、合計２回行うことが必要であった、
時間がかかるとともに複雑であった位置合わせ工程を、
この実施の形態１によれば、光ファイバ２０と発光素子
１及び受光素子３との位置合わせのみの１回で済ませる
ことができるため、製造工程を容易とすることができ
る。

【００１９】ここで、光ファイバ２０と発光素子１と受
光素子３とのそれぞれの位置関係は次のようになる。図
１(b) において、光ファイバ２０中の光の屈折率を
ｎ₂ 、空気中の屈折率をｎ₁ とし、光ファイバ２０の傾
斜端面の中心と、受光部３ｂの中心との間の光ファイバ
２０内の光軸方向における距離をＬ，光ファイバ２０の
光軸を延長した軸と、受光部３ｂの中心との間の距離を
ｘとすると、以下の式(1)，式 (2)の関係のようにな
る。

【００２０】

【数１】

【００２１】

【数２】

【００２２】例えば、θ₁ ＝８゜，Ｌ＝１５０μｍとす
ると、θ₂ ≒４゜，ｘ≒１０μｍとなる。このように、
この実施の形態１によれば、端面が傾斜した光ファイバ
２０を用い、発光素子１を、その出射光の光軸２３が、
光ファイバ２０の内部を導波される光軸２０ａを延長し
た軸と一致するように配置し、受光素子３は、その受光
部３ｂが光ファイバ２０から屈折されて出射される光の
光軸２２上に位置するように配置したから、光分岐回路
を用いることなく、光ファイバと発光素子１及び受光素
子３との光結合を取ることができ、光半導体モジュール
を小型化することができるとともに、製造工程を容易に
できる効果がある。

【００２３】なお、上記実施の形態１においては、光フ
ァイバを用いた場合について説明したが、本発明は、光
導波路等の他の光を導波する光導波部材を用いた場合に
おいても適用できるものである。例えば、図３に示すよ
うに、光導波部材として、その端面の一方が該光導波路
内の光軸に対して傾斜している光導波路２５ａを、上記
実施の形態１の光ファイバ２０の代わりに配置する構造
としてもよく、この場合、光導波路２５ａは従来の技術
において説明したような分岐構造を有していないため、
十分にその長さを短くすることが可能となり、上記実施
の形態１と同様の効果を奏することができる。なお、図
３において、図１と同一符号は同一又は相当する部分を
示し、２５はＳｉ等からなるからなるプラットホーム、
２５ａは端面の一方がその内部の光軸に対して傾斜して
いるＳｉ等からなる光導波路である。

【００２４】また、上記実施の形態１においては、端面
入射型の受光素子を用いた場合について説明したが、本
発明は例えば半導体層の表面に不純物を拡散させて形成
した表面入射型の受光素子等の他の受光素子を用いた場
合においても適用できるものであり、このような場合に
おいても上記実施の形態１と同様の効果を奏する。

【００２５】実施の形態２．図４は本発明の実施の形態
２に係る光半導体モジュールの構造を示す斜視図（図４
(a))、及び上面からみた平面図（図４(b))であり、図に
おいて、図１と同一符号は同一又は相当する部分を示し
ており、１０はストライプ状の発光領域１０ａを有する
発光素子と、ストライプ状の光吸収領域１０ｂを備えた
端面吸収型の受光素子とを一つの基板上に集積化してな
る発・受光集積素子である。この発・受光集積素子１０
は、その発光領域１０ａと受光領域１０ｂとの位置関係
が、該素子１０を、その発光領域により生成され出射さ
れた出射光の光軸２３が光ファイバ２０の内部の光軸２
０ａとほぼ一致するように位置決めする際に、その受光
部、即ち光吸収領域３０ｂの端面に露出した部分の中央
部が、光ファイバ２０から屈折されて出射される光の光
軸２２上に位置するものとなるように予め設計してお
く。なお、この実施の形態２においては、発・受光集積
素子１０として、ストライプ状の発光領域１０ａとスト
ライプ状の光吸収領域１０ｂとが、プラットホーム２１
の表面に沿って互いに平行に所定の間隔を隔てて配列さ
れた構造を有したものを用いており、この構造は、例え
ば、メサ構造を有する発光素子と受光素子とを集積化す
ることを考えた場合においては、発光領域１０ａを形成
する部分にストライプ状のメサをエッチング等により形
成する際に、光吸収領域１０ｂを形成する部分にもスト
ライプ状のメサを形成することにより、容易に形成可能
なものである。

【００２６】本実施の形態２に係る光半導体モジュール
は、上記実施の形態１において示した、傾斜端面を有す
る光ファイバ２０に対して所定の位置関係を有するよう
に配置される発光素子と受光素子の代わりに、これらを
一体化した発・受光集積素子１０を用いるようにしたも
のであり、上記実施の形態１と同様の効果を奏するとと
もに、上記実施の形態１においては発光素子と受光素子
とが独立していたため、組み立てに必要な素子数を減ら
すことができず、また、プラットホームのこれらを載置
する部分の大きさを小さくすることにも限界があった
が、本実施の形態２においては、発光部と受光部を１つ
の素子に集積化することにより、さらに小型化できると
ともに、組立も簡略化できる効果を奏する。

【００２７】実施の形態３．図５は本発明の実施の形態
３に係る光半導体モジュールの構造を示す平面図であ
り、図において、図１と同一符号は同一又は相当する部
分を示し、３０は発光素子と受光素子とを集積化した発
・受光集積素子、３０ａは発光領域、３０ｂは光吸収領
域である。

【００２８】この光半導体モジュールは、上記実施の形
態２において説明した光半導体モジュールにおいて、発
・受光集積素子１０の代わりに、ストライプ状の光吸収
領域３０ｂのストライプの伸びる方向を、光ファイバ２
０から屈折されて出射される光の光軸２２と平行となる
ような方向とした発・受光集積素子を用いるようにした
ものであり、この構造は、例えば、メサ構造を有する発
光素子と受光素子とを集積化することを考えた場合にお
いては、発光領域３０ａを形成する部分にストライプ状
のメサをエッチング等により形成する際に、異方性エッ
チング等を用いて光吸収領域１０ｂを形成する部分にも
同時にストライプ状のメサを形成することにより形成さ
れる。

【００２９】本実施の形態３によれば、発光素子と受光
素子とを集積化したことにより、上記実施の形態２と同
様の効果を奏するとともに、上記実施の形態２において
は、光ファイバ２０からの出射光の光軸２２が光吸収領
域のストライプ方向と一致しないため、出射光が光吸収
領域の端部にしか入射されず、受光感度が十分にとれな
い場合が考えられるが、光吸収領域３０ｂのストライプ
方向を出射光の光軸２２に平行に合わせることにより、
光ファイバ２０からの出射光はほとんどが光吸収領域３
０ｂ内に入射されるため、受光感度を向上させることが
できる効果を奏する。

【００３０】

【発明の効果】以上のようにこの発明によれば、その内
部を光が導波されるとともに、この導波される光が入射
及び出射される端面の一方が、その内部を導波される光
の光軸に垂直な面に対して所定の角度に傾斜している光
導波部材と、該光導波部材の傾斜している端面から該端
面において屈折されて出射された出射光の光軸上にその
受光部が位置するように配置された受光素子と、その出
射面から出射される光の光軸が、上記光導波部材の内部
を導波される光の光軸の延長上の軸と，上記光導波部材
の端面により屈折されて出射される出射光の光軸との間
に位置する軸に一致するように配置された発光素子とを
備えたから、光分岐回路を用いることなく、光ファイバ
と発光素子及び受光素子との光結合を取ることができ、
分岐回路を不要として、小型で、かつ容易に製造ができ
る送信素子と受信素子とを備えた光半導体モジュールを
提供できる効果がある。

【００３１】また、この発明によれば、上記発光素子
を、その光軸が、上記光導波部材の内部を導波される光
の光軸の延長上の軸に一致するようにしたから、光ファ
イバと発光素子との光結合を良好とすることができ、高
性能な光半導体モジュールを提供できる効果がある。

【００３２】また、この発明によれば、上記発光素子と
受光素子とを同一基板上に集積化するようにしたから、
素子数を減らして容易に製造ができるとともに、より小
型化可能な光半導体モジュールを提供できる効果があ
る。

【００３３】また、この発明によれば、上記受光素子
を、その光吸収領域が、上記光導波部材の傾斜している
端面から屈折されて出射される出射光の光軸と平行な方
向に伸びるストライプ形状を有しているものとしたか
ら、受光感度を向上させた光半導体モジュールを提供で
きる効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この発明の実施の形態１に係る光半導体モジ
ュールの構造を示す図である。

【図２】 この発明の実施の形態１に係る光半導体モジ
ュールの製造方法、及びこの光半導体モジュールのパッ
ケージへの取り付け方法を示す図である。

【図３】 この発明の実施の形態１に係る光半導体モジ
ュールの変形例を示す図である。

【図４】 この発明の実施の形態２に係る光半導体モジ
ュールの構造を示す図である。

【図５】 この発明の実施の形態３に係る光半導体モジ
ュールの構造を示す図である。

【図６】 従来の光半導体モジュールの構造を示す斜視
図である。

【符号の説明】

１ 発光素子、１ａ 発光領域、２ モニタ用受光素
子、２ａ，３ａ 光吸収領域、３ 受光素子、３ｂ 受
光部、４ 光分岐回路（ＰＬＣ）、４ａ，２５ａ 光導
波路、５，２０ 光ファイバ、１０，３０ 発・受光集
積素子、１０ａ，３０ａ 発光領域、１０ｂ，３０ｂ
光吸収領域、１１ パッケージカバー、１２ パッケー
ジボディ、１３ プラットホームカバー、１４ ワイ
ヤ、１５ コネクタ、１６ パッケージリード部、２０
ａ 光ファイバ内の光軸、２１，２５ プラットホー
ム、２１ａ Ｖ字溝、２１ｂ，２１ｃ 載置部、２２
屈折光の光軸、２３ 発光素子の光軸。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 その内部を光が導波されるとともに、こ
   の導波される光が入射及び出射される端面の一方が、そ
   の内部を導波される光の光軸に垂直な面に対して所定の
   角度に傾斜している光導波部材と、 該光導波部材の傾斜している端面から該端面において屈
   折されて出射された出射光の光軸上にその受光部が位置
   するように配置された受光素子と、 その出射面から出射される光の光軸が、上記光導波部材
   の内部を導波される光の光軸の延長上の軸と，上記光導
   波部材の端面により屈折されて出射される出射光の光軸
   との間に位置する軸に一致するように配置された発光素
   子とを備えたことを特徴とする光半導体モジュール。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の光半導体モジュールに
   おいて、 上記発光素子は、その光軸が、上記光導波部材の内部を
   導波される光の光軸の延長上の軸に一致していることを
   特徴とする光半導体モジュール。
3. 【請求項３】 請求項１に記載の光半導体モジュールに
   おいて、 上記発光素子と受光素子とは同一基板上に集積化されて
   いることを特徴とする光半導体モジュール。
4. 【請求項４】 請求項３に記載の光半導体モジュールに
   おいて、 上記受光素子は、その光吸収領域が、上記光導波部材の
   傾斜している端面から屈折されて出射される出射光の光
   軸と平行な方向に伸びるストライプ形状を有しているこ
   とを特徴とする光半導体モジュール。