JPH0740971Y2

JPH0740971Y2 - 偏光顕微鏡

Info

Publication number: JPH0740971Y2
Application number: JP1988127469U
Authority: JP
Inventors: 邦夫利光
Original assignee: Nikon Corp
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 1988-09-29
Filing date: 1988-09-29
Publication date: 1995-09-20
Anticipated expiration: 2003-09-29
Also published as: JPH0247610U

Description

【考案の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本考案は、偏光子と検光子と直交ニコルに設定したとき
に、観察視野内に暗十字を出現させる偏光顕微鏡に関す
るものである。

〔従来の技術〕

偏光子と検光子とを備えた偏光顕微鏡に於いて、偏光子
と検光子とを直交ニコルに設定させ、それによって観察
視野内に暗十字を出現させることは、知られている。

〔考案が解決しようとする問題点〕

第５図は、上記の観察視野内に現れる暗十字31を示して
おり、暗十字31の一部に位置する半月状32の部分は、偏
光顕微鏡の本体内部の光路中に配設された開口絞りの開
口部の像を示している。開口絞りは、従来では第６図に
示すように、円周方向に沿って重ね合う多数の絞り羽根
33と、これらの絞り羽根33によって形成された開口部の
半分を覆う遮光板34とから構成されていた。遮光板34に
より、開口部は半月状に形成され、この開口部を通った
光束により、観察視野内には第５図の如く半月状の像32
が観察される。この像32を見れば分かるように、暗十字
31以外の領域に対応する光も、開口絞り33、34の開口部
を通過し、このように、半月状の開口部を通過した光の
EF値は、偏光子固有のEF値よりも低下してしまう。その
ために、最終的に得られる試料の像のコントラストも低
下してしまうという問題点が生じる。また、その問題点
により目視観察が不可能になるという問題点も生じてし
まう。

そこで、本考案はこのような問題点に鑑みてなされたも
ので、開口部の形状、位置を変え、暗十字の一部を利用
して試料を観察する際、EF値の向上、引いては試料の像
のコントラストを向上させることを図った偏光顕微鏡を
得ることを目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

上記目的を解決するために、実施例に対応する第１図、
第２図（ａ）ないし第２図（ｃ）、第３図および第４図
に用いて説明すると、本考案は、直交ニコルに設定された偏光子（６）と検光子（12）と
を備えた観察光学系（１〜10、12〜15）を有する偏光顕
微鏡において、観察光学系（１〜10、12〜15）中に配置され、観察光学
系の光軸から一方側に偏心した領域で光を通過させ、光
軸近傍の光を遮断する開口絞り（５）を有し、開口絞り
（５）の開口部（5a）の大きさは、該開口部（5a）の像
（27）が観察光学系の観察視野内に現れる暗十字（26）
の内部に形成されるように設定されることを技術的要件
としている。

〔作用〕

以上の構成によれば、前記開口部（5a）の像（27）が前
記暗十字（26）の内部にできるように、前記開口絞り
（５）の開口部（5a）の大きさを設定したため、前述の
EF値を向上させることができる。さらに開口部（5a）を
光軸から一方側に偏心した位置に配置したため、試料に
対して斜め方向から照射される光がその試料の観察に用
いられる。

また、そのEF値の向上により、試料（11）の像のコント
ラストも向上させることができ、目視観察が可能になる
という利点も得られる。

〔実施例〕

本考案の実施例を図面に基づいて説明する。

第１図は、本考案の実施例に係る偏光顕微鏡の本体に内
装された観察光学系の構成を示す概略構成図である。

第１図に於いて、光源１は凹面反射鏡1aと水銀灯1bから
なっており、この光源１からの光束は、コレクタレンズ
２およびリレーレンズ３を経て開口絞りホルダー４の方
に投射される。開口絞りホルダー４は図示の如く、段差
付きの内周面が形成されており、段差部には開口絞りの
薄板５が取り付けられている。開口絞りの薄板５には、
光軸から離れた偏心位置に、後述の開口部が形成されて
おり、この開口部を通った光束は、第１図に示す照明光
軸に平行する方向（図示では点線方向）に沿って投射さ
れる。図示の如く開口絞り４、５の右方には、ポラライ
ザー６（偏光子）、視野絞り７、リレーレンズ８および
全反射用プリズム９が順次配設されており、リレーレン
ズ８に対向する全反射用プリズム９の斜面9aは全反射面
になっている。全反射用プリズム９の全反射面9aは、リ
レーレンズ８の光軸を境に、光束の半分を図示の如く下
方の対物レンズ10の方に反射させるように形成され、全
反射用プリズム９の後面9bは、対物レンズ10の光軸を境
に、試料11により対物レンズ10を経て上方のアナライザ
ー12（検光子）の方に反射させるように形成されてい
る。アナライザー12の上方には、デポラライザー13、プ
リズム14が順次配設されている。試料11により対物レン
ズ10、アナライザー12、デポラライザー13を通った光束
はプリズム14に有する２つの反射面によって接眼レンズ
15の方に投射される。接眼レンズ15の配設により目視観
察の一例の述べたが、プリズム14の代わりに、リレーレ
ンズを設けてそのリレーレンズを経て顕微鏡本体に、カ
メラやテレビカメラなどを取りつけておき、カメラの撮
影により観察視野内を撮ることもできる。実施例では、
ポラライザー６にはグラン・トムソンプリズムを、また
アナライザー12には偏光板を使用している。

第２図（ａ）は、第１図中の開口絞りホルダー４を経て
開口絞りの薄板５を、照明光軸に垂直する面内に移動さ
せる移動部材の構成を示す概略構成図であり、一部に断
面を含めている。尚、第２図（ａ）中、箱状に形成され
た本体16は、第１図では、この紙面の上方に沿って配置
されているために省略している。

第２図（ａ）に於いて、本体16は、この紙面の上方に開
口されており、本体16の内周面には、２本のガイド棒17
a,17bの各両端が固定されている。２本のガイド棒17a,1
7bおよびガイド用ネジ18の円筒体に貫通される本体16内
部の部体19（19a〜19d）と、本体16の開口部16aを経て
外部に配設された部体20とは、第２図（ｂ）に示す如く
同一体に設けられている。

第２図（ａ）に示す本体16の外部に配設された部体20
は、第２図（ｂ）に示すように、開口絞りホルダー４を
長手方向に摺動自在に装入させるための凹部を有する凹
部体に形成されており、凹部体20の側壁面20aには、光
束を通過させるための開口部20bが、長手方向に沿って
設けられている。図示の如く側壁面20aの右方部には、
凹部体20の凹部より突出しており、この部分には板部21
が一体的に設けられている。板部21には、送りネジ22の
雄ネジと螺合する雌ネジ穴21aが穿設されている。開口
絞りホルダー４には、前述の如く段差付きの内周面が形
成されており（第１図参照）、段差部に取りつけらた開
口絞りの薄板５には、四角状の開口部5aが形成されてい
る。開口絞りホルダー４を、凹部体20の凹部に装入さ
せ、次いで送りネジ22を板部21の雌ネジ穴21aに螺合さ
せ、さらに図示の開口絞りホルダー４の左端部と、凹部
体20の左端面との間に、第２図（ｃ）に示す圧縮コイル
バネ23を装入させると、そのバネ23の付勢力により開口
絞りホルダー４は、送りネジ22の先端部に当接される。
送りネジ22の頭部を回転操作すると、開口絞りホルダー
４は、バネ23の付勢力に抗したり、押されたりしながら
凹部体20の長手方向に沿って摺動される。このような構
成であるから、開口絞りの薄板５の開口部5aを、第２図
（ｂ）中の凹部体20の開口部20bの領域内に対向させる
ように、第２図（ｃ）中の送りネジ22の回転操作によ
り、薄板５の移動を経て前記開口部5aの位置を調整し、
これにより、薄板５の開口部5aおよび第２図（ｂ）中の
凹部体20の開口部20bを介して、第１図中のリレーレン
ズ３からの光束をポラライザー６の方に投射させること
ができる。

第２図（ａ）に示す本体16の内部に位置する部体19にお
いて、その部体19は、第２図（ｂ）に示す如く、前記側
壁面20aの右方部と一体的に設けられた円筒体19aと、そ
れに続く連結部19b、板部19c、四角柱部体19dとからな
っている。円筒体19aには、第２図（ａ）中の第１ガイ
ド棒17aに貫通される孔19a₁が穿設されており、連結部1
9bには、第２図（ａ）中のガイド用ネジ18の雄ネジと螺
合される雌ネジ穴19b₁が穿設されている。また、連結部
19の一端と一体的に設けられた板部19cを経て四角柱部
体19dには、第２図（ａ）中の第２ガイド棒17bに貫通さ
れる孔19d₁が穿設されている。第２図（ａ）に示す連結
部19bと、本体16の上側内面との間には、圧縮コイルバ
ネ24が挟持されており、このコイルバネ24はガイド用ネ
ジ18の円筒体に遊嵌している。コイルバネ24は、その付
勢力により連結部19bを経てネジ18が本体16の上方に移
動してしまうことのないように設けられている。ガイド
用ネジ18の先端部には、抜け止め用のビス25が取り付け
られている。本体16の上面に位置するネジ18の頭部を回
転させると、その雄ネジ部と連結部19bの雌ネジ部との
螺合作用により、本体16内部の部体19は２本のガイド棒
17a、17bの軸方向に沿って上下方向に摺動される。この
ために、本体16の開口部16aを経て凹部体20も上下方向
に移動され、開口絞りホルダー４を経て薄板５の開口部
5aも上下方向に移動される。

以上より、前述した第２図（ｃ）中の送りネジ22と、第
２図（ａ）中のガイド用ネジ18との回転操作により、薄
板５の開口部5aを２つの方向に沿って移動させることが
でき、第２図（ｂ）中の送りネジ22を含めて、第２図
（ａ）に示す各部材は、開口絞り用薄板５の開口部5aを
第１図中の照明光軸に直交する面内に移動させるための
移動部材を構成する。

そして、第１図中のポラライザー６とアナライザー12と
を直交ニコルに設定したときに、第３図に示す観察視野
内に現れる暗十字26に於いて、その内部にできた四角状
の部分27は、第２図（ｂ）に示す四角状の開口部5aの像
を示しており、四角状に形成された開口部5aは、第３図
示の像27が暗十字26の細長い部分の内部にできるよう
に、即ち、観察光学系の光軸から一方側に偏心した領域
であって光軸近傍を含まない領域に形成され、その暗十
字の内部に開口部の像27ができるように、暗十字26の細
長い部分の幅よりも小さい四角の形状に設定されてい
る。そのために、前述した第２図（ａ）中のガイド用ネ
ジ18と、第２図（ｃ）中の送りネジ22との回転操作に応
じて、開口絞り開口部5aを第１図中の照明光軸に垂直す
る面内に移動させることにより、第３図中の像27を、図
示の如く縦横方向に沿って暗十字26の内部のどこでも移
動させることができる。また、第１図中の対物レンズ10
の曲率半径や偏光子の方位などの条件により、第３図に
示す観察視野内の暗十字26の位置を変えても（詳しくは
観察視野内に暗十字26が回転移動される）、ガイド用ネ
ジ18と送りネジ22との回転操作を経て、開口部5aを照明
光軸に垂直する面内に移動させることにより、第３図示
の開口像27を２つの方向（縦横方向）に沿って移動さ
せ、暗十字25の内部に収めることができる。

以上の実施例によれば、前述した開口部5aの形状は四角
状に形成されていることを述べたが、この形状に限ら
ず、別の実施例としては、第４図（ａ）に示すように、
直径ｒが第３図示の暗十字26の細長い部分の幅よりも小
さい円の形状でも良く、その円状の開口部28を設けた開
口絞りの薄板を、第２図（ｂ）中の薄板５の代わりに、
開口絞りホルダー４の内周面に取り付けておき、第２図
（ａ）に示す移動部材により、円状の開口部28を第１図
中の照明光軸に垂直する面内に移動させ、円状の開口部
28を通った光束による円状の像を第３図示の暗十字26の
内部に、縦横方向に沿って移動させることもできる。ま
た、前述の移動部材は、開口絞りの薄板５の開口部5aを
経て、第３図示の像27を２つの方向（縦横方向）に沿っ
て移動させることを述べたが、移動部材が、前記開口部
5aを経て第３図示の像27を横方向だけに移動させる機能
を有しているときは、第２図（ｂ）に示す四角状の開口
部5aだけでなく、第４図（ｂ）に示す如く、幅ａが第３
図中の暗十字26の細長い部分の幅よりも小さい長方形の
形状で形成された開口部29、または第４図（ｃ）に示す
如く、幅ａが第３図中の暗十字26の細長い部分の幅より
も小さいカプセルの形状で形成された開口部30でもよ
く、長方形状の開口部29またはカプセル状の開口部30を
設けた開口絞りの薄板を、第２図（ｂ）中の薄板５の代
わりに、開口絞りホルダー４の内周面に取り付けてお
き、上述の移動部材により、開口絞りホルダー４を経
て、長方形の像あるいはカプセル状の像を、第３図示の
横方向に沿う暗十字26の細長い部分の内部に移動させる
ようにしてもよい。

また、本実施例に述べた偏光顕微鏡は、第１図の如く落
射式のものであるが、透射照明の方式を用いた偏光顕微
鏡においても、その本体の内部に配設されたポラライザ
ーとアナライザーとを直交ニコルに設定したとき、観察
視野内に暗十字が現れるので、透射式の顕微鏡本体の内
部に、前述の開口部を有する開口絞り用薄板と、その薄
板を経て開口部を移動させるための移動部材とを備えて
おき、本実施例と同様に、開口部の像を暗十字の内部に
配置させるように、移動部材により開口部を移動させる
ことができるのはいうまでもない。

〔考案の効果〕

以上の本考案によれば、開口部の像が暗十字の内部にで
きるように、開口部の大きさを設定したため、前述のEF
値を向上させることができ、試料の像のコントラストを
向上させることができる。さらに、開口絞りの開口部が
光軸から一方側に偏心した位置に配置されているため、
開口部を通った光は試料に対して斜め方向から照射され
る。このため、例えば試料が薄膜ヘッドのような磁性材
料であっても、カー効果によりコントラストよくその磁
区を観察することが可能となる。また、移動部材を有す
ることにより、開口部の像を常に暗十字の内部に配置す
ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本考案の実施例に係る偏光顕微鏡の本体に内
装された各光学部材の構成を示す概略構成図である。第２図（ａ）は、第１図中の照明光軸に垂直する面内
に、開口絞りの薄板５を移動させるための移動部材を構
成する各部材の概略構成図である。第２図（ｂ）は、第２図（ａ）中の本体16の内部に配設
された部体19と、外部に配設された凹部体20とを一体的
に形成した部体の概略斜視図である。第２図（ｃ）は、第２図（ａ）中の開口絞りの薄板５を
横方向に沿って移動させるときの構成部材を示す概略構
成図である。第３図は、第１図中のポラライザー６とアナライザー12
とを直交ニコルに設定したときに、観察視野内に暗十字
26が現れ、開口部の像27が暗十字26の内部に位置してい
るときの状態を示す観察図である。第４図（ａ）ないし第４図（ｃ）は、別の実施例として
用いる開口部28〜30の形状を示す平面図である。第５図は、従来の開口絞りの開口部の像31が暗十字32の
一部に位置しているときの状態を示す従来の観察図であ
る。第６図は、従来の偏光顕微鏡に備えた開口絞りの構成を
示す概略構成図である。〔主要部分の符号の説明〕４……開口絞りホルダー５……開口絞りの薄板、5a……開口部６……ポラライザー（偏光子） 11……試料、12……アナライザー（検光子） 16……移動部材の本体 17a、17b……ガイド軸 18……ガイド用ネジ、19……本体16の内部体 20……凹部体、22……送りネジ 23、24……圧縮コイルバネ 26、31……暗十字 27、32……開口像

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】直交ニコルに設定された偏光子と検光子と
を備えた観察光学系を有する偏光顕微鏡において、前記観察学系中に配置され、前記観察光学系の光軸から
一方側に偏心した領域で光を通過させ、前記光軸近傍の
光を遮断する開口絞りを有し、前記開口絞りの開口部の大きさは、該開口部の像が前記
観察光学系の観察視野内に現れる暗十字の内部に形成さ
れるように設定されることを特徴とする偏光顕微鏡。
【請求項２】前記観察光学系は、前記開口絞りと前記偏
光子とを介して試料に対して斜め方向から照明光を照射
する照射光学系を有することを特徴とする請求項１に記
載の偏光顕微鏡。
【請求項３】前記開口絞りの開口部の位置を前記光軸に
直交する面内で移動させる移動手段を有することを特徴
とする請求項１又は２に記載の偏光顕微鏡。