JPH0742467B2 - 軸 受 - Google Patents

軸 受

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JPH0742467B2
JPH0742467B2 JP61021275A JP2127586A JPH0742467B2 JP H0742467 B2 JPH0742467 B2 JP H0742467B2 JP 61021275 A JP61021275 A JP 61021275A JP 2127586 A JP2127586 A JP 2127586A JP H0742467 B2 JPH0742467 B2 JP H0742467B2
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JP
Japan
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bearing
group
fluorine
present
organic coating
Prior art date
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JP61021275A
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JPS62180116A (ja
Inventor
三良 庄司
伊藤  豊
文雄 中野
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は有機塗膜を摺動面とするプラスチツクコーテイ
ング軸受において、特に耐熱性及び耐久性に優れたプラ
スチツクコーテイング軸受に関する。
〔従来の技術〕
半導体工業等で使用する高真空機器、あるいは高真空中
で各種電子線を利用する分析装置等、高真空装置に用い
る軸受部分は、汚れを嫌うため潤滑油なしの固定潤滑剤
を利用している。
一般にこういつた真空蒸着装置等は高真空で、しかも高
温にさらされるため、耐熱性の良い固定潤滑剤を用いた
軸受が採用される。例えば、MoS2を主体とした金属又は
無機材との複合材料による軸受、あるいは金又は銀メツ
キした軸受が用いられている。
しかし、MoS2を主体とした金属又は無機材との複合材料
による軸受、あるいは金又は銀メツキした軸受は一般に
摩擦係数が大きくまた振動を吸収する能力が劣る。しか
も、摺動条件が厳しくなると摩耗が大きくなる欠点があ
る。
一方、従来より機械強度の高い金属材料を下地として、
その表面に摺動特性に優れた有機塗膜(1〜100μm)
を作成し、機械強度及び潤滑性能の高い表面を作つたプ
ラスチツク軸受がある。疲労破壊(塗膜破壊)に至るま
での耐久性の指標であるpv値〔p:荷重(kg/cm2)、v:摺
動速度(m/s)〕をみると、一般のプラスチツク軸受が
0.1〜7.5の範囲であるのに対して、プラスチツクコーテ
ング軸受では2〜41と高い〔日本潤滑学会誌;潤滑、第
28巻第5号第383頁(1983)参照〕。したがつて、プラ
スチツクコーテイング軸受は潤滑油が使用できない前述
の半導体工業等で使用する高真空機器の軸受、あるいは
高真空中で各種電子線を利用する分析装置の軸受として
有望である。
〔発明が解決しようとする問題点〕
しかし、プラスチツクコーテイング軸受は、ポリテトラ
フルオロエチレン(PTFE)を基材としているため耐熱性
が悪く、250℃で使用温度限界である。例えば、真空蒸
着装置の試料台の回転用軸受に使用すると、試料台温度
が250℃以上になりPTFEの分解ガスの発生による真空系
内の汚れと、更には軸受の焼付きが発生し、試料台の回
転が不能になる問題がある。
そこで、本発明の目的はプラスチツクコーテイング軸受
の特性を生かし、高温でしかも高真空でも優れた潤滑効
果を発揮し得る軸受を提供することにある。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明を概説すれば、本発明は軸受に関する発明であつ
て、有機塗膜を摺動面とするプラスチツクコーテイング
軸受において、該有機塗膜が、下記一般式I: Rf−CH2−(R)−X …〔I〕 〔式中、Rfは含フツ素ポリオキシアルキル基、Rはフエ
ノキシメチル基が結合した炭素数2〜3のオキシアルキ
レン基、mは1以上の整数、Xは下記式: (ここで、R′は水素又は炭素数1〜6のアルキル基、
R″はフエノキシメチル基を示す)で表される極性基を
示す〕で表される化合物を必須の成分として含有するこ
とを特徴とする。
本発明は、従来のプラスチツクコーテイング軸受の欠点
である耐熱性と、高温度での潤滑性を改良し得る方法と
して、耐熱性の良い有機塗膜表面にフツ素系化合物を含
有させることが有効であることがわかり、その固定法を
見出したものである。
本発明で用いるフツ素系化合物は下式のデユポン社製の
クライトツクス157FSを出発原料とすることが好まし
い。
(式中nは10〜60) 本発明で実用的に好ましいフツ素系化合物は下式で示す
化合物の群である。
(式中、R′は水素又は炭素数1〜6のアルキル基、n
及びmは、1以上の整数) 本発明でいう含フツ素化合物を含む塗膜の1例であるポ
リイミド系塗膜の作成法の1例を挙げると以下の通りで
ある。
すなわち、ポリアミド酸溶液に上式のフツ素系化合物を
混合し、その後、基材に塗布し300℃程度に加熱する。
この様にすると、フツ素系化合物を含有するポリイミド
系塗膜を作成出来る。
この様にすると、ポリアミド酸溶液中の上記のフツ素系
化合物のフツ素系のセグメントはポリアミド酸と相溶性
が悪いため、塗膜表面に移動、配向し、塗膜表面層は含
フツ素系のセグメントで被われる。その後、ポリアミド
酸の脱水反応が生じる温度(300℃以上)まで加熱し、
塗膜の硬化を行う。この様にすると、塗膜表面はフツ素
系化合物の含フツ素セグメントで被われて硬化する。し
たがつて潤滑性の良い耐熱性塗膜が形成される。この様
にして本発明のプラスチツクコーテイング軸受を得るこ
とが出来る。
〔実施例〕
以下、本発明を実施例により更に具体的に説明するが、
本発明はこれら実施例に限定されない。
なお、実施例で使用したフツ素系化合物の構造式と分子
量を、下記表1にまとめて示す。
また、本発明の実施例に相当するのは、下記表1中の番
号10の化合物である。
実施例1 一般の構造用鋼材であるSS41を軸受材料とし、摺動部を
トリクロロエチレンで超音波洗浄する。その後、空気中
で380℃で20分空焼きを行う。次に、摺動部をサンドペ
ーパーで表面を均質に鏡面仕上げし、軸受材料(I)を
作成する。
充分に脱水したp−フエニレンジアミン54g(0.50モ
ル)をN−メチル−2−ピロリドン1000gに完全に溶解
させた後、3,3′,4,4′−ビフエニルテトラカルボン酸
二無水物147g(0.50モル)を加える。これらの混合物を
充分にかくはんし、下式に示したポリアミド酸溶液を作
成する。
このポリアミド酸溶液に表1のフツ素系化合物を60g加
え均質にかくはんした溶液を作成する。軸受材料(I)
は良くかくはんした溶液中に浸した後、50℃の清浄な大
気中に2時間放置する。その後、350℃−30分の加熱硬
化を行う。
本発明と、参考例及び比較例の性能を表2に示すが、本
発明(番号10)は高温度で特に優れたプラスチツクコー
テイング軸受であることがわかる。
実施例2 実施例1と同様にして軸受材料(I)を準備する。
充分に脱水した4,4′−ジアミノジフエニルエーテル100
g(0.50モル)をN−メチル−2−ピロリドン1000gに完
全に溶解させた後、ピロメリツト酸無水物109g(0.50モ
ル)を加える。これらの混合物を充分にかくはんし、下
式に示したポリアミド酸溶液を作成する。
このポリアミド酸溶液に表1のフツ素系化合物を60g加
え均質にかくはんした溶液を作成する。軸受材料(I)
は良くかくはんした溶液中に浸した後、50℃の清浄な大
気中に2時間放置する。その後、350℃−30分の加熱硬
化を行う。
本発明と、参考例及び比較例の性能を表3に示すが、本
発明(番号20)は高温度で特に優れたプラスチツクコー
テイング軸受であることがわかる。
〔発明の効果〕 以上説明したように、本発明のプラスチツクコーテイン
グ軸受は、高真空中の高温度部の潤滑に優れた効果を発
揮する。
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 C10M 107:38 107:44) C10N 30:08 40:02 50:02

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】有機塗膜を摺動面とするプラスチックコー
    テイング軸受において、該有機塗膜が、下記一般式I: Rf−CH2−(R)−X ・・・〔I〕 〔式中、Rfは含フツ素ポリオキシアルキル基、Rはフエ
    ノキシメチル基が結合した炭素数2〜3のオキシアルキ
    レン基、mは1以上の整数、Xは下記式: (ここで、R′は水素又は炭素数1〜6のアルキル基、
    R″はフエノキシメチル基を示す)で表される極性基を
    示す〕で表される化合物を必須の成分として含有するこ
    とを特徴とする軸受。
  2. 【請求項2】該有機塗膜が、分子鎖中にイミド環を含有
    する化合物を包含しているものであることを特徴とする
    特許請求の範囲第1項記載の軸受。
JP61021275A 1986-02-04 1986-02-04 軸 受 Expired - Lifetime JPH0742467B2 (ja)

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JP61021275A JPH0742467B2 (ja) 1986-02-04 1986-02-04 軸 受

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JP61021275A JPH0742467B2 (ja) 1986-02-04 1986-02-04 軸 受

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JPS62180116A JPS62180116A (ja) 1987-08-07
JPH0742467B2 true JPH0742467B2 (ja) 1995-05-10

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JPS62101696A (ja) * 1985-10-29 1987-05-12 Hitachi Maxell Ltd 潤滑剤

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