JPH03246861A - 透過型電子顕微鏡 - Google Patents
透過型電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPH03246861A JPH03246861A JP4283490A JP4283490A JPH03246861A JP H03246861 A JPH03246861 A JP H03246861A JP 4283490 A JP4283490 A JP 4283490A JP 4283490 A JP4283490 A JP 4283490A JP H03246861 A JPH03246861 A JP H03246861A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- image
- electron beam
- swing mechanism
- swing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims abstract description 26
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 13
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 16
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims description 12
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 10
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 abstract description 5
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 4
- 230000005686 electrostatic field Effects 0.000 description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 2
- 238000011065 in-situ storage Methods 0.000 description 2
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 2
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002178 crystalline material Substances 0.000 description 1
- 238000007405 data analysis Methods 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 238000004627 transmission electron microscopy Methods 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は結晶性物質の格子欠陥、あるいは非結晶性物質
の外観測定に用いられる透過型電子顕微鏡に関する。
の外観測定に用いられる透過型電子顕微鏡に関する。
透過型電子顕微鏡は結晶性物質の格子欠陥を観察するた
めに欠かせない手段である。しかし、従来は蛍光板に投
影された像を確認してフィルムに撮影、現像を行ってい
たため、結果を得るのに時問がかかり、また結晶欠陥の
試料薄膜内における位置関係を掴むための立体像が短時
間で得られない。
めに欠かせない手段である。しかし、従来は蛍光板に投
影された像を確認してフィルムに撮影、現像を行ってい
たため、結果を得るのに時問がかかり、また結晶欠陥の
試料薄膜内における位置関係を掴むための立体像が短時
間で得られない。
〔発明が解決しようとする課題］
そのため、例えば、欠陥が試料表面にあるのか、又は試
料内部にあるのかを把握しにくいため、折角発見した結
晶欠陥をフィルム撮影のために中断した際に見失うこと
がしばしばある。
料内部にあるのかを把握しにくいため、折角発見した結
晶欠陥をフィルム撮影のために中断した際に見失うこと
がしばしばある。
ここで、薄膜試料を観察しながら、欠陥の位置関係を把
握することができれば、データの解析上にも有用であり
、次に行うべき実験の計画も迅速に立てることができる
。さらに加熱試料台あるいは入射電子ビームによって結
晶欠陥が移動、拡散するなど動的挙動を示す場合には「
その場観察」が必要になってくる。
握することができれば、データの解析上にも有用であり
、次に行うべき実験の計画も迅速に立てることができる
。さらに加熱試料台あるいは入射電子ビームによって結
晶欠陥が移動、拡散するなど動的挙動を示す場合には「
その場観察」が必要になってくる。
本発明の目的は透過型電子顕微鏡における「その場観察
」において迅速に立体画像を得ることができる装置を提
供することにある。
」において迅速に立体画像を得ることができる装置を提
供することにある。
上記目的を達成するため、本発明に係る透過型電子顕微
鏡においては、結晶性物質の格子欠陥、あるいは非結晶
性物質の外観測定を行う透過型電子顕微鏡であって、 試料に電子ビームを照射する光学系と、スウィング機構
と、画像処理系とを有し、 前記スウィング機構は、前記光学系の照射電子ビーム軸
に垂直な軸のまわりに試料を左右対称に揺動させるもの
であり、 前記画像処理系は、前記スウィング機構により揺動され
る試料に前記光学系でビーム照射を行った際に得られる
透過像あるいは回折像を記録し、これらの画像を試料の
揺動周期に同期させて表示するものである。
鏡においては、結晶性物質の格子欠陥、あるいは非結晶
性物質の外観測定を行う透過型電子顕微鏡であって、 試料に電子ビームを照射する光学系と、スウィング機構
と、画像処理系とを有し、 前記スウィング機構は、前記光学系の照射電子ビーム軸
に垂直な軸のまわりに試料を左右対称に揺動させるもの
であり、 前記画像処理系は、前記スウィング機構により揺動され
る試料に前記光学系でビーム照射を行った際に得られる
透過像あるいは回折像を記録し、これらの画像を試料の
揺動周期に同期させて表示するものである。
また、本発明に係る透過型電子顕微鏡においては、結晶
性物質の格子欠陥、あるいは非結晶性物質の外観測定を
行う透過型電子顕微鏡であって、試料に電子ビームを照
射する光学系と、スウィング機構と、画像処理系と・を
有し、 前記スウィング機構は、前記光学系の照射電子ビームを
そのビーム軸に対して左右対称に微小角度でスウィング
させるものであり、 前記画像処理系は、前記スウィング機構によりスウィン
グされる電子ビームを試料に照射した際に得られる透過
像あるいは回折像を記録し、これらの画像を電子ビーム
のスウィング周期に同期させて表示するものである。
性物質の格子欠陥、あるいは非結晶性物質の外観測定を
行う透過型電子顕微鏡であって、試料に電子ビームを照
射する光学系と、スウィング機構と、画像処理系と・を
有し、 前記スウィング機構は、前記光学系の照射電子ビームを
そのビーム軸に対して左右対称に微小角度でスウィング
させるものであり、 前記画像処理系は、前記スウィング機構によりスウィン
グされる電子ビームを試料に照射した際に得られる透過
像あるいは回折像を記録し、これらの画像を電子ビーム
のスウィング周期に同期させて表示するものである。
［作用］
本発明においては、従来の同一視野を観察方向の異なる
２枚の写真を作成し、立体視鏡で観察するという操作を
自動的に行うことが必要である。
２枚の写真を作成し、立体視鏡で観察するという操作を
自動的に行うことが必要である。
２方向から観察することは既に述べたように入射電子ビ
ーム軸に垂直な一定軸の回りに試料を揺動させることに
より行われるか、あるいは入射電子ビームを走査コイル
及び静電界レンズを用いてスウィングさせることにより
行われる。その滞留時間は画像記録に必要な時間に応じ
てとられるが、欠陥の動的挙動を観測するには試料台の
運動のための時間はなるべく短くとられる。
ーム軸に垂直な一定軸の回りに試料を揺動させることに
より行われるか、あるいは入射電子ビームを走査コイル
及び静電界レンズを用いてスウィングさせることにより
行われる。その滞留時間は画像記録に必要な時間に応じ
てとられるが、欠陥の動的挙動を観測するには試料台の
運動のための時間はなるべく短くとられる。
蛍光体を介して、又は電子ビーム検知で行い、画像検知
器はスウィングの周期に同期させたときのみ作動させ、
スウィング両端における画像を信号処理系へ送る。これ
らの２種の信号を同−ＣＲＴ画面上に示し、偏光眼鏡を
使って２種の信号を合成し、立体視するシステムは既に
コンピュータグラフィックスの三次元化の分野で商品化
されているものである。
器はスウィングの周期に同期させたときのみ作動させ、
スウィング両端における画像を信号処理系へ送る。これ
らの２種の信号を同−ＣＲＴ画面上に示し、偏光眼鏡を
使って２種の信号を合成し、立体視するシステムは既に
コンピュータグラフィックスの三次元化の分野で商品化
されているものである。
次に本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
（実施例１）
第１図は本発明の実施例１を示す構成図である。
図において、電子銃ｌと固体撮像系１０との間に形成さ
れる光学系は、コンデンサレンズ２．コンデンサ絞り３
．対物レンズ６、制限スリット８とを有する。さらにコ
ンデンサレンズ２と対物レンズ６との間に形成される光
学系は、電子ビーム軸Ｉ４に直交する軸のまわりに試料
４を揺動させるスウィング機構１２を備えている。１１
は画像記憶系。
れる光学系は、コンデンサレンズ２．コンデンサ絞り３
．対物レンズ６、制限スリット８とを有する。さらにコ
ンデンサレンズ２と対物レンズ６との間に形成される光
学系は、電子ビーム軸Ｉ４に直交する軸のまわりに試料
４を揺動させるスウィング機構１２を備えている。１１
は画像記憶系。
１３は立体視ＣＲＴである。
電子銃ｌから出射した電子ビームはコンデンサレンズ２
で集束されて、コンデンサ絞り３を通過して平行ビーム
となって試料４に照射される。試料４が結晶性の場合は
直接透過されるビームの他に右方に回折される回折ビー
ム５が存在し、対物レンズ６へ導かれる。ここで、説明
の便宜上、対物レンズ６を光学的に示しである。回折ビ
ーム５は後焦点面７に集束するが、後焦点面７上の回折
スポットに制限スリット８を置くことより、結像面９上
に暗視野回折像を得ることができる。本発明においては
、結像面９の下に固体撮像系１０を置き、直接画像を得
ている。固体撮像系１０としては、通常−度蛍光板で光
の信号に転換してＣＣＤや光電子増倍管で検知するもの
、あるいはＭＣＤ（Ｍｕｌｔｉ Ｃｈａｎｎｅｌ Ｄｅ
ｔｅｃｔｏｒ）を用いて直接検知するものを用いること
が可能である。
で集束されて、コンデンサ絞り３を通過して平行ビーム
となって試料４に照射される。試料４が結晶性の場合は
直接透過されるビームの他に右方に回折される回折ビー
ム５が存在し、対物レンズ６へ導かれる。ここで、説明
の便宜上、対物レンズ６を光学的に示しである。回折ビ
ーム５は後焦点面７に集束するが、後焦点面７上の回折
スポットに制限スリット８を置くことより、結像面９上
に暗視野回折像を得ることができる。本発明においては
、結像面９の下に固体撮像系１０を置き、直接画像を得
ている。固体撮像系１０としては、通常−度蛍光板で光
の信号に転換してＣＣＤや光電子増倍管で検知するもの
、あるいはＭＣＤ（Ｍｕｌｔｉ Ｃｈａｎｎｅｌ Ｄｅ
ｔｅｃｔｏｒ）を用いて直接検知するものを用いること
が可能である。
これらの画像は画像記憶系１１に一時蓄えられる。
一方、試料４は、電子ビーム軸Ｉ４に垂直な軸のまわり
に左右〜２０度程度の範囲で揺動するスウィング機構１
２に保持されており、その傾ける位置は試料結晶の任意
の晶帯軸上の固有の回折角で決定される。左右の揺動ス
トローク終端位置は、パルスモータを用いて回折角で決
まる位置に再現性よく設定することができる。静止画像
の場合、画像記憶系１１に左右の２点での画像を記憶さ
せることで充分であるが、動的画像の場合は揺動周期に
同期させてその都度立体視用ＣＲＴ ＋３上に表示する
。
に左右〜２０度程度の範囲で揺動するスウィング機構１
２に保持されており、その傾ける位置は試料結晶の任意
の晶帯軸上の固有の回折角で決定される。左右の揺動ス
トローク終端位置は、パルスモータを用いて回折角で決
まる位置に再現性よく設定することができる。静止画像
の場合、画像記憶系１１に左右の２点での画像を記憶さ
せることで充分であるが、動的画像の場合は揺動周期に
同期させてその都度立体視用ＣＲＴ ＋３上に表示する
。
本発明はスウィングする試料４にビーム照射を行った際
に得られる透過像あるいは回折像を左右同一角度の一組
毎にＣＲＴ ＋３上に画像表示し、それにより格子欠陥
あるいは外観測定を行う。
に得られる透過像あるいは回折像を左右同一角度の一組
毎にＣＲＴ ＋３上に画像表示し、それにより格子欠陥
あるいは外観測定を行う。
（実施例２）
第２図は本発明の実施例２を示す構成図である。
図において、電子銃１から出射した電子ビームは前後し
て配設した２個のコンデンサレンズ２ａ及び２ｂで集束
され、２個のコンデンサ絞り３ａ及び３ｂを通過して走
査コイル１６で達する。走査コイル１６は電子ビーム軸
１４に対し、その左右に電子ビームをスウィングさせる
。走査コイル１６により一定周期でスウィングされたビ
ームは静電界レンズ１５で試料４の同一箇所へ異なった
方向より時間分割されて入射する。試料４が結晶性の場
合は直接透過されるビームの他に回折される回折ビーム
５があり、対物レンズ６へ導かれる。ここで、説明の便
宜上、対物レンズ６を光学的に示しである。回折ビーム
は後焦点面７に集束するが、後焦点面７上の回折スポッ
トに制限スリット８を置くことより、結像面９上に暗視
野回折像を得ることができる。
て配設した２個のコンデンサレンズ２ａ及び２ｂで集束
され、２個のコンデンサ絞り３ａ及び３ｂを通過して走
査コイル１６で達する。走査コイル１６は電子ビーム軸
１４に対し、その左右に電子ビームをスウィングさせる
。走査コイル１６により一定周期でスウィングされたビ
ームは静電界レンズ１５で試料４の同一箇所へ異なった
方向より時間分割されて入射する。試料４が結晶性の場
合は直接透過されるビームの他に回折される回折ビーム
５があり、対物レンズ６へ導かれる。ここで、説明の便
宜上、対物レンズ６を光学的に示しである。回折ビーム
は後焦点面７に集束するが、後焦点面７上の回折スポッ
トに制限スリット８を置くことより、結像面９上に暗視
野回折像を得ることができる。
本発明においては、結像面９の下方に固体撮像系１０を
置き、直接画像を得ている。固体撮像系１０としては、
通常−度蛍光板で光の信号に転換してＣＣＤや光電子増
倍管で検知するものや、ＭＣＤ （ＭｕｌｔｉＣｈａｎ
ｎｅｌ Ｄｅｔｅｃｔｏｒ）を用いて直接検知するもの
を用いる。
置き、直接画像を得ている。固体撮像系１０としては、
通常−度蛍光板で光の信号に転換してＣＣＤや光電子増
倍管で検知するものや、ＭＣＤ （ＭｕｌｔｉＣｈａｎ
ｎｅｌ Ｄｅｔｅｃｔｏｒ）を用いて直接検知するもの
を用いる。
これらの画像は画像記憶系１１に一時蓄えられる。
静止画像の場合には電子ビーム走査コイル１６を動作さ
せて画像記憶系１１に左右の２点での画像を記憶させる
だけで充分であるが、動的画像の場合は電子ビーム走査
コイル１６によるスウィング周期に同期させてその都度
立体視用ＣＲＴ ＋３上に表示する。
せて画像記憶系１１に左右の２点での画像を記憶させる
だけで充分であるが、動的画像の場合は電子ビーム走査
コイル１６によるスウィング周期に同期させてその都度
立体視用ＣＲＴ ＋３上に表示する。
以上説明したように、本発明によれば、試料観察を中断
して写真撮影することなく、自動的に迅速、かつ「その
場観察」において立体観察可能な透過型電子顕微鏡を実
現できる。
して写真撮影することなく、自動的に迅速、かつ「その
場観察」において立体観察可能な透過型電子顕微鏡を実
現できる。
第１図は本発明の実施例１を示す構成図、第２図は本発
明の実施例２を示す構成図である。
明の実施例２を示す構成図である。
Claims (2)
- （１）結晶性物質の格子欠陥、あるいは非結晶性物質の
外観測定を行う透過型電子顕微鏡であって、試料に電子
ビームを照射する光学系と、スウィング機構と、画像処
理系とを有し、 前記スウィング機構は、前記光学系の照射電子ビーム軸
に垂直な軸のまわりに試料を左右対称に揺動させるもの
であり、 前記画像処理系は、前記スウィング機構により揺動され
る試料に前記光学系でビーム照射を行った際に得られる
透過像あるいは回折像を記録し、これらの画像を試料の
揺動周期に同期させて表示するものであることを特徴と
する透過型電子顕微鏡。 - （２）結晶性物質の格子欠陥、あるいは非結晶性物質の
外観測定を行う透過型電子顕微鏡であって、試料に電子
ビームを照射する光学系と、スウィング機構と、画像処
理系とを有し、 前記スウィング機構は、前記光学系の照射電子ビームを
そのビーム軸に対して左右対称に微小角度でスウィング
させるものであり、 前記画像処理系は、前記スウィング機構によりスウィン
グされる電子ビームを試料に照射した際に得られる透過
像あるいは回折像を記録し、これらの画像を電子ビーム
のスウィング周期に同期させて表示するものであること
を特徴とする透過型電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4283490A JPH03246861A (ja) | 1990-02-23 | 1990-02-23 | 透過型電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4283490A JPH03246861A (ja) | 1990-02-23 | 1990-02-23 | 透過型電子顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03246861A true JPH03246861A (ja) | 1991-11-05 |
Family
ID=12647003
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4283490A Pending JPH03246861A (ja) | 1990-02-23 | 1990-02-23 | 透過型電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03246861A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004111839A (ja) * | 2002-09-20 | 2004-04-08 | Semiconductor Leading Edge Technologies Inc | 透過型電子顕微鏡による観察方法 |
| US7012253B2 (en) | 2002-11-20 | 2006-03-14 | Nagoya University | Transmission electron microscope and three-dimensional observing method |
| JP2009152120A (ja) * | 2007-12-21 | 2009-07-09 | Fujitsu Ltd | 電子線トモグラフィ法及び電子線トモグラフィ装置 |
| JP2011040217A (ja) * | 2009-08-07 | 2011-02-24 | Hitachi Ltd | 透過型電子顕微鏡およびそれを用いた試料像の観察方法 |
| JP2012507838A (ja) * | 2008-11-06 | 2012-03-29 | ナノメガス エスピーアールエル | 電子線回折による高スループット結晶構造解析のための方法及びデバイス |
-
1990
- 1990-02-23 JP JP4283490A patent/JPH03246861A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004111839A (ja) * | 2002-09-20 | 2004-04-08 | Semiconductor Leading Edge Technologies Inc | 透過型電子顕微鏡による観察方法 |
| US7012253B2 (en) | 2002-11-20 | 2006-03-14 | Nagoya University | Transmission electron microscope and three-dimensional observing method |
| JP2009152120A (ja) * | 2007-12-21 | 2009-07-09 | Fujitsu Ltd | 電子線トモグラフィ法及び電子線トモグラフィ装置 |
| JP2012507838A (ja) * | 2008-11-06 | 2012-03-29 | ナノメガス エスピーアールエル | 電子線回折による高スループット結晶構造解析のための方法及びデバイス |
| JP2014142357A (ja) * | 2008-11-06 | 2014-08-07 | Nanomegas Sprl | 電子線回折による高スループット結晶構造解析のための方法及びデバイス |
| JP2011040217A (ja) * | 2009-08-07 | 2011-02-24 | Hitachi Ltd | 透過型電子顕微鏡およびそれを用いた試料像の観察方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US8498048B2 (en) | Focusing apparatus and method | |
| US5694235A (en) | Three-dimensional moving image recording/reproducing system which is compact in size and easy in recording and reproducing a three-dimensional moving image | |
| JP5532459B2 (ja) | 顕微鏡システム | |
| CH617266A5 (ja) | ||
| JP3576882B2 (ja) | ディジタル画像の視覚的再構成あるいは捕捉に関するディジタル画像伝送方法及びこの方法を実行する装置 | |
| JPH03246861A (ja) | 透過型電子顕微鏡 | |
| JP2006220640A (ja) | Ｘ線ステレオ透視装置及びそれを用いたステレオ観察方法 | |
| JPH07324923A (ja) | 被験表面にテストパターンを投影する装置 | |
| JP2006308336A (ja) | 撮像システム | |
| US20040169922A1 (en) | Stereo microscopy | |
| JP2989330B2 (ja) | 顕微鏡観察装置 | |
| JP2899127B2 (ja) | レンズ検査装置及びそれを用いたレンズの製造方法 | |
| JPH05191838A (ja) | 三次元情報記録再生装置 | |
| WO2005022238A1 (ja) | 画像表示装置およびカメラ | |
| JP3125045B2 (ja) | 電子線強度測定装置および電子顕微鏡 | |
| CN109470145A (zh) | 偏振调制高分辨力立体视觉测量系统与方法 | |
| JPH09223478A (ja) | 透過型電子顕微鏡 | |
| US20040245437A1 (en) | Method and apparatus for creating high-quality digital images | |
| JPH0293353A (ja) | ｘ線検査装置 | |
| JP3583012B2 (ja) | フィルム傷検出装置 | |
| JP2000039567A (ja) | 双眼顕微鏡と双眼顕微鏡による撮像方法 | |
| JPH0876052A (ja) | 画像重ね合わせ光学装置 | |
| JP2005010548A (ja) | 立体像撮影装置 | |
| JPS63307653A (ja) | 電子顕微鏡における立体視方法及び電子顕微鏡 | |
| JPH02268734A (ja) | 眼科撮像装置 |